DE2854985A1

DE2854985A1 - Verfahren zur herstellung einer einrichtung zur ansteuerung einer anzeigevorrichtung

Info

Publication number: DE2854985A1
Application number: DE19782854985
Authority: DE
Inventors: Peter Dipl Ing Marten
Original assignee: Licentia Patent Verwaltungs GmbH
Current assignee: Licentia Patent Verwaltungs GmbH
Priority date: 1976-04-30
Filing date: 1978-12-20
Publication date: 1980-07-10

Description

"Verfahren zur Herstellung einer Einrichtung zur Ansteuerung
einer Anzeigevorrichtung Zusatz zu D2-PS (Patentntmeldung P 26 19 Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung einer Einrichtung zur Ansteuerung einer Anzeigevorrichtung, vorzugsweise eines Flachbildschirmes mit einer aus Zellen und Spalten bestehenden Matrix, in deren Knotenpunkten Schaltzellen angeordnet sind, wobei jeder der Schaltzellen Mittel zur Erzeugung eines elektrostatischen Querfeldes enthält, durch welches Ladungsträger eine im wesentlichen parallel tür Ebene der Anzeigevorrichtung gerichtete Beschleunigung erfahren und wobei auf beiden Seiten Schalt zellen Mittel zur Erzeugung eines elektrostatischen Längsfeldes vorgesehen sind, durch welches Ladungsträger eine im wesentlichen senkrecht zur Ebene der Anzeigevorrichtung gerichtete Beschleunigung erfahren, nach Patent . ... ... (Patentanmeldung P 26 19 139.9) Wie sich aus der Hauptanmeldung ergibt, besteht die Anzeigevorrichtung im wesentlichen aus folgenden einzelnen Komponenten (Figur 1): Kathode K: Sie wird direkt oder indirekt geheizt, emittiert großflächige Elektronenwolke.
Steuergitter GI Das Steuergitter dient zur Dichte-(Hellig keit-)modulation der Elektronen.
Steuergitter G1 : Es beschleunigt die Ladungsträger auf ca.
10 eV; der Wert ist unkritisch; gleichzeitig verringert GI die Wirkung (Durchgriff) der Spannungsänderungen G1 * auf die Funktion der folgenden Adressieranordnung.
Adressieranordnung (Rasterkanalplatte): Sie besteht aus einer nichtleitenden Platte z3.25 mm dick) mit in x-y-Raster angeordneten quadratischen Kanälen (Querschnitte z xe1 mm2).
Je 2 gegenüberliegende Plächen jedes Einzelkanals sind elektrisch leitend, so daß eine Rasterstruktur aus Plattenkondensatoren entsteht. Je ein Plattenbelag jedes Kondesators ist mit einer x-Treiberleitung, der jeweils andere mit einer y-'2reiberleitung verbunden. Zur Adressierung eines Bildpunktes werden beiden Elektroden des selektierten Einzelkanals auf gleiches Spannungspotential gelegt; der betreffende Kanal ist querfeldfrz; die Elektronen können ihn ungehindert durchwandern ("JA"-Entscheidung durch Koinzidenz). In allen anderen Kanälen herrscht Spannungsungleichheit zwischen den Elektroden ("NEIN"-Entscheidung): die Elektronen werden auf eine Elektrode abgelenkt und daher ausgeblendet.
Schirmgitter G2: Befindet sich über den Ausgängen der Kanalplatte; sorgt für ein absaugendes Beschleunigungsfeld.
Anode A: Trägt die Leuchtphosphorschicht und besitzt eine Beschleunigungsspannung von einigen kV.
Wegen des geringen Querschnitts der einzelnen Schaltzellen bzw. Einzelkanäle ist das Aufbringen der elektrisch leitenden Beläge auf den hierfür vorgesehenen Flächen in den Einzelkanälen mit erheblichen Schwierigkeiten verbunden.
Der Erfindung lag daher die Aufgabe zugrunde ein Verfahren der Eingangs genannten Art anzugeben, mit dessen Hilfe die Bildung gut haftender, leitender Schichten auf den Innenwandungen der Schaltzellen sowie eine gute Kontaktierung der Schichten mit den zugehörigen Treiberleitungen möglich ist.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß als Trägerkörper für die Schaltzellen ein im wesentlichen plattenförmig ausgebildeter Isolierkörper verwendet wird, welcher eine der Anzahl der Schaltzellen entsprechende Anzahl von Durchbrüchen aufweist, die senkrecht zur Plattenebene verlaufen, daß in die Durchbrüche eine Suspension eingebracht wird, in der ein leitfähiges Material enthalten ist,.welches ein höheres spezifisches Gewicht als die übrigen Bestandteile der Suspension besitzt, daß sodann der Isolierkörper in zwei aufeinanderfolgenden Verfahrenschritten derart beschleunigt wird, daß auf zwei einander gegniiberliegenden Wandbereichen der Durchbrüche eine leitende Schicht, oder zumindest eine leitende Partikel enthaltende Schicht gebildet wird, die anschließend zu einer leitenden Schicht verstärkt wird und daß schließlich die leitenden Schichten in den einzelnen Schaltzellen mit zur Ansteuerung der Schalt zellen dienenden Treiberleitungen kontaktiert werden0 Als Ausgangsmaterial für die Rasterkanalplatte eignen sich Spezial gläser, die unter der Bezeichnung "Photoform" oder "Photoceram" auf dem Markt sind. Mit Hilfe einer maskierten W-Belichtung, Wärmebehandlung und Ätzung können rechteckige (vorzugsweise quadratische) Kanäle in die Platte eingebracht werden.
Infolge Kapillarkraft lassen sich die Kanäle (vorzugsweise Querschnitte von' 1 mm2) leicht mit einer Suspension füllen.
Diese besteht mindestens aus einem wässrigen Verdünnungsmittel (z.B. 1,5 % Methylcellulose in Wasser gelöst) und einem Zusatz von leitfähigem Material (z.B. Graphit).
Zur Innenmetallisierung der Kanäle wird die Platte in eine Schleudervorrichtung gesetzt. Läßt man die Platte dann mit einem (W2 r) - Produkt von z.B. 5x102m/sec2 (0,5m Dreharm, 300 U/min) um einen Drehpunkt rotieren, so wandern die Graphitteilchen infolge Zentrifugalwirkung auf diejenige Kanalinnenseite, auf welche ihr Kraftvektor F weist. Man erhält einen gut leitenden Belag, der sich in Siebdruck-oder Aufdampftechnik mit den Treiberleitungen (Siebdruck-oder Aufdampftechnik), die über die Stege der Rasterkanalplatte (Stegbreitez 500 )tun) verlaufen, verbinden läßt. Der Schleudervorgang muß insgesamt zweimal erfolgen um beide, sich gegenüberliegende Beläge zu erzeugen.
Der Vorgang der Metallisierung ist in den Figuren 2 bis 4 nochmals skizziert.
Figur 2 zeigt eine schematische Darstellung der Schleudervorrichtung, durch welche die auf die Rasterkanalplatte wirkende Zentrifugalbeschleunigung hervorgerufen wird.
Figur 3 stellt einen vergrößerten Ausschnitt des in Figur 2 kreisförmig umrandeten rechten unteren Bereichs der Rasterkanalplatte mit einseitig aufgebrachtem Innenbelag dar.
(F = Vektor der Zentrifugalkraft) In Figur 4 ist derselbe Ausschnitt nach Aufbringen der Siebdruckleiterbahnen zur Kontaktierung der Innenbeläge wiedergegeben.
Die Kontaktierung der Innenbeläge wird erleichtert, wenn die Treiberleitungen direkt auf das beim Schleudern aus den Kanälen auf die Stege geflossene Leitermaterial aufgebracht werden. Das von den Treiberleitungen beim Siebdruck- oder Aufdampfvorgang abgedeckte Leitermaterial bildet eine gut leitfähige Brücke zu den Innenbelägen. Kurzschlüsse der Treiberleitungen durch unerwünschte Brücken des regellos ausgetretenen Leitermaterials können durch Abwischen der Stege mit einem geeigneten Lösungsmittel beseitigt werden.
Selbstverständlich kann mit Hilfe dieses Verfahrens nicht nur eine Primärleiterschicht aufgebracht sondern auch eine Vorbekeimung durch Ausschleudern von Leitermaterialien (z.B. Palladium) aus einer fein dispergierten (Kolloiden) Lösung durchgeführt werden. Auf der vorbekeimten Schicht kann sodann die leitende Schicht mit Hilfe eines chemisch stromlosen Abscheideverfahrens aufgebracht werden.

Claims

P a t e n t a n s- p r ü c h e Verfahren zur Herstellung einer Einrichtung zur Ansteuerung einer Anzeigevorrichtung, vorzugsweise eines tlbehbildschirmes mit einer aus Zeilen und Spalten bestehenden Matrix, in deren Knotenpunkten Schaltzellen angeordnet sind, wobei jede der Schalt zellen Mittel zur Erzeugung eines elektrostatischen Querfeldes enthält, durch welche Ladungsträger eine im wesentlichen parallel zur Ebene der Anzeigevorrichtung gerichtete Beschleuniguag erfahren und wobei auf beiden Seiten der Schaltzellen Mittel zur Erzeugung eines elektrostatischen Längsfeldes vorgesehen sind, durch welches Ladungsträger eine im wesentlichen senkrecht zur Ebene der Anzeigevorrichtung gerichtete Beschleunigung erfahren, nach Patent . ... ... (Patentanmeldung P 26 19 139.9) dadurch gekennzeichnet, daß als Trägerkörper für die Schaltzellen ein im wesentlichen plattenförmig ausgebildeter Isolierkörper verwendet wird, welcher eine der Anzahl der Schaltzellen entsprechende Anzahl von Durchbrüchen aufweist, die senkrecht zur Plattenebene verlaufen, daß in die Durchbrüche eine Suspension eingebracht wird, in der ein leitfähiges Material enthalten ist, welches ein höheres spezifisches Gewicht als die übrigen Bestandteile der Suspension besitzt, daß sodann der Isolierkörper in zwei aufeinanderfolgenden Verfahrensschritten derart beschleunigt wird, daß auf zwei einander gegenüberliegenden Wandbereichen der Durchbruch eine leitende Schicht, oder zumindest eine leitende Partikel enthaltende Schicht gebildet wird, die anschließend zu einer leitenden Schicht verstärkt wird und daß schließlich die leitenden Schichten in den einzelnen Schaltzellen mit zur Ansteuerung der Schaltzellen dienenden Treiberleitungen kontaktiert.werden 2. Verfahren nach Anspruch 1 dadurch gekennzeichnet, daß als Isolierkörper ein aus einem glasartigen oder keramischen Material bestehender Körper verwendet wird.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2 dadurch gekennzeichnet, daß zur Herstellung der leitenden Schichten der Isolierkörper durch eine Schleudervorrichtung derart beschleunigt wird, daß eine Zentrifugalkraft in Richtung auf die zu beschichtenden Wandbereiche zunächst jeweils einer der Schaltzellen wirksam wird, daß der Isolierkörper anschließend um 1800 gedreht wird und der Schleudervorgang zum Zwecke der Beschichtung der jeweils gegenüberliegenden Wandbereiche sodann in entsprechender Weise wiederholt wird
4. Verfahren nach Anspruch 1 oder 3 dadurch gekennzeichnet, daß zur Herstellung der leitenden Schichten zunächst eine aus Graphit oder aus Keimen z. B. Palladiumkeimen bestehenden Schicht aufgeschleudert wird und daß auf diese Schicht anschließend eine leitende Schichtstromlos aufgebracht wird.
5. Verfahren nach Anspruch 1 bis 4 dadurch gekennzeichnet, daß die leitenden Schichten mit den zugehörigen Treiberleitungen über das durch den Schleudervorgang aus den einzelnen Schalt zellen ausgetretene Leitmaterial kontaktiert werden.
6. Verfahren nach Anspruch 5 dadurch gekennzeichnet, daß das von den Treiberleitungen abgedeckte überschüssige Beitermaterial nach der Kontaktierung entfernt wird.