DE2919902A1 - Verfahren und vorrichtung zum ueberziehen von pulver mit metall - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zum ueberziehen von pulver mit metall

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Sarah Yvonne Hughes
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    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
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    • B22FWORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F1/00Metallic powder; Treatment of metallic powder, e.g. to facilitate working or to improve properties
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Description

  • Verfahren und Vorrichtung zum Oberziehen
  • von Pulver mit Metall Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Oberztehen von gepulverten oder granulierten Materialien mit metallischen oder nichtmetallischen dünnen Schichten. Solche Verfahren werden beispielsweise bei der Herstellung von gewissen Typen von Kondensatoren benötigt.
  • Gemäß der Erfindung wird ein Verfahren zum Oberziehen von gepulverten oder granulierten Materialien vorgeschlagen, bei dem eine bestimmte Menge des Materials in einen vibrierenden offenen Behälter eingebracht wird und auf den Inhalt des Behälters das Oberzugsmaterial von einer Quelle oberhalb des Behälters aufgebracht wird.
  • Die Erfindung bezieht sich auch auf eine Vorrichtung zum Oberziehen von gepulverten oder granulierten Materialien> enthaltend eine Quelle des Oberzugsmaterialss das auf dem gepulverten oder granulierten Material niedergeschlagen werden soll, einen offenen Behälter für das zu Uberzlehende Material, der unterhalb dieser Quelle angeordnet ist und Mittel, um den Behälter während des Niederschlagens des Materials von der Quelle auf den Inhalt des Behälters in Schwingungen zu versetzen.
  • Die Erfindung soll anhand der Figur näher erläutert werden.
  • Ein ohen offener Behälter 1 wird von einem Arm 2 gehalten, der wiederum an dem unteren Ende eines Stabes 3 angebracht ist. Das obere Ende des Stabes 3 ist an einer Vibrationseinrichtung 4 befestigt, welche ihrerseits in dem Deckel 5 einer Vakuumkammer 6 angebracht ist. Der Deckel 5 trägt auch eine Elektronenstrahlquelle 6, die mit dem Oberzugsmaterial versehen ist. Der Behälter 1 ist teilweise mit dem Pulver 7 gefüllt, das Uberzogen werden soll. Die Anordnung ist so getroffen, daß die Schwingungen von der Vorrichtung 4 über den Stah 3 auf den Arm 2 übertragen werden, der so bemessen sein kann, daß er in Resonanz gerät, so daß der Behälter 1 während des Niederschlagens des Materials in Schwingungen gebracht wird. Das Niederschlagen findet jedoch nur auf der oberen Fläche der Pulverteilchen 7 statt. Durch die Vibration wird erreicht, daß das Pulver in dem Behälter durcheinandergewirbelt wird, so daß alle Pulverteilchen zu der einen oder anderen Zeit an die Oberfläche der Pulvermasse kommen und daß so alle Teilchen überzogen werden.
  • Beispielsweise kann Aluminiumoxidpulver mit einem Metallfilm Uberzogen werden, wie z.B. Tantal, so daß das Pulver für die Herstellung gewisser Typen von Kondensatoren verwendet werden kann. Anstelle der Elektronenstrahlniederschlagung kann auch eine thermische Verdampfung verwendet werden.

Claims (7)

  1. Ansprüche 1 Verfahren zum Oberziehen von gepulvertem oder granuliertem Material, d a d u r c h g e k e n n -z e i c h n e t, daß eine bestimmte Menge des Materials in einen vibrierenden offenen Behälter eingebracht wird und daß auf den Inhalt des Behälters das Oberzugsmaterial von einer Quelle oberhalb des Behälters niedergeschlagen wird.
  2. 2.) Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Niederschlagen in einer evakuierten Kammer stattfindet.
  3. 3.) Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Niederschlagen durch thermische Verdampfung oder Elektronenstrahlniederschlagung erfolgt.
  4. 4.) Vorrichtung zur Ausführung des Verfahrens nach Anspruch 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß eine Quelle für das niederzuschlagende Material vorgesehen ist, daß unterhalb der Quelle ein Behälter für das zu überziehende Material angeordnet ist und daß Mittel vorgesehen sind, während des Niederschlagens des Materials von der Quelle auf den Inhalt des Behälters den Behälter in Vibration zu versetzen.
  5. 5.) Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Quelle und der Behälter in einer Vakuumkammer angeordnet sind.
  6. 6.) Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Vibrationsvorrichtung im Deckel der Kammer angeordnet ist und der Behälter an der Vibrationsvorrichtung mittels einer Resonanzstruktur angebracht ist.
  7. 7.) Vorrichtung nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Materialquelle entweder eine Elektronenstrahlquelle oder eine thermische Verdampfungsquelle ist.
DE2919902A 1978-05-25 1979-05-17 Vorrichtung zum Überziehen von Pulver mit einer dünnen Schicht eines Überzugsmaterials Expired DE2919902C2 (de)

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