DE3024751A1 - Traegerhorde aus quarzglas - Google Patents

Description

Hanau, den 27. Juni 1980 ZPL-Dr.Hn/W

Heraeus Quarzschmelze GmbH, Hanau

Patent- und Gebrauchsmusterhilfsanmeldung

"Trägerhorde aus Quarzglas"

Die Erfindung bezieht sich auf eine Trägerhorde aus Quarzglas, die zur Aufnahme von scheibenförmigen Halbleitersubstraten im Boden schlitzförmige Einschnitte und im oberen Hordenbereich Schlitze aufweist und deren Endbereiche schlitz- und einschnittfrei sind.

Trägerhorden der vorstehend charakterisierten Art sind handelsüblich. Sie bestehen aus einem im Querschnitt rechteckförmigen Quarzglasrohr, das außer den zum Rohrinnern offenen schlitzförmigen Einschnitten in seinem Boden noch Schlitze im oberen Rohrbereich aufweist (Prospekt Heraeus Quarzschmelze Q-B 3/112 3 C 7411 Ku "Quarzglas für die Halbleitertechnik"). In den ungeschlitzten Endbereichen dieses Quarzglasrohres befinden sich durch das Rohr von oben nach unten hindurchgehende koaxiale Bohrungen, die zum Verschieben dieser mit Halbleiterscheiben beschickten rohrförmigen Horden in den Diffusionsrohren dienen. Die symmetrische Dreipunkt-

Stützung der Halbleitersubstrate hat sich sehr bewährt. Allerdings ist die Herstellung solcher Trägerhorden relativ arb e it s aufwendig.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Trägerhorde aus Quarzglas zu schaffen, die die bewährte Dreipunkt-Stützung der Halbleitersubstrate beibehält, jedoch in materialsparender und einen geringen Arbeitsaufwand erfordernder Weise herstellbar ist sowie leicht und sicher zu handhaben und zu transportieren ist und die Umladung der Halbleitersubstrate aus standardisierten Magazinen wesentlich erleichtert.

Gelöst wird diese Aufgabe für eine Trägerhorde der eingangs charakterisierten Art erfindungsgemäß dadurch, daß sie wannenartig, nach oben und nach den beiden Enden hin offen ausgebildet ist, in den schlitzfreien Endbereichen der Seitenwände vertikal ausgerichtete Justierungsausnehmungen aufweist und die übrigen Teile der Seitenwände am oberen Rand mit Schlitzen versehen sind.

Weitere vorteilhafte erfindungswesentliche Merkmale der Trägerhorde ergeben sich aus den Unteransprüchen.

In der Figur ist ein Ausführungsbeispiel einer erfindungsgemäßen Trägerhode in Ansicht dargestellt.

Die Trägerhorde besteht aus einem einstückigen v/annenartigen Quarzglaskörper, der einen Boden 1 und Seitenwände 2 aufweist. Am oberen Rand sind die Seitenwände mit Schlitzen 3 versehen. Der untere Seitenwandbereich 4 ist zum Boden 1 hin eingezogen. Im Boden 1 sind zum Wanneninneren offene, schlitzförmige Einschnitte 5 angebracht, deren tiefste Stelle etwa die Hälfte der Dicke des Bodens erreicht. Die Schlitze 3 sind durchgehend

ausgebildet, d. h. sie durchsetzen die gesamte Seitenwandstärke, und erstrecken sich vom oberen Rand her in die Seitenwand bis höchstens ei-wa 1/4 der Höhe zwischen oberem Seitenwandrand und Boden 1. In den schlitz- und einschnittfreien Endbereichen sind in den Seitenwänden vertikal ausgerichtete Justierungsausnehmungen 6 vorgesehen, die zur Justierung der Trägerhorde beim Beladen mit Halbleiterscheiben aus Standardmagazinen dienen. Außerdem sind in Nähe der offenen Trägerhordenenden noch Bohrungen 7 vorgesehen, in die beispielsweise die Zinken eines gabelförmigen Werkzeugs 8 zum Transportieren und Hantieren der Trägerhorde eingeschoben werden. In den beiden Endbereichen des Bodens 1 ist jeweils eine Aussparung 9 vorgesehen, die sich quer zur Längsachse des Hordenbodens erstreckt und für die Anordnung der Trägerhorden auf mit Rollen versehenen Transportvorrichtungen vorgesehen ist, mit denen die beladene Trägerhorde in das Diffusionsrohr zur Behandlung der Halbleitersubstrate befördert wird.

Wie sich aus der Figur ersehen läßt, ist die erfindungsgemäße Trägerhorde leicht zu fertigen. In eine Quarzglashalbschale, die gegebenenfalls wannenartig verformt ist, werden die Schlitze 3 am oberen Rand der Seitenwände eingeschnitten und die schlitzförmigen Einschnitte 5 in den Boden 1 eingebracht. Außerdem werden die Justierausnehmungen 6 eingefräßt und die Bohrungen 7 sowie die Aussparungen 9 angebracht. Der Arbeitsaufwand hierfür ist sehr gering. Außerdem zeigt die Figur, daß bei den erfindungsgemäßen Trägerhorden soweit als möglich Quarzglas eingespart wurde, ohne daß die Stützung der Halbleitersubstrate in den Trägerhorden verschlechtert ist, und daß durch einfache Mittel, wie die Justierausnehmungen und die Bohrungen, die Handhabung der Trägerhorden wesentlich vereinfacht wird.

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Claims (4)

Hanau, den 27. Juni 1980 ZPL-Dr.Hn/W Heraeus Quarzschmelze GmbH, Hanau Patent- und Gebrauchsmusterhilfsanmeldung "Trägerhorde aus Quarzglas" Patentansprüche

1. Trägerhorde aus Quarzglas, die zur Aufnahme von scheibenförmigen Halbleitersubstraten im Boden schlitzförmige Einschnitte und im oberen Hordenbereich Schlitze aufweist und deren Endbereiche schlitz- und einschnittfrei sind, dadurch gekennzeichnet, daß sie wannenartig, nach oben und nach den beiden Enden hin offen ausgebildet ist, in den schlitzfreien Endbereichen der Seitenwände (2) vertikal ausgerichtete Justierausnehmungen (6) aufweist und die übrigen Teile der Seitenwände am oberen Rand mit Schlitzen (3) versehen sind.

2. Trägerhorde nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der untere Seitenwandbereich (4) zum Boden (1) hin eingezogen ist.

3. Trägerhorde nach den Ansprüchen 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß jeder Endbereich im Boden (1) eine Aussparung (9) aufweist, die sich quer zur Längsachse des Bodens erstreckt.

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ORIQINAU INSPECTED

4. Trägerhorde nach den Ansprüchen 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß in ihren Endbereichen Bohrungen (7) angebracht sind.