DE102018111216B3 - Schaltungsanordnung zur Strommessung in einer Leistungshalbleitergruppe und Leistungshalbleiterbaugruppe hiermit - Google Patents

Schaltungsanordnung zur Strommessung in einer Leistungshalbleitergruppe und Leistungshalbleiterbaugruppe hiermit Download PDF

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Abstract

Es wird eine Schaltungsanordnung zur Strommessung in einer Leistungshalbleiterbaugruppe und eine Leistungshalbleiterbaugruppe hiermit vorgestellt. Die Schaltungsanordnung ist ausgebildet mit einer flexiblen Leiterplatte, mit einer Kontakteinrichtung und mit zwei Magnetfeldsensoren, wobei der erste Magnetfeldsensor auf einem ersten Sensorabschnitt der flexiblen Leiterplatte angeordnet ist, der dafür ausgebildet ist auf einer ersten Hauptfläche eines Lastanschlussleiters der Leistungshalbleiterbaugruppe angeordnet zu sein, wobei der zweite Magnetfeldsensor auf einem zweiten Sensorabschnitt der flexiblen Leiterplatte angeordnet ist, der dafür ausgebildet ist auf einer zweiten, der ersten gegenüberliegenden, Hauptfläche des Lastanschlussleiters der Leistungshalbleiterbaugruppe angeordnet zu sein und wobei zwischen dem ersten und zweiten Sensorabschnitt ein Verbindungsabschnitt der flexiblen Leiterplatte ausgebildet ist.

Description

  • Die Erfindung beschreibt eine Schaltungsanordnung zur Strommessung in einer Leistungshalbleiterbaugruppe, insbesondere zur Anwendung in teilweise oder vollständig elektrisch angetriebenen Fahrzeugen, sowie eine Leistungshalbleiterbaugruppe mit einer derartigen Schaltungsanordnung.
  • Gemäß dem allgemein bekannten Stand der Technik werden Stromsensoren in Leistungshalbleiterbaugruppen als Messspulen ausgeführt, die einen Lastanschlussleiter umschließen. Hierzu müssen diese Messspulen vor der Montage der Lastanschlussleiter im Rahmen der Herstellung der Leistungshalbleiterbaugruppe auf diese Lastanschlussleiter aufgesteckt werden.
  • Die DE 10 2017 130 509 A1 offenbart eine Vorrichtung, die Folgendes umfasst: einen elektrischen Leiter, und mehrere magnetoresistive Sensorelemente, wobei eine erste Teilmenge der mehreren magnetoresistiven Sensorelemente auf einer ersten Seite des elektrischen Leiters bereitgestellt ist und eine zweite Teilmenge der mehreren magnetoresistiven Sensorelemente auf einer zweiten Seite des elektrischen Leiters, die der ersten Seite gegenüberliegt, bereitgestellt ist.
  • In Kenntnis der genannten Gegebenheiten liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, eine Schaltungsanordnung zur Strommessung in einer Leistungshalbleiterbaugruppe und Leistungshalbleiterbaugruppe hiermit vorzustellen, wobei die Schaltungsanordnung einer einfachen Montage auf dem Lastanschlussleiter zugänglich ist, eine hohe Messgenauigkeit aufweist, wie auch kompakt ausgebildet ist.
  • Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß gelöst durch eine Schaltungsanordnung zur Strommessung mit den Merkmalen des Anspruchs 1, sowie durch eine Leistungshalbleiterbaugruppe mit den Merkmalen des Anspruchs 5. Bevorzugte Ausführungsformen sind in den jeweiligen abhängigen Ansprüchen beschrieben.
  • Die erfindungsgemäße Schaltungsanordnung zur Strommessung in einer Leistungshalbleiterbaugruppe ist ausgebildet mit einer flexiblen Leiterplatte, mit einer Kontakteinrichtung und mit zwei Magnetfeldsensoren, wobei der erste Magnetfeldsensor auf einem ersten Sensorabschnitt der flexiblen Leiterplatte angeordnet ist, der dafür ausgebildet ist auf einer ersten Hauptfläche eines Lastanschlussleiters der Leistungshalbleiterbaugruppe angeordnet zu sein, wobei der zweite Magnetfeldsensor auf einem zweiten Sensorabschnitt der flexiblen Leiterplatte angeordnet ist, der dafür ausgebildet ist auf einer zweiten, der ersten gegenüberliegenden, Hauptfläche des Lastanschlussleiters der Leistungshalbleiterbaugruppe angeordnet zu sein und wobei zwischen dem ersten und zweiten Sensorabschnitt ein Verbindungsabschnitt der flexiblen Leiterplatte ausgebildet ist.
  • Der Magnetfeldsensor kann beispielhaft ausgebildet sein als ein Hallsensor oder ein Magneto-Resistiver-Sensor.
  • Selbstverständlich sind hierbei die Magnetfeldsensoren mit Leiterbahnen der Leiterplatte schaltungsgerecht verbunden.
  • Vorzugsweise ist die Kontakteinrichtung als ein Teil einer Steckverbindungseinrichtung ausgebildet und mit der flexiblen Leiterplatte unmittelbar elektrisch leitend verbunden oder sie ist als Teil der flexiblen Leiterplatte selbst ausgebildet.
  • Es ist bevorzugt, wenn der erste Sensorabschnitt der flexiblen Leiterplatte eine erste Positioniereinrichtung zur Lagefixierung auf dem Lastanschlussleiter aufweist. Es ist alternativ, aber bevorzugt gleichzeitig vorteilhaft, wenn der zweite Sensorabschnitt der flexiblen Leiterplatte eine zweite Positioniereinrichtung zur Lagefixierung auf dem Lastanschlussleiter aufweist.
  • Die erfindungsgemäße Leistungshalbleiterbaugruppe ist ausgebildet mit einer leistungselektronischen Schalteinrichtung, mit einem Lastanschlussleiter und mit einer vorgenannten Schaltungsanordnung zur Strommessung, wobei der erste Sensorabschnitt auf der ersten Hauptfläche des Lastanschlussleiters angeordnet ist, wobei der zweite Sensorabschnitt auf der zweiten, der ersten gegenüberliegenden, Hauptfläche des Lastanschlussleiters angeordnet ist, wobei die Sensorabschnitte der Schaltungsanordnung auf dem Lastanschlussleiter mechanisch fixiert sind und wobei der Verbindungsabschnitt der flexiblen Leiterplatte um eine zwischen der ersten und zweiten Hauptfläche angeordnete Nebenfläche des Lastanschlussleiter herumreicht und den ersten mit dem zweiten Sensorabschnitt verbindet.
  • Unter dem Begriff „angeordnet auf der Hauptfläche“ soll ein unmittelbares wie auch ein mittelbares anordnen verstanden werden. Unmittelbar bedeutet ein Anordnen ohne Zwischenschicht oder Zwischenkörper. Mittelbar bedeutet, dass hier eine Zwischenschicht, beispielhaft in Form eines Klebers, oder auch ein Zwischenkörper, insbesondere ein Kunststoffkörper, oder auch beides zusätzlich angeordnet sein kann.
  • Es ist vorteilhaft, wenn die Sensorabschnitte der Schaltungsanordnung auf dem Lastanschlussleiter mittels einer Klemmeinrichtung mechanisch fixiert sind. Diese Klemmeinrichtung kann ausgebildet sein mit zwei bügelartigen Abschnitten, mit zwei diese bügelartigen Abschnitte verbindenden Federabschnitten und mit einer Rasteinrichtung.
  • Besonders vorteilhaft ist es, wenn ein stiftartiger Abschnitt der Rasteinrichtung gleichzeitig die dritte Positioniereinrichtung ausbildet.
  • Weiterhin bevorzugt ist es, wenn die Klemmeinrichtung zwei Druckelemente aufweist, die jeweils auf ein Gehäuse des ersten und zweiten Magnetfeldsensors drücken.
  • Weiterhin ist es vorteilhaft, wenn die Klemmeinrichtung eine dritte Positioniereinrichtung aufweist, die in eine zugeordnete erste und/oder zweite Positioniereinrichtung der flexiblen Leiterplatte eingreift. Diese erste und zweit Positioniereinrichtung kann jeweils als Ausnehmung und die dritte Positioniereinrichtung als Stift ausgebildet sein, der durch die zueinander fluchtende erste und zweite Positioniereinrichtung hindurchragt.
  • Es versteht sich, dass die verschiedenen, sich nicht per se ausschließende, Ausgestaltungen der Erfindung, unabhängig davon ob sie in Zusammenhang mit der Schaltungsanordnung oder mit der Leistungshalbleiterbaugruppe genannt sind, einzeln oder in beliebigen Kombinationen realisiert sein können, um Verbesserungen zu erreichen. Insbesondere sind die vorstehend und im Folgenden genannten und erläuterten Merkmale nicht nur in den angegebenen Kombinationen, sondern auch in anderen Kombinationen oder in Alleinstellung einsetzbar, ohne den Rahmen der vorliegenden Erfindung zu verlassen.
  • Weitere Erläuterungen der Erfindung, vorteilhafte Einzelheiten und Merkmale, ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung der in den 1 bis 7 schematisch dargestellten Ausführungsbeispiele der Erfindung, oder von jeweiligen Teilen hiervon.
    • 1 zeigt eine erfindungsgemäße Schaltungsanordnung.
    • 2 und 3 zeigen Details unterschiedlicher Ansichten einer ersten erfindungsgemäßen Ausgestaltung einer Leistungshalbleiterbaugruppe.
    • 4 und 5 zeigen ein Detail einer zweiten erfindungsgemäßen Ausgestaltung einer Leistungshalbleiterbaugruppe.
    • 6 und 7 zeigen weitere Details einer zweiten erfindungsgemäßen Ausgestaltung einer Leistungshalbleiterbaugruppe.
  • 1 zeigt eine erfindungsgemäße Schaltungsanordnung 1. Dargestellt ist hier eine flexible Leiterplatte 2 mit einer Mehrzahl von Leiterbahnen 200 auf einer ihrer Hauptseiten. An einen Zuleitungsabschnitt 20 dieser flexiblen Leiterplatte 2 schließt sich ein erster Sensorabschnitt 24 an, auf dem ein erster Magnetfeldsensor 4 angeordnet und mit zugeordneten Leiterbahnen der flexiblen Leiterplatte 2 schaltungsgerecht elektrisch leitend verbunden ist.
  • An diesen ersten Sensorabschnitt 24 der flexiblen Leiterplatte 2 schließt sich ein Verbindungsabschnitt 22 an, an den sich ein zweiter Sensorabschnitt 26 der flexiblen Leiterplatte 2 anschießt. Auf diesem zweiten Sensorabschnitt 26 ist der zweite Magnetfeldsensor 6 angeordnet und mit zugeordneten Leiterbahnen der flexiblen Leiterplatte 2 schaltungsgerecht elektrisch leitend verbunden,
  • Erfindungsgemäß ist der Verbindungsabschnitt 22 dafür vorgesehen und ausgebildet, dass die beiden Sensorabschnitte 24, 26, gewissermaßen Rücken an Rücken, aber voneinander beabstandet angeordnet werden können. Eben dies ist hier dargestellt.
  • Durch die beschriebene Ausgestaltung der flexiblen Leiterplatte 2 kann die Schaltungsanordnung 1 zu einem Lastanschlussleiter 7 angeordnet werden auch wenn dieser bereits in eine Leistungshalbleiterbaugruppe eingebaut ist.
  • 2 und 3 zeigen Details unterschiedlicher Ansichten einer ersten erfindungsgemäßen Ausgestaltung einer Leistungshalbleiterbaugruppe, insbesondere eines gehausten Leistungshalbleitermoduls. Dargestellt ist hier jeweils eine Schaltungsanordnung 1, gemäß 1, angeordnet zu einem Lastanschlussleiter 7.
  • Der erste Sensorabschnitt 24 der flexiblen Leiterplatte 2 liegt hier auf einem Abschnitt der ersten Hauptfläche 74 des Lastanschlussleiters 7. Der zweite Sensorabschnitt 26 der flexiblen Leiterplatte 2 liegt hier auf einem Abschnitt der zweiten Hauptfläche 76 des Lastanschlussleiters 7. Die beiden Magnetfeldsensoren 4, 6 liegen somit einander, im Rahmen der Toleranzen des Aufbaus, gegenüber. Durch diese Anordnung der beiden Magnetfeldsensoren 4, 6 können Fehlmessungen des durch den Lastanschlussleiter 7 fließenden Stroms einfach und wirkungsvoll kompensiert werden.
  • Der Verbindungsabschnitt 22 der flexiblen Leiterplatte 7 verbindet den ersten mit dem zweiten Sensorabschnitt 24, 26 derart, dass er einen Abschnitt von genau einer der beiden Nebenflächen 72 des Lastanschlussleiters 7 überdeckt, hier aber nicht an diesem anliegt.
  • 2 zeigt weiterhin eine Kontakteinrichtung 3 der Schaltungsanordnung 1, die hier als Stecker und somit als Teil einer Steckverbindungseinrichtung ausgebildet ist. Dieser Stecker ist im Zuleitungsabschnitt 20 der flexiblen Leiterplatte 2 angeordnet. Grundsätzlich sind hier alle, insbesondere alle fachüblichen, Varianten von Kontakteinrichtungen möglich. Derartige Steckverbindungseinrichtungen verbinden die Magnetfeldsensoren mit einer übergeordneten Steuereinrichtung zur Be- und Auswertung der Sensorsignale sowie zur Ansteuerung der Leistungshalbleiterbaugruppe.
  • 3 zeigt weiterhin zweite Positioniereinrichtungen 286 der Schaltungsanordnung 1. Diese sind ausgebildet als runde, durchgehende Ausnehmungen der flexiblen Leiterplatte 2 im Bereich des zweiten Sensorabschnitts 26. Die ersten Positioniereinrichtungen 284 der Schaltungsanordnung 1, die ebenfalls als runde, durchgehende Ausnehmungen der flexiblen Leiterplatte 2 im Bereich des ersten Sensorabschnitts 24 ausgebildet sind, sind hier jeweils fluchtend mit zugeordneten zweiten Positioniereinrichtungen 286 angeordnet, vgl. 7.
  • 4 und 5 zeigen ein Detail, nämlich eine Klemmeinrichtung 8, einer zweiten erfindungsgemäßen Ausgestaltung einer Leistungshalbleiterbaugruppe. 4 zeigt hierbei die Klemmeinrichtung in einem geöffneten Zustand, während 5 diese in geschlossenem, also verriegeltem, Zustand zeigt.
  • Die Klemmeinrichtung 8 weist einen ersten bügelartigen, u-förmigen, Abschnitt 84 auf, der mit einem zweiten bügelartigen, u-förmigen, Abschnitt 86 mittels zweier Federabschnitte 82 verbunden ist. Weiterhin weist die Klemmeinrichtung 8 eine Rasteinrichtung 88 auf, die ausgebildet ist als zwei auf dem zweiten bügelartigen Abschnitt 86 angeordneten Schnapphacken mit jeweils einem stiftartigen Abschnitt 880 und zwei dem jeweiligen Schnapphacken zugeordneten Widerlagern 882, die jeweils Teil des ersten bügelartigen Abschnitts 84 sind.
  • Die stiftartigen Abschnitte 880 der Schnapphacken wirken gleichzeitig, vgl. 6 und 7 als dritte Positioniereinrichtung.
  • Weiterhin weist die Klemmeinrichtung 8 von einem Mittelabschnitt des jeweiligen bügelartigen Abschnitts 84, 86 wegstehende Druckelement 840, 860 auf, die dafür vorgesehen sind auf jeweils zugeordnete Magnetfeldsensoren zu drücken und somit deren Position zum Lastanschlussleiter 7 zu fixieren, vgl. 6 und 7.
  • 6 und 7 zeigen weitere Details einer zweiten erfindungsgemäßen Ausgestaltung einer Leistungshalbleiterbaugruppe. Eine derartige Leistungshalbleiterbaugruppe mit einer leistungselektronischen Schalteinrichtung, kann insbesondere als ein Leistungshalbleitermodul mit einer Mehrzahl von auf einem Substrat schaltungsgerecht angeordneten und elektrisch leitend verbunden Leistungshalbleiterbauelement, mit nach außen führenden Anschlusselementen, insbesondere Lastanschlussleitern, und mit einem Gehäuse ausgebildet sein.
  • Von der Leistungshalbleiterbaugruppe ist hier nur ein Lastanschlussleiter 7 und dieser nur teilweise dargestellt. Der Lastanschlussleiter 7 weist eine erste und einer der ersten gegenüberliegende zweite Hauptfläche 74, 76 auf. Diese beiden Hauptflächen 74, 76 sind über jeweils eine Nebenfläche 72 verbunden. Der Lastanschlussleiter 7 weist hier zusätzlich eine einseitige, also von einer Nebenfläche ausgehende Einschnürung 700 auf, damit die Schaltungsanordnung 1 samt einer Klemmeinrichtung 8 dafür einen möglichst geringen Bauraum innerhalb der Leistungshalbleiterbaugruppe beansprucht.
  • Der erste Magnetfeldsensor 4 ist hier, wie bereits unter 1 beschrieben, auf einem ersten Sensorabschnitt 24 der flexiblen Leiterplatte 2 der Schaltungsanordnung 1 angeordnet. Dieser erste Sensorabschnitt 24 ist seinerseits auf einem Abschnitt der ersten Hauptfläche 74 des Lastanschlussleiters 7 angeordnet.
  • Der zweite Magnetfeldsensor 6 ist hier, wie bereits unter 1 beschrieben, auf einem zweiten Sensorabschnitt 26 der flexiblen Leiterplatte 2 der Schaltungsanordnung 1 angeordnet. Dieser zweite Sensorabschnitt 26 ist seinerseits auf einem Abschnitt der zweiten Hauptfläche 76 des Lastanschlussleiters 7 angeordnet.
  • Der erste Sensorabschnitt 24 ist mit dem zweiten Sensorabschnitt 26 mittels eines Verbindungsabschnitts 22 der flexiblen Leiterplatte 2 verbunden, wobei diese in der Einschnürung 700 des Lastanschlussleiters 7 angeordnet ist und hierbei eine Nebenfläche 72 des Lastanschlussleiters 7 umspannt.
  • Zur Fixierung der Positionen der Magnetfeldsensoren 4, 6 weisen die jeweils zugeordneten Sensorabschnitte 24, 26 der flexiblen Leiterbahn 2 Positioniereinrichtungen 284, 286 auf. Die erste Positioniereinrichtung 284, diejenige des ersten Sensorabschnitts 24 ist ausgebildet als runde Ausnehmung und fluchtend angeordnet zur zweiten Positioniereinrichtung 286, derjenigen des zweiten Sensorabschnitts 26, die ebenfalls als runde Ausnehmung ausgebildet ist. Die erste und zweite Positioniereinrichtung 284, 286 sind im Bereich der Nebenfläche des Lastanschlussleiters 7 angeordnet, die der Nebenfläche 72 gegenüberliegt an der der Verbindungsabschnitt 22 der flexiblen Leiterplatte 2 angeordnet ist.
  • Eine, wie unter 4 und 5 beschriebe, Klemmeinrichtung 8 fixiert die Magnetfeldsensoren 4, 6 in ihrer Position, indem die bügelartigen Abschnitte 84, 86 auf zugeordneten Sensorabschnitten 24, 26 der flexiblen Leiterplatte 2 aufliegen und die Federabschnitte 82 den Verbindungsabschnitt 22 umfassen.
  • Weiterhin ragen die stiftartigen Abschnitte 880 der Rasteinrichtung 88 durch die zugeordnete erste und zweite Positioniereinrichtungen 284, 286 der Sensorabschnitte 24, 26 hindurch. Somit bilden die stiftartigen Abschnitte 284, 286 der Rasteinrichtung 8 gleichzeitig die dritte Positioniereinrichtung aus.
  • Der stiftartige Abschnitt 880 der Rasteinrichtung 8 bildet somit einen Teil eines Schnapphackens aus, der in ein Widerlager 882, hier einem Teil des ersten bügelartigen Abschnitts 84 der Klemmeinrichtung 8, eingreift.
  • Weiterhin weist die Klemmeinrichtung 8 unter 4 und 5 beschriebene Druckelemente 840, 860 auf, die in angeordnetem und geschlossenen Zustand der Klemmeinrichtung 8 auf die Gehäuse der Magnetfeldsensoren 4, 6 drücken und somit ebenfalls der mechanischen Fixierung der Sensorabschnitte 24, 26 dienen.

Claims (10)

  1. Schaltungsanordnung (1), zur Strommessung in einer Leistungshalbleiterbaugruppe, mit einer flexiblen Leiterplatte (2), mit einer Kontakteinrichtung (3) und mit zwei Magnetfeldsensoren (4, 6), wobei der erste Magnetfeldsensor (4) auf einem ersten Sensorabschnitt (24) der flexiblen Leiterplatte (2) angeordnet ist, der dafür ausgebildet ist auf einer ersten Hauptfläche (74) eines Lastanschlussleiters (7) der Leistungshalbleiterbaugruppe angeordnet zu sein, wobei der zweite Magnetfeldsensor (6) auf einem zweiten Sensorabschnitt (26) der flexiblen Leiterplatte (2) angeordnet ist, der dafür ausgebildet ist auf einer zweiten, der ersten gegenüberliegenden, Hauptfläche (76) des Lastanschlussleiters (7) der Leistungshalbleiterbaugruppe angeordnet zu sein und wobei zwischen dem ersten und zweiten Sensorabschnitt (24, 26) ein Verbindungsabschnitt (22) der flexiblen Leiterplatte (2) ausgebildet ist und wobei der erste Sensorabschnitt (24) der flexiblen Leiterplatte (2) eine erste Positioniereinrichtung (284) zur Lagefixierung auf dem Lastanschlussleiter (7) aufweist.
  2. Schaltungsanordnung nach Anspruch 1, wobei die Kontakteinrichtung (3) als ein Teil einer Steckverbindungseinrichtung ausgebildet und mit der flexiblen Leiterplatte (2) unmittelbar elektrisch leitend verbunden ist oder als Teil der flexiblen Leiterplatte (2) selbst ausgebildet ist.
  3. Schaltungsanordnung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der zweite Sensorabschnitt (26) der flexiblen Leiterplatte (2) eine zweite Positioniereinrichtung (286) zur Lagefixierung auf dem Lastanschlussleiter (7) aufweist.
  4. Leistungshalbleiterbaugruppe mit einer leistungselektronischen Schalteinrichtung, mit einem Lastanschlussleiter (7) und mit einer Schaltungsanordnung (1) zur Strommessung gemäß einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der erste Sensorabschnitt (24) auf der ersten Hauptfläche (74) des Lastanschlussleiters (7) angeordnet ist, wobei der zweite Sensorabschnitt (76) auf der zweiten, der ersten gegenüberliegenden, Hauptfläche (76) des Lastanschlussleiters (7) angeordnet ist, wobei die Sensorabschnitte (24, 26) der Schaltungsanordnung (1) auf dem Lastanschlussleiter (7) mechanisch fixiert sind und wobei der Verbindungsabschnitt (22) der flexiblen Leiterplatte (2) um eine zwischen der ersten und zweiten Hauptfläche (74, 76) angeordnete Nebenfläche (72) des Lastanschlussleiter (7) herumreicht und den ersten mit dem zweiten Sensorabschnitt (24, 26) verbindet.
  5. Leistungshalbleiterbaugruppe nach Anspruch 4, wobei die Sensorabschnitte (24, 26) der Schaltungsanordnung (1) auf dem Lastanschlussleiter (7) mittels einer Klemmeinrichtung (8) mechanisch fixiert sind.
  6. Leistungshalbleiterbaugruppe nach Anspruch 5, wobei die Klemmeinrichtung (8) ausgebildet ist mit zwei bügelartigen Abschnitten (84, 86), mit zwei, diese verbindenden, Federabschnitten (82) und mit einer Rasteinrichtung (88).
  7. Leistungshalbleiterbaugruppe nach Anspruch 5 oder 6, wobei die Klemmeinrichtung (8) eine dritte Positioniereinrichtung (880) aufweist, die in eine zugeordnete erste und/oder zweite Positioniereinrichtung (284, 286) der flexiblen Leiterplatte (2) eingreift.
  8. Leistungshalbleiterbaugruppe nach Anspruch 7, wobei die erste und zweit Positioniereinrichtung (284, 286) jeweils als Ausnehmung und die dritte Positioniereinrichtung (880) als Stift ausgebildet ist, der durch die zueinander fluchtende erste und zweite Positioniereinrichtung (284, 286) hindurchragt.
  9. Leistungshalbleiterbaugruppe nach einem der Ansprüche 7 oder 7, wobei ein stiftartiger Abschnitt der Rasteinrichtung (8) die dritte Positioniereinrichtung (284, 286) ausbildet.
  10. Leistungshalbleiterbaugruppe nach einem der Ansprüche 5 bis 9, wobei die Klemmeinrichtung (8) zwei Druckelemente (840, 860) aufweist, die jeweils auf ein Gehäuse des ersten und zweiten Magnetfeldsensors (4, 6) drücken.
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