DE2909477A1 - Anordnung zum umwandeln akustischer schwingungen in elektrische schwingungen und umgekehrt, mit mindestens einem kondensatorelektretelement, das an eine elektronische schaltungsanordnung angeschlossen ist - Google Patents

Anordnung zum umwandeln akustischer schwingungen in elektrische schwingungen und umgekehrt, mit mindestens einem kondensatorelektretelement, das an eine elektronische schaltungsanordnung angeschlossen ist

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DE2909477A1 DE19792909477 DE2909477A DE2909477A1 DE 2909477 A1 DE2909477 A1 DE 2909477A1 DE 19792909477 DE19792909477 DE 19792909477 DE 2909477 A DE2909477 A DE 2909477A DE 2909477 A1 DE2909477 A1 DE 2909477A1
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  • Acoustics & Sound (AREA)
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Description

Eindhoven
5-3-1979 / ΡΗΝ 9058
"Anordnung zum Umwandeln akustischer Schwingungen in elektrische Schwingungen und umgekehrt, mit mindestens einem Koiidensatorelektretelement, das an eine elektronische Schaltungsanordnung angeschlossen ist"
Die Erfindung bezieht sich auf eine Anordnung zum Umwandeln akustische!'' Schwingungen in elektrische Schwingungen und umgekehrt, mit mindestens einem Kondensatorelektretelement, das an eine elektronische Schaltungsanordnung angeschlossen ist, mit einem Impedanzwandlei", wobei das Elektretelement mit mindestens einer Folie aus dielektrischem Polymermaterial mit mindestens einer darauf angebrachten Elektrode versehen ist.
Eine derartige Anordnung ist aus der US Patentschrift Nr. 3.300.585 bekannt. Diese Patentschrift beschreibt ein Elektretmikrophon, bei dem die Membran aus einer Elektretfolie aus einem Polymerniaterial an einer durchlöcherten flachen Rückelektrode anliegt. Auf der Rückseite des Mikrophons innerhalb des Gehäuses ist eine Montageplatte befestigt, auf der eine elektronische Schaltungsanordnung in Form eines Impedanzwandlers mit einem nachfolgenden Mikrophonverstärker angeordnet ist.
Es hat sich herausgestellt, dass sich ein derartiges Mikrophon in einer sehr kleinen und gedrängten Form herstellen.lasst, insbesondere wenn die elektronische Schaltungsanordnung in eine integrierte Form gebracht wird.
Ein Nachteil dabei bleibt jedoch, dass die elektronischen Verbindungen mit dem Elektretmikroplionelement aufwendig und insbesondere arbeitsintensiv sind,
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da mit Lötverbindungen gearbeitet werden muss.
Die Erfindung hat nun zur Aufgabe, diesen Nachteil auszuschalten und weist dazu das Kennzeichen auf, dass sich die Folie bis ausserhalb des Elektretelementes erstreckt, wobei auf diesem Teil der Folie die elektronische Schaltungsanordnung als integrierte Halbleiteranordnung angeordnet ist und wobei die Elektrode Über einen auf der Folie angebrachten Leiter mit einem der Anschlüsse der Halbleiteranordnung elektrisch verbunden ist.
Eine integrierte Halbleiteranordnung wird, meistens auf einem Träger, beispielsweise auf einer keramischen Platte oder einer Kaptonfolie befestigt. Die Anschlüsse dieser Anordnung (Bondings) haben direkten Kontakt mit einer speziell dazu angeordneten gedruckten Verdrahtung auf.dies-.
^ em Träger. Wenn nun als Träger die genannte Folie verwendet ward, wird der Vorteil erhalten, dass diese Folie unmittelbar entweder als Membran oder als Träger für die Rückelektrode verwendbar ist.
In Massenherstellung beispielsweise von Elektret-
membranen wird auf der Elektretfolie eine sehr dünne etwa 0,2 /um dicke Metallschicht als Elektrode angebracht. Bei dieser Herstellung muss dann die "integrierte Halbleiteranordnung auf dieser Folie befestigt werden., wöbe selbstverständlich ein spezielles gedrucktes Verdrähtungsmuster einschliesslich der genannten Elektrode angebracht werden muss .
In einem erfindungsgemässen Ausfuhrungsbeispiel ist die genannte Folie aus einem Trägerkörper angeordnet und bildet die genannte Elektrode für mindestens einen
flachen Teil derselben die Rückelektrode des Elelctretelements, wobei die genannte Elektrode an der Membranseite der Folie angeordnet ist.
Es ist möglich, die Rückelektrode in Yaffelform
zu gestalten, d.h. dabei besteht dann der Trägerkörper aus 35
einer profilierten waffeJ.förmigen Platte , worauf die Folie eng anliegend angeordnet wird. Die Rückelektrode besteht dann im wesentlichen aus mehreren flachen Teilen.
In den beiden Aus führ ungs f oirmen ist jeder flache
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Teil mit Vorsprüngen aus isolierendem tixotropem Lack versehen, welche Vorsprünge im Siebdruckverfahren angeordnet sind. Die mit der Rückelektrode zusammenarbeitende Membran liegt an diesen Vorsprüngen an. Durch Anwendung dieses Siebdmickverfahrens ist es möglich, bei der Massenherstellung eine sehr grosse Genauigkeit zu erzielen.
In dem ersten Ausführungsbeispiel ist die Metallschicht in mehrere einzelne Oberflächenteile aufgeteilt, wobei nur ein zentral liegender flacher Teil als Rückelektrode wirksam ist und ein Randteil für die elektrische Verbindung· mit der Membran dient, wobei der Zentrale sowie der Randteil über auf der Folie angebrachte Leiter mit der Halbleiteranordnung verbunden ist.
Eine derartige Rückelektrode ist zwischen den Vorsprüngen mit mehrerenLöchern versehen, damit die akustische Wirkung der Anordnung nach der Erfindung- erhöht wird.
Besteht die dabei verwendete Folie aus einem Elektretrnaterial, so muss die Reihenfolge der Folie und der darauf angeordneten Rückelektrode umgekehrt werden, so dass sich der Folie zwischen der Membran und der Rückelektrode befindet. Die Membran kann dann aus einer einzigen Metallplatte, beispielsweise Aluminium bestehen. Auch kann in diesem Fall die Membran gegebenenfalls aus einer Polymerfolie aus nicht Elektretmaterial mit einer darauf angebrachten sehr dünnen Metallelektrode aufgebaut sein.
Ist die Folie als Träger der Rückelektrode aus nicht-Elektretmaterial hergestellt, so besteht die Membran selbstverständlich aus einer Elektretfolie mit einer darauf angebrachten sehr dünnen Metallelektrode.
DuiOh Verwendung mehrerer Anordnungen nach der Erfindung Jcönnen diese durch Reihen- oder Parallelschaltung der Elektretelemente alle an nur eine integrierte Halbleiteranordnung angeschlossen werden. Es ist dann so, dass diese Halbleiteranordnung mehr oder weniger zentral angeordnet und durch Teile der Folie umgeben ist, wobei jeder Teil entweder die Funktion einer Membran oder die Funktion eines Trägers für die Membran oder die Rückelektrode erfüllt .
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Auf diese Weise ist durch Montage zweier Anordnungen nach der Erfindung eine sehr gut wirkende Körper* schall kompensierende Mikrophonkombination erzielbar, die sich insbesondere zum Einbauen in einem Gerät zum Wieder— geben und/oder Aufnehmen von Schallschwingungen, wie beispielsweise in einem Magnetbandgerät, eignet.
Eine derartige Mikrophonkombination weist das Kennzeichen auf, dass die Elektretelemente als Kondensatormikrophone parallel zueinander spiegelbildlich angeord— net und durch eine Trennwand akustisch getrennt sind, wobei die Membranen sowie die Rückelektroden miteinander elektrisch verbunden sind und Anschlüsse über auf der Folie angebrachte Leiter mit der integrierten Halbleiteranordnung bilden und die Folie und die Trennwand gefaltet ist, wobei
^ sich die Halbleiteranordnung an der Seitenwand der Trennwand befindet.
Die Trennwand kann aus dem obenstehend beschriebenen waffelförmig ausgebildeten Trägerkörper bestehen.
Eine bevorzugte Ausführungsform weist das Kenn-
zeichen auf, dass die Trennwand als Steckerstift ausgebildet ist, wobei sich die Mikrophonelemente axif dem oberen Teil des Steckerstiftes befinden und wobei sich die Folie teilweise über den unteren Teil des Steckerstiftes erstreckt wobei einige Oberflächenteile mit einer dünnen Metallschicht
versehen sind, die als Steckerkontakte wirksam sind.
Die obengenannten Mikr ο phonic, ömb inat ionen können mit sehr kleinen Abmessungen hergestellt werden, was für die Montage in beispielsweise "hinter-dem-Ohr"-Hörgeräten äusserst wichtjg ist.
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der
Zeichnung dargestellt und wird im folgenden näher beschrieben. Es zeigen
Figur 1 bis k eine Darstellung einer waffeiförmigen Anordnung nach der Erfindung, die als drönfreie Mi-
krophonkombination wirksam ist,
Figur 1 eine Draufsicht,
Figur 2 einen Schnitt,
Figur 3 eine ausgefaltete Folienrückelektrode,
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Figur 4 einen Schnitt durch eine Einzelheit,
Figur 5 bis 10 Darstellungen einer dröhnfreie Mikrophonkorabination, ausgebildet als Steckerstift, Figur 5 und 6 Seitenansichten des Trägerkörpers, Figur 7 einen Schnitt durch den Trägerkörper,
Figur 8 eine ausgefaltete Folie mit dem in der Elektrodenschicht angeordneten Rückelektroden für zwei Anordnungen,
Figur 9 eine sogenannte explodierte Darstellung, Figur 10 einige Frequenzkennlinien.
In Figur 1 bis h wird eine sehr kleine Anordnung nach der Erfindung dargestellt, die sich insbesondere zum Einbauen in einem Hörgerät und zwar insbesondere von dem Typ "hinter-dem-Ohr"-Hörgerät eignet. Ein derartiges Ilör- ^5 gerät ist halbmondföx"mig und klein bemessen. Die darin verwendeten Wandler - also Mikrophon und Telephon - sollen daher sehr klein bemessen sein. Die Anordnung nach den Figuren 1 bis k kann als Mikrophon sowie als Telephon verwendet werden. Die grösste äussere Abmessung beträgt dabei 5 mm. " Auf einem Trägerkörper 1, der aus einer waffeiförmigen Alurniniumplatte besteht, sind auf beiden Seiten identisch ausgebildete Mikrophon- (oder Telephon-)Elemente
2 angeordnet.
Diese Elemente werden durch eine Rückelektrode
3 und eine Membran k gebildet.
Auf einer Kaptonfolie 5 mit einer Dicke von 100/um ist auf einer· Seite eine Elektrodenschicht 6 mit einer Dicke τοπ 0,2/um vorgesehen. Der Trägerkörper 1 ist mit einem regelnlässigen Waffelmuster versehen. Auf diesem
Waffelmuster wird die Kaptonfolie 5 eng anliegend angebracht dies erfolgt auf beiden Seiten des Trägerkörpers 1 und zwar derart, dass die Elektrodenseliicht 6 sich auf der Aussenseite befindet. Deutlichkeitshalber ist in Figur k die Kaptonfolie 5 iind die Elektrodenscliicht 6 nur auf einer Seite des
Trägerkörpers 1 dargestellt. Für jedes Mikrophonelememt 2 bildet die Folie 5 nun zehn flache Teile mit zwischenliegenden Vertiefungen. Die Elektrodenschicht 6 bildet nun auf den flachen Teilen die Rückelektrode 3.
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Die flachen Teile, die die Mikrophonelemente 2 bilden, sind mit je einem Vorsprung 7 versehen, der zentral angeordnet ist und aus einem isolierenden tixotropen Lack besteht. Die Abmessungen sind: Querschnitt 0,1 mm und Höhe 25 /um.
An den Rückelektroden der Mikrophonelemente 2 - im wesentlichen an den Vorsprüngen 7 - liegt die Membran k an.
Diese Membran besteht aus einer Folie aus Elektretpolymermaterial mit einer metallenen Elektrode von 0,2 /um auf der Aussenselte. Die Dicke der Elektretfolle beträgt 20 /um.
Auf diese Weise werden zwei Mikrophonelemente 2 ge.bildet, wobei sich zwischen den flechen Teilen Volumen 8 befinden. Die jedem Mikrophonelement 2 zugeordneten Volumen sind durch den als Trennwand wirksamen Trägerkörper 1 akustisch voneinander getrennt. Für jedes Mikrophonelement arbeiten die Membran h und die zugeordneten Volumen akustisch miteinander zusammen, wobei diese Volumen die Aufgabe haben, der Frequenzkennlinie des Mikrophoneleinentes einen gewünschten Verlarif zu erteilen. Die zwei Mikrophonelemente sind nun derart elektrisch miteinander verbunden, dass sie für gewünschte Schallschwingungen gleichphasig und für unerwünschte meistens mechanische Schwingungen gegenphasig ^5 angetrieben werden und auf diese Weise für diese mechanischen Schwingungen unempfindlich sind.
In Figur 3 ist eine ausgefaltete Kaptonfolie 5 dargestellt mit der darauf angeordneten Elektrodenschiclit
Die Kaptonfolie ist mit einer dünnen Elefctrodcn-3" schicht entsprechend einem bestimmten Muster versehen, das im wesentlichen aus 3 Teilen besteht und zwar zwei nahezu identisch grossen Oberflächen, die für die Rückelektroden dienen und durch einen schmalen Mittenteil getrennt sind, dei" zur Befestigung einer integrierten Halbleiteranordnung 10 bestimmt ist. Die Halbleiteranordnung ist mit einer Aazahl gedruckter Verdrahtungen 13 verbunden, νΟχι denen eine, 11, zui- Verbindung mit den Rttckelektroden sorgt.
Tn einem Siebdriickverfahreii sind die Vorsprünge
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7 entsprechend dem Faffelmuster angebracht.
Die auf diese Weise bearbeitete Kaptonfolie
wird entsprechend den Faltlinien A-A und B-B um den Trägerkörper gefaltet.
Auf einer Seite 9 des Trägerkörpers 1 befindet sich die integrierte Halbleiteranordnung 10, die auf der· Kaptonfolie 5 angeordnet ist.
Diese Halbleiteranordnung, deren grösste Abmessung 0,6 mm beträgt", entheilt einen Impedanzwandler, der die Impedanz der Anordnung herabsetzt, wodurch sie zum Anschluss an einen Mikrophonverstärker und gegebenenfalls ein Verstärkerelement geeignet wird.
In Figur k ist auf schematische Weise dargestellt, wie die Halbleiteranordnung 10 an der Seitenwand befestigt ist.
Ein anderes Ausführungsbeispiel nach der Erfindung ist in den Figuren. 5 bis 9 dargestellt, Die Anordnung in Form eines Mikrophons ist als Steckerstift ausgebildet und ist zum Einbauen in Abspielapparatur, wie Magnetband— geräten, gemeint.
Die darin vorhandenen Motoren, die zu dem Antriebssystem gehören, verursachen in hohem Masse Körperschall (mechanical noise). Die beschriebene Anordnung enthält dazu ebenso wie bei der Anordnung nach den Figuren 1 bis 4 zwei spiegelbildlich angeordnete. Mirkophonelemonte, wobei Körperschallkompensierung auftritt.
Die Anordnung besteht aus einer Trennwand 20, die als flacher Steckerstift ausgebildet ist.
Auf den einander ge genübe rliegend en flachen Seitenflächen sind zwei elektrostatische Milcrophonelemente 21 und 22 angeordnet.
Diese befinden sich im oberen Teil des Steckerstiftes. Jedes Element ist aus einer Rückelekti-ode 23 und einer Membran 2h aufgebaut.
Die Rückelektrode 23 wird durch eine dünne Metallschicht gebildet, die auf einer Kaptonfolie angeordnet ist.
Die Membran- 2k besteht aus einer rechteckigen
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Folie aus Elektretpolymermaterial. Sie ist auf der Aussenseite mit einer dünnen Metallelektrode versehen« Die Membran ist am Rand auf einem dünnen aus Kupfer bestehenden rechteckigen Ring 29 geklebt.
Die Rückelektrode 23 ist mit vier regelmässig angeordneten Vorsprüngen 25 versehen, die aus einem isolierenden tixotropen Lack bestehen.
Die Membran 2k liegt an diesen VorSprüngen 25 an. Damit jedes Mikrophonelement 21, 22 akustisch wirkt, ist unterhalb jeder Rückelektrode 23 eine rechteckige ringförmige Ausnehmung1 26 in der Zwischenwand 20 vorgesehen. Weiter ist die Metallschicht und die Kaptonfolie mit Löchern 27 "versehen, wodurch die sehr dünne Luftschicht zwischen der Membran 2k und der Rückelektrode 23 mit der Ausnehmung
'5 26 in Verbindung steht und die Membran auf diese Weise mit dem durch die Ausnehmung 26 gebildeten Volumen akustisch zusammenarbeitet und die Freqxienzkennlinie des Mikrophonelementes abhängig von genannten Volumen bestimmt·werden : kann. Ausserdem sind die beiden Rückelek.troden 23 nun gegenüber dem restlichen Teil der auf der Kaptonfolie angeordneten dünnen Metallschicht elektrisch isoliert.
Auf der Kaptonfolie ist eine integrierte Halbleiteranordnung 28 angeordnet, die mit den elektrisch miteinander verbunden Rückelektroden 23 und über den Randteil
* der auf der Folie vorhandenen Metallschicht ebenfalls über den kupfernen Rahmen 29 mit den Elektroden der elektrisch miteinander verbundenen Membranen 2k elektrisch verbunden ist. Die beiden Mikrophonelemente 21 und 22 sind elektrisch nun derart miteinander verbunden, dass sie für gewünschte
r Schallschwingungen gleichphasig und für unerwünschte meistens mechanische Schwingungen gegenphasig angetrieben werden und auf diese ¥eise für diese mechanischen Schwingungen unempfindlich sind.
Bei der Montage geht man von einer Kaptonfolie
aus, die mit einem bestimmten Muster einer gedruckten Verdrahtung sowie mit angebrachten Elektroden versehen ist. Die Elektroden erstrecken sich weiter als das Gebiet der Rückelektrode. Die Kaptonfolie wird geniäss den Linien C-C
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und D-D zugeschnitten. Die Gesamtbreite der Kaptonf'olie entspricht dann nahezu der Länge der als Steckerstift ausgebildeten Trennwand 20.
Zuvor werden die Löcher 27 gestanzt, während die Vorsprünge 25 im Siebdruckverfahren angebracht werden.
Die Linien A-A und B-B sind Faltlinien, über die die Kaptonfolie um die Trennwand 20 gefaltet und dann darauf festgeklebt wird.
Nach Anbringen der Membran 24 wird um die Mikrophonelernente ein kupferner Klemmbügel aus zwei Teilen 30 und 31 angeordnet, wobei der Teil 30 entsprechend den zwei Faltlinien E-E um den Teil 31 gefaltet wird.
Dieser Klemmbügel ist mit einer Ausnehmung 32 versehen, die zum Aufnehmen der Halbleiteranordnung 28 dient. Weiterhin ist der Klemmbügel 30, 31 mit einer Kontaktzunge 33 versehen, die an einer der Kontaktflächen der Kctptonfolie anliegt, wodurch diese mit der Elektrode der Membran 2k galvanisch verbunden ist.
Von dieser drönausgeglichenen Mikrophonkombination sind in Figur 10 einige Frequenzkennlinien dargestellt. Dabei zeigt die Ordinate die Empfindlichkeit in dB und die Abzisse die Frequenz in Hz.
Die. Kurve 3h- ist die Frequenzkennlinie der Mikrophonkombination, die von 50 bis 50.000 Hz einen nahezu flachen Verlauf hat.
Die Kurven 35 und 36 sind sogenannte Körperschallkennlinien; wobei die Kurve 35 für ein einziges Mikrophonelement, also nicht ausgeglichen, gilt, während die Kurve 36 zu der körperschallkompensierenden Mikrophonkombination, also mit zwei Mikrophonelementen, gehört. Aus diesen Kurven ist ersichtlich, dass im Durchschnitt eine Verringerung um etwa 8 dB stattfindet. Die Messungen der Körperschallkenixlinien 35 und 36 fanden bis 2000 Hz statt.
Einige Abmessungen: Länge des Steckerstiftes 10 mm, Dicke 1,5 mm, Länge der Kaptonfolie: 8,3 mm, Durchmesser der Membran 5>'l mm, Dicke der Kaptonfolie: 300 /um; Dicke der Membran: 12 /um.
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L e e rseite

Claims (1)

  1. 5-3-1979 PUN 9058
    PATENTANSPRUECHE:
    [Yl ' Anordnung zum TJnrwan.deJ.ti akustischer Schwingungen in elektrische Schwingungen und umgekehrt mit mindestens einem Kondensator Elektretelement s das an eine elektronische Schaltungsanordminff angeschlossen ist, mit einem Impedanzwandler, wobei das Elektretelement mit mindestens einer Folie aus dielektrischem Polymermaterial mit mindestens einer darauf angeordneten Elektrode . versehen ' ist,. dadurch gekennzeichnet, dass sich die Foli.e bis ausserhalb des Elektretelementes erstreckt, wobei auf diesem Teil der Folie der elektronische Schaltungsanordnung als integrierte Halbleiteranordnung angeordnet ist und wobei die Elelctro.de über einen auf* der Folie angeordneten Leiter mit einem der Anschlüsse der Halbleiteranordnung elektrisch vex-bunden ist. 2. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch gekennaeich.-
    net, dass ein Teil der Folie als Membran des Elektretelements wirksam ist.
    3· Anordnung nach einem der vorstehenden Ansprüche,
    dadurch gekennzeichnet, dass die Folie aus Elektretmafcerial besteht.
    ^t. Anordnung nach Ansprach 1 oder 3> dadurch gekennzeichnet, dass die Folie auf einem Tragea-kftrper angeordnet ist und die genannte -Elektrode für mindestens einen flachen Teil derselben die. Klicke!ektrode des Elaktretelements bildet, wobei die genannte Elektrode auf■der' Membran-
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    seite der Folie angeordnet ist. 290947/
    5. Anordnung nach Anspruch k, dadurch gekennzeichnet, dass der Trägerkörper aus einer profilierten waffeiförmigen Platte besteht, auf der die Folie eng anliegend
    G angeordnet ist und wobei mehrere flache Teile die Rückelektroden bilden.
    6. Anordnung nach Anspruch h, dadurch gekennzeichnet, dass die Metallschicht in mehrere einzelne Oberflächenteile aufgeteilt ist, wobei ein zentral liegender flacher Teil als Rückelelctrode wirksam ist und ein Randteil zur elektrischen Verbindung- mit dem Membran dient, wobei der zentrale sowie der Randteil über auf der Folie angeordnete Leiter mit der Halbleiteranordnung verbunden ist.
    7. Anordnung nach einem der Ansprüche k bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass auf jedem flachen Teil ein oder mehrere VorsprLlnge aus isolierendem tixotropem Lack im Siebdruckvci:fa.hren angeordnet sind, wobei die Membran an den Vorsprüngeii anliegt.
    8. Dröhnfreie Mikrophonkombination, insbesondere zum Einbauen in einem Gez'ät zum Wiedergeben und/oder Aufnehmen von Schallschwingungen mit zwei Anordnungen nach einem der vorstehenden Ansprüche 2 bis J, dadurch gekennzeichnet, dass die Elektretelemente als Kondensatormikrophone parallel zueinander spiegelbildlich angeordnet und
    2" durch eine Trennwand akustisch getrennt sind, wobei die Membranen sowie die Rückelektroden miteinander elektrisch verbunden sind und Anschlüsse über auf der Folie angeordnete Leiter mit der integrierten Halbleiteranordnung bilden und die Folie um die Trennwand gefaltet ist, wobei die Halbleiteranordnung sich an der Seitenwand· der Trennwand befindet.
    9· Dröhnfreie Mikrophnukombination nach Anspruch
    8, dadurch geleetinzeichnet, dass die Trennwand aus einer1 waffelförmig profilierten Metallplatte besteht, an der die Folie eng anliegend angeordnet ist.
    10. Dröhnfreie Mikrophonkombinatioii nach Anspruch 7 oder 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Trennwand als Steckerstif ausgebildet ist, wobei sich die Mikrophon-
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    5-3-1979 3 PHN 9058
    elemente auf dem oberen Teil des Steckerstiftes1 und die Folie sich teilweise über den unteren Teil des Steckerstiftes erstreckt, wobei einige Oberflächenteile mit einer dünnen Metallschicht versehen sind, die als 5 Steckerkontakte wirksam sind.
    909839/0760
DE2909477A 1978-03-13 1979-03-10 Anordnung zum Umwandeln akustischer Schwingungen in elektrische Schwingungen und umgekehrt, mit mindestens einem Kondensatorelektretelement, das an eine elektronische Schaltungsanordnung angeschlossen ist Expired DE2909477C2 (de)

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Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CA1107382A (en) * 1978-11-03 1981-08-18 Beverley W. Gumb Electret microphone with simplified electrical connections by printed circuit board mounting
DE3103357C2 (de) * 1981-01-31 1982-10-21 Deutsche Forschungs- und Versuchsanstalt für Luft- und Raumfahrt e.V., 5000 Köln Ultraschallwandler
DE8328734U1 (de) * 1983-10-05 1986-02-13 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Hörgerät
NZ206475A (en) * 1983-12-05 1988-09-29 Leslie Kay Ultrasonic transducer array provides beam steering
FI962386A0 (fi) 1996-06-07 1996-06-07 Kari Johannes Pirk Kirjavainen Elektroakustisk omvandlare
EP1142442A2 (de) * 1999-01-07 2001-10-10 Sarnoff Corporation Hörhilfegerät mit grossmembran-mikrofonelement einschliesslich leiterplatte
US7003127B1 (en) 1999-01-07 2006-02-21 Sarnoff Corporation Hearing aid with large diaphragm microphone element including a printed circuit board
KR200218653Y1 (ko) * 2000-11-01 2001-04-02 주식회사비에스이 일렉트렛 콘덴서 마이크로폰
US20040007877A1 (en) * 2002-06-07 2004-01-15 California Institute Of Technology Electret generator apparatus and method
AU2003238881A1 (en) * 2002-06-07 2003-12-22 California Institute Of Technology Method and resulting device for fabricating electret materials on bulk substrates
US8169014B2 (en) * 2006-01-09 2012-05-01 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Interdigitated capacitive structure for an integrated circuit
TWI378733B (en) * 2008-10-27 2012-12-01 Htc Corp Method for manufacturing electret diaphragm
TWI589163B (zh) * 2013-09-12 2017-06-21 三穎電子材料有限公司 靜電式電聲傳導器
KR20210044946A (ko) 2019-10-15 2021-04-26 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치의 제조장치 및 표시 장치의 제조방법

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3300585A (en) * 1963-09-04 1967-01-24 Northern Electric Co Self-polarized electrostatic microphone-semiconductor amplifier combination

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US1975801A (en) * 1930-12-15 1934-10-09 Sound Lab Corp Ltd Microphone
DE1132593B (de) * 1965-04-05 1962-07-05 Bolt Beranek & Newman Akustisch wirksame Platte, insbesondere zur Ankopplung an einen elektroakustischen Wandler
US3624315A (en) * 1967-01-23 1971-11-30 Max E Broce Transducer apparatus and transducer amplifier system utilizing insulated gate semiconductor field effect devices
JPS4912641B1 (de) * 1970-02-13 1974-03-26
JPS4912598Y1 (de) * 1970-07-14 1974-03-28
US3702464A (en) * 1971-05-04 1972-11-07 Ibm Information card
FR2144933A5 (de) * 1971-07-02 1973-02-16 Anvar
GB1361256A (en) * 1971-08-25 1974-07-24 Rolls Royce Gas turbine engine blades
DE2257680A1 (de) * 1971-12-11 1973-06-14 Primo Co Ltd Manufacturers & M Kompaktmikrophon
US3816671A (en) * 1972-04-06 1974-06-11 Thermo Electron Corp Electret transducer cartridge and case
US3808480A (en) * 1973-04-16 1974-04-30 Bunker Ramo Capacitive pressure transducer
US3894243A (en) * 1974-06-06 1975-07-08 Us Navy Polymeric transducer array
GB1487847A (en) * 1974-09-25 1977-10-05 Ard Anstalt Microphone units
US4034332A (en) * 1974-10-15 1977-07-05 Agence Nationale De Valorisation De La Recherche (Anvar) Ultrasonic transmitting and receiving devices using dielectric transducers
US4046974A (en) * 1976-10-01 1977-09-06 Bell Telephone Laboratories, Incorporated Electroacoustic transducer with springs forming electrical interconnections as a result of assembly
US4063050A (en) * 1976-12-30 1977-12-13 Industrial Research Products, Inc. Acoustic transducer with improved electret assembly

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3300585A (en) * 1963-09-04 1967-01-24 Northern Electric Co Self-polarized electrostatic microphone-semiconductor amplifier combination

Also Published As

Publication number Publication date
JPS6411000B2 (de) 1989-02-22
AT363132B (de) 1981-07-10
AU523076B2 (en) 1982-07-08
ATA187879A (de) 1980-12-15
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JPS54127316A (en) 1979-10-03
IT1110674B (it) 1985-12-23
FR2420265B1 (de) 1984-04-20
GB2016862B (en) 1982-07-21
CH646563A5 (de) 1984-11-30
US4286122A (en) 1981-08-25
NL7802688A (nl) 1979-09-17
AU4507779A (en) 1979-09-20
DK102279A (da) 1979-09-14

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