DE2903025A1 - Rc-netzwerk - Google Patents

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DE2903025A1 DE19792903025 DE2903025A DE2903025A1 DE 2903025 A1 DE2903025 A1 DE 2903025A1 DE 19792903025 DE19792903025 DE 19792903025 DE 2903025 A DE2903025 A DE 2903025A DE 2903025 A1 DE2903025 A1 DE 2903025A1
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Description

290302b
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT Unser Zeichen Berlin und München VPA ^ η j η 1 3 SRD
RC-Netzwerk
Die vorliegende Erfindung betrifft ein RC-Netzwerk, in dem zwei elektrisch leitende Flächen und ein zwischen diesen liegendes Dielektrikum einen Kondensator bilden, in den zumindest eine der elektrisch leitenden Flächen aus Widerstandsmaterial besteht und mäanderförmig ausgebildet ist und in dem der so gebildete Widerstand nach dem Aufbau einer elektrischen Schaltung abgeglichen werden kann.
Die Aufgabe, die der vorliegenden Erfindung zugrundeliegt, besteht darin, daß ein Aufbau der beschriebenen Art für einen Funktionsabgleich zugänglich gemacht wird und daß dabei eine gleichmäßige Flächenverteilung von Kapazität und Widerstand gewährleistet ist.
Diese Aufgabe wird dadurch gelöst, daß auf einen Träger aus wärmefestem Material eine Widerstandsschicht, ein Dielektrikum aus Glimmpolymerisat und eine bei Regeneriervorgängeh oxidierbare Gegenelektrode aufgebracht sind und daß das Dielektrikum die Widerstandsschicht mit
Mhs 1 Mi 9.1.1979
030031/0379
ORIGINAL INSPECTED
2S03025
"^ 79 P ί 013 BRD
Ausnahme von Kontaktflecken vollständig überdeckt, so daß ein regenerierfähiger Kondensator entsteht.
Dieser Aufbau hat den Vorteil, daß eine gleichmäßige Flächenverteilung des Widerstandes und der Kapazität gewährleistet ist, da die Widerstandsschicht von der Gegenelektrode der Kapazität vollständig überdeckt ist. Durch den Einsatz eines regenerierfähig dünnen Kondensatorbelages und eines Dielektrikums aus Glimmpolymerisat ist es möglich, den Widerstand durch einen Laserstrahl oder durch einen Corpuskularstrahl abzugleichen, indem die Widerstandsschicht, die Dielektrikumsschicht und die Gegenelektrode gemeinsam abgetragen werden, während der Träger unversehrt bleibt. Dadurch entsteht infolge der Regenerierfähigkeit kein Kurzschluß zwischen dem Widerstand und dem Gegenbelag. Insbesondere die Glimmpolymerisatschichten tragen zur Regenerierfähigkeit wesentlich bei. Der Abgleich führt bei der beschriebenen Ausführungsform zu keinen Qualitätseinbußen, wie dies beispielswei- se beim ganzflächigen Abtragen einer obenliegenden Tantal- oder Tantalnitritwiderstandsschicht durch anodisches Formieren der Fall wäre. Auch das Verfahren der DE-OS 25 56 696, welches eine anodisch oxidierbare Grundelektrode, beispielsweise aus Tantal oder Tantallegierung, benutzt, läßt einen Feinabgleich oder Funktionsabgleich nicht ohne eine Störung der gleichmäßigen Flächenverteilung zu. Dort wird eine steuerbar aufwachsende Oxidschicht als Dielektrikum eingesetzt, seitlich unter der Gegenelektrode herausragende Widerstandsbögen werden zum Feinabgleich durch Laserschnitte und zum Funktionsabgleich verwendet. Durch die Laserschnitte wird der Widerstandswert in den Widerstandsbögen erhöht. Diese Methode nach dem Stand der Technik bedingt also eine nicht vollständige Überdeckung der Widerstandsschicht durch die
030031/0379
ORlGSMAL INSPECTED
79 P ί 0 1 3 BRD
Gegenelektrode, wobei diese Abweichung von der vollständigen Überdeckung auch nicht konstant und damit einkalkulierbar ist. Mithin können verteilte RC-Leitungen nur unvollkommen realisiert werden.
Zum Grobabgleich ist es vorteilhaft, wenn an die Widerstandsschicht in sich geschlossene Leitungszüge angeformt sind, durch deren Durchtrennung der Widerstand erhöht werden kann. Ein Abgleich durch Laserstrahlen ist vorteilhaft realisierbar, indem der Träger aus Polyimid besteht, indem auf diesen Träger zunächst eine Widerstandsschicht aus z.B. Chromnickel, dann eine Glimmpolymerisatschicht und schließlich eine Metallschicht, z.B. Aluminium, als Gegenelektrode aufgebracht ist. Das Polyimid hat eine ausreichende Temperaturfestigkeit und ist für das Laserlicht insbesondere von YAG-Lasem (Rubin-Lasern) durchlässig. Daher ist es vorteilhaft, daß entsprechende Bereiche der Widerstandsschicht, des Dielektrikums und der Gegenelektrode gemeinsam durch einen YAG-Laser (Rubin-Laser) abgetragen wird. Dies kann sowohl durch die Polyimidfolien hindurch als auch von der Metallschicht her erfolgen. Dies ist insbesondere für den Funktionsabgleich vorteilhaft, da nach dem Einbau in eine Schaltung unter Umständen nicht mehr ohne weiteres jede Seite des RC-Netzwerkes für einen Laserstrahl erreichbar ist.
Um eine relativ große Streuung der elektrischen Werte bzw. der Fertigungstoleranzen ausgleichen zu können, ohne einen übermäßigen Materialaufwand treiben zu müssen, ist es vorteilhaft, daß zur Verkleinerung des Produktes RC ein Bereich in den geschlossenen Leitungszügen abgetragen oder abgetrennt wird, welcher zwar kapazitiv wirksam, aber vom Hauptstrom nicht durchflossen
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79 P 101 3 BRD
ist. Der Hauptstrom fließt in den geschlossenen Leitungszügen grundsätzlich auf dem kürzesten Weg, auf dem längeren Weg nur in entsprechend dem größeren elektrischen Widerstand verringertem Maße. Wird auf dem längeren Weg von den Leitungszügen Material abgetragen, so ändert sich der Hauptstrom kaum, wohl aber die als Kondensatorbelag wirkende Fläche. Der Strom durch den kürzesten Weg der geschlossenen Leitungszüge wird als Hauptstrom bezeichnet.
Zur Erhöhung des Widerstandes werden an beliebiger Stelle stromdurchflossene Teile der Widerstandsschicht zerstört. Je breiter die Widerstandsschicht an der betreffenden Stelle ist und je geringer im Falle von verzweigten Strömen der Strom durch den verkleinerten Strompfad ist, umso feiner ist der Widerstandsabgleich. Beim erfindungsgemäßen Aufbau ist jede für einen Laser erreichbare Stelle der Widerstandsschicht zum Abgleich grundsätzlich geeignet. Neben einer Erhöhung des RC-Produktes ist auch eine Verringerung des RC-Produktes ohne Zerstörung des RC-Elementes möglich.
Die Erfindung wird anhand einer Figur näher erläutert. Die Figur zeigt ein erfindungsgemäßes RC-Netzwerk, wobei der obenliegende Gegenbelag grob und die Kontaktflecken fein schraffiert dargestellt sind.
Auf eine Trägerfolie 1 ist eine mäanderförmige Widerstandsschicht 2 aufgebracht. Diese ist mit Kontaktflecken 3 elektrisch leitend verbunden. Auf die Widerstandsschicht 2 ist eine Polymerisatschicht 4 aufgebracht, welche die Widerstandsschicht 2 vollständig überdeckt, die Kontaktflecken 3 aber freiläßt. Auf diese Glimmpolymerisatschicht 4 ist eine Metallschicht 5
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79 P 10 13 BRD
als Gegenelektrode aufgebracht. Diese ist mit einem Kontaktflecken 6 elektrisch leitend, vorzugsweise einstückig verbunden. Die Metallschicht 5 besteht vorteilhaft aus einer dünnen Aluminiumschicht.
Durch einen Laserstrahl in Pfeilrichtung A kann ein Grobabgleich erfolgen, indem der Steg 7 durchtrennt wird, so daß der Strom über den weiteren Weg 8 fließen muß. Durch einen Laserstrahl in Pfeilrichtung B läßt sich ein Feinabgleich bewirken. Der Laserstrahl in Pfeilrichtung B trifft eine relativ breite Fläche 10, so daß ein sehr feiner Abgleich des Widerstandes möglich ist. Durch einen Laserstrahl in Pfeilrichtung C kann ein vom Hauptstrom nicht durchflossener Teil einer geschlossenen Schleife 11 der Widerstandsbahn 2 abgetrennt bzw. verkleinert werden. Dadurch ist eine Verkleinerung der Kapazität bei annähernd gleichbleibendem Widerstandswert und damit eine Verkleinerung des Produktes RC möglich.
Bei den angegebenen Korrekturen durch Laserabgleich bleibt eine gleichmäßige Flächenverteilung von R und C erhalten.
6 Patentansprüche
1 Figur
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Leerseite

Claims (6)

Patentansprüche 79 P 10 13 BRD
1.) RC-Netzwerk, in dem zwei elektrisch leitende Flächen und ein zwischen diesen liegendes Dielektrikum einen Kondensator bilden, in dem zumindest eine der elektrisch leitenden Flächen aus Widerstandsmaterial besteht und mäanderförmig ausgebildet ist und in dem der so gebildete Widerstand nach dem Aufbau einer elektrischen Schaltung abgeglichen werden kann, dadurch gekennzeichnet , daß auf einen Träger (1) aus wärmefestem Material eine Widerstandsschicht (2), ein Dielektrikum (4) aus Glimmpolymerisat und eine bei Regeneriervorgängen oxidierbare Gegenelektrode (5) aufgebracht sind und daß das Dielektrikum (4) die Widerstandsschicht (2) mit Ausnahme von Kontaktflecken (3) vollständig überdeckt, so daß ein regenerierfähiger Kondensator entsteht.
2.. RC-Netzwerk nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß an die Widerstandsschicht in sich geschlossene Leitungszüge angeformt sind, durch deren Durchtrennung der Widerstand erhöht werden kann.
3. RC-Netzwerk nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Träger aus Polyimid besteht, daß auf diesen Träger zunächst eine Widerstandsschicht z.B. aus Chromnickel, dann eine Glimmpolymerisatschicht und schließlich eine Metallschicht z.B. aus Aluminium als Gegenelektrode aufgebracht sind.
4. Verfahren zum Abgleich eines RC-Netzwerkes nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß entsprechende Bereiche der Widerstandsschicht, des Dielektrikums und der Gegenelektrode gemeinsam durch einen YAG-Laser (Rubin-Laser) abgetragen werden.
030031/0379
79 P 1 0 1 3 BRD
5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß zur Verkleinerung des Produktes RC ein Bereich in den geschlossenen Leitungszügen abgetragen oder abgetrennt wird, welcher zwar kapazitiv wirksam, aber nicht vom Hauptstrom durchflossen ist.
6. Verfahren nach einem der Ansprüche 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, daß zur Erhöhung des Widerstandes an beliebiger Stelle stromdurchflossene Teile der Wider-Standsschicht zerstört werden.
050031/0379
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