DE3020138A1 - Feuchtigkeitsanzeigeelement - Google Patents
FeuchtigkeitsanzeigeelementInfo
- Publication number
- DE3020138A1 DE3020138A1 DE19803020138 DE3020138A DE3020138A1 DE 3020138 A1 DE3020138 A1 DE 3020138A1 DE 19803020138 DE19803020138 DE 19803020138 DE 3020138 A DE3020138 A DE 3020138A DE 3020138 A1 DE3020138 A1 DE 3020138A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- electrodes
- sintered part
- humidity
- hoffmann
- ing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 7
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 5
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 3
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 claims description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 5
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 230000001850 reproductive effect Effects 0.000 description 1
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005476 soldering Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
- G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
- G01N27/12—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid
- G01N27/121—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid for determining moisture content, e.g. humidity, of the fluid
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/01—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics
- C04B35/46—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on oxide ceramics based on titanium oxides or titanates
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01C—RESISTORS
- H01C7/00—Non-adjustable resistors formed as one or more layers or coatings; Non-adjustable resistors made from powdered conducting material or powdered semi-conducting material with or without insulating material
- H01C7/04—Non-adjustable resistors formed as one or more layers or coatings; Non-adjustable resistors made from powdered conducting material or powdered semi-conducting material with or without insulating material having negative temperature coefficient
- H01C7/042—Non-adjustable resistors formed as one or more layers or coatings; Non-adjustable resistors made from powdered conducting material or powdered semi-conducting material with or without insulating material having negative temperature coefficient mainly consisting of inorganic non-metallic substances
- H01C7/043—Oxides or oxidic compounds
- H01C7/047—Vanadium oxides or oxidic compounds, e.g. VOx
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
- Non-Adjustable Resistors (AREA)
Description
HOFFMANN · JSITJLIS & PARTNER 3020138
PAT E N TAN WALT E
DR. ING. E. HOFFMANN (1930-1976) · DIPL.-I NG. W.EITtE · D R. RER. NAT. K. HOFFMANN · DIPL.-ING. W. LEH N
DIPL.-ING. K. FOCHSLE · DR. RER. NAT. B. HANSEN
ARABELLASTRASEE 4 (STERNHAUS) · D-8000 MÖNCH EN 81 . TELEFON (089) 911087 . TELEX 05-29419 (PATH E)
- 2 - 33 506 o/fg
Chichxku Cement Co., Ltd., Tokyo / Japan
Feuchtigkeitsanzeigeelement
Die Erfindung betrifft ein Feuchtigkeitsanzeigeelement zum
Nachweis von Feuchtigkeit durch Veränderung des elektrischen Widerstandes.
Gewisse Metalloxid-Halbleiter haben gute Wasserabsorptionseigenschaften
und es ist bekannt, dass Wassermoleküle in Meta11-oxid-Semihalbleiter
absorbiert und von diesen wieder entfernt werden, wobei sich der Widersfcandswert des Metalloxid-Halbleiters
verändert.
Diese Eigenschaften kann man zur Herstellung eines Feuchtigkeitsanzeigelementes
anwenden. Übliche Feuchtigkeitsanzeigeelemente haben jedoch den Nachteil, dass sie eine schlechte Reproduktivität
haben, dass die Ansprechbarkeit sich im Laufe der Zeit sehr verändert, dass die Ansprechgeschwindigkeit niedrig ist, und dass
der spezifische Widerstand für einen genauen Nachweis nicht ausreicht.
030051/0893
Aufgabe der Erfindung ist es, ein Feuchtigkeitsanzeigeelement
zu zeigen, bei dem sich in der Feuchtigkeit der Widerstand erheblich ändert, das eine gute Reproduktivität zeigt, das
im Laufe der' Zeit keine Veränderung der Widerstandswerte zeigt, das sehr stabil ist und schnell anspricht.
Verbunden mit dieser Aufgabe ist es, ein Feuchtigkeitsanzeigeelement
zu zeigen, das sehr haltbar ist und das mit ausserordentlich niedrigen Kosten hergestellt werden kann.
Fig. 1 zeigt eine Querschnittsfläche gemäss einer Ausführungsform der Erfindung.
Fig. 2 zeigt die Beziehung zwischen relativer Feuchtigkeit
und dem Widerstandswert des erfindungsgemässen Feuchtigkeitsanzeigeelements.-
Fig. 3 zeigt die Veränderung im Laufe der Zeit beim erfindungsgemässen
Feuchtigkeitsanzeigelement.
Fig. 4 zeigt die Ansprechgeschwindigkeit des erfindungsgemässen
Feuchtigkeitsanzeigeelements , und
Fig. 5 .zeigt eine weitere Ausführungsform gemäss der
Erfindung.
Fig. 1 zeigt eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung, die wie folgt hergestellt wird:
Zunächst werden 0,1 bis 10 Mol-% V3O5 zu TiO2 als Hauptmateriai
gegeben, das vollständig vermählen und vermischt wird,und anschliessend
wird das Gemisch vorgesintert, vorzugsweise bei einer Temperatur von 600 bis 8000C, und dann pressverformt unter
einem Druck von 500 kg/cm2, und das so verformte Material wird
Q-3.005 1/069 3
schliesslich bei einer Temperatur von 900 bis 13000C während
5 h unter Bildung einer gesinterten Scheibe mit einer Dicke von 4 mm und einem Durchmesser von 10 mm gesintert.
Anschliessend wird auf gegenüberliegende Oberflächen der gesin- · terten Scheibe 1 Silberpaste aufgebacken unter Bildung, eines
Elektrodenpaares 2 und 3, an welche Leitungsdrähte 4 und 5 durch ein Lot 6 angebracht sind.
Es ist wesentlich, das Verhältnis in-der Zusammensetzung zwischen
TiO„ und V3O1- so zu wählen, dass die gesinterte Scheibe 1 weniger
als. 10 Mol-% V3O5 enthält.
Der Grund hierfür ist darin zu sehen, dass bei einem Anteil an V2^5 oberhalb 10 Mol-% der Widerstandswert des Elementes ganz
ähnlich dem Wert wird, den man erzielt, wenn kein V^O1- zugegeben
wird, und das ist natürlich nicht sinnvoll. Indem man den Anteil
an V9O auf einen Wert von weniger als 10 Mol-% auswählt, wird
£ 5
der Widerstandswert auf einen praktischen Bereich erniedrigt.
Das Verhältnis von TiO- und V3O5 in den angewendeten Proben
wird in Tabelle 1 gezeigt.
Zusammensetzung (Mol-%)
Zusammensetzung
Probe Ti02 V2°5
Probe Ti02 V2°5
1 2 3 4
100,0 | 0 | ,0 |
98,0 | 2 | ,0 |
96,0 | 4 | ,0 |
94,0 | 6 | ,0 |
85,0 | 15 | ,0 |
030051/0693
Bex Feuchtigketoanzeigeekmenten, bei denen die gesinterte
Scheibe 1 aus einer Zusammensetzung gemäss der obigen Zusammensetzung bestellt, mit Elektroden 2 und 3 und Drähten 4 und 5
wird die Beziehung zwischen der relativen Feuchtigkeit und dem Widerstand gemessen. Die Ergebnisse werden in Fig. 2
gezeigt. Dabei entsprechen die Bezifferungen der Proben in Fig". 2 denen der in Tabelle 1 verwendeten. Aus Fig. 2 geht hervor,
dass bei einer Veränderung der relativen Feuchtigkeit zwischen 0 und 100 % der Widerstandswert bei den Proben 2, 3 und 4 linear
zwischen 2 χ 10 _/2 bis 2 χ 10 Jl. variiert. Da die Proben 1 und 5
ausserhalb des angegebenen Bereiches liegen, haben sie einen
hohen Widerstand und eine Messung im Bereich niedriger Feuchtigkeit
ist schwierig und unpraktisch. Dabei ist aber festzustellen,
dass keine Hysterese vorliegt, was für die stabilen Eigenschaften spricht. - ,
Probe Nr. 2 wird so wie sie ist bei einer relativen Feuchtigkeit
von 90 % bei.. 2.50C 100 h gelagert, um die Veränderung des Widerstandes
im Verlauf der Zeit zu messen. Die Ergebnisse sind in Fig. 3 gezeigt. Fig. 3 zeigt, dass im Laufe der Zeit keine Veränderung
des Widerstandes eintritt, und dass man somit sehr stabile Eigenschaften hat.
Die Anspredigeschwindigkeit (Widerstandszahl - Zeit) bei der Probe
Nr. 2 wurde, bei relativen Feuchten zwischen 50 und 90 % gemessen.
Die Ergebnisse werden in Fig. 4 gezeigt. Daraus wird ersichtbar, dass es mehrere Sekunden dauert, bis man das Gleichgewicht erhält,
was schnell genug ist für praktische Zwecke. Insbesondere
ist das Ansprechen bei einer Veränderung von hoher zu niedriger Feuchtigkeit für übliche Verwendungszwecke ausreichend.
0300S1/069
Das erfindungsgemässe Feuchtigkeitsanzeigeelement hat, wie bereits
erwähnt, die Eigenschaft, dass sich der Widerstand mit Veränderung der Feuchtigkeit erheblich ändert, dass die Reproduzierbarkeit
dieser Änderung gut ist, dass im Laufe der Zeit keine Veränderung des Widerstandes eintritt, dass die Vorrichtung
sehr stabil ist und die Ansprechgeschwindigkeit sehr schnell. Da das Feuchtigkeitsanzeigeelement auch gesintert ist,
ist es sehr haltbar und kann mit sehr niedrigen Kosten hergestellt
werden. Pur die Messungen wurde Gleichstrom verwendet, jedoch ist es ebenso möglich, mit gleicher Wirkung eine Wechselstromquelle
zu verwenden.
Das erfindungsgemässe'Feuchtigkeitsanzeigeelement hat die vorerwähnten
guten Eigenschaften, die von denen des Standes der Technik nicht erreicht werden, und ist deshalb für viele praktische
Zwecke anwendbar und kann für Mess- und Überwachungszwecke eingesetzt werden.
Das erf indungsgemässe Feuchtigkeitsanzeigeelement ao.ll· bei Temperaturen unterhalb 4000C und vorzugsweise bei einer Temperatur
in der Nähe von Raumtemperatur angewendet werden. Wenn die Temperatur des Feuchtigkeitsanzeigeelementes 4000C übersteigt,
dann ist die Veränderung,mit der "der Widerstandswert auf die
Feuchtigkeit anspricht, sehr gering und deswegen für praktische Zwecke ungeeignet.
Fig. 5 zeigt eine weitere erfindungsgemässe- Ausführungsform.
Anstelle der Ausführungsform gemäss Fig. 1 mit-den Elektroden
2 und 3 besteht das Feuchtigkeitsanzeigeelement gemäss Fig. 5
aus einem gekörntem, gesintertem Teil 8 der Grosse 5 mm x. 3 mm χ
2 nun und darin eingebettet miteinander verbundenen Leitungsdrähten
9 und 10 einer Dicke von 0,05 mm, die 1 mm auseinander liegen und im zentralen Teil spiralförmige Elektrodenteile ei mit einem
Aussendurchmesser von 0,7 mm bilden. Die Anzahl der Windungen in dem Spiralelektrodenteil ει beträgt 20.
030051/1)693
In diesem Feuchtigkeitsanzeigeelement wird der Anteil an TiO-
und V-O1- so gewählt, wie dies, in der vorerwähnten Tabelle 1
angezeigt wird, und TiO- und V.O werden vollständig miteinander
vermählen und vermischt, und anschliessend 5 h bei 6000C vorgesintert,
und das so vorgesinterte Material wird in eine Form zusammen mit den Leitungsdrähten 9 und· 10 gegeben und bei einem·
Druck von TOO kg/cm2 pressverformt und dann bei einer Temperatur
von 900 bis 13000C während 5 h erwärmt und gesintert, wobei man
eine granuläres Sinterteil 8 erhält mit den spiralförmigen Elektrodenteilen
a. aus den Drähten 9 und 10, die darin eingebettet sind und ein Feuchtigkeitsanzeigeelement bilden.
Obwohl man ;„ spiralförmige Elektroden, die mit den Leitungsdrähten
verbunden sind, auch schon bei anderen Nachweiselementen verwendet hat, bieten diese Ausführungsformen doch eine Reihe
von Vorteilen, weil keine Verlötung für die Drähte erforderlich wird, und man die Vorrichtung deshalb mit niedrigen Kosten herstellen
kann, und weil ein Herausgleiten der Drähte verhindert wird.
030051/Ό693
Leerseite
Claims (1)
- HOFFMANN.· EXTIJS & PARTNERPATENTANWÄLTEDR. ING. E. HOFFMANN (1930-1976) . DI PL.-I N G. W. EITLE · DR. RER. NAT. K. HOFFMAN N · Dl PL.-1 NG. W. LEH NDIPL1-ING. K.FOCHSLE . DR. RER. NAT. B. HANSEN ARABELLASTRASSE 4 (STERN HAUS) · D-8000 MO N CH EN 81 · TELEFON (089) 911087 · TELEX 05-29619 (PATH E)33 506 o/fgChichibu Cement Co., Ltd., Tokyo / JapanFeuchtigkeitsanzeigeelementPatentansprüche\S 1 .J Feuchtigkeitsanzeigeelement, dadurch gekennzeichnet, dass ein aus einem Metalloxid-Halbleiter gesintertes Teil aus einer Zusammensetzung von TiO9 als Hauptmaterial mit einem Gehalt an 0/1. bis 10 Mol-% V9O5 mit Elektroden versehen ist.2« Feuchtigkeitsanzeigeelement gemäss Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet , dass das gesinterte Teil aus einem Metalloxid-Halbleiter scheibenförmig ist, und dass Silberpaste auf gegenüberliegende Seiten des gesinterten Teils.unter Bildung eines Elektrodenpaares angebracht ist, wobei jede der Elektroden einen angelöteten Draht hat.0300S1/0893 ORIGINAL INSPECTED
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP54070608A JPS5814043B2 (ja) | 1979-06-07 | 1979-06-07 | 湿度センサ素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3020138A1 true DE3020138A1 (de) | 1980-12-18 |
DE3020138C2 DE3020138C2 (de) | 1982-12-16 |
Family
ID=13436463
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19803020138 Granted DE3020138A1 (de) | 1979-06-07 | 1980-05-27 | Feuchtigkeitsanzeigeelement |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4344062A (de) |
JP (1) | JPS5814043B2 (de) |
DE (1) | DE3020138A1 (de) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5897801A (ja) * | 1981-12-07 | 1983-06-10 | 株式会社豊田中央研究所 | 感湿素子 |
JPS5996701A (ja) * | 1982-11-25 | 1984-06-04 | ティーディーケイ株式会社 | 感湿素子材料 |
GB8322418D0 (en) * | 1983-08-19 | 1983-09-21 | Emi Ltd | Humidity sensor |
JPS61291220A (ja) * | 1985-06-20 | 1986-12-22 | Tomekichi Nakamura | 農工運搬用油圧式動力伝達作動正逆回転駆動装置 |
JPS628833A (ja) * | 1985-07-05 | 1987-01-16 | Tomekichi Nakamura | 農工運搬車用変速機付正逆転駆動装置 |
US5871684A (en) * | 1997-07-17 | 1999-02-16 | Hughes Electronics Corporation | Method of making lightweight, low thermal expansion microwave structures |
US7256542B2 (en) * | 2004-02-20 | 2007-08-14 | Au Optronics Corporation | Method and device for detecting moisture in electroluminescence display devices |
US7726213B2 (en) * | 2006-05-11 | 2010-06-01 | Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. | Opto-mechanical tilt and inertial force sensor |
US9607556B2 (en) | 2012-06-15 | 2017-03-28 | Dolby Laboratories Licensing Corporation | Systems and methods for controlling dual modulation displays |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1037175B (de) * | 1954-07-24 | 1958-08-21 | British Scient Instr Res Ass | Feuchtigkeitsmesseinrichtung mit einem keramischen Halbleiter und Verfahren zu seiner Herstellung |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3721631A (en) * | 1971-08-16 | 1973-03-20 | Shinyei Kaisha | Humidity sensors comprising alkalimetal oxide,divanadium pentoxide and silicon |
US3748625A (en) * | 1972-01-06 | 1973-07-24 | Thunder Scient Corp | Moisture sensing element and method of making same |
US4015230A (en) * | 1975-02-03 | 1977-03-29 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Humidity sensitive ceramic resistor |
-
1979
- 1979-06-07 JP JP54070608A patent/JPS5814043B2/ja not_active Expired
-
1980
- 1980-05-27 DE DE19803020138 patent/DE3020138A1/de active Granted
- 1980-06-03 US US06/156,192 patent/US4344062A/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE1037175B (de) * | 1954-07-24 | 1958-08-21 | British Scient Instr Res Ass | Feuchtigkeitsmesseinrichtung mit einem keramischen Halbleiter und Verfahren zu seiner Herstellung |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS55163801A (en) | 1980-12-20 |
US4344062A (en) | 1982-08-10 |
DE3020138C2 (de) | 1982-12-16 |
JPS5814043B2 (ja) | 1983-03-17 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE3630393C2 (de) | Widerstandsthermometer | |
EP0544934A1 (de) | Verfahren zum Stabilisieren der Oberflächeneigenschaften von in Vakuum temperaturzubehandelnden Gegenständen | |
DE2605804A1 (de) | Hochtemperaturthermistormasse | |
DE2232769C3 (de) | Galvanisches Element P.R. Mallory & Co. Ine, Indiana¬ | |
DE3020138A1 (de) | Feuchtigkeitsanzeigeelement | |
DE2247643A1 (de) | Varistor mit integralem temperaturfuehler | |
DE1498650B1 (de) | Verfahren zum Herstellen einer Glaselektrode zum Messen der Ionenkonzentration | |
DE2210531A1 (de) | Gerät zur Messung einer Aktivität von Cadmiumionen | |
DE2307322B2 (de) | Varistor | |
DE2333189A1 (de) | Verfahren zur herstellung von thermistoren | |
DE2029065A1 (de) | Elektrisches Widerstandsthermometer | |
DE2633289A1 (de) | Verbesserte elektrische isolatoren | |
DE1465205C3 (de) | Widerstandselement | |
DE1900425C3 (de) | Präzisionsschichtwiderstand in einem dampfundurchlässigen Gehäuse | |
DE2839551C2 (de) | Bariumtitanat-Halbleiterkeramik | |
CH689501A5 (de) | Cermet-Dickschichtwiderstandselement sowie Verfahren zu seiner Herstellung. | |
DE112021004562T5 (de) | Widerstandslegierung zur verwendung in einem shunt-widerstand, verwendung einer widerstandslegierung in einem shunt-widerstand und shunt-widerstand mit einer widerstandslegierung | |
DE1037175B (de) | Feuchtigkeitsmesseinrichtung mit einem keramischen Halbleiter und Verfahren zu seiner Herstellung | |
DE1169697B (de) | Glaselektrode zum Messen von PH-Werten | |
DE2546164A1 (de) | Detektor fuer infrarotanalysator | |
DE2934244C2 (de) | Meßzelle | |
DE1471483C2 (de) | ||
DE60102684T2 (de) | Chemischer Gassensor | |
DE3416945A1 (de) | Feuchtigkeitssensor und verfahren zu seiner herstellung | |
DE1648724B2 (de) | Messbrueckenanordnung zur messung mechanischer spannungen |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
D2 | Grant after examination | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |