DE3030101A1

DE3030101A1 - Anordnung zur pruefung einer flachen integrierten schaltung

Info

Publication number: DE3030101A1
Application number: DE19803030101
Authority: DE
Inventors: Winfried Ing.(grad.) 8029 Sauerlach Henze
Original assignee: Siemens AG
Current assignee: Siemens AG
Priority date: 1980-08-08
Filing date: 1980-08-08
Publication date: 1982-03-04
Also published as: DE3030101C2

Description

Anordnung zur Prüfung einer flachen integrierten Schal-
tun Die Erfindung bezieht sich auf eine Anordnung zur Prüfung einer flachen integrierten Schaltung, insbesondere für die Mikrowellentechnik, die sich auf einer dielektrischen Trägerplatte befindet und deren Anschlüsse zumindest teilweise als Leiterflächen im Randbezirk der Oberfläche der Trägerplatte ausgeführt sind und die in ein aus einem Rahmen bestehendes Gehäuse mit dort vorgesehenen flächigen Gegenkontakten eingesetzt ist, die Verbindung mit weiteren in das Gehäuse eingesetzten integrierten Schaltungen oder Leitungen nach außen durch in die Bodenplatte eingesetzte Kontaktelemente erfolgt, die mittels Federvorspannung die betreffende Verbindungsleitung auf die zugehörige Leiterbahn der integrierten Schaltung aufdrücken.
Es sind zum Beispiel durch die Patentschrift 23 48 165 Verbindungselemente bekannt, die mittels federnder Stifte auf jeweils eine Leiterbahn von miteinander zu verbindenden Substratplatten dünne Bändchen als Verbindungsleitungen aufdrücken. Die Befestigung dieser Elemente erfolgt in einer gemeinsamen Grundplatte eines die als integrierte Schaltungen ausgebildeten Substratplatten aufnehmenden Gehäuses. Auf die gleiche Weise können auch einseitig nach außen führende Leitungen mit den Substratplatten kontaktiert werden. Zur Messung von solchen Substratplatten wurde bisher zum Beispiel gemäß DE-AS 27 08 640 eine Einrichtung verwendet, die eine Aufnahme für die zu prüfende Substratplatte hatte. Federnde Prufstifte konnten in dieser Prüfeinrichtung durch einzelne Punkte bzw.
Leitungen der Substratplatte mittels Hebeldrucks aufgedrückt werden. Eine Messung im eingebauten Zustand der Substratplatte, insbesondere deren Ein- und Ausgänge oder Übergänge, war hierdurch nicht möglich, besonders wenn mehrere solche Vierpolschaltungen auf Substratplatten in einem gemeinsamen Gehäuse untergebracht sind.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, gerade für solche Fälle Abhilfe zu schaffen, so daß solche z.B. als integrierte Mikrowellenschaltungen ausgebildeten Substratplatten im eingebauten Zustand durchgemessen werden können.
Diese Aufgabe wird bei einer Anordnung der eingangs erwähnten Art gemäß der Erfindung dadurch gelöst, daß anstelle eines solchen Verbindungs- oder Anschlußelements ein Meßadapter vorgesehen ist, bestehend aus einem in den Boden der Trägerplatte eingesetzten Stift mit Gewindefortsetzung, der mittels einer Rändelmutter mit der Trägerplatte verschraubt ist und daß dieser Stift eine Fortsetzung nach oben hat, die durch die Deckplatte hindurchführt und ferner im Bereich des dort vorgesehenen Durchbruchs ein federnder Stift eingesetzt ist, der auf die betreffenden Leiterbahnen der integrierten Schaltung federnd aufgesetzt ist und als koaxialer Innenleiter ausgeführt ist, der am oberen Ende des Fortsatzes mit einer Anschlußbuchse versehen ist.
Hierdurch wird ähnlich eines einfachen Meßadapters eine jederzeitige Messung der integrierten Schaltung im eingebauten Zustand im Gehäuse ermöglicht.
Nachstehend wird die Erfindung anhand von Zeichnungen näher erläutert.
Die Figur 1 zeigt die Anordnung in einem Querschnitt durch das Gehäuse mit eingelegter Substratplatte.
Die Figur 2 zeigt ebenfalls einen Querschnitt, aber mit einer anderen Befestigungsart des Meßadapters wie bei Figur 1.
Die Figur 3 zeigt den Meßadapter selbst im Querschnitt.
Die Figur 4 zeigt eine andere Ausführung des Meßadapters mit zusätzlichen Außenleiterkontaktierungsstiften.
Wie bereits durch den eingangs genannten Stand der Technik aufgezeigt, gibt es Gehäuse fur integrierte Schaltungen, die auf flachen Substratplatten aufgebracht sind.
Dies ist besonders gebräuchlich bei der integrierten Wellentechnik. Die Substratplatte 3 liegt meist mittels eines federnden Kontaktelements 3a auf einer Grundplatte 1 eines Abschirmgehäuses auf. Das Abschirmgehäuse ist durch einen Abschirmdeckel 2 verschließbar. Zur Verbindung von versehiedenen Mikrowellenschaltungen, zum Beispiel 3, 2, Db sind Kontaktelemente 5 vorgesehen, die federnde Stifte 18 haben, die auf ein dünnes Plättchen 19 drücken, das die mögliche elektrische Verbindung zwizehen den Leiterbahnen der beiden Substratplatten herstellt Das Verbintlungselement ist mittels eines Zapfens 20 mit Gewindefortsatz und Kontramutter in die Grundplatte . eingesetzt.
An die Stelle eines solchen Verbindungselements wird für die Messung der Schaltung im eingebauten Zustand ein Meßadapter a -eetzt. Dieser Meßadapter hat ebenso wie das Ver@@@@@@@@@@@@@@@@ einen @@@@pfen @ mit Gewindefortsatz und wird durch eine Rändelmutter zur Schwellbefestigung in der Grundplatte 1 fixiert. Nach oben hin setzt sich der Zapfen in einem rohrförmigen Teil 6 fort. In diesem Teil befindet sich eine Koaxialleitung mit Anschluß 21, die sich nach unten hin in einem natürlich isoliert gelagerten Innenleiterstift 10 fortsetzt. Dieser Innenleiterstift 10 wird federnd auf die Leiterbahn 11 der Substratplatte 3 aufgedrückt. Der Zwischenteil zwischen den Befestigungsbolzen und dem Oberteil 6 des Meßadapters dient bei der Messung gleichzeitig als Abschirmung. Zwischen den Leiterbahnen der Substratplatten 3 und 4 wird die Rändelmutter 7 gelockert. So läßt sich wegen entsprechender Ausnehmung im Gehäusedeckel 2 der gesamte Adapter drehen, zum Beispiel um 1800 und zur Prüfung der anliegenden Substratplatte 4 verwenden.
Für solche bekannte Verbindungselemente, die fest in den Gehäuseboden 1 eingepreßt sind, dient eine Anordnung nach Figur 2. Der Meßadapter wird hierbei beiderseits des Verbindungselements mittels Schrauben 12 auf der Grund:-platte befestigt. Der Mittelteil des Verbindungselements ist natürlich hierbei entnommen, so daß nur der fest eingepreßte Grundteil 18 dieses bekannten Verbindungselements bei der Messung verbleibt.
Die Figur 3 zeigt den Innenaufbau eines gesamten Meßadapters im einzelnen. Der Außenleiter 9 mit dem Befestigungsbolzen 8 nimmt die Isolierteile 13 und 14, den Innenleiter 16 und den Innenleiterstift 10 auf. Der untere Teil des lnnenleiters ist als radiale Buchse ausgeführt und gewährt einen sicheren Kontakt zu dem in Längsrichtung beweglichen Innenleiterstift 10. Die Feder 15 garantiert eine sichere Kontaktierung des Innenleiterstiftes zur Leiterbahn, auch bei unterschiedlichen Substratdicken von zum Beispiel 25 Mil. und 50 Mil. Der über Gewinde mit dem Außenleiter 9 verbundene Steckeranschluß 17 ist als koaxiale Flanschsteckverbindung 1,4/4,4 (50~fL) ausgebildet und wird mit entsprechenden Meßkabeln verbunden. Auf Figur 2 ist der Steckeranschluß 17 in SMA-Stecktechnik ausgeführt. Die Messungen des Reflexionsfaktors ergaben bei den beschriebenen Ausführungen des Meßadapters Werte von L 12% bis. zu Frequenzen von 10 GHz.
Der Meßadapter nach Figur 4 ist im Prinzip, das heißt, hinsichtlich der Innenleiterverbindung genauso gebaut wie der nach den bisherigen Figuren. Zusätzlich hat dieser jedoch Außenleiterkontaktierungsstifte 27 und 28 symmetrisch zum Innenleiterkontaktierungsstift 10. Es können so zum Beispiel symmetrisch ähnlich einer Koaxialleitung aufgebaute gedruckte Leitungen geprüft werden. Zusätzlich ist bei dieser Ausführung in einem Prüfdeckel 25 eine Buchse 24 mit Mutter 26 festgeschraubt. In der Buchse ist der eigentliche Adapter drehbar gelagert. Der eigentliche Adapter ist mittels einer Feder 22, die auf einen Rand 29 drückt, in einer Kappe 23 gehalten, die wiederum mit der Buchse 24 verbunden ist. Die Massekontakte 27 und 28 können gleichzeitig zur Masseüberwachung dienen.
4 Figuren 2 Patentansprüche Leerseite

Claims

Patentansprüche 1. Anordnung zur Pnifung einer flachen integrierten Schaltung, insbesondere für die Mikrowellentechnik, die sich auf einer dielektrischen Trägerplatte befindet und deren Anschlüsse zumindest teilweise als Leiterflächen im Randbezirk der Oberfläche der Trägerplatte ausgeführt sind und die in ein aus einem Rahmen bestehendes Gehäuse mit dort vorgesehenen flächigen Gegenkontakten eingesetzt ist, die Verbindung mit weiteren in das Gehäuse eingesetzten integrierten Schaltungen oder Leitungen nach außen durch in die Bodenplatte eingesetzte Kontaktelemente erfolgt, die mittels Federvorspannung die betreffende Verbindungsleitung auf die zugehörige Leiterbahn der integrierten Schaltung aufdrücken, d a d u r c h g e k e n n -z e i c h n e t , daß anstelle eines solchen Verbindungs- oder Anschlußelements (5) ein Meßadapter vorgesehen ist, bestehend aus einem in den Boden (1) der Trägerplatte eingesetzten Stift (8) mit Gewindefortsetzung, der mittels einer Rändelmutter (7) mit der Trägerplatte verschraubt ist und daß dieser Stift eine Fortsetzung (9, 6) nach oben hat, die durch die Deckplatte (2) hindurchführt und ferner im Bereich des dort vorgesehenen Durchbruchs ein federnder Stift (10) eingesetzt ist, der auf die betreffenden Leiterbahnen (11) der integrierten Schaltung (3) federnd aufgesetzt ist und als koaxialer Innenleiter ausgeführt ist, der am oberen Ende des Fortsatzes mit einer Anschlußbuchse versehen ist.
2. Anordnung nach Anspruch 1, d a d u r c h g e -k e n n z e i c h n e t , daß durch Drehung des Stiftes um 1800 bei einer Verbindung zwischen zwei integrierten Schaltungen die Leiterbahnen der anderen integrierten Schaltungen mit dem einen Leiterstift (10) kontaktiert werden.