DE2528046A1 - Temperaturstabilisierung bei oberflaechenschallwellen-substraten - Google Patents
Temperaturstabilisierung bei oberflaechenschallwellen-substratenInfo
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5725 North East River Road Chicago, 111. 60631, U.S.A.
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Temperaturstabilisierung bei Oberflächenschallwellen-Substraten
Die Erfindung betrifft eine Temperaturstabilisierung bei Oberflächens
challwellen-Substraten.
Es besteht ein weitverbreitetes Interesse an Oberflächenschallwellen-Einrichtungen,
bei welchen die Wellenenergie sich entlang einer Materialoberfläche ähnlich wie die Wellen auf einem
Teich ausbreitet. Bei mikroskopischer Betrachtung würde die Oberfläche eines Materials, welches diese Wellen trägt, tatsächlich
einem Teich entsprechen, und zwar einschließlich der Wellenberge und der Wellentäler. Einer der großen Vorteile von
Oberflächenschallwellen-Einrichtungen ergibt sich aus der Tatsache, daß die Oberflächenwellen mit Schallgeschwindigkeit wan-
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dem, die wesentlich geringer ist als die Ausbreitungsgeschwindigkeit
bei elektromagnetischen Wellen. Ein zweiter, ebenfalls wesentlicher Vorteil besteht darin, daß die akustische Wellenenergie
entlang ihrem Ausbreitungsweg kontinuierlich zugänglich ist. Da die Wellenlängen kürzer sind und die Energie zugänglic±i
ist, können Bauelemente wie Verzögerungsleitungen, Verstärker, Abschwächer, Dämpfungsglieder, Filter und Konolungseinrichtungen
in Mikrominiatur-Bauweise dazu verwendet werden, elektronische Signale zu modifizieren und zu verarbeiten.
In ihrer einfachsten Form weist eine Oberflächenschallwellen-Schaltung
eine HF-Energiequelle auf, hat weiterhin ein plattenartiges Element oder Substrat aus einem Material, welches
dazu in der Lage ist, sich ausbreitende Oberflächenwellen zu tragen, wobei weiterhin schließlich eine Verbrauchereinrichtung
vorhanden ist. Elektromechanische Übertrager sind mit dem
Substrat gekoppelt, um die HF-Energie in Oberflächenwellen in dem Material umzuwandeln und umgekehrt. In einer derartigen
Anordnung ist die grundlegende Oberflächenwellen-Einrichtung hauptsächlich als Verzögerungsleitung geeignet. Häufig ist es
erwünscht, die sich ausbreitende Oberflächenwelle in der Weise zu ändern, daß die Arbeitsweise von grundlegenden Einrichtungen
verbessert wird und daß neue Einrichtungen mit besonderen Eigenschaften geschaffen werden.
Im allgemeinen werden piezoelektrische Materialien zur Herstellung
des Oberfläahenwellen-Substrats verwendet. Bei solchen
Substraten nehmen die Eingabe- und die Ausgabe-Übertrager im allgemeinen die Form von Bereichen an, in denen ineinandergreifende
Elektroden aus einer dünnen leitenden Folie angeordnet sind, welche auf der Substratoberfläche hergestellt
sind. Durch geeignete Ausbildung der Übertrager ist es möglich, Verzögerungsleitungen herzustellen, welche hinsichtlich der
Zeitverzögerung und des Frequenzverhaltens gewünschte Eigenschaften haben. Wegen dieser Eigenschaften werden solche Ein-
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richtungen als Verzögerungsleitungsfilter bezeichnet und haben einen breiten Anwendungsbereich bei Fernmeldeeinrichtungen
und Radarsystemen.
Da Oberflächenschallwellen-Einrichtungen gewöhnlich eine große Zeitverzögerung im Vergleich zu LO-Netzwerken haben,
wird der Temperaturkoeffizient der Zeitverzögerung ein wichtiger Parameter. Es ist schwierig, Temperatureffekte
mit einer einfachen Netzwerktechnik zu kompensieren. Bei Bandpaßfilteranwendungen sind die Mittenfrequenz, die Phasenverschiebung
und die Zeitverzögerung temperaturabhängig. Im Falle von angepaßten Filtern, wie sie bei Zwitscher-Radareinrichtungen
verwendet werden, werden durch eine Substrat-Temperaturveränderung Bereichs-Mehrdeutigkeiten
eingeführt. Bei phasenkodierten angepaßten Filtern wird der Verarbeitungsgewinn ernsthaft beeinträchtigt, wenn die
Temperatur verändert wird.
Bisher sind zur Kompensation von Verzögerungszeitveränderungen
aufgrund der Temperatur auf Oberflächenwellen-Substraten hauotsächlich Methoden angewandt worden, bei welchen
ein aus dünnen Schichten zusammengesetztes Material verwendet wird. Diese Vorgehensweise zeichnet sich dadurch
aus, daß eine dünne Oxidschicht auf einem Oberflächenwellen-Substrat verwendet wird, welche es gestattet, daß der Temperaturkoeffizient
eines Materials den Temperaturkoeffizienten des anderen Materials kompensiert. Eine Steuerung des Temoeraturkoeffizienten
der Verzögerung auf kleine Werte ist durch die Verwendung von ZnO-Folienschichten auf geschmolzenem
Quarz und isopaustischem Glas erreicht worden. Dieses Schichtfolien-Konzept ist auf ZnO-Folienschichten auf anderen Quarz-Schnitten
und SiO^-Folien auf Lithiumniobat ausgedehnt worden.
Bestimmte Quarz-Schnitte und ausgewählte Glasarten haben negative Temperaturkoeffizienten, während Lithiumniobat und Zinkoxid
positive Koeffizienten haben.
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Bei anderen Methoden ist eine stumpfe Verklebung von ST-Quarz
mit LiNbO7 sowie eine Widerstandsfolien-Heizanordnung unter
Verwendung einer phasenstarren Rückführschleife verwendet worden. Die Anordnung der Oberflächenwellen-Einrichtung in einem
temperaturgeregelten Ofen ist eine direkte, ,jedoch etwas umständliche
Lösung für das Problem. Es wäre vorteilhaft, eine Temperaturkompensation auf einfachere Weise zu erreichen.
Bisher haben entsprechende Versuche nur zu. begrenztem experimentellem
Erfolg geführt. Es scheint gegen grundlegende Eigenschaften im Zusammenhang mit dem Aufbau der Materie zu sein,
zugleich ei-ien hohen Kopplungswirkungsgrad und einen niedrigen
Temperaturkoeffizienten in einem einzigen Material zu haben. Der beste erreichbare Zustand wäre derjenige, bei welchem ein
temperaturstabiler Zustand in einem Material mit hohem Kopplungswirkungsgrad und geringen Ausbreitungsverlusten ohne Verschlechterung
dieser Eigenschaften vorhanden wäre. Es wäre außerdem außerordentlich nützlich, wenn die Technik auf eine
Vielfalt von Materialien angewandt werden könnte und in der Herstellung einfach und zuverlässig wäre.
Aufgabe der Erfindung ist es, Oberflächenschallwellen-Einrichtungen
zu schaffen, welche temperaturstabile Eigenschaften haben.
Zur Lösung dieser Aufgabe dienen die im Patentbegehren niedergelegten
Merkmale.
Die erfindungsgemäße Anordnung zeichnet sich dadurch aus, daß
sie in ihrer Ausführung verhältnismäßig preiswert, zuverlässig und einfach ist.
Weiterhin ist gemäß der Erfindung der Vorteil erreichbar, daß eine Druckkraft anwendbar ist, um die Substratlänge einer Oberflächenschallwellen-Einrichtung
über den interessanten Temperaturbereich konstant zu halten.
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Weiterhin sind gemäß der Erfindung zugleich ein hoher
Kopplungswirkungsgrad, geringe AusbreitungsVerluste und
ein kleiner Temperaturkoeffizient der Zeitverzögerung erreichbar.
Die erfindungsgemäße Oberflächenschallwellen-Einrichtung hat somit temperaturstabile Eigenschaften. Die Oberflächenwellen-Einrichtung
gemäß der Erfindung ist als äußere Schicht in einer Anordnung aus zusammengesetzten Schichten
angeordnet und bildet eine Oberflächenschallwellen-Anordnung. Die zusammengesetzte Schichtanordnung ist in Abhängigkeit
von bestimmten Wärmeeigenschaften synthetisiert, welche von dem verwendeten piezoelektrischen Material abhängen,
welches als akustische Einrichtung verwendet wird, um eine 'Temperaturkompensation für die akustische Einrichtung
zu erreichen. Bei der Zusammensetzung der aus einzelnen
Schichten gebildeten Anordnung werden Graphitfasern mit
hohem Elastizitätsmodul in einer Richtung in einer hitzebeständigen Epoxymatrix angeordnet. Die Anzahl, die Ausrichtung
und die Anordnung der Graphitfasern innerhalb des SchichtQuerschnittes ist derart gewählt, daß in selektiver
Weise eine Fehlanpassung an die thermischen Ausdehnungseigenschaf ten der akustischen Einrichtung entlang der Achse
der akustischen Ausbreitung erreicht ist und zugleich annähernd eine Anpassung an die thermischen Ausdehnungseigenschaften
entlang der orthogonalen Achse der Materialeigenschaft der akustischen Einrichtung gewährleistet ist.
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Die Erfindung wird nachfolgend beispielsweise anhand der
Zeichnung beschrieben; in dieser zeigen:
Fig. 1 eine vereinfachte bildliche Darstellung eines Oberflächenschallwellen-Verzögerungsleitungsfilters
,
Fig. 2 eine Darstellung einer Anordnung zum Ausgleich des Temperatureffektes auf einer Oberflächenschallwellen-Einrichtung
mit Hilfe der Druckkraft, welche in einer zusammengesetzten Graphitschicht-Anordnung erzeugt
wird, auf welche das Substrat der Einrichtung aufgeklebt ist,
Fig. 3 eine bildliche Darstellung der Anordnung gemäß Fig. 2,
wobei das Verzögerungsleitungsfilter gemäß Fig. 1 die
Oberflächenschallwellen-Einrichtung ist, und
Fig. 4- eine graphische Darstellung der Mittenfrequenz des Verzögerungsleitungsfilters
gemäß Fig. 1 als Funktion der Temperatur.
In der Fig. 1 der Zeichnung ist ein Oberflächenschallwellen-Verzögerungsieitungsfilter
in vereinfachter Weise dargestellt. Gemäß Fig. 1 ist ein Substrat 10 aus piezoelektrischem Material
mit einem Eingangsübertrager 11 und einem Ausgangsübertrager versehen. Eine Quelle für HF-Energie, welche in ihrer Gesamtheit
mit 13 bezeichnet ist, ist elektrisch mit dem Eingangsübertrager 11 gekoppelt. Die Quelle 13 kann auch geeignete elektromagnetische
Abstimmelemente aufweisen, wie es grundsätzlich bekannt ist. Eine Verbraucherschaltung, welche allgemein bei 14- dargestellt
ist, ist ihrerseits elektrisch mit dem Ausgangsübertrager 12 gekoppelt. Das piezoelektrische Material, aus welchem das Substrat
10 besteht, ist derart beschaffen, daß es für die Ausbreitung von Oberflächenschallwellen geeignet ist. Für diesen
Zweck sind viele Materialien geeignet, und ihre Eigenschaften
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sind in der einschlägigen technischen Literatur zu finden. Neue Materialien wie Lithiumniobat und Wismuthgerrnaniumoxid
haben gezeigt, daß sie eine starke piezoelektrische Kopplung bei geringen akustischen AusbreitungsVerlusten
und einer großen Zeitverzögerung oro Längeneinheit aufweisen. Kristalliner Quarz, der in größeren akustischen
Welleneinheiten bzw. Schallwelleneinheiten sehr verbreitet ist, hat auch für Oberflächenschallwellen eine große Bedeutung,
weil neue Anordnungen dieses Materials gefunden wurden, welche sehr geringe Temperaturkoeffizienten der Zeitverzögerung
aufweisen. Die verbreiteteten Materialien sind Quarz,
und zwar wegen der geringen Kosten und der Temoeraturstabilität,
sowie Lithiumniobat, weil es eine hohe oiezoelektrische Kopplung zeigt.
Allgemein ist die Oberfläche des Substrats 10 geschliffen und derart poliert, daß die Oberfläche eine optische Qualität
aufweist, um Oberflächenunvollkommenheiten auf ein Minimum zu bringen. Ein Eingangsübertrager 11 sowie ein Ausgangsübertrager
12 werden durch Klebung oder in anderer Weise mechanisch auf der oberen polierten Oberfläche des Substrats
10 aufgebracht. Die Übertrager 11 und 12 können aus einem beliebigen geeigneten elektrisch leitenden Material wie Aluminium
oder Gold bestehen. Die Dicke des aufgebrachten leitenden Materials, welches die Übertrager aufweist, ist nicht kritisch
und kann typischerweise in der Größenordnung von 5°0 bis 1000 S oder darüber liegen.
Gemäß Fig. 1 besteht jeder Übertrager aus einer Anzahl von ineinandergreifenden Metallelektroden. Im einfachsten Falle
sind die Breite und der Abstand dieser Elektroden gleich und über die Übertrageranordnung gleichförmig verteilt. Wenn eine
harmonische Spannung an die Übertragerklemmen angelegt wird, erregt das Übertragermuster ein periodisches elektrisches Feld,
welches in das piezoelektrische Substrat eindringt. Das Sub-
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strat reagiert durch eine periodische Ausdehnung und Zusammenziehung
im Einklang mit diesen Feldern. Wenn die Anordnung des Substrats ordnungsgemäß gewählt ist, wobei gemäß der Erfindung
die Y-Schnittrichtung und die Z-Ausbreitungsrichtung gewählt sind, führt diese piezoelektrische Erregung zu Oberflächenschallwellen,
welche sich in den zwei Richtungen normal zu den Übertragerelektroden ausbreiten.
Wie aus einer Analogie zu Schallwelleneinrichtungen in festen Materialien, in welchen sich die Schallwellen innerhalb des
Materials ausbreiten, erwartet werden könnte, würde der maximale Ausgangswert bzw. der Spitzenausgangswert der Oberflächenschallwelle
aus dem Übertrager in der Nähe der Mittenfrequenz f liegen, definiert durch die Oberflächenschallwellen-Geschwin
digkeit (v) und die Periodenlänge (L) des Übertragungsmusters als:
f0 , v/L
Die Zeitverzögerung oder die Zeit (ΐ ), welche die Oberfiächenschallwelle
benötigt, um den Abstand (1) zwischen den Ubertra-' gern zurückzulegen, beträgt:
Gemäß den obigen Ausführungen finden hauptsächlich zwei Materialien
als Substrate für Oberflächenschallwellen Anwendung. Lithiumniobat
(LiNbO,) hat den höchsten Kopplungskoeffizienten, jedoch
einen großen linearen Temperaturkoeffizienten der Verzögerung (d.h. 94 ppm/°C). Dieser Temperaturkoeffizient ist zu groß für
viele praktische Anwendungen. Das zweite Material ist ST-Quarz, welches einen Temperaturverzögerungskoeffizienten erster Ordnung
von Null hat. Jedoch ist sein Kopplungswirkungsgrad etwa 30 mal
niedriger als derjenige von LiNbO-,. Somit wird die Einfügungsdämpfung bei solchen Anwendungsfällen ein Problem, welche eine
große Teilbandbreite erfordern. Weiterhin ist der Oberflächenwellen-Dämpfungskoeffizient
von ST-Quarz g?ößer als 2dB/us bei 1 GHz,
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und sein Temperaturkoeffizient zweiter Ordnung zeiTfc eine
oarabolische A/bhüngi^keit von Temperaturkoeffizienten größer
als 30 pOm/°G bei Temperaturen von 35°G von Zimmertemperatur
ab.
Ideal wäre ein Material, welches eine starke Kopplung hat und
zugleich die niedrigen AusbreitungsVerluste von LiNbCK und den geringen Temoeraturkoeffizienten von ST-Ouarz. Unten wird eine
Technik beschrieben, mit welcher man dies mit Hilfe von LiNbO-, in Verbindung mit einem Tenroeraturkompensationsmaterial erreichen
kann.
Wenn die Temperatur eines Substrats aus LiNbO^ ansteigt, nimmt
1 in der Gleichung (B) zu, und ν in der Gleichung (B) nimmt ab. deshalb nimmt die Zeitverzögerung Γ infolge dieser beiden Effekte
zu. Wenn eine Druckkraft entlang der Längsachse des Substrats wirkt, so nimmt 1 ab und ν nimmt zu, so da'i auf diese Weise die
Auswirkungen der TemOeraturzunahme auf die Verzögerungszeit
kompensiert werden.
Mit zunehmender Temperatur des Substrats nimmt außerdem L in
der Gleichung (A) zu und ν nimmt ab. Folglich nimmt f aufgrund
dieser zwei Effekte ab. Dies führt wiederum dazu, daß
bei einer Druckkraft entlang der Längsachse des Substrats L abnimmt und ν zunimmt und dadurch die Auswirkungen der Temperatur
auf f kompensiert werden.
Wenn ein Substrat 20 aus LiNbOx fest auf eine aus Schichten
gebildete Anordnung 21 mit Fasern 22, die einen hohen Elastizitätsmodul aufweisen und in einer Richtung in eine wärmebeständige
Epoxymatrix 23 gemäß Fig. 2 eingebettet sind, fest
aufgeklebt wird, wie es nachfolgend im einzelnen näher erläutert wird, wird gemäß den obigen Ausführungen eine Druckkraft,
welche auf das Substrat wirkt, mit ansteigender Tenroeratur zunehmen.
Auf diese Weise kann eine Einrichtung gebildet werden,
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welche dazu dient, die Auswirkungen der Temperatur auf die
Verzögerungszeit und die Filtermittenfrequenz zu kompensieren. Die Theorie für diese Temperaturkompensation wird unten
kurz diskutiert.
Die Temperaturabhängigkeit der Ausbreitung einer elastischen akustischen Welle in einem Festkörper wird durch den Tenmera
turkoeffizienten der Zeitverzögerung bestimmt. Wenn das Produkt aus der Zeitverzögerung Γ und der Weglänge 1 durch eine
Geschwindigkeit ν geteilt wird,
r = i/v, (-ι)
so ist der Temperaturverzögerungskoeffizient erster Ordnung durch folgende Beziehung gegeben:
1 3r ι 3i idv
wobei T die Temperatur ist. Die partielle Längenveränderung mit der Temperatur 5 (Ιη1)/$Τ ist der thermische Ausdehnungskoeffizient
OC. Der thermische Ausdehnungskoeffizient ist normalerweise
positiv (die Länge nimmt mit ansteigender Temperatur zu), und er liegt für die meisten Materialien in der Grössenordnung
von 10 -V C. Der Temperaturkoeffizient der Geschwindigkeit
ist im allgemeinen eine negative Größe (die Geschwindigkeit nimmt mit ansteigender Temperatur ab), und seine Größe liegt
in der Größenordnung von 10 /G. Die tatsächliche Auswirkung kann zu einem verhältnismäßig großen Wert für den Temperaturverzögerungskoeffizienten
führen. Beispielsweise ist in YZ-Lithiumniobat der Wärmeausdehnungskoeffizient 8 opm/°C, und
der Temperaturkoeffizient der Geschwindigkeit ist -86 ppm/°G. Dies führt zu einem erheblichen positiven Wert des Temperaturkoeffizienten
der Verzögerung von 94- ppm/ G.
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Allgemein ist die Schallgeschwindigkeit gleich der Quadratwurzel
einer entsprechenden Elastizitätskonstanten c, geteilt
durch die Dichte P :
ν = c/p (3)
Somit ist der Temperaturkoeffizient der Geschwindigkeit durch folgende Beziehung gegeben:
1 JLjl 1
1 JLjl - 1 . _
ν d T " 2c dT~ 2p
Es besteht eine direkte Abhängigkeit der Dichteänderung mit der Temperatur von dem Wärmeausdehnungskoeffizienten, welche
sich beispielsweise im Falle eines isotropen Materials folgendermaßen ausdrücken läßt:
(5)
Unter Verwendung dieser Beziehung in Verbindung mit den Gleichungen (2) und (4) läßt sich der Temperaturkoeffizient
der Zeitverzögerung in vereinfachter Form folgendermaßen schreiben:
iti)
R.E. Newnham, "Elastic Properties of Oxides and the Search
for Temperature Compensated Materials", Air Force Cambridge Research Laboratories Scientific Report, AFCRlr-TR-73-O22O,
30. März 1973 hat ein einfaches klassiches mechanisches
Analogon entwickelt, in welchem Federn die atomaren Bindungen darstellen, um die Veränderungen in elastischen Konstanten
durch einfache mechanische Parameter darzustellen.
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In einem mechanischen Federmodell, bei welchem isotrope identische Federn angenommen werden, ist der Elastizitätskoeffizient direkt proportional zu der Kraftkonstanten k
und umgekehrt proportional zu der Bindungslänge 1:
c «* k/l (7)
Mit der durch (7) gegebenen näherungsweisen Beziehung läßt sich die Temperaturveränderung von c berechnen,
IS a JtAW i 2& ^ U.
3T g·*·' * ■ "~ ** —
i£ a λ 2J£. ii ,. 1 /fc\ a*
3c i_i_j
^?* «Ί7Γ- 7Ί ■ (10)
wobei die Tatsache ausgenutzt wurde, daß die Veränderung in k hauptsächlich von der Bindungslänge abhängt. Durch Einführen
dieses Ausdrucks in die Gleichung (6) erhält man ill.« Γ λ. ί (2h. ' Ϊ5.ΎΙ
τ ST * 2 L1 + c [Ti - ϊ))
und mit einer zur Vereinfachung eingeführten Substitution für c ergibt sich
1 3t a (I
Die Einführung von typischen Werten für Quarz ergibt einen Wert 9 miT/9 T von 30 ppm/°C.
Das einfache Federkraft-Konstantenmodell liefert die richtige Größenordnung des Wertes, der experimentell zu beobachten ist.
In der Praxis ist die tatsächlich vorhandene Kristallstruktur
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wesentlich komplizierter, und das Federkonstantenmodell kann nicht dazu verwendet werden, den Temperaturkoeffizienten der
Verzögerung exakt vorherzusagen. Es ist dazu brauchbar, solche physikalischen Eigenschaften hervorzuheben, Vielehe bei
der Veränderung der Zeitverzögerung mit der Temperatur dominieren.
Aus der Beziehung (11) ist ersichtlich, daß der Temperaturkoeffizient der Zeitverzögerung direkt nroportional
ist zu dem Wärmeausdehnungskoeffizienten und zu den Parametern, welche mit partiellen Veränderungen der Bindungslänge und der
Federkonstanten in Beziehung stehen.
Daraus läßt sich die Folgerung ziehen, daß der Temperaturkoeffizient
der Verzögerung zu Null wird, wenn die Veränderung in der Bindungslänge mit der Temperatur gleich Null ist.
Diese Erkenntnis wird dazu verwendet, den TemOeraturkoeffizienten auf einen Wert von Null zu stabilisieren.
Zusammengesetzte Anordnungen sind für einige Zeit dazu verwendet worden, unerwünschte Veränderungen der Eigenschaften
zu kompensieren, welche in einem einzelnen Material auftreten können.
Mit dem Ausdruck zusammengesetzt ist angesprochen, daß zwei oder mehreren Materialien dazu verwendet werden, als makroskopische
Komponenten zu dienen, um ein zusammengesetztes Material herzustellen, welches gewünschte physikalische Eigenschaften
hat. Zusammengesetzte Materialien können anstatt herkömmlicher Materialien in vorteilhafter Weise hergestellt und angewandt
werden, und zwar in vielen Anwendungsfällen, weil sie gewöhnlich die besten Eigenschaften ihrer Bestandteile plus einigen
Eigenschaften aufweisen, die kein einzelner Bestandteil für sich alleine hat. Weiterhin können einzigartige Eigenschaften
herausgezüchtet werden, um speziellen Anforderungen eines bestimmten Anwendungsfalles Rechnung zu tragen, indem die Art,
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die Menge, die Anordnung und die Geometrie eines bestimmten Materxals der Zusammensetzung entsprechend geändert wird.
Ersichtliche (makroskopische) Eigenschaften einer bestimmten Zusammensetzung und die Wechselwirkung ihrer Bestandteile
können in zuverlässiger Weise auf der Basis der bekannten Eigenschaften eines Materials der Zusammensetzung
vorausgesagt werden, wenn die Grundsätze der Festkörpermechanik und/oder die Theorie von Zusammensetzungen, Gemischen und
Verbindungen herangezogen werden.
Für temperaturkompensierende akustische Einrichtungen ist
ersichtlich, daß in erster Linie, wenn das Material an einer Ausdehnung gehindert wird, ein Temperaturkoeffizient der
Zeitverzögerung in der Nähe von Null erreichbar ist. Dies wäre eine Anordnung, welche in physikalischer Weise die Ausdehnung
begrenzt. Wenn beispielsweise das Oberflächenwellensubstrat auf ein Material aufgeklebt wird, dessen Eigenschaften
eine Ausdehnung an der Oberfläche durch induzierte Soannungsveränderungen
verhindern, so sollte dies zu dem gewünschten Tomoeraturkoeffizienten von Null führen. Die Auswahl des
Materials, auf welche das Substrat aufgeklebt wird, und das Klebematerial sind kritische Punkte.
Ein eingeschlagener Lösungsweg besteht darin, eine aus Graphit-Schichten
zusammengesetzte Anordnung zu verwenden, deren Eigenschaften
derart gewählt werden können, daß die gewünschten Spannungspegel erreicht werden. Eine solche Anordnung ist in der
Fig. 2 veranschaulicht. Die Anordnung weist ein Oberflächenwellensubstrat 20 als oberste Schicht in einem aus Schichten
zusammengesetzten Plattenelement auf. Der Ausgleich in der Schichtanordnung wird aus einzelnen Schichten 21 erreicht,
welche in einer Richtung Graphitfasern 22 mit einem hohen
Elastizitätsmodul aufweisen, die in einer wärmebeständigen Epoxymatrix 23 angeordnet sind. Die Anzahl, die Art, die Ausrichtung
und der geometrische Bereich der zusammengesetzten
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Schichten sind eine Funktion der Kristallart, der Kristalldicke
und der Kristallorientierung (Schnitt), wobei eine Temperaturkompensation erreicht werden soll. Die Schichtanordnung ist derart
ausgebildet, daß in selektiver Weise eine Anpassung oder Fehlanpassung an Materialeigenschaften der Oberflächenwellen-Substratschicht
erreicht ist und dadurch gesteuerte Spannungsoegel in der Einrichtung hervorgerufen werden, wenn die Schichtanordnung
Veränderungen in der thermischen Umgebung ausgesetzt wird. Auf diese Weise lassen sich die Eigenschaften der Schichtanordnung
derart ausbilden, daß unerwünschte Veränderungen in der thermisch hervorgerufenen Ausdehnung und der Materialeigenschaft
an der Oberfläche des Substrats kompensiert werden.
Die Ausbildung der Schichtanordnung basiert auf der Theorie
einer zusammengesetzten Platte, veröffentlicht von J. E. Ashton et al in "Primer on Composite Materials: Analysis", Technomic
Publishing Co., Stanford, Connecticut, 1969. Diese Theorie ist anwendbar auf eine Schichtanordnung, die aus einer beliebigen
Anzahl und Anordnung von anisotropen Schichten hergestellt wird. Eine interne Druckspannung wird entlang einer ausgewählten
Materialachse der Oberflächenwellenschicht dadurch entwickelt, daß eine selektive Fehlanpassung zwischen ihrer
thermischen Ausdehnungseigenschaft und denjenigen des Ausgleichs
der Schichtanordnung vorgesehen wird. Zugleich ist es erforderlich,
die zusammengesetzte Anordnung derart auszubilden, daß die Spannungspegel außerhalb der Achse in dem Lithiumniobat
innerhalb annehmbarer Pegel gehalten werden.
Zusammengesetzte Schichten in der Form eines dünnen vorimprägnierten
Bandes können verwendet werden. Beispielsweise ist ein vorimprägnierter Kohlenstoff NARMCO 52O8T-3OO, hergestellt von
der Firma NARMCO Materials Division, Whittaker Corporation, ein modifiziertes Epoxyharz, verstärkt mit Kohlenstoff-Fasern
vom Typ Thornal 300 und wird als Band mit einer Dicke von etwa 0,178 mm (0,007 Zoll) geliefert. Die Schichtanordnung wird
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aus verschiedenen übereinander angeordneten Schichten dieses Bandes gebildet. Einzelne Schichten werden in dieser Anordnung
derart angebracht, daß ihre Hauptmaterialachsen unter
einem vorgegebenen Winkel zu einer Hauptachse der Schichtanordnung liegen. Die Anzahl, die Ausrichtung und die Anordnung
der Schichten werden gemäß den für die Schichtanordnung erforderlichen Materialeigenschaften gewählt. Anschließend
wird die Schichtanordnung bei erhöhter Temperatur und unter mäßigem Druck ausgehärtet.
Nachdem die Schichtanordnung grundsätzlich fertiggestellt ist, wird die endgültige Schichtanordnung dadurch erreicht, daß der
Oberflächenwellenkristall in seiner vorgegebenen Lage und Richtung
aufgeklebt wird.
Nachfolgend werden die Ergebnisse der Anwendung dieser Technik erläutert.Die Ausführungsform des LiNbO-7-Substratfilters gemäß
Fig. 1 mit einem Substrat 10 und Übertragern 11 und 12 wird
auf einer aus 15 Graphit-Schichten gebildeten Schichtanordnung
30 gemäß den obigen Ausführungen und gemäß der Darstellung
in vereinfachter Form gemäß Fig. 3 aufgeklebt. Die Kennlinie des Filters ist in der Fig. '+ dargestellt, in welcher
die Frequenz über der Temperatur aufgetragen ist. Gemäß der Darstellung bleibt die Frequenz über den Temperaturbereich
von 20 G bis 70 C nahezu konstant, was einem Temperaturkoeffizienten
von weniger als 10 ppm/°G entspricht.
Der Temperaturbereich und sein Mittenwert können für einen annähernd bei Null liegenden Temperaturkoeffizienten auf verschiedene
Arten geregelt werden, beispielsweise durch Veränderung der Anordnung der einzelnen Schichten und der Richtungswinkel der Graphitfasern oder durch Veränderung der Bindematerialien
und der Temperatur, bei welcher die Bindung zustandekommt.
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Diese Temperaturkompensations-Technik ist auch auf andere
Materialien für ein Oberflächenschallwellen-Substrat und auf andere Anordnungen aus verschiedenen Schichten sowie
auf andere Materialien anwendbar. Es können auch andere Methoden angewandt werden, um eine Druckkraft zu erzeugen,
um die Substratlänge konstant zu halten und auf diese Weise
einen Tenroeraturko effizient en von annähernd Null über den
gesamten interessierenden Temperaturbereich hervorzurufen.
Die oben beschriebene Tenroeraturstabilisationstechnik ist
auch auf alle anderen Oberflächenschallwellen-Einrichtungen zusätzlich zu einem Verzögerungsleitungsfilter gemäß
der bevorzugten Ausführungsform der Erfindung anwendbar.
In der Industrie besteht gegenwärtig ein größeres Interesse
daran, bei Oberflächenschallwellen-Einrichtungen eine verhältnismäßig einfache, zuverlässige und billige Einrichtung dazu
zu haben, einen hohen Kopplungswirkungsgrad bei geringen Ausbreitungsverlusten
und zugleich einen kleinen Temoeraturkoeffizienten der Verzögerung zu gewährleisten. Gemäß der
Erfindung wird die Möglichkeit dazu geschaffen, und es werden zugleich die Anwendungsmöglichkeiten von Oberflächenschallwellen-Einrichtungen
für militärische Zwecke, für Raumfahrt-Zwecke und auch für kommerzielle Einrichtungen erweitert.
- Patentansprüche -
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Claims (1)
- PatentansOrücheί 1.1 Temperaturstabile Oberflächenwellen-Anordnunf? mit einem ^■' Körper aus piezoelektrischem Material, welcher eine erste und eine gegenüber angeordnete zweite ebene Oberfläche aufweist, wobei eine Erregungseinrichtung zur Erregung von Oberflächenwellen auf der ersten ebenen Oberfläche des Körpers aus piezoelektrischem Material in Reaktion auf elektromagnetische Signale vorhanden ist, welche an die Anordnung angelegt werden, dadurch gekennzeichnet, da'3 eine aus Schichten aufgebaute Anordnung (30) vorgesehen ist, welche vorgegebene Materialeigenschaften aufweist, um in dem oiezoelektrischen Material eine Temperaturkompensation zu erreichen, indem gesteuerte Spannungsveränderungen in dem Oiezoelektrischen Material hervorgerufen werden, wobei die aus Schichten zusammengesetzte Anordnung auf die zweite Oberfläche des piezoelektrischen Materials aufgeklebt ist.2. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die aus einzelnen Schichten zusammengesetzte Anordnung eine Vielzahl von einzelnen Laminatschichten (21) aufweist, daß äeüe Schicht Graphitfasern (22) enthält, die in einer Richtung in einer Epoxymatrix angeordnet sind, und daß die Graphitfasern (22) der einzelnen Laminatschichten (21) eine vorgegebene Anordnung in bezug auf die Achse der Ausbreitung der erregten Oberflächenwellen haben, um in selektiver Weise eine Anpassung und eine Fehlanpassung an thermische Ausdehnungseigenschaften des piezoelektrischen Materials zu erreichen, indem gesteuerte Spannungen hervorgerufen werden·509884/0801Anordnung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die aus einzelnen Schichten zusammengesetzte Anordnung die gesteuerten Spannungen entlang der Ausbreitungsachse der Oberflächenwellen hervorruft, um in selektiver Weise eine Fehlanpassung an den thermischen Ausdehnungskoeffizienten des piezoelektrischen Materials zu liefern, und daß das aus einzelnen Schichten zusammengesetzte Substrat eine gesteuerte Soannung erzeugt, um im wesentlichen eine Anpassung an die thermischen Ausdehnungseigenschaf ten des piezoelektrischen Materials entlang der orthogonalen Achse su der Ausbreitungsachse der erregten Oberflüchenv/ellen zu liefern.Oberflächenwellen-Einrichtung mit einem piezoelektrischen Lithiumniobat-Kristall mit einem Y-Schnitt und einer Z-Ausbreitung, wobei eine erste und eine zweite ebene Oberfläche und wenigstens zwei Übertrager vorhanden sind, um .jeweils die Oberflächenwellen auf der ersten Oberfläche der Oberflächenwellen-Anordnung anzuregen bzw. aufzunehmen, wobei eine Anordnung gebildet ist, welche zur Temperaturetabilisation der Oberflächenwellen-Einrichtung dient, dadurch gekennzeichnet , daß eine aus Schichten zusammengesetzte Anordnung (J>0) vorgesehen ist, welche vorgegebene Materialeigenschaften aufweist, um zu gestatten, daß gesteuerte Spannungen in der Oberflächenwellen-Einrichtung hervorgerufen werden, um in selektiver Weise eine Anpassung und eine Fehlanpassung an die thermischen Ausdehnungseigenschaften des piezoelektrischen Kristalls zu bilden, um eine Temperaturstabilisation des piezoelektrischen Kristalls zu erreichen, wobei die aus einzelnen Schichten zusammengesetzte Anordnung auf eine zweite Oberfläche der Oberflächenwellen-Einrichtung derart aufgeklebt ist, daß die erregten Oberflächenwellen nicht dort hindurch übertragen werden.509884/08015· Anordnung nach Anspruch 4-, dadurch gekennzeichnet, daß die aus Schichten zusammengesetzte Anordnung Graphitfasern (22) aufweist, welche in einer wärmebeständigen Epoxymatrix in jeder Schicht der Schichtanordnung
angeordnet sind, und daß die Graphitfasern (22) in jeder
Schicht in einer Richtung verlaufen·6. Anordnung nach Anspruch 5» dadurch gekennzeichnet, daß das Substrat aus fünfzehn Schichten zusammengesetzt ist und daß die Graphitfasern (22) in jeder der
fünfzehn Schichten in eine.r vorgegebenen Richtung in bezug auf die Ausbreitungsachse der Oberflächenschallwellen angeordnet sind.7- Anordnung nach Anspruch 5» dadurch gekennzeichnet, daß das Substrat aus Graphitfasern im Verhältnis
von etwa 65 % in bezug auf das Gesamtvolumen des Substrats gebildet ist.509884/0801
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---|---|---|---|
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Publications (1)
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GB (1) | GB1474825A (de) |
NL (1) | NL7507698A (de) |
SE (1) | SE7507283L (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3729014A1 (de) * | 1987-08-31 | 1989-03-09 | Siemens Ag | Oberflaechenwellenbauteil mit unterdrueckung unerwuenschter akustischer wellen |
Families Citing this family (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4037176A (en) * | 1975-03-18 | 1977-07-19 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Multi-layered substrate for a surface-acoustic-wave device |
US4190782A (en) * | 1978-07-24 | 1980-02-26 | Telex Communications, Inc. | Piezoelectric ceramic resonant transducer with stable frequency |
JPS59214560A (ja) * | 1983-05-18 | 1984-12-04 | Matsumoto Seiki Kk | 研削研摩装置 |
DE3430856A1 (de) * | 1984-08-22 | 1986-03-06 | Bayerische Motoren Werke AG, 8000 München | Anlage zum automatischen schleifen von gewoelbten flaechen |
JPS61161063U (de) * | 1985-03-27 | 1986-10-06 | ||
US5420472A (en) * | 1992-06-11 | 1995-05-30 | Motorola, Inc. | Method and apparatus for thermal coefficient of expansion matched substrate attachment |
JP3880150B2 (ja) * | 1997-06-02 | 2007-02-14 | 松下電器産業株式会社 | 弾性表面波素子 |
US6049155A (en) * | 1997-10-27 | 2000-04-11 | Lucent Technologies Inc. | Thermally tunable surface acoustic wave devices |
JP3717034B2 (ja) * | 1998-11-10 | 2005-11-16 | 株式会社村田製作所 | 弾性表面波素子 |
US6426583B1 (en) * | 1999-06-14 | 2002-07-30 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Surface acoustic wave element, method for producing the same and surface acoustic wave device using the same |
US6674220B2 (en) * | 2001-02-14 | 2004-01-06 | Michigan Aerospace Corp. | Temperature-compensated piezoelectric force motor |
US20070096839A1 (en) * | 2005-11-02 | 2007-05-03 | Vern Meissner | Temperature compensation circuit for a surface acoustic wave oscillator |
US8664836B1 (en) * | 2009-09-18 | 2014-03-04 | Sand 9, Inc. | Passivated micromechanical resonators and related methods |
US9232315B2 (en) | 2011-03-16 | 2016-01-05 | Phonon Corporation | Monolithically applied heating elements on saw substrate |
JP6017868B2 (ja) | 2011-11-04 | 2016-11-02 | 太陽誘電株式会社 | 分波器、フィルタ及び通信モジュール |
CN104272592B (zh) * | 2013-03-27 | 2016-12-07 | 日本碍子株式会社 | 复合基板及弹性波装置 |
JP6397352B2 (ja) * | 2015-02-19 | 2018-09-26 | 太陽誘電株式会社 | 弾性波デバイス |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2497685A (en) * | 1947-11-20 | 1950-02-14 | Gen Electric | Locking means for clothes-washing machines |
US3187207A (en) * | 1960-08-08 | 1965-06-01 | Giannini Controls Corp | Transducers |
CH399021A (de) * | 1964-02-19 | 1966-03-31 | Kistler Instrumente Ag | Beschleunigungs-Messgerät |
US3349259A (en) * | 1965-05-27 | 1967-10-24 | Kistler Instr Corp | Piezoelectric pressure transducer |
FR1482899A (fr) * | 1966-03-17 | 1967-06-02 | Csf | Lignes acoustiques dispersives |
US3437849A (en) * | 1966-11-21 | 1969-04-08 | Motorola Inc | Temperature compensation of electrical devices |
US3543193A (en) * | 1968-08-29 | 1970-11-24 | Bell Telephone Labor Inc | Stressed elastic wave delay line |
US3736532A (en) * | 1971-07-14 | 1973-05-29 | Us Navy | Ultrasonic delay lines |
US3786373A (en) * | 1971-10-01 | 1974-01-15 | Raytheon Co | Temperature compensated acoustic surface wave device |
-
1974
- 1974-07-02 US US05/485,176 patent/US3943389A/en not_active Expired - Lifetime
-
1975
- 1975-05-28 GB GB2324575A patent/GB1474825A/en not_active Expired
- 1975-06-24 DE DE19752528046 patent/DE2528046A1/de active Pending
- 1975-06-25 SE SE7507283A patent/SE7507283L/xx unknown
- 1975-06-27 NL NL7507698A patent/NL7507698A/xx unknown
- 1975-07-01 FR FR7520667A patent/FR2277437A1/fr active Granted
- 1975-07-01 JP JP50080579A patent/JPS5125951A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3729014A1 (de) * | 1987-08-31 | 1989-03-09 | Siemens Ag | Oberflaechenwellenbauteil mit unterdrueckung unerwuenschter akustischer wellen |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
FR2277437B1 (de) | 1979-01-05 |
NL7507698A (nl) | 1976-01-06 |
US3943389A (en) | 1976-03-09 |
GB1474825A (en) | 1977-05-25 |
SE7507283L (sv) | 1976-01-05 |
FR2277437A1 (fr) | 1976-01-30 |
JPS5125951A (de) | 1976-03-03 |
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