DE2848480A1

DE2848480A1 - Vorrichtung zur beschichtung von gegenstaenden

Info

Publication number: DE2848480A1
Application number: DE19782848480
Authority: DE
Inventors: Reinhard Dipl Phys Behn; Hermann Dr Ing Heywang; Horst Dipl Phys Pachonik
Original assignee: Siemens AG
Current assignee: Siemens AG
Priority date: 1978-11-08
Filing date: 1978-11-08
Publication date: 1980-05-14
Also published as: GB2034356B; US4294194A; FR2441251A1; GB2034356A; FR2441251B1; DE2848480C2

Description

SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT Unser Zeichen Berlin und München VPA

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Vorrichtung zur Beschichtung von Gegenständen

Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Beschichtung von Gegenständen, insbesondere für die abwechselnde Herstellung von Metallschichten und Glimmpolymerisatschichten für elektrische Kondensatoren, welche zumindest zwei Vakuumkammern enthält, die durch Vakuumschleusen voneinander getrennt sind, und eine Transporteinrichtung, welche die zu beschichtenden Gegenstände durch je eine gesonderte Vakuumschleuse von einer ersten Vakuumkammer in eine zweite Vakuumkammer und wieder zurücktransportieren kann,und welche in den Vakuumkammern Einrichtungen zur Beschichtung der Träger enthält, wobei die Vakuumschleusen Backen enthalten, die der Transporteinrichtung unmittelbar gegenüberliegen und zu dieser nur einen schmalen Spalt freilassen und wobei zwischen zwei Backen einer Vakuumschleuse jeweils ein Absaugerohr zur Absaugung des Restgases angeordnet ist.

Eine derartige Vorrichtung ist aus der DE-AS 10 09 883 bekannt. Dort wird allerdings nur eine Metallschicht auf-

Mhs 1 Mi 30.10.1978

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gebracht, während in der zweiten Vakuumkammer Vorratsrollen untergebracht sind. Die beiden Vakuumschleusen der Entgegenhaltung weisen Je drei Backen gleicher Länge auf. Unter Länge der Backen wird hier deren Ausdehnung entlang der Transporteinrichtung verstanden. Sie bestimmt somit die Länge des Diffusionsweges für das Gas von einer Kammer in die andere. Die Vakuumschleusen der Entgegenhaltung überdecken einen großen Teil der Transporteinrichtung, die dort durch eine Trommel gebildet

1Oist.

Die Aufgabe, die der vorliegenden Erfindung zugrundeliegt, besteht in einer Verkleinerung des apparativen Aufwandes für die Schleusen, wobei eine hohe Durchlaufgeschwindigkeit der zu beschichtenden Gegenstände ermöglicht werden soll.

Diese Aufgabe wird gemäß der Erfindung dadurch gelöst, daß die Transporteinrichtung nur in einer Richtung durch die Schleusen bewegt werden kann und daß die vor der Vakuumkammer mit dem kleineren Restgasdruck liegende Vakuumschleuse längere Diffusionswege aufweist als die hinter der Vakuumkammer mit dem geringeren Restgasdruck liegende Vakuumschleuse.

Der Erfindung liegt die Erkenntnis zugrunde, daß eine für die Beschichtung von Gegenständen, insbesondere für die Herstellung von Metallschichten und Glimmpolymerisatschichten für elektrische Kondensatoren, zweckmäßige Geschwindigkeit der Transporteinrichtung den Gasstrom durch die Vakuumschleusen bereits erheblich beeinflußt. In der einen Richtung wird der Gasstrom auf die Kammer mit dem geringeren Gasdruck hin verstärkt, in der anderen Richtung dagegen abgebremst. Daher kann der Aufwand durch eine unsymmetrische Auslegung der Schleusen er-

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heblich gesenkt werden. Diese unsymmetrische Gestaltung der Schleusen wird vorteilhaft erreicht, indem die in Laufrichtung der Transporteinrichtung vor der Vakuumkammer mit dem geringeren Restgasdruck liegende Vakuumschleuse längere Backen auf v/eist. Daneben oder zusätzlich kann diese Vakuumschleuse auch mehr Backen mit dazwischenliegenden Absaugrohren enthalten. Letzteres ist vorteilhaft, wenn die zu beschichtenden Gegenstände bzw. die Halterungen an den Transporteinrichtungen freie Räume umfassen, die zusätzlich zu der Diffusion durch die verbleibenden Spalte noch einen nennenswerten Gastransport ermöglichen.

Eine besonders einfache Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung ist gegeben, indem sie als Transporteinrichtung eine Trommel enthält, indem diese Trommel nur in einer Richtung in Drehung versetzt werden kann und indem der Zylindermantel dieser Trommel durch zumindest zwei Vakuumschleusen und zwei Vakuumkammern

'20 mit unterschiedlichem Restgasdruck läuft. In diesen Vakuumkammern erfolgt dann die Beschichtung der auf dem Träger befindlichen Gegenstände. Gerade bei dieser Ausbildung der Vorrichtung ist die Erfindung vorteilhaft, da die Breite der Spalte nicht beliebig verkleinert werden kann, so daß die Länge der Diffusionswege im wesentlichen durch die physikalischen Gegebenheiten der Diffusionsvorgänge vorgegeben ist. Insbesondere beim Aufbringen von Glimmpolymerisationsscnichten ist eine große räumliche Abmessung der Trommel erforderlich, um die erforderliche Glimmpolymerisationsstrecke und die Schleusenlänge darauf unterzubringen. Demgemäß bedeutet die vorgeschlagene Vereinfachung hier eine erhebliche Verkleinerung des Aufwandes.

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Ein weiterer Vorteil der Erfindung besteht in einer nennenswerten Verkürzung der Beschichtungszeit infolge der Verkürzung der zu durchlaufenden Strecke im Bereich der Vakuumschleuse.

Verwendet man eine Trommel mit Vertiefungen, in denen die zu beschichtenden Träger gehalten sind, soläßt sich eine optimale Evakuierung dadurch erreichen, daß vor der eigentlichen Beschichtung die Trommel sich bereits dreht und erst nach dem Erreichen des Optimalvakuums die Beschichtung erfolgt. Dadurch wird die Bremsung der Diffusion durch die Trommel in der Vakuumschleuse mit dem kürzeren Diffusionsweg bereits vor der eigentlichen Beschichtung erreicht.

Die Erfindung wird anhand einer Figur näher erläutert. Sie ist nicht auf das in der Figur gezeigte Bdspiel beschränkt .

Die Figur zeigt eine erfindungsgemäße Vorrichtung in einer teilweise geschnittenen und gebrochenen Darstellung.

Eine Trommel 1 kann nur in der Drehrichtung F angetrieben werden. Vor der Vakuumkammer 11 mit dem kleineren Restgasdruck befindet sich eine Vakuumschleuse 9 mit einem langen Diffisionsweg zwischen den beiden Vakuumkammern 12 und 11. Die Vakuumschleuse 9_ weist eine größere Zahl von Backen 2 bis 5 auf als die Vakuumschleuse I₁O, welche hinter der Vakuumkammer 11 mit dem kleineren Restgasdruck liegt. Außerdem sind die Backen 2 bis 5 der Vakuumschleuse 9 langer als die Backen 6 bis 8 der Vakuumschleuse 1Ό. Das Restgas, das insbesondere in den zur Halterung der Träger dienenden Vertiefungen 13 aus

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der Vakuumkammer 12 mit dem höheren Restgasdruck mitgeführt wird, wird zwischen den Backen 2 bis 5 der Vakuumschleuse 2 iⁿ den Richtungen A bis C abgesaugt. In der Vakuumschleuse JK) ^muß ^ⁿ den Richtungen D und E zwischen den Backen 6 bis 8 nur das gegen die Drehrichtung F der Trommel 1 diffundierende Restgas abgesaugt werden. Durch die kürzere Ausbildung der Backen 6 bis 8 der Vakuumschleuse ^O wird ein erheblichen Teil der Trommel 1 frei, wodurch beispielsweise in der Kammer 12 eine Glimmpolymerisationsstrecke angebracht werden kann. In der Kammer 11 ist vorzugsweise eine nicht dargestellte Metallbedampf ungseinrichtung angebracht.

5 Patentansprüche
1 Figur

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Claims

78 P 1 2 0 1 BRQ Patentansprüche

1. Vorrichtung zur Beschichtung von Gegenständen, insbesondere für die abwechselnde Herstellung von Metallschichten und Glimmpolymerisationsschichten für elektrische Kondensatoren, welche zumindest zwei Vakuumkammern enthält, die durch Vakuumschleusen voneinander getrennt sind, und eine Transporteinrichtung, welche die zu beschichtenden Gegenstände durch je eine gesonderte Vakuumschleuse von einer ersten Vakuumkammer in eine zweite Vakuumkammer und wieder zurücktransportieren kann und welehe in den Vakuumkammern Einrichtungen zur Beschichtung von auf der Transporteinrichtung befindlichen Trägern enthält, wobei die Vakuumschleusen Backen enthalten, die der Transporteinrichtung unmittelbar gegenüberliegen und zu dieser nur einen schmalen Spalt freilassen und wobei zwischen zwei Backen einer Vakuumschleuse jeweils ein Absaugrohr zur Absaugung des Restgases angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, daß die Transporteinrichtung (1) nur in einer Richtung durch die Schleusen bewegt werden kann, daß die vor der Vakuumkammer (11) mit einem kleineren Restgasdruck liegende Vakuumschleuse {9) längere Diffusionswege aufweist als die in Laufrichtung hinter der Vakuumkammer (11) mit dem geringeren Restgasdruck liegende Vakuumschleuse (1_0).

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß dJs in T aufrichtung der Transporteinrichtung vor der Vakuumkammer (11) mit dem geringeren Restgasdruck liegende Vakuumschleuse (9) längere Backen (2 bis 5) aufweist.

3. Vorrichtung nach den Ansprüchen 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die in Laufrichtung der Transporteinrichtung vor der Vakuumkammer (11) mit dem geringeren

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Restgasdruck liegende Vakuumschleuse (9) mehr Backen mit dazwischenliegenden Absaugrohren enthält.

4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß sie als Transporteinrichtung eine Trommel enthält, daß diese Trommel nur in einer Richtung in Drehung versetzt werden kann und daß der Zylindermantel dieser Trommel durch zumindest zwei Schleusen und zwei Vakuumkammern mit unterschiedlichem Restgasdruck läuft.

5. Verfahren zur Anwendung einer Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4 für die Herstellung von Schichten für elektrische Kondensatoren, dadurch gekennzeichnet, daß zu beschichtende Träger auf der Trommel befestigt werden, daß die Trommel vor Beginn der Beschichtung, jedoch bei laufenden Vakuumpumpen, in Drehk»iek4ung versetzt wird und daß erst nach dem Erreichen des optimalen Vakuums die Beschichtung durchgeführt wird.

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