DE2854404A1 - Verfahren zum herstellen von festkoerperbauelementen - Google Patents
Verfahren zum herstellen von festkoerperbauelementenInfo
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Description
- Verfahren zum Herstellen von Festkörperbauelementen
- Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen von Festkörperbauelementen mit auf der Oberfläche des Festkörpers verlaufenden Metallbahnen mit schrägen Kanten, bei dem die Oberfläche des Festkörpers zunächst mit einer Aluminiumschicht bedeckt wird, dann auf die Aluminiumschicht eine weitere Schicht aus einem Material mit einer höheren Ätzrate als Aluminium aufgebracht wird, beide Schichten mit einer Photolackmaske bedeckt werden und an den nicht bedeckten Oberflächenteilen durch Ätzen entfernt werden.
- Ein solches Verfahren ist aus der US-PS 37 00 508 bekannt.
- Es wird insbesondere angewendet, um bei Haibleiterbauelementen mit Mehrebenenverdrahtung Metall-Leiterbahnen zu erzeugen, die unter einem flachen Winkel ansteigende schräge Kanten aufweisen, so daß sichergestellt ist, daß an den übereinanderliegenden Leiterbahnen und der zwischen ihnen befindlichen Isoliermaterialschicht keine Diskontinuitäten auftreten.
- Bei dem bekannten Verfahren wird eine weitere Schicht aus einem Phosphorsilikatglas verwendet, zu deren Aufbringen aber nach dem Aufbringen des Aluminiums ein besonderer Prozeß erforderlich ist. Weiter ergeben sich oft Schwierigkeiten mit der Haftung der Photolackmaske.
- Der Erfindung liegt nun die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren der eingangs genannten Art so auszugestalten, daß es sich einfach und sicher ohne Zuhilfenahme besonderer Prozeßschritte durchfiihren läßt.
- Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß eine weitere Schicht aus Molybdän verwendet wird.
- Weiterbildungen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen.
- Die mit der Erfindung erzielten Vorteile sind insbesondere darin zu sehen, daß auf die Aluminiumschicht praktisch im gleichen Arbeitsgang eine Molybdänschicht aufgebracht werden kann und nach dem Ätzen die Molybdänschicht zusammen mit der Photolackmaske leicht wieder entfernt werden kann.
- Ein Verfahren nach der Erfindung wird im folgenden anhand der beigefügten Zeichnungen näher erläutert.
- Es zeigen/ Fig. 1 einen Halbleiterkörper, auf dessen Oberfläche eine Aluminiumbahn mit schrägen Kanten erzeugt werden soll, während einer ersten Stufe des Verfahrens; Fig. 2 den Halbleiterkörper nach Fig. 2 während einer zweiten Stufe des Verfahrens, und Fig. 3 den Halbleiterkörper mit der fertigen Metallbahn auf seiner Oberfläche.
- In den Figuren sind die Abmessungen des Halbleiterkörpers und die Dicke der einzelnen Schichten auf seiner Oberfläche nicht maßstäblich dargestellt.
- Fig. 1 zeigt einen Halbleiterkörper 1, dessen Oberfläche mit einer isolierenden Oxidschicht 2 bedeckt ist. Auf dieser Oxidschicht soll später eine Metallbahn mit schrägen Kanten über dem Halbleiterkörper verlaufen. Dazu wird zunächst auf die Oxidschicht 2 eine Aluminiumschicht 3 von etwa 1 /um Dicke aufgedampft. Anschließend wird auf diese Aluminiumschicht 3 eine Molybdänschicht 4 von etwa 0,3 /um Dicke aufgedampft.
- Da das Aufbringen von Molybdän auf Aluminium wegen der hohen Scnmelztemperatur des Molybdäns, wodurch sich Veränderungen der Aluminiumoberfläche ergeben können, schwierig ist, wird vorzugsweise auf die Aluminiumschicht 3 zunächst nur eine dünne Molybdänschicht 4a von etwa 0,01 /um Dicke, darauf dann eine weitere Molybdänschicht 4b von etwa 0,04 /um Dicke und schließlich eine oder mehrere Molybdänschichten 4c aufgedampft, deren Dicke so gewählt ist, daß sich eine Gesamtdicke der Molybdänschicht 4 von etwa 0,3 /um ergibt.
- Anschließend wird auf die Oberfläche der Molybdänschicht ein der Geometrie der zu erzeugenden Metallbahn entsprechende Photolackmaske 5 aufgebracht.
- Diese Schichtenfolge mit der Photolackmaske wird dann in eine Ätzlösung eingebracht, die sich zusammensetzt aus 150 Teilen H20 1200 Teilen H3P04 (85 %) 75 Teilen HN03 (65 %) 100 Teilen CH3COOH (98 %) und 4 Teilen Netzmittel.
- Diese Ätzlösung hat für Molybdän eine etwa 3fach größere Ätzgeschwindigkeit als für Aluminium.
- Nach einer Ätzzeit von ungefähr 8 Minuten ergibt sich dann die in Fig0 2 dargestellte Konfiguration, deh. wegen der höheren Ätzgeschwindigkeit der Ätzlösung für Molybdän ist eine Unterätzung der Photolackmaske 5 aufgetreten und der verbleibende Teil 30 der Aluminiumschicht 52 d.h. die Leiterbahn hat schräge Kantenp die etwa unter einem Winkel von 200 zur Horizontalen verlaufen0 Anschließend wird in einer Ätzlösung9 die aus 96 zeiger HN03 besteht, gleichzeitig die Photolackmaske 5 als auch der verbliebene Teil 40 der Molybdänschicht 4 entfernt.
- Anschließend haben der Halbleiterkörper und die auf ihm befindlichen Schichten die in Fig0 3 dargestellte Form, d.h. die über der Oxidschicht 2 auf dem Halbleiterkörper 1 verlaufende, aus Aluminium bestehende Metallbahn 30 hat schräge Kanten, so daß ansci:ließend auf dieser Oberfläche weitere Isolierschichten und Leiterbahnen aufgebracht werden können, ohne daß die Gefahr besteht, daß an den Kanten der Leiterbahn Diskontinuitätenp deh Risse oder Unterbrechungen in den darüber befindlichen Isolierschichten und Leiterbahnen auftreten können0 L e e r s e i t e
Claims (5)
- PATENTANSPRÜCHE: U Verfahren zum Herstellen von Pestkörperbauelementen mit auf der Oberfläche des Festkörpers verlaufenden Metallbahnen mit schrägen Kanten, bei dem die Oberfläche des Festkörpers zunächst mit einer Aluminiumschicht bedeckt wird, dann auf die Aluminiutaschicht eine weitere Schicht aus einem Material mit einer höheren Ätzrate als Aluminium aufgebracht wird9 beide Schichten mit einer Photolackmaske bedeckt werden und an den nicht bedeckten Oberflächenteilen durch Ätzen entfernt werden, dadurch gekennzeichnet, daß eine weitere Schicht aus Molybdän verwendet wird.
- 2 Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gskennzeichnet, daß die weitere Schicht in einer Dicke aufgebracht wird, die etwa ein Drittel der Dicke der Aluminiumschicht beträgt.
- 3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die weitere Schicht nacheinander in mehreren Teilschichten steigender Dicke aufgebracht wird.
- 4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß nach dem Ätzen die weitere Schicht zusammen mit der Photolackmaske entfernt wird.
- 5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß eine Ätzlösung der Zusammensetzung 150 Teile H20 1200 Teile H3P04 (85 %) 75 Teile HN03 (65 %) 100 Teile CH3COOH (98 o#) 4 Teile Netzmittel verwendet wird.
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Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|
| DE (1) | DE2854404A1 (de) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5670062A (en) * | 1996-06-07 | 1997-09-23 | Lucent Technologies Inc. | Method for producing tapered lines |
-
1978
- 1978-12-16 DE DE19782854404 patent/DE2854404A1/de not_active Withdrawn
Cited By (1)
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