DE1615055A1

DE1615055A1 - Verfahren zur Herstellung von Duennschicht-Bauelementen

Info

Publication number: DE1615055A1
Application number: DE19661615055
Authority: DE
Inventors: Hanfmann Alexander Maxim
Original assignee: Western Electric Co Inc
Current assignee: AT&T Corp
Priority date: 1965-08-30
Filing date: 1966-08-27
Publication date: 1970-05-14
Also published as: US3400456A; NL6612084A; SE325631B; BE686115A; GB1163756A

Description

Verfahren zur Herstellung von Dünnschicht-Bauelementen

Die Erfindung befaßt sich mit Verfahren zur Herstellung vonn Dünnschicht-Bauelementen und insbesondere mit Verfahren zur zweiseitigen Justierung von DünnscMcht-Bauelementenj, wie etwa Widerständen, auf die gewünschten Werte. Demgemäß liegen die allgemeinen Ziele der Erfindung in der Bereitstellung neuer und verbesserter Verfahren solcher Art.

Bisher wurden DünnscMcht-Bauelemente, wie etwa ein Widerstand, durch Abscheiden einer dünnen Schicht eines anodisierbaren Metalls wie Tantal auf einer isolierenden Unterlage hergestellt und danach selektive Teile der Schicht zwecks Bildung eines Widerstandskörpers entfernt, dessen Widerstand sich dem gewünschten Endwert näherte, aber kleiner war» Der Widerstand wurde dann auf den gewünschten Wert einjustiert, indem man ihn einer Anodisierbehandlung unterwarf, die einen Teil der Metallschicht in das Oxid verwandelte, wodurch der wirksame leitende Querschnitt der Schicht verringert und der Widerstandswert erhöht wurde. Alternativ wurde der wirk-

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same leitende Querschnitt der Metallschicht durch Durchlöchern der Schicht oder durch deren thermische Oxidation vermindert.

Alle diese Verfahren haben den gemeinsamen Nachteil, daß sie nur eine einseitige Justierung des Widerstands ermöglichen, d. h. sie ermöglichen nur die Durchführung von Widerstandszunahmen. Dementsprechend mußte große Sorgfalt in den Arbeitsgängen der Abscheidung und Entfernung der Schicht geübt werden, um sicherzustellen, daß der Widerstands wert nach diesen Arbeitsgängen kleiner als der gewünschte Endwert war, da, wenn dies nicht der Fall war, nichts getan werden konnte, um den Widerstandswert zu verkleinern und das Teil mit entsprechendem wirtschaftlichen Verlust in den Abfall gegeben werden mußte, Darüberhinaus mußte in den Fällen, in denen eine Mehrzahl von Widerständen auf einer einzigen Unterlage erzeugt wurde, die ganze Unterlage verworfen werden, wenn einer der Widerstände höher war, als der gewünschte Wert, auch wenn die anderen Widerstände innerhalb ihrer Sollwerte waren oder einer Einjustierung darauf zugänglich gewesen wären«

Die vorliegende Erfindung bewältigt diese und andere Probleme, indem sie ein zweiseitig justierbares Dünnschicht-Bauelement bereitstellt, das zwei Schichten leitenden Materials, getrennt von einer Schicht nichtleitenden Materials enthält. Wenn eine elektrische Größe eines solchen Bauteils von ihrem Sollwert in einer

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ersten Richtung abweicht^ so'wird gemäß Erfindung eine sogenannte"offene Bohrung" im Bauteil gebildet: weicht sie in entgegengesetzter Richtung vom. Sollwert ab, so wird im Bauteil eine sogenannte "Nebenschluß¹¹-Bohrung gebildet»

Der nachfolgend verwendete Ausdruck "offene" Bohrung stellt ein Loch dar, dessen Innenwand Punkt für Punkt genau die gleiche Zusammensetzung hat, wie die des die Bohrung unmittelbar umgebenden Materials. Solch eine Bohrung kann in nur einer der leitenden Schichten hergestellt werden oder es kann sich von einer leitenden Schicht durch die nichtleitende Schicht hindurch bis zur anderen leitenden Schicht erstrecken. In jedem Fall bewirkt eine offene Bohrung eine Verringerung des wirksamen leitenden Querschnitts der leitenden Schicht, in der es sich befindet, bewirkt aber keinerlei elektrische Verbindung zwischen den beiden leitenden Schichten. Auf der anderen Seite ist eine "Nebenschluß"-Bohrung ein Loch, dessen Wandungen sich von einer leitenden Schicht zur anderen erstrecken und eine elektrische Verbindung zwischen den beiden leitenden Schichten erstellen. Die innere Wandung einer solchen Bohrung kann aus dem gleichen Material bestehen, wie eine der leitenden Schichten oder teilweise aus dem Material der einen leitenden Schicht und teilweise aus dem Material der anderen leitenden Schicht. Die Zusammensetzung der inneren Wandung kann auch eine Mischung der Materialien der beiden leitenden und der nichtleitenden Schicht sein.

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Vorteühafterweise werden die Bohrungen durch Impulse hoher Energie hergestellt, wie etwa die von eine.m LASER erzeugten Impulse monochromatischen cohärenten Lichts. Eine verhältnismäßig hohe Energiedichte undjsurze Impulsdauer verdampft die Schicht oder Schichten, aufdie es gerichtet wird und bildet dadurch eine offene Bohrung. Eine geringere Energiedichte und größere Impulsdauer verdampft teilweise und schmilzt teilweise die Schichten, auf die es gerichtet wird und bildet dadurch eine Nebenschlußbohrung. .

Bei einer Ausführungsform der Erfindung ist das Bauelement ein Widerstand mit einem Paar von Kontakten, die mit einer der beiden leitenden Schichten verbunden sind, wobei zusätzlich einer der Kontakte mit der anderen leitenden Schicht verbunden ist. Ein so gebauter Widerstand kann aus zwei individuellen Widerständen bestehend aufgefaßt werden, die eine gemeinsame Verbindung haben. Eine offene Bohrung in einem solchen Widerstand vermindert den wirksamen leitenden Querschnitt einer oder beider leitenden Schichten und erhöht damit den Widerstand zwischen den Kontakten. Eine Nebenschluß-Bohrung im Widerstand richtet andererseits eine Nebenschlußverbindung zwischen den leitenden Schichten ein, womit ein Teil der einen leitenden Schicht elektrisch parallel mit einem Teil der anderen verbundenwird und der Widerstand zwischen den Kontakten abnimmt.

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Ein völliges Verständnis der Erfindung, ihrer Ziele, Vorzüge und Merkmale ergibt sich aus der nachfolgenden, ins einzelne gehenden Beschreibung spezieller Ausführungsformen in Verbindung mit den beigefügten Zeichnungen«

Fig. 1 ist eirie Auf sieht auf einen Widerstand, der bestimmte Prinzipien der Erfindung verkörpert,

Fig. 2 ist ein Querschnitt in der Ebene 2-2 der Fig. 1,

Fig. 3 ist ein elektrisches Schaltschemä des in Fig. 1 und 2 abgebildeten Widerstandes,

Fig. 4 ist eine sehematische Wiedergabe einer Apparatur zur Durchführung einer zweiseitigen Justierung des , Wider stands werte s gemäß Erfindung,

Fig. 5 ist ein Querschnittsbild des Wider Standskörpers nach Fig. 1 und 2 nach Bildung einer offenen Bohrung des ersten Typs darin» Zur Vereinfachung wird nur ein Ausbruch gezeigtj

Fig. 6 ist ein ähnliches Bild des Widerstandskörpers nach Bildung einer offenen Bohrung vom zweiten Typ darinj ,

Fig. 7 ist eine Quer Schnitts ansicht'des Widerstandskörpers nach Fig. 1 und 2 nach Bildung einer Bebenschlußbphrung des ersten Typs, zur Vereinfachung wird nur ein Ausbruch gezeigt; \>

ist eine ähnliche Ansicht des Widerstandskörpers nach der Bildung einer Nebenschlußbohrung des zweiten Typs darinj

Fig. 9 ist eine grafische Darstellung der jeweiligen Wellenform der Lichtimpulse, die zur Bildung offener und Nebenschluß-Bohrungen verwendet werden;

Fig. 10 ist ein elektrisches Schaltsehema des Widerstandskörpers nach der Bildung einer Bebenschlußbohrung darin;

Fig. 11 und 12 sind Querschnittsbilder alternativer Ausführungsformen von zweiseitig justierbaren Dünnschicht-Widerständen»

Es versteht sich, daß die senkrechten (Querschnitts-) Bilder in den Zeichnungsblättern zur Verdeutlichung der Illustration stark vergrößert und verzerrt sind.

In den Zeichnungen stellen Fig« 1 und 2 Abbildungen eines Dünnschicht-Widerstands 20 dar, der eine isolierende Unterlage 21 enthält, (dazu) eine erste Dünnschicht 22 aus leitendem Material in haftendem Kontakt mit der Unterlage, einem. Paar leitender Kontakte 23 und 24, die an die diesbezüglichen, gegenüberliegenden Enden der Dünnschicht 22 angeheftet sind, (ferner) einer Schicht 26 aus nichtleitendem Material in haftender Berührung mit dem Teil der Dünnschicht 22, der sieh zwischen den Kontakten 23 und 24 erstreckt und einer zweiten Dünnschicht 27 aus leitendemMaterial in haftender Berührung mit einem Teil des Kontaktes 23 und mit dem überwiegenden Teil der nichtleitenden Schicht 26. An die Kontakte 23 und können (nicht gezeigte) Zuleitungen angeheftet werden,

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Die Werkstoffe^ aus denen der Widerstand 20 angefertigt wird₄ werden nach den gewünschten physikalischen, chemischen und elektrischen Eigenschaften des Widerstands und nach der metallurgischen Verträglichkeit der Materialien ausgewählt* In gleicher Weise wählt man die zur Herstellung des Widerstands 20 verwendete Technik unter Berücksichtigung der Zusammensetzung der verschiedenen Werkstoffe, der gewünschten Kosten und Qualität des Widerstands usw. im Einklang mit bewährten Ingenieur-Prinzipien der Fabrikation. Als Beispiel seien die folgenden Materialien und Herstellungsverfahren zur Anfertigung eines typischen Widerstands 20 benutzt.

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Die isolierende Unterlage 21 kann aus Saphir bestehen. Die erste Dünnschicht 22 kann aus Tantal bestehen „und wird auf der Unterlage mittels eines allgemein üblichen Zerstäubungsverfahrens abgeschieden. Die Kontakte 23 und 24 können aus aufeinanderfolgenden Schichten aus "Nichrome" {eine im wesentlichen aus 80% Nickel und 20% Chrom bestehenden Legierung) und Gold bestehen und können auf der Dünnschicht 22 durch aufeinanderfolgendes Aufdampfen durch eines Maske hindurch abgeschieden werden. Die nichtleitende Schicht 26 kann durch anodische Behandlung der Dünnschicht 22 aus Tantal hergestellt werden unter Umwandlung eines Teils desselben in Tantalpentöxid (TaO.), (Die Anodisierung der Schicht 22 vermindert gleichfalls die Dicke desjenigen Teils, der zwischen den

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Kontakten 23 und 24 liegt). Die zweite Dünnschicht 27 kann aus Nichrome bestehen und kann auf Teilen des Kontakts 23 und der nichtleitenden Schicht 26 durch ein Aufdampfverfahren abgeschieden werden, ähnlich dem zur Abscheidung der Kontakte 23 und verwendeten Verfahren.

Der Widerstand 20 kann die folgenden Abmessungen haben:

Unterlage 21
Erste Dünnschicht 22 Kontakte 23 und 24 Nichtleitende Schicht 26

Teil der Dünnschicht 22 unter der Schicht 26

Zweite Dünnschicht 27

Länge

8, 13 mm 8,13 mm

2, 54 mm

3, 05 mm

Breite

Dicke

4, 06 mm 1, 22 mm

3, 05 mm 1700 R.B

4, 06 mm NiCr 200 AE

Au 3500 ÄE 3, 05 mm 300 - 500 A⁵E

3,05 mm. 3,05 mm 1500-1600 A*E 3,57mm 2,03 mm 300 Ä*E

Wie Fig. 3 zeigt, kann der Widerstand 20 elektrisch als zwei individuelle Widerstände 22 und 27 dargestellt werden, die eine gemeinsame Verbindung am Kontakt 23 haben. Dür die oben aufgeführten Materialien und Abmessungen haben die Widerstände 22 und 27 typische Werte von 250 Ohm beziehungsweise 50 Ohm. Vor jeder Justierung des Widerstands ist der Widerstandswert des Widerstandskörpers 20, gemessen zwischen den Kontakten 23 und 24, gleich dem Widerstandswert des Widerstands 22.

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Justierung des Widerstands

Um den Widerstandswert des Widerstands 20 zu justieren, kann die in Fig. 4 gezeigte Apparatur verwendet werden. Die Apparatur hat eine geeignete Halterung 28 für den Widerstand 20, ein Ohmmeter 29 mit einem Paar Stromzuführungen 30 zur Prüfung und einem üblichen LASER-Gerat 31.

Üblicherweise enthält das LASER-Gerät 31 einen LASER-Stab 32, eine Blitzlampe 33, ein Paar Spiegel 454, eine fokussierende Linse und eine Energiequelle 37_O Um das LASER-Gerät 31 in Betrieb zu setzen, wird ein Impuls elektrischer Energie aus der Stromquelle der Blitzlampe 33 zugeführt, was die Lampe zu einem Blitz veranlaßt und den LASER-Stab 32 mit Licht bestrahlt. Die Bestrahlung des Stabes 32 veranlaßt diesen, zur Emission monochromatischen, kohärenten Lichts, das durch die Spiegel 34 im Stab hin- und zurückgeworfen wird und weitere Lichtemission veranlaßt. Ein Teil de^ emittierten Lichts kann durch den unteren Spiegel 34 entweichen, worauf es durch die-Linse 36 zu einer gewünschten Strahlbreite fokussiert Wird. Das Energieniveau des emittierten Lichts und seine Dauer wird durch Regelung des Energieniveaus und der Dauer dew elektrischen Impulses gesteuert, der von de? Energiequelle 37 der Blitzlampe 33 zugeführt wird. Für eine ausführliche Erklärung von LASER-Wirkung und Bau wird auf=D.S. Young, "Der LÄSER als industrielles Werfczeug'V The Western Electric Engineer (Oktober 1964), S. 2_t verwiesen.

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Bei der Durchführung einer Widerstands-Justierung wird der Widerstand 20 auf den Halter 28 gebracht and gesichert. Die

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Zuführung* 3tk des Ohmmeters werden dann mit den Kontakten 23 und 24 verbunden' (oder die Zuführungen daran anheften) und der Widerstandswert des Widerstands 20 gemessen. Wenn der gemessene Wert kleiner ist als der gewünschte, wird das LASER-Gerät erregt und sendet einen Lichtimpuls hoher Energie auf die Dünnschicht 27. Das Energieniveau (d.h. die Energie-Dichte) und Dauer des Impulses sind deart, daß Teile der Schicht 27, der nichtleitenden Schicht 26 und der Schicht 22 während des Impulses (d.h. vom Lichtstrahl) verdampft werden. Der Impuls kann auch einen Teil der Unterlage 21 verdampfen. Wie aus Fig. 5 ersichtlich, bewirkt dies die Bildung einer offenen Bohrung 38, deren innere Wandung Punkt für Punkt die gleiche Zusammensetzung hat wie das Material, das die Bohrung unmittelbar umgibt. Der Durchmesser der Bogrung 38 ist genau der gleiche wie die Strahlbreite des hervorrufenden Impulses, die 0,13 mm sein kann. Die Bohrung 38 vermindert die wirksame Breite der Schichten 22 und 27 und vermindert damit die wirksamen leitenden Querschnitte der Schichten unter Erhöhung ihres Widerstands. Die Widerstands zunähme der Schicht 22 erhöht den Widerstand des Widerstandskörpers 20, während die Widerstandszunahme der Schicht 27 diesmal keine Wirkung darauf ausübt. Zypischerweise erhöht eine offene Bohrung bei dieser Ausführungsform den Widerstand des Widerstandskörpers um 0, 5%, d. h. etwa 0,13 Ohm.

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Λ Γ* 4 C* Λ Γ"· f

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Für die ina obigen Beispiel erwähnten Werkstoffe und Abmessungen kann der typische Impuls in der Spitze eine Energiedichte von

1 Megawatt/cm und eine Dauer von 0, 5 Millisekunden haben. Der Impuls kann die in FIg, 9 abgebildete Form besitzen.

Eine offene Bohrung kann in mehreren Schichten erzeugt werden, wie die Bohrung 38 in Fig. 5, die durch die Schichten 27, 26, 22 und 21 verläuft oder es kann, wie aus Fig. 6 ersichtlich, eine Bohrung 39 in der Schicht 22 an einer Stelle sein, die nicht von einem Teil der darüberlagernden Schicht 27 bedeckt ist. Von der Bohrung 39 wird zwar gezeigt, daß sie durch die nichtleitende Schicht 26 läuft, doch, versteht sich, daß die nichtleitende Schicht nicht an dieser Stelle die Schicht 22 überlagern muß und daß dementsprechend in einer Ausführungsform, in der dies nicht der Fall ist, die Bohrung 39 nur in der Schicht 22 gebildet wird. Es werden soviel offene Bohrungen im Widerstand 20 gebildet, wie notwendig ist, um seinen Widerstandswert auf die gewünschte Höhe zu vermehren. Zu diesem Zweck wird der Halter 28 beweglich gestaltet, um eine ausgewählte Anordnung der zusätzlichen Bohrungen zu ermöglichen.

Wenn der anfängliche Wider stands wert des Widerstands körpers 20 größer ist als der gewünschte Wert, so wird das LASER-Gerät so mit Energie beschickt, daß der auf die Schicht 27 gerichtete Lrichtimpuls, wie aus Fig. 9 zu ersehen, eine Energie dichte in der

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Spitze hat, die kleiner ist, als die des eine offene Bohrung bildenden Impulses, aber eine größere Dauer hat. Dieser Impuls schmilzt einesteils und verdampft andernteils die Schichten, die er passiert und bewirkt, daß der Schmelzfluß aus den Schichten 22 und 27 eine Nebenschlußbohrüng 41 (Fig. 8) bildet, deren Innenwand zum Teil aus der einen Schicht und zum Teil aus der anderen Schicht besteht und die beiden Schichten physikalisch und elektrisch miteinander verbindet. Die dazwischenliegende nichtleitende Schicht 26 kann vollständig oder auch nicht vollständig verdampft werden. Ein Teil der Unterlage 21 kann auch verdampft oder geschmolzen werden wie aus Fig. 7 ersichtlich.

Ein Impuls zur Bildung .einer Nebenschlußbohrung hat typischere·

2 weise eine Spitze der Energiedichte von 750 Kilowatt/cm und eine Dauer von 2, 3 Millisekunden. Wie es für offene Bohrungen bereits der Fall war, ist der Durchmesser einer Nebenschlußbohrung genau die gleiche wie die Strahlbreite, die in diesem Beispiel 0, 15 mm betragen kann.

Es ist dabei festzuhalten, daß in Abhängigkeit von den Werkstoffen der verschiedenen Schichten, der Energiedichte und der Dauer des verformenden Impulses eine Nebenschlußbohrung 42 von dem in Figur 8 gezeigten Typ gebildet werden kann. Die Nebenschlußbohrung 42 wird durch teilweises Schmelzen und Verdampfen der Schicht 27 und der Schicht 26 mit keinem oder sehr geringen Schmelzen und Verdampfen der Schicht 22 gebildet.

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Die Wirkung einer Nebenschlußbohrung läßt sich am besten anhand der Figur 10 verstehen* die ein elektrisches Sehältschema eines Widerstands 20 ist, der eine Nebenschlußbohrung darin be- . sitzt. Die Nebenschlußbohrung ist als ein Nebenschluß-Widerstand 41 wiedergegeben, der typischerweise einen Wert von 100 Ohm haben kann«, Wie leicht ersichtlich ist, bestimmt die Anordnung des Widerstands 41 (d. h. die Nebenschlußbohrung, die darin wiedergegeben ist), welche Wirkung der Widerstand 41 hat. So ist ihre größte Wirkung bei der Verminderung des Widerstandes zwischen den Kontakten 23 und 24, wenn sie zwischen dem freien Ende der Schicht 27 und dem Ende der Schicht 22, die an den Kontakt 24 angrenzt, angeordnet ist_o Die Wirkung des Widerstands 41 nimmt ab, wenn die Anordnung der Nebenschlußbohrung sich gegen den Kontakt 23 hin bewegt und ist vernachlässigbar bei einer unmittelbar an den Kontakt 23 angrenzenden Stellung«,

Die Anordnung einer offenen Bohrung hat andererseits wenig Einfluß auf den dadurch herbeigeführten Widerstands Zuwachs, jedoch mit einer Ausnähme. Es wurde festgestellt, daß dort wo mehr als eine offene Bohrung im Widerstand 20 gebildet wird, der von einer Mehrzahl von Bohrungen, die längs 'einer zur Stromrichtung parallelen Linie angeordnet sind (d.h. in Längsrichtung des Widerstandes), bewirkte Effekt etwas geringer ist als der von der gleichen Anzahl Bohrungen veranlaßte Effekt, wenn diese längs einer zum Stromfluß senkrechten Richtung angeordnet sind (d.h. längs der Breite des Widerstandes*

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Beim Justieren eines Widerstandes kann das -Überschreiten des gewünschten Wertes im Falle eines anfänglich zu hiedrigen Wertes des Widerstandes oder ein Unterschreiten im Falle eines anfänglich zu hohen Widerstandswertes auftreten. In einem solchen Fall kann ein Widerstandswechsel in der entgegengesetzten Richtung leicht durch Bildung einer oder mehrerer Bohrungen vom entgegengesetzten Typ im Widerstand 20 vollzogen werden,

Alternative Ausführungsformen

In Fig. 11 ist ein Widerstand 20a mit einer Dünnschicht 27a gezeigt die weder mit dem Kontakt 23a noch dem Kontakt 24a verbunden ist, Dementspredhend müssen zur Verminderung des Widerstandswertes des Widerstandskörpers 20a wenigstens zwei Neben-Schlußbohrungen gebildet werden. Widerstandszunahmen werden in der gleichen Weise bewirkt wie für den Widerstand 20,

In Fig. 12 ist ein Widerstand 20b mit einer Dünnschicht 27b gezeigt, die sowohl mit dem Kontakt 23b als auch dem Kontakt 24b verbunden ist. Der Widerstandswert des Widerstandskörpers 20b wird erhöht, entweder indem man eine offene Bohrung nur in der Schicht 27b oder nur in der Schicht 22b bildet oder aber eine offene Bohrung, die durch beide leitende Schichten 22b und 21b verläuft und von dem in Fig. 5 gezeigten Typ ist. Wie dies für den Widerstandskörper 20 zutraf, werden Widerstandsabnahmen des Wider-

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Standskörpers 20b vollzogen, indemman eine oder mehrere Nebenschlußbohrungen darin bildet. Es ist zu beachten, daß in Atibetracht der physikalischen wie auch elektrischen Symmetrie des Widerstands 20b in Bezug auf seinen Mittelpunkt eine auf einer Seite des Mittelpunkts gebildete Nebenschlußbohrung die gleiche Wirkung haben wird, wie eine auf der anderen Seite des Mittelpunkts bei gleicher Entfernung von diesem gebildeteji Bohrung. .

Es versteht sich, daß die oben beschriebene Anordnungen lediglich Erläuterungen der Erfindungsprinzipien sind. So kann, wie oben festgestellt, die Unterlage 21, „die Dünnschicht 22 und 27 und die nichtleitende Schicht 26 aus jedem geeigneten Werkstoff hergestellt und durch jede geeignete Herstellungsmethode zusammengesetzt werden. In gleicher Weise können die Abmessungen und die Geometrie der verschiedenen Schichten viele verschiedene Formen annehmen. Wenn weiterhin die Erfindung anhand eines einfachen Widerstandes beschrieben worden ist, ist sie doch nicht darauf beschränkt und kann in Verbindung mit Schaltungen verwendet werden, die sich aus Widerständen oder Widerständen und Kondensatoren zusammensetzen. Wenn auch die lochbildenden Impulse als Liejjtimpulse beschrieben werden, die durch DASEE-Wirkang entstehen, so versteht sich doch, daß andere Strahlen hoher Energie wie Elektronenstrahlen, Ionenstrahlen und Infrarotstrahlen mit Vorteil verwendet werden können.

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Claims

A^ PATENTANSPRÜCHE IO|j055

1. · .Verfahren zum· Einjustieren gewünschter Werte elektrischer

Eigenschaften eines elektrischen Bauteils, das aus einer Schicht leitenden Materials und einem Paar von Anschlüssen besteht, dadurch gekennzeichnet, daß man eine Schicht nichtleitenden Materials über wenigstens einem Teil des leitenden Materials aufbringt, eine zweite Schicht leitenden Materials auf wenigstens einem Teil der nichtleitenden Schicht aufbringt und die elektrischen Eigenschaften des Bauteils auf den gewünschten Wert bringt, wobei die elektrischen Eigenschaften in der einen Richtung durch Bildung wenigstens einer Öffnung oder "offenen Bohrung" in wenigstens einer leitenden Schicht justiert und in der anderen Richtung durch wenigstens einmaliges elektrisches Verbinden der beiden leitenden Schichten im Nebenschluß justiert werden* .

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß

die "offene" Bohrung in der Weise gebildet wird, daß man wenigstens auf die erste Schicht einen Energie-Impuls solcher Energie-Dichte

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und -Dauer richtet, daß das Material der ersten Schicht an der gewünschten Stelle verdampft wird .

3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet,

daß die erwähnte Nebenschlußverbindung durch Bildung einer

Öffnung durch wenigstens eine der leitenden Schichten und durch

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die nichtleitende Schicht hindurch gebildet wird und daß die beiden leitenden Schichten durch die Öffnung hdndurch elektrisch verbunden werden.

4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die

Nebenschlußverbindung in solcher Weise .gebildet wird, daß man auf das Bauteil einen Energie-Impuls von solcher Energie-Dichte und -Dauer richtet, daß wenigstens eine der leitenden Schichten an der gewünschten Stelle schmilzt und daß eine Öffnung durch die nichtleitende Schicht hindurch gebildet wird, so daß das geschmolzene Material der geschmolzenen Schichten durch die Öffnung fließt und an der anderen leitenden Schicht haftet und in Kontakt bringt, wodurch eine elektrischeVerbindung zwischen den leitenden Schichten eingerichtet wird.

5.- ' Verfahren nach Anspruch 2 oder 4 dadurch gekennzeichnet, daß die erwähnten Öffnungen durch Impulse eines von einem LASER erzeugten monochromatischen Lichts gebildet werden.

6. Verfahren nach einem der vorangegangenen Ansprüche,

dadurch gekennzeichnet, daß die erste Schicht ein dünner Tantalfilm, die nichtleitende Schicht ein dünner Film aus Tantalpentoxid und die zweite Schicht ein dünner Film aus Ni chrome ist.

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