DE2938158A1 - Schallwellenvorrichtung - Google Patents

Schallwellenvorrichtung

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DE2938158A1
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Description

The Secretary of State for Defence in Her Britannic Majesty's Government of the United Kingdom of Great Britain and Northern Ireland Whitehall, London S.W.I., Großbritannien
Schallwellenvorrichtung
Die Erfindung betrifft eine Schallwellenvorrichtung mit Temperaturstabilisierung.
Schallwellenvorrichtungen können Oberflächen-Schallwellenvorrichtungen (SAW-Vorrichtungen) oder Oberflächen-Gleitkörper-Schallwellenvorrichtungen (SSBW-Vorrichtungen) sein. Derartige Vorrichtungen werden als Verzögerungsleitungen, Rückkopplungselemente für Oszillatoren, Filter, Diskriminatoren uswT, verwendet.
In einer typischen SAW-Vorrichtung werden Schallwellen entlang der flachen Oberfläche eines piezoelektrischen Substrats durch zwei Interdigital-Kammwandler abgegeben und empfangen, die entlang einer Oberflächen-Schallwellen-Spur beabstandet sind. Eine SSBW-Vorrichtung ist mit der Ausnahme gleich, daß die Schallwelle in den Körper des Substrates
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gerade unterhalb von dessen Oberfläche abgegeben wird.
Das zumeist übliche Substratmaterial ist Quarz. Es wird entlang gewählten Kristallachsen geschnitten, um eine SAW-Vorrichtung oder eine SSBW-Vorrichtung zu erzeugen. Zusätzlich sollte der Schnitt eine Vorrichtung ergeben, deren Kennlinien sich nicht merklich mit der Substrattemperatur ändern.
Ein derartiger Schnitt für SAW-Vorrichtungen ist ein sog. ST-Schnitt-Quarz. Ein anderer Schnitt (vgl. GB-Patentanmeldung 22 075/78) hat eine flache Oberfläche, die um die Y-Achse (ein gedrehter X-Schnitt) um plus oder minus 41° bis 45 von der Z-Ebene gedreht ist, wobei die Spur auf 63° bis 65° von der Y-Achse ausgerichtet ist, um die Spur im wesentlichen senkrecht zu einer Kristall-Neben-Rhomboeder-Fläche zu machen. Es gibt eine Familie von Schnitten für SSBW-Vorrichtungen (vgl. GB-Patentanmeldung 2750/77), in der die flache Substratfläche ein gedrehter Y-Schnitt-Quarz (um die X-Achse gedreht) ist, wobei die Wandler so angeordnet sind, daß sich Schallwellen senkrecht zur X-Achse ausbreiten und der Winkel des gedrehten Y-Schnittes im Bereich - 60° bis - 45° und 30° bis 45° liegt.
Mittels sorgfältig gewählter Kristallausrichtungen wurden Oberflächen-Schallwellen-Oszillatoren beschrieben, in denen sich die Schwingungsfrequenz um ca. + 50 Teile/Million (ppm) über einen Bereich von - 40 0C bis + 100 0C verändert. Dies ist vergleichbar mit ca. + 10 ppm für herkömmliche AT-Schnitt-Quarz-Körper-Wellen-Vorrichtungen. Eine Lösung des Problems der Frequenzstabilität gegenüber der Temperatur liegt darin, die SAW-Vorrichtung in einem temperaturgesteuerten Ofen zu halten; dies ist jedoch für zahlreiche Anwendungen unpraktisch.
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Es ist daher Aufgabe der Erfindung, eine Schallwellenvorrichtung anzugeben, die wenigstens teilweise eine Änderung der Kennlinien mit der Temperatur kompensiert.
Erfindungsgemäß hat eine Schallwellenvorrichtung wenigstens zwei akustische Bauteile die elektrisch parallelgeschaltet sind, wobei jedes Bauteil eine ähnliche Phasensteilheit, jedoch verschiedene Ubertragungsamplituden und Temperaturkoeffizienten der Verzögerung besitzt und so angeordnet ist, daß der gesamte Temperaturkoeffizient über einem Nutz-Temperaturbereich kompensiert wird.
Die akustischen Bauteile können z. B. Verzögerungsleitungen oder Resonatoren sein und mit Oberflächen-Schallwellen, Oberflächen-Gleitkörper-Wellen oder Kombinationen von beiden zusammenwirken.
Die Bedingung ähnlicher oder gleicher Phasensteilheiten (d. h. eine Änderung der Phase mit der Frequenz bei einer gegebenen Temperatur) gewährleistet, daß die Temperaturkompensation über einem Frequenzband erzielt wird. Da die meisten Schallvorrichtungen aus Verzögerungsleitungen bestehen, die symmetrische Wandler verwenden, ist die Bedingung ähnlicher oder gleicher Phasensteilheiten gleichwertig mit Verzögerungsleitungen, die die gleiche Weglänge besitzen, d. h. den gleichen Mitte-zu-Mitte-Abstand des Eingangs- und des Ausgangswandlers, gemessen in Wellenlängen bei der Mittenfrequenz. In der Praxis ist es zulässig, am Rand verschiedene Wellenlängen zu verwenden, um die erforderlichen Phasendifferenzen zwischen Wegen einzustellen, wie dies weiter unten näher erläutert wird.
Es ist nicht erforderlich, daß die Verzögerungsleitungen physikalisch getrennt sind; z. B. kann eine Oberflächen-Schall-
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welle durch Interdigital-Wandler mit diskreten Biegungen oder mit einer Krümmung angeregt werden, um eine Schallanregung in verschiedenen Richtungen auf einem Substrat zu gewährleisten.
Die Verzögerungsleitungen können jedes Substratmaterial verwenden, und sie können jede Schallwelle, einschließlich Oberflächen-Schallwellen, Oberflächen-Gleitkörper-Schallwellen, Bluestein-Gulyaer-Wellen, usw., vorsehen. Die einzige Anforderung liegt darin, daß einige Wellen in gleichen Richtungen verschiedene Temperaturkoeffizienten der Verzögerung aufweisen sollten. In der Praxis ist es vorteilhaft, mit einem etwas stabilen z. B. ST-Quarz zu beginnen. Das Substrat kann piezoelektrisch sein, z. B. ein Quarz, oder nichtpiezoelektrisch mit piezoelektrischen Bereichen bei den Wandlern.
Im Prinzip kann ein hoher Kompensationsgrad erzielt werden, indem zahlreiche Spuren mit verschiedenen Amplituden und Temperaturkoeffizienten verwendet werden. Jedoch kann ein in der Praxis vorteilhafter Kompensationsgrad erreicht werden, indem gerade zwei oder drei Spuren vorgesehen werden (vgl. unten).
Eine Schallwellenvorrichtung hat also ein Substrat (3), das zwei oder mehr akustische Bau 'frj^S) trägt, die in verschiedenen Richtungen ausgerichtet und elektrisch miteinander parallel verbunden sind. Die Phasensteilheit der akustischen Bauteile ist gleich, jedoch sind deren Temperaturkoeffizienten der Verzögerung verschieden, wodurch deren sich ergebendes Ausgangssignal über einen Nutz-Temperaturbereich kompensiert wird. Die akustischen /können eine Verzögerungsleitung mit Oberflächenwellen oder Oberflächen-Gleitkörper-Wellen oder Resonatoren mit einer oder mit zwei öffnungen sein, die Ober-
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flächenwellen verwenden.
Anhand der Zeichnung wird die Erfindung nachfolgend beispielsweise näher erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 eine Draufsicht eines Oszillators mit einer Schallwellenvorrichtung mit zwei Verzögerungsleitungen,
Fig. 2a, b, c Phasendiagramme bei verschiedenen Temperaturen für die Vorrichtung der Fig. 1,
Fig. 3 Frequenz-Temperatur-Kurven für verschiedene Quarzschnitte, die in Schallwellenvorrichtungs-Substraten verwendet sind,
Fig. 4 eine Draufsicht einer Schallwellenvorrichtung mit drei Verzögerungsleitungen,
Fig. 5a, b, c Phasendiagramme bei verschiedenen Temperaturen für die Vorrichtung der Fig. 3,
Fig. 6a, b Frequenz-Ansprech-Kurven der Schallwellenvorrichtungen bei verschiedenen Temperaturen,
Fig. 7 eine Draufsicht einer Vorrichtung, die
zwei Resonatoren mit zwei öffnungen verwendet, und
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Fig. 8 eine Draufsicht einer Vorrichtung, die zwei Resonatoren mit einer einzigen öffnung verwendet.
Wie in Fig. 1 gezeigt ist, hat ein Schallwellenoszillator 1 ein Quarzsubstrat 2 mit einer flachen Oberfläche 3, die zwei Schallwellen-Verzögerungsleitungen trägt, nämlich eine Hauptverzögerungsleitung 4 und eine Hilfsverzögerungsleitung 5. Die Kristallorientierung der flachen Oberfläche 3 und die Ausrichtung der Verzögerungsleitungen 4, 5 bestimmen, ob Oberflächen- oder Oberflächen-Gleitkörper-Wellen erzeugt werden.
Für eine SAW-Vorrichtung kann die Oberfläche 2 ein ST-Schnitt-Quarz sein. Die Hauptverzögerungsleitung 4 ist ausgerichtet, damit sich Oberflächen-Schallwellen entlang der X-Achse ausbreiten. Die Hilfsleitung 5 ist unter 41° zur X-Achse ausgerichtet, wie dies weiter unten näher erläutert wird. Dieser besondere Winkel (41°) wird gewählt, da die SAW-Geschwindigkeit auf einem Mindestwert (wie in der X-Achse) ist, so daß die Vorrichtung gegenüber Fehlorientierungen in der Herstellung unempfindlich ist.
Beide Verzögerungsleitungen 4, 5 sind so gezeigt, daß sie auf einem Substrat 2 ausgeführt sind; um jedoch die Fläche des verwendeten Quarzes zu verringern, können sie auf getrennten Substraten angeordnet sein, die auf einer gemeinsamen Unterlage festgelegt sind, wobei die Verzögerungsleitungen auf ihren jeweiligen Quarzstücken ausgerichtet sind, wie dies in Fig. 1 dargestellt ist.
Die Hauptverzögerungsleitung 4 hat einen Eingangswandler 6 und einen Ausgangswandler 7, die entlang einer Hauptschall-
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spur 8 iiin eine Schallweglänge L beabstandet sind, die für feste Wandler von Mitte-zu-Mitte eines Wandlers gemessen ist. Damit ein Wandler bei einer einzigen Mode (Schwingungsart) arbeitet, ist (vgl. GB-PS 1 451 326) die Länge des Eingangswandlers 6 gleich der Weglänge L, z. B. L= 2OO Wellenlängen.
In ähnlicher Weise hat die Hilfsverzögerungsleitung 5
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einen Eingangswandler und einen Ausgangswandler 10 entlang einer Hilfsspur 11.
Die Weglänge (gemessen in Wellenlängen bei der Mittenfrequenz) der Hilfsverzögerungsleitung L1 ist gleich der Weglänge L (wiederum gemessen in Wellenlängen bei der Mittenfrequenz) mit Ausnahme für ca. 1/4 λ , wobei \ eine Wellenlänge bei der Mittenfrequenz ist, um eine Phasendifferenz von ca. 90° (im Beispiel der Fig. 2 von 110°) zwischen Signalen an den Ausgängen der Verzögerungsleitung /'zu erzeugen. Alternativ können die beiden Weglängen (gemessen in Wellenlängen) gleich sein, und es kann eine äußere Phasenverschiebung vorgesehen werden. Der äußere Phasenschieber kann einstellbar sein.
Die Verzögerungsleitungen 4, 5 sind mit den Ausgangswandlern 7, 10 parallelgeschaltet, die an den Eingang eines Verstärkers 12 angeschlossen sind, dessen Ausgang mit beiden Eingangswandlern 6, 9 verbunden ist.
Im Betrieb erzeugen die Verzögerungsleitungen 4, 5 eine Mitkopplung zum Verstärker 12, damit der Oszillator bei einer Frequenz arbeitet, die bestimmt ist durch die Wandler 6, 7, 9, 10, den Fingerabstand und die Weglängen L, L- der Verzögerungsleitungen 4, 5.
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Fig. 3 zeigt für verschiedene Orientierungen der Quarz-Schnitte, wie sich die Frequenz des Oszillators mit der Temperatur verändert, wenn lediglich die Hauptverzögerungsleitung 4 mit dem Verstärker 12 verbunden ist. Der ST-Schnitt und der um 45° gedrehte X-Schnitt haben beide parabolische Kurven.
Fig. 2 zeigt, wie sich die Phase der Signale von den Verzögerungsleitungen 4, 5 mit der Temperatur ändert. Die Phasenmessungen werden erhalten, indem eine einzige Verzögerungsleitung mit einer Quelle konstanter Frequenz verbunden und für verschiedene Temperaturen der Verzögerungsleitung die Phasendifferenz zwischen Signalen gemessen wird, die an der Verzögerungsleitung liegen und von den Ausgangswandlern der Verzögerungsleitung erhalten werden.
Zunächst soll die Hauptverzögerungsleitung 4 betrachtet werden, wobei der Ausgang M bei Null-Phase bei 15 0C ist (vgl. Fig. 2a). Durch Verringern der Temperatur auf - 40 0C (vgl. Fig. 2b) und durch Erhöhen der Temperatur auf 70 0C (vgl. Fig. 2c) verzögert sich die Phase. Der Grund hierfür ist aus Fig. 3 zu ersehen, d. h., 15 0C ist
dessen Seiten die Frequenz abfällt.
Fig. 3 zu ersehen, d. h., 15 0C ist ca. ein Höchstwert, auf
Es soll nun die Hilfsverzögerungsleitung 5 mit einem Ausgang A näher betrachtet werden, der um 110° bezüglich der Hauptverzögerungsleitung bei 15 0C verzögert ist, und der bei 15 0C senkrecht zur Resultante R der beiden Verzögerungsleitungen liegt. Wie oben erläutert wurde, kann diese 110°-Phasendifferenz durch etwas verschiedene Weglängen in den beiden Verzögerungsleitungen erzielt werden.
Der summierte Ausgang R der beiden Verzögerungsleitungen A, 5, nämlich die Resultante, ist um ca. 20° relativ zur Be-
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zugsphase verzögert und bleibt konstant, wenn sich die Phasen der beiden Verzögerungsleitungen 4, 5 mit der Temperatur verändern. Damit ist der summierte Ausgang R der Verzögerungsleitungen 4, 5 im wesentlichen unabhängig von der Temperatur, zumindest über dem Bereich von - 40 0C bis 70 0C, was zu einer stabilen Oszillatorfrequenz führt.
Die Ausrichtung der Hilfsverzögerungsleitung 5 wird so gewählt, daß über einem interessierenden Temperaturbereich die Phasenabweichung der Hilfsspur nicht ca. + 60 überschreitet. Wenn größere Abweichungen erlaubt sind, wird die Kompensation weniger wirksam.
Die Amplitude des Signales und die Ausrichtung oder Justierung der Hilfsverzögerungsleitung 5 sind so gewählt, daß die summierte Resultante R bei einer konstanten Phase bleibt. Eine Näherungsformel für die Amplitude a der Hilfsspur (bezüglich einer Einheitsamplitude in der Hauptspur) und den linearen Temperaturkoeffizienten der Verzögerung, nämlich ß, der Hilfsspur zum parabolischen Temperaturkoeffizienten der Verzögerung, nämlich et , der Hauptspur ist gegeben durch:
- a
NTa
mit N = Anzahl der Wellenlängen in jedem Weg.
Typische Zahlen (von einer Demonstrationsvorrichtung) sind « = 3 · 1O~9/°C2, ß = - 15 * 10~6/°C, N = 200, a = 1/4. In der Praxis kann a oder ß etwas größer als in dieser Formel sein, um die Kompensation über einem ausgedehnten Temperaturbereich zu optimieren.
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Eine andere Anforderung an die beiden Verzögerungsleitungen 4, 5 ist deren relative Frequenz-Ansprech-Änderung mit der Temperatur, wie dies in Fig. 6 gezeigt ist. Da die beiden Verzögerungsleitungen 4, 5 verschieden orientiert sind, ändert sich deren Frequenz-Ansprechen verschieden mit der Temperatur, z. B. die Hauptkeulen 15, 16 im typischen sin x/x-Frequenz-Ansprechen der Haupt- und der Hilfsleitung 4, 5 stimmen nicht weiter ausreichend überein, um ein summiertes Ausgangssignal zu erzeugen, wenn sich die Temperatur von einem eingestellten Wert weg verändert (vgl. Fig. 6b). Eine Lösung hierfür liegt in der Verwendung einer Breitband-Hilfsverzögerungsleitung-Kurve 18, z. B. in kürzeren Wandlern als für die Hauptverzögerungsleitung 4. Zusätzlich oder alternativ kann die Hilfsverzogerungsleitung 5 gewichtete Wandler verwenden, wie dies z. B. durch eine Kurve 17 gezeigt ist. Dies kann auch einen höheren Grad der Temperaturkompensation, d. h. über einem weiteren Temperaturbereich, erzeugen.
Das Frequenz-Ansprechen für einen um 45° gedrehten X-Schnitt-Quarz-Kristall (vgl. Fig. 3) zeigt keine parabolische Kurve. Jedoch kann eine Hilfsverzogerungsleitung 5 verwendet werden, um einen Frequenzabfall mit tieferwerdender Temperatur zu kompensieren, wie dies oben erläutert wurde. Um eine Kompensation bei höheren Temperaturen zu vermeiden, ist das Frequenz-Ansprechen des Hilfswandlers leicht von demjenigen der Hauptspur versetzt, so daß es sich aus der Übereinstimmung mit der Hauptverzögerung bei diesen höheren Temperaturen bewegt, wie dies schematisch in Fig. 6b gezeigt ist. Alternativ kann dieses Ergebnis erreicht werden, indem weitere Hilfsspuren verwendet werden.
Fig. 4 zeigt eine andere SAW-Vorrichtung, die zwei Hilfs-
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Verzögerungsleitungen 5, 20 verwendet. Die zweite Verzögerungsleitung 20 ist ein Zusatz zu der Vorrichtung der Fig. 1 und ist gleich wie die erste Hilfsverzögerungsleitung 5, jedoch verschieden ausgerichtet, so daß deren Phasenänderung mit der Temperatur ein entgegengesetztes Vorzeichen zur Phasenänderung der ersten Hilfsverzögerungsleitung hat; zusätzlich sind beide Hilfsverzögerungsleitungen 5, 20 so angeordnet, daß sie die Hauptverzogerungsleitung 4 kreuzen. Diese Phasenänderung ist in Fig. 5c gezeigt, in der bei 15 0C die Signale von beiden Hilfsverzögerungsleitungen in Phase sind. Bei - 40 0C und 70 0C sind sie um gleiche Beträge aus der Phase. Die Resultante R1 der summierten Ausgangssignale M1 , A1, A_ der drei Verzögerungsleitungen ist im wesentlichen in der Phase und in der Amplitude über dem Bereich von - 40 0C bis 70 0C konstant.
Andere Anordnungen als Oszillatoren können hergestellt werden, indem erfindungsgemäße temperaturkompensierte Schallwellenvorrichtungen verwendet werden. Dies sind z. B. Diskriminatoren, die spannungsgeführte Oszillatoren steuern (vgl. GB-PS 1 483 735), Zwitscherfilter, Resonatoren, Bandpaßfilter.
Fig. 7 zeigt einen mit zwei öffnungen versehenen Resonator mit Temperaturstabilisierung ähnlich zu demjenigen der Verzögerungsleitungen der Fig. 1. Ein Quarzsubstrat 22 trägt einen Hauptresonator 23, der angeordnet ist, um Oberflächen-Schallwellen entlang der X-Achse des ST-Schnittes auszubreiten, und einen Hilfsresonator 24, der vorgesehen ist, um bei 41° zur X-Achse auszubreiten. Der Hauptresonator 23 hat zwei Interdigital-Kammwandler 25, 26, die zwischen zwei Sätzen 27, 28 reflektierender Streifen vorgesehen sind. In ähnlicher Weise hat der Hilfsresonator 24 zwei Wandler 29, 30, die zwischen zwei Sätzen 31, 32 reflektierender Streifen angeordnet sind.
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Die Bedingung ideal gleicher Weglängen in den beiden Verzögerungsleitungen der Fig. 1 gilt nicht für die Resonatoren. Stattdessen ist die Kreisgüte Q für die beiden Resonatoren ideal gleich, wobei Q der Gütefaktor ist, der durch alle Verlustvorgänge bestimmt ist, z. B. durch die akustische Ausbreitung auf dem Medium und durch elektrische Verluste.
Im Betrieb arbeitet die Vorrichtung, um eine Temperaturstabilisierung zu erzeugen, wobei die sich ergebenden gemischten Ausgangssignale eine relativ konstante Phase aufweisen, wenn sich die Phasen-Ubertragungskennlinien der beiden Resonatoren mit der Temperatur verändern, wie dies z. B. in Fig. 2 gezeigt ist.
In einer Abwandlung werden zwei oder mehr Hilfsresonatoren in einer zur Fig. 4 ähnlichen Weise für die Verzögerungsleitungen verwendet.
Fig. 8 zeigt in ähnlicher Weise zu den Resonatoren der Fig. 7 mit zwei Öffnungen Resonatoren mit einer einzigen Öffnung, wobei einander entsprechende Bauteile mit den gleichen Bezugszeichen versehen sind. Ein eine Öffnung aufweisender Resonator verwendet lediglich einen Wandler sowie herkömmliche Quarz-Kristall-Körper-Wellen-Resonator-Oszillatoren. Der Betrieb für die Erzeugung der Temperaturstabilisierung ist gleich wie für das Ausführungsbeispiel der Fig. 7,
In einem alternativen Aufbau verwendet die Vorrichtung der Fig. 8 zwei oder mehr Hilfsresonatoren, die wie für die Verzögerungsleitungen der Fig. 4 vorgesehen sind.
Andere piezoelektrische Substrate als Quarz können ver-
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wendet werden, ζ. B. die Familie Tl-AX4 mit A = V, Nb oder Ta und X=S oder Se; Bleikaliumniobat; Lithiumtantilat; Lithiumniobat. Für Substrate ohne einem Null-Temperatur-Koeffizienten, z. B. Lithiumniobat, kann die Erfindung auch verwendet werden, um eine Temperaturkompensation über einem begrenzten Temperaturbereich zu erzeugen.
Der Temperaturbereich, für den eine Kompensation durch die erläuterten Ausführungsbeispiele erzielt wird, kann ein durch die Bedienungsumstände der Vorrichtung gewählter Bereich innerhalb - 40 0C bis 100 0C sein.
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e e r s e 11 e

Claims (13)

  1. Ansprüche
    Schallwellenvorrichtung, bei der ein akustisches Bauteil Wandler besitzt, um Schallwellen entlang einer akustischen Spur in einem Substrat abzugeben und zu empfangen,
    gekennzeichnet durch
    wenigstens zwei akustische Bauteile (4, 5; 4, 5, 20; 23, 24), die elektrisch parallelgeschaltet sind, wobei jedes Bauteil (4, 5, 20, 23, 24) eine ähnliche Phasensteilheit, jedoch verschiedene Temperaturkoeffizienten besitzt und so angeordnet ist, daß der sich ergebende Gesamt-Temperaturkoeffizient über einem Nutz-Temperaturbereich kompensiert ist.
  2. 2. Schallwellenvorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
    daß die akustischen Bauteile (4, 5, 20, 23, 24) in verschiedenen Kristallrichtungen auf einem Substrat (3; 22) so angeordnet sind, daß die verschiedenen Temperaturkoeffizienten entstehen.
  3. 3. Schallwellenvorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet,
    daß die akustischen Bauteile (4, 5, 20, 23, 24) wenigstens zwei verschiedene Ubertragungsamplituden bewirken.
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  4. 4. Schallwellenvorrichtung nach Anspruch 3, gekennzeichnet durch
    ein piezoelektrisches Substrat (3, 22).
  5. 5. Schallwellenvorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet,
    daß die akustischen Bauteile (4, 5, 20, 23, 24) Oberflächen-Schallwellenvorrichtungen sind.
  6. 6. Schallwellenvorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet,
    daß die akustischen Bauteile (4, 5, 20, 23, 24) auf einem einzigen Substrat (3, 22) angeordnet sind.
  7. 7. Schallwellenvorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet,
    daß die akustischen Bauteile (4, 5, 20, 23, 24) Verzögerungsleitungen sind, die jeweils einen Eingangswandler (6, 9) und einen Ausgangswandler (7, 10) besitzen.
  8. 8. Schallwellenvorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet,
    daß die Verzögerungsleitungen (4, 5, 20, 23, 24) physikalisch getrennte Eingangswandler (6, 9) und Ausgangswandler (7, 10) haben.
  9. 9. Schallwellenvorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet,
    daß ein Wandler (6, 9; 7, 10) von jeder Verzögerungsleitung zusammen als ein einziger Wandler mit Winkel-Teilen vorgesehen ist, um eine Schallwelle in zwei oder mehr verschiedenen Richtungen abzugeben oder zu empfangen.
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  10. 10. Schallwellenvorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet,
    daß die akustischen Bauteile Resonatoren (23, 24) sind, deren jeder wenigstens einen Wandler (25, 26, 29, 30) aufweist, der zwischen zwei Sätzen von Reflektoren (27, 28; 31, 32) angeordnet ist.
  11. 11. Schallwellenvorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet,
    daß die akustischen Bauteile (4, 5, 20, 23, 24) auf verschiedenen Substraten angeordnet sind.
  12. 12. Schallwellenvorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet,
    daß die akustischen Bauteile (4, 5, 20, 23, 24) Oberflächen-Schallwellenvorrichtungen sind.
  13. 13. Schallwellenvorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet,
    daß die akustischen Bauteile (4, 5, 20) Oberflächen-Gleit-Schallwellenvorrichtungen sind.
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DE19792938158 1978-09-22 1979-09-21 Schallwellenvorrichtung Withdrawn DE2938158A1 (de)

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JP (1) JPS55102918A (de)
DE (1) DE2938158A1 (de)
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GB (1) GB2033185B (de)
NL (1) NL7907049A (de)

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0054723A1 (de) * 1980-12-22 1982-06-30 Hewlett-Packard Company Akustischer Oberflächenwellenresonator
DE3730107A1 (de) * 1987-09-08 1989-03-16 Siemens Ag Oszillatorschaltung mit oberflaechenwellenfilter
DE10339865A1 (de) * 2003-08-25 2005-03-31 Leibniz-Institut Für Festkörper- Und Werkstoffforschung Dresden E.V. Temperaturstabiler Oszillator auf der Basis akustischer Oberflächenwellen
DE102004028421A1 (de) * 2004-06-04 2006-01-12 Leibniz-Institut Für Festkörper- Und Werkstoffforschung Dresden E.V. Oszillator mit akustischen Oberflächenwellenresonatoren
DE102004060901A1 (de) * 2004-12-14 2006-07-13 Leibnitz-Institut für Festkörper- und Werkstoffforschung Dresden e.V. Oszillator
DE102005060924B3 (de) * 2005-12-14 2007-07-05 Leibniz-Institut für Festkörper- und Werkstoffforschung e.V. Oszillatorkreis mit akustischen Eintor-Oberflächenwellenresonatoren
DE102007028372A1 (de) 2007-06-12 2008-12-24 Leibniz-Institut Für Festkörper- Und Werkstoffforschung Dresden E.V. Oszillatorkreis mit akustischen Zweitor-Oberflächenwellenresonatoren
DE102006027060B4 (de) * 2006-06-08 2010-04-01 Leibniz-Institut Für Festkörper- Und Werkstoffforschung Dresden E.V. Oszillatorkreis mit akustischen Eintor-Oberflächenwellenresonatoren
DE112004002068B4 (de) * 2003-10-30 2016-09-01 Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. Temperaturkompensierte Akustischer-Filmvolumenresonator-(FBAR-) Bauelemente

Families Citing this family (59)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2457039A1 (fr) * 1979-05-16 1980-12-12 Thomson Csf Procede de compensation des derives en temperature dans les dispositifs a ondes de surface et capteur de pression mettant en oeuvre ce procede
FR2492193B2 (fr) * 1980-06-10 1987-11-27 France Etat Filtre recursif a ondes elastiques de surface utilisant une ligne a retard a bouclage actif
US4325038A (en) * 1980-09-26 1982-04-13 Bell Telephone Laboratories, Incorporated SAW Resonator filters with improved temperature stability
US4489289A (en) * 1982-04-08 1984-12-18 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Saw oscillator with digital compensation for temperature related frequency changes
JP2547718B2 (ja) * 1984-06-06 1996-10-23 株式会社東芝 弾性表面波共振子
US5162690A (en) * 1989-04-14 1992-11-10 Murata Manufacturing Co., Ltd. Surface acoustic wave device
US5329319A (en) * 1991-02-20 1994-07-12 Zenith Electronics Corporation Stabilized frequency and phase locked loop with saw devices on common substrate
US7275292B2 (en) 2003-03-07 2007-10-02 Avago Technologies Wireless Ip (Singapore) Pte. Ltd. Method for fabricating an acoustical resonator on a substrate
US7692517B2 (en) * 2003-08-25 2010-04-06 Tele Filter Gmbh Oscillator with acoustic surface wave resonators
US7019605B2 (en) * 2003-10-30 2006-03-28 Larson Iii John D Stacked bulk acoustic resonator band-pass filter with controllable pass bandwidth
US6946928B2 (en) * 2003-10-30 2005-09-20 Agilent Technologies, Inc. Thin-film acoustically-coupled transformer
DE602004000851T2 (de) 2003-10-30 2007-05-16 Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. Akustisch gekoppelter Dünnschicht-Transformator mit zwei piezoelektrischen Elementen, welche entgegengesetzte C-Axen Orientierung besitzten
US7391285B2 (en) * 2003-10-30 2008-06-24 Avago Technologies Wireless Ip Pte Ltd Film acoustically-coupled transformer
US7615833B2 (en) 2004-07-13 2009-11-10 Avago Technologies Wireless Ip (Singapore) Pte. Ltd. Film bulk acoustic resonator package and method of fabricating same
US7388454B2 (en) 2004-10-01 2008-06-17 Avago Technologies Wireless Ip Pte Ltd Acoustic resonator performance enhancement using alternating frame structure
US8981876B2 (en) 2004-11-15 2015-03-17 Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. Piezoelectric resonator structures and electrical filters having frame elements
US7202560B2 (en) 2004-12-15 2007-04-10 Avago Technologies Wireless Ip (Singapore) Pte. Ltd. Wafer bonding of micro-electro mechanical systems to active circuitry
US7791434B2 (en) 2004-12-22 2010-09-07 Avago Technologies Wireless Ip (Singapore) Pte. Ltd. Acoustic resonator performance enhancement using selective metal etch and having a trench in the piezoelectric
US7427819B2 (en) 2005-03-04 2008-09-23 Avago Wireless Ip Pte Ltd Film-bulk acoustic wave resonator with motion plate and method
US7369013B2 (en) 2005-04-06 2008-05-06 Avago Technologies Wireless Ip Pte Ltd Acoustic resonator performance enhancement using filled recessed region
US7436269B2 (en) 2005-04-18 2008-10-14 Avago Technologies Wireless Ip (Singapore) Pte. Ltd. Acoustically coupled resonators and method of making the same
US7868522B2 (en) * 2005-09-09 2011-01-11 Avago Technologies Wireless Ip (Singapore) Pte. Ltd. Adjusted frequency temperature coefficient resonator
US7391286B2 (en) * 2005-10-06 2008-06-24 Avago Wireless Ip Pte Ltd Impedance matching and parasitic capacitor resonance of FBAR resonators and coupled filters
US7737807B2 (en) 2005-10-18 2010-06-15 Avago Technologies Wireless Ip (Singapore) Pte. Ltd. Acoustic galvanic isolator incorporating series-connected decoupled stacked bulk acoustic resonators
US7675390B2 (en) 2005-10-18 2010-03-09 Avago Technologies Wireless Ip (Singapore) Pte. Ltd. Acoustic galvanic isolator incorporating single decoupled stacked bulk acoustic resonator
US7425787B2 (en) 2005-10-18 2008-09-16 Avago Technologies Wireless Ip (Singapore) Pte. Ltd. Acoustic galvanic isolator incorporating single insulated decoupled stacked bulk acoustic resonator with acoustically-resonant electrical insulator
US7423503B2 (en) 2005-10-18 2008-09-09 Avago Technologies Wireless Ip (Singapore) Pte. Ltd. Acoustic galvanic isolator incorporating film acoustically-coupled transformer
US7525398B2 (en) 2005-10-18 2009-04-28 Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. Acoustically communicating data signals across an electrical isolation barrier
US7463499B2 (en) 2005-10-31 2008-12-09 Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte Ltd. AC-DC power converter
US7561009B2 (en) * 2005-11-30 2009-07-14 Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. Film bulk acoustic resonator (FBAR) devices with temperature compensation
US7612636B2 (en) 2006-01-30 2009-11-03 Avago Technologies Wireless Ip (Singapore) Pte. Ltd. Impedance transforming bulk acoustic wave baluns
US7746677B2 (en) 2006-03-09 2010-06-29 Avago Technologies Wireless Ip (Singapore) Pte. Ltd. AC-DC converter circuit and power supply
US7479685B2 (en) 2006-03-10 2009-01-20 Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. Electronic device on substrate with cavity and mitigated parasitic leakage path
US7629865B2 (en) 2006-05-31 2009-12-08 Avago Technologies Wireless Ip (Singapore) Pte. Ltd. Piezoelectric resonator structures and electrical filters
US7508286B2 (en) 2006-09-28 2009-03-24 Avago Technologies Wireless Ip (Singapore) Pte. Ltd. HBAR oscillator and method of manufacture
US7791435B2 (en) 2007-09-28 2010-09-07 Avago Technologies Wireless Ip (Singapore) Pte. Ltd. Single stack coupled resonators having differential output
GB2456541B (en) 2008-01-17 2010-02-10 4Energy Ltd Air filter
US7732977B2 (en) 2008-04-30 2010-06-08 Avago Technologies Wireless Ip (Singapore) Transceiver circuit for film bulk acoustic resonator (FBAR) transducers
US7855618B2 (en) 2008-04-30 2010-12-21 Avago Technologies Wireless Ip (Singapore) Pte. Ltd. Bulk acoustic resonator electrical impedance transformers
DE102008001837A1 (de) * 2008-05-17 2009-12-03 Leibniz-Institut Für Festkörper- Und Werkstoffforschung Dresden E.V. Temperaturstabiler Doppelresonator
US8248185B2 (en) 2009-06-24 2012-08-21 Avago Technologies Wireless Ip (Singapore) Pte. Ltd. Acoustic resonator structure comprising a bridge
US8902023B2 (en) 2009-06-24 2014-12-02 Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. Acoustic resonator structure having an electrode with a cantilevered portion
US8193877B2 (en) 2009-11-30 2012-06-05 Avago Technologies Wireless Ip (Singapore) Pte. Ltd. Duplexer with negative phase shifting circuit
US8796904B2 (en) 2011-10-31 2014-08-05 Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. Bulk acoustic resonator comprising piezoelectric layer and inverse piezoelectric layer
US9243316B2 (en) 2010-01-22 2016-01-26 Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. Method of fabricating piezoelectric material with selected c-axis orientation
US8962443B2 (en) 2011-01-31 2015-02-24 Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. Semiconductor device having an airbridge and method of fabricating the same
US9148117B2 (en) 2011-02-28 2015-09-29 Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. Coupled resonator filter comprising a bridge and frame elements
US9154112B2 (en) 2011-02-28 2015-10-06 Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. Coupled resonator filter comprising a bridge
US9048812B2 (en) 2011-02-28 2015-06-02 Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. Bulk acoustic wave resonator comprising bridge formed within piezoelectric layer
US9425764B2 (en) 2012-10-25 2016-08-23 Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. Accoustic resonator having composite electrodes with integrated lateral features
US9136818B2 (en) 2011-02-28 2015-09-15 Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. Stacked acoustic resonator comprising a bridge
US9203374B2 (en) 2011-02-28 2015-12-01 Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. Film bulk acoustic resonator comprising a bridge
US9083302B2 (en) 2011-02-28 2015-07-14 Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. Stacked bulk acoustic resonator comprising a bridge and an acoustic reflector along a perimeter of the resonator
US8575820B2 (en) 2011-03-29 2013-11-05 Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. Stacked bulk acoustic resonator
US9444426B2 (en) 2012-10-25 2016-09-13 Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. Accoustic resonator having integrated lateral feature and temperature compensation feature
US8350445B1 (en) 2011-06-16 2013-01-08 Avago Technologies Wireless Ip (Singapore) Pte. Ltd. Bulk acoustic resonator comprising non-piezoelectric layer and bridge
US8922302B2 (en) 2011-08-24 2014-12-30 Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. Acoustic resonator formed on a pedestal
JP5844939B2 (ja) 2013-02-27 2016-01-20 京セラ株式会社 弾性波素子、分波器および通信モジュール
CN109506808B (zh) * 2018-12-26 2020-12-18 电子科技大学 一种具有单调和线性输出特性的saw温度传感器及其设计方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2407649A1 (de) * 1973-02-16 1974-10-03 Nat Research Dev Corp London Schallwelleneinrichtung zur verwendung mit einem verstaerker fuer die bildung eines oszillators
US3886484A (en) * 1974-06-24 1975-05-27 Hewlett Packard Co Acoustic surface wave devices having improved performance versus temperature characteristics
GB1449841A (en) * 1973-04-09 1976-09-15 Mullard Ltd Oscillators
GB1483735A (en) * 1973-11-09 1977-08-24 Secr Defence Acoustic wave oscillator
DE2802946A1 (de) * 1977-01-24 1978-08-03 Secr Defence Brit Schallwellen-einrichtung

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS50123256A (de) * 1974-03-16 1975-09-27
US3999147A (en) * 1975-10-31 1976-12-21 Hughes Aircraft Company Temperature stable surface acoustic wave and oscillator using the device
JPS53145595A (en) * 1977-05-25 1978-12-18 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> Elastic surface wave oscillator

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2407649A1 (de) * 1973-02-16 1974-10-03 Nat Research Dev Corp London Schallwelleneinrichtung zur verwendung mit einem verstaerker fuer die bildung eines oszillators
GB1449841A (en) * 1973-04-09 1976-09-15 Mullard Ltd Oscillators
GB1483735A (en) * 1973-11-09 1977-08-24 Secr Defence Acoustic wave oscillator
US3886484A (en) * 1974-06-24 1975-05-27 Hewlett Packard Co Acoustic surface wave devices having improved performance versus temperature characteristics
DE2802946A1 (de) * 1977-01-24 1978-08-03 Secr Defence Brit Schallwellen-einrichtung

Cited By (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP0054723A1 (de) * 1980-12-22 1982-06-30 Hewlett-Packard Company Akustischer Oberflächenwellenresonator
DE3730107A1 (de) * 1987-09-08 1989-03-16 Siemens Ag Oszillatorschaltung mit oberflaechenwellenfilter
DE10339865B4 (de) * 2003-08-25 2010-08-19 Leibniz-Institut Für Festkörper- Und Werkstoffforschung Dresden E.V. Temperaturstabiler Oszillator auf der Basis akustischer Oberflächenwellen
DE10339865A1 (de) * 2003-08-25 2005-03-31 Leibniz-Institut Für Festkörper- Und Werkstoffforschung Dresden E.V. Temperaturstabiler Oszillator auf der Basis akustischer Oberflächenwellen
DE112004002068B4 (de) * 2003-10-30 2016-09-01 Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. Temperaturkompensierte Akustischer-Filmvolumenresonator-(FBAR-) Bauelemente
DE102004028421A1 (de) * 2004-06-04 2006-01-12 Leibniz-Institut Für Festkörper- Und Werkstoffforschung Dresden E.V. Oszillator mit akustischen Oberflächenwellenresonatoren
DE102004028421B4 (de) * 2004-06-04 2006-05-04 Leibniz-Institut Für Festkörper- Und Werkstoffforschung Dresden E.V. Oszillator mit akustischen Oberflächenwellenresonatoren
DE102004060901A1 (de) * 2004-12-14 2006-07-13 Leibnitz-Institut für Festkörper- und Werkstoffforschung Dresden e.V. Oszillator
US7511587B2 (en) 2004-12-14 2009-03-31 Tele Filter Gmbh Oscillator comprising two one-port surface wave resonators
DE102005060924B3 (de) * 2005-12-14 2007-07-05 Leibniz-Institut für Festkörper- und Werkstoffforschung e.V. Oszillatorkreis mit akustischen Eintor-Oberflächenwellenresonatoren
DE102006027060B4 (de) * 2006-06-08 2010-04-01 Leibniz-Institut Für Festkörper- Und Werkstoffforschung Dresden E.V. Oszillatorkreis mit akustischen Eintor-Oberflächenwellenresonatoren
US7847647B2 (en) 2006-06-08 2010-12-07 Vectron International Gmbh & Co. Kg Oscillator circuit with acoustic single-port surface wave resonators
DE102007028372A1 (de) 2007-06-12 2008-12-24 Leibniz-Institut Für Festkörper- Und Werkstoffforschung Dresden E.V. Oszillatorkreis mit akustischen Zweitor-Oberflächenwellenresonatoren

Also Published As

Publication number Publication date
JPS55102918A (en) 1980-08-06
FR2437109B1 (de) 1983-07-08
NL7907049A (nl) 1980-03-25
GB2033185B (en) 1983-05-18
FR2437109A1 (fr) 1980-04-18
US4272742A (en) 1981-06-09
GB2033185A (en) 1980-05-14

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