DE29801666U1 - Vorrichtung für die Herstellung von Targets für Zerstäubungskathoden - Google Patents
Vorrichtung für die Herstellung von Targets für ZerstäubungskathodenInfo
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- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
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- H01J37/3411—Constructional aspects of the reactor
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- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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DE3603646A1 (de) * | 1985-04-03 | 1986-10-16 | Balzers Hochvakuum Gmbh, 6200 Wiesbaden | Haltevorrichtung fuer targets fuer kathodenzerstaeubung |
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1998
- 1998-02-02 DE DE29801666U patent/DE29801666U1/de not_active Expired - Lifetime
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