DE2836854C2 - - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Erzeugung eines elektro­ statischen Ladungsbildes und zum Abtasten des Bildes, bei dem eine mehrschichtige photoleitende Vorrichtung mit einer, der Reihe nach angeordneten, ersten leitfähigen Schicht, einer photoleitfähigen Schicht und einer zweiten leitfähigen Schicht gebildet wird, wobei mindestens die beiden ersten Schichten unmittelbar aneinandergelegt werden, die zweite leitfähige Schicht von der photoleitfähigen Schicht im Abstand angeordnet und zwischen den beiden letzteren Schichten ein Medium unmittel­ bar an der zweiten leitfähigen Schicht angrenzend vorgesehen wird, bei dem weiter durch Anlegen einer Gleichspannung an die photoleitende Vorrichtung ein starkes elektrisches Feld zwischen der ersten und der zweiten leitenden Schicht aufgebaut sowie ein elektrostatisches Ladungsbild auf einer Schicht der Vorrichtung erzeugt, die Vorrichtung mit einem Strahlungsbild beaufschlagt, dann mit einem Abtaststrahl abgetastet und die dabei verursachte Ladungsströmung mit einer Ausleseelektronik erfaßt wird.

Die Erfindung betrifft ferner eine Vorrichtung zur Durch­ führung dieses Verfahrens mit einer mehrschichtigen photo­ leitfähigen Vorrichtung mit einer, der Reihe nach angeordneten ersten leitfähigen Schicht, einer photoleitfähigen Isolier­ schicht und einer zweiten leitfähigen Schicht, wobei mindestens die ersten beiden Schichten unmittelbar aufeinanderliegen und die zweite leitfähige Schicht von der photoleitfähigen Schicht beabstandet liegt, um ein Röntgenstrahlen absorbierendes Strömungsmittel aufzunehmen, das unmittelbar an die zweite leitfähige Schicht angrenzt, mit einer Gleichspannungsquelle, die ein starkes elektrisches Feld zwischen die erste und die zweite leitfähige Schicht legt, mit einer Röntgenbildstrahlungs­ quelle, um die Vorrichtung in Anwesenheit des Röntgenstrahlen absorbierenden Strömungsmittels bildmäßig zu bestrahlen, während die Gleichspannungsquelle betrieblich über die Vor­ richtung gelegt ist, um an einer Schicht der Vorrichtung ein elektrostatisches Ladungsbild zu erzeugen, mit einem Abtaster, der die Vorrichtung mit einem Abtaststrahl ab­ tastet, und einer Ausleseelektronik, die elektrisch zwischen die erste und die zweite leitfähige Schicht geschaltet ist, während der Abtaster die Vorrichtung abtastet, so daß die Ausleseelektronik die Ladungsströmung erfaßt, die der Abtast­ strahl aus dem Abtaster verursacht.

Aus der US-PS 39 70 844 geht eine Anordnung hervor, bei der ein elektrostatisches Ladungsbild entsprechend der von einer Röntgenstrahlenquelle abgegebenen Röntgenenergie auf der Oberfläche einer photoleitfähigen Schicht erzeugt wird, die ein Ionen emittierendes Medium absorbiert, das - beispielsweise ein Gas - sich zwischen der Röntgenstrahlenquelle und der photoleitfähigen Schicht befindet. Eine Elektrode liegt zwischen dem Ionen emittierenden Medium und der Röntgenstrahlen­ quelle.

In Anwesenheit der Röntgenstrahlung wird eine Bildungsspannungs­ versorgung zwischen die Elektrode und eine optisch trans­ parente leitfähige Schicht gelegt, die sich auf der Ober­ fläche der photoleitfähigen Schicht von der Röntgenstrahlen­ quelle entfernt befindet, so daß sich auf der Oberfläche der photoleitfähigen Schicht das elektrostatische Ladungsbild bildet. Hierauf wird die Bildspannungsversorgung abgeschaltet. An die leitfähige Schicht ist eine Bilddarstellungselektronik angeschlossen und nimmt Signale auf, die der Ladungsstärke an unterschiedlichen Punkten auf der photoleitfähigen Schicht entsprechen und durch Abtasten der photoleitfähigen Schicht mit einer Lichtquelle erzeugt werden, die von der Bildausgabe­ elektronik gesteuert wird. Das Abtasten des Ladungsbildes kann auf unterschiedliche Weise erfolgen. Diese Anordnung erfordert, daß die photoleitfähige Schicht keine Röntgen­ strahlen absorbiert bzw. daß eine Schicht aus Röntgenstrahlen absorbierendem Material an der Oberfläche der photoleit­ fähigen Schicht am Ionen emittierenden Medium angeordnet und das Material elektrisch anisotrop ist, so daß sich das Ladungsbild auf die photoleitfähige Schicht überträgt.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und eine Vorrichtung gemäß der eingangs erwähnten Art so zu ge­ stalten, daß bei bildmäßiger Bestrahlung der Vorrichtung mittels Röntgenstrahlung oder mittels Licht ein mehrfacher Einsatz des Verfahrens bzw. der Vorrichtung bei jeweiliger erhöhter Sensibilisierung der Erzeugung des elektrostatischen Ladungsbildes und dessen Abtastung möglich wird.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß während der Abtastung des elektrostatischen Ladungsbildes die Aus­ leseelektronik und die Gleichspannungsquelle in Reihe ge­ schaltet werden und daß diese Reihenschaltung bei Aufrecht­ erhaltung konstanter Gleichspannung über der Vorrichtung über die erste und die zweite leitfähige Schicht gelegt wird.

Vorteilhafterweise erfolgt die bildmäßige Bestrahlung der Vorrichtung mittels Röntgenstrahlung, wobei als Medium zwischen der photoleitfähigen Schicht und zweiten leitfähigen Schicht ein die Röntgenstrahlen absorbierendes Strömungsmittel ge­ wählt wird, und daß die Abtastung des elektrostatischen Ladungsbildes in Abwesenheit des Röntgenstrahlen absor­ bierenden Strömungsmittels unter Heranführung der zweiten leitfähigen Schicht näher an die photoleitfähige Schicht erfolgt. Als das die Röntgenstrahlen absorbierende Strömungs­ mittel kann ein Gas oder eine Flüssigkeit verwendet werden.

Vorzugsweise erfolgt weiterhin die bildmäßige Bestrahlung mittels Licht, wobei als Medium zwischen der photoleitfähigen Schicht und der zweiten leitfähigen Schicht eine an diesen Schichten anliegende Isolierschicht gewählt wird.

Erfolgt die bildmäßige Bestrahlung der Vorrichtung mittels Röntgenstrahlung, so kann die Vorrichtung mit einer an die photoleitfähige Isolierschicht angrenzenden Isolierschicht versehen werden und die Abtastung des elektrostatischen Ladungsbildes unter Heranführen der zweiten leitfähigen Schicht näher an die Isolierschicht erfolgen. Soll die erste leitfähige Schicht in unmittelbare elektrische Berührung mit der Isolierschicht gebracht werden, um das elektrostatische Bild auszulesen, wird die Vorrichtung vorübergehend von der Gleichspannungsquelle getrennt, während zwischenzeitlich ihre Bestrahlung mit der Röntgenstrahlung erfolgt, damit die elektrischen Ladungen an der zweiten leitfähigen Schicht zur Grenzfläche zwischen der photoleit­ fähigen isolierenden Schicht und der Isolierschicht wandern. Anstatt die erste leitfähige Schicht in elektrische Berührung mit der Isolierschicht zu bringen, kann die erste leitfähige Schicht in die Nähe der Isolierschicht gebracht werden, so daß die Schritte entfallen können, in denen sonst die Vor­ richtung von der Gleichspannungsquelle getrennt und mit Strahlung geflutet werden müßte. Es ist bei dieser Lage der ersten leitfähigen Schicht auch möglich, die Vorrichtung mit einem Strömungsmittel im Zwischenraum zu verwenden, bei der die Isolierschicht nicht Teil des Aufbaus der Vorrichtung ist.

Erfolgt die bildmäßige Bestrahlung mittels Licht, so wird vorzugsweise eine zweite photoleitfähige Isolierschicht zwischen der Isolierschicht und der zweiten leitfähigen Schicht angrenzend an diese angeordnet. Die zweite photo­ leitfähige Schicht dient dazu, auf die bildmäßige Bestrahlung anzusprechen, während die erste photoleitfähige Schicht auf die Auslesestrahlung anspricht.

Die erfindungsgemäße Vorrichtung zeichnet sich dadurch aus, daß die Ausleseelektronik elektrisch in Reihe mit der Gleich­ spannungsquelle und diese Reihenschaltung elektrisch über die erste und die zweite leitfähige Schicht gelegt sind, wenn der Abtaster abtastet, und daß das Röntgenstrahlen absor­ bierende Strömungsmittel abwesend und die zweite leitfähige Schicht näher an der photoleitfähigen Schicht angeordnet sind, wenn die Vorrichtung vom Abtaster abgetastet wird.

Ferner zeichnet sich die erfindungsgemäße Vorrichtung dadurch aus, daß die Ausleseelektronik elektrisch in Reihe mit der Gleichspannungsquelle und diese Reihenschaltung elektrisch über die erste und die zweite leitfähige Schicht gelegt sind, während der Abtaster abtastet, wobei die Vorrichtung eine zweite photoleitfähige Isolierschicht zwischen der Isolier- und der zweiten leitfähigen Schicht und an diese angrenzend enthält.

Die erfindungsgemäße Vorrichtung erlaubt die Verwendung einer breiten Vielfalt organischer oder anorganischer photoleitfähiger Isolierstoffe für eine der Schichten, die amorph, kristallin oder in Form von mit einem Bindemittel beschichteten Teilchen vorliegen können, so daß sich eine Vorrichtung herstellen läßt, die größere Bildbildungsflächen aufweist als mit Halbleiteranordnungen möglich wäre. Außerdem ergeben sich hierbei Vorrichtungen mit erheblichem Bestrahlungs­ spielraum.

Die erfindungsgemäße Vorrichtung arbeitet wirkungsvoll auch bei Raumtemperatur, wobei ihre Funktion nicht vom Vorliegen eines Ladungsverarmungs- oder Ladungsanreicherungsbereichs in der strahlungsempfindlichen Schicht abhängt. Auch hängt die erfindungsgemäße Vorrichtung nicht von Oberflächen- bzw. Elektronenzuständen in einem Dielektrikum ab, um Ladungen unter der Bildstrahlung zu speichern.

Zusätzlich weist die erfindungsgemäße Vorrichtung eine aktive Empfindlichkeit auf, die nicht von der Dicke eines Ladungs­ anreicherungs- oder Ladungsverarmungsbereiches bestimmt wird, sondern von der Dicke der strahlungsempfindlichen Schicht, wobei diese Schicht eine aktive Empfindlichkeitsdicke hat, die ausreichend tief ist, um auch auf stark eindringende Strahlung wie Röntgenstrahlen anzusprechen. Dabei ergibt sich eine hohe Empfindlichkeit über einen breiten Bereich von Bildstrahlungen.

Die erfindungsgemäße Vorrichtung ist mehrfach verwendbar, da sie sich mit der zur Bildbildung oder zum Auslesen ver­ wendeten Strahlung leicht löschen läßt. Außerdem kann die Vorrichtung für spezielle Anwendungen mit getrennter strahlungsempfindlicher Bildbildungs- und Ausleseschicht versehen werden. Ferner ermöglicht die erfindungsgemäße Vor­ richtung ein elektrostatisches Ladungsbild ansprechend auf zeitintegrierte Bildstrahlung auszubilden, wobei diese Ladungsbildung für beide Polaritäten des elektrischen Feldes möglich ist, das zur Bildung des Ladungsbildes verwendet wird.

Diese und andere Besonderheiten und Vorteile der Erfindung sollen nun anhand der Zeichnungen ausführlich erläutert werden. Es zeigt

Fig. 1 eine schaubildliche Darstellung nach der Vorrichtung aus der die Ladungsver­ teilung während eines Schritts des Verfahrens ersichtlich ist;

Fig. 2 und 3 der Fig. 1 entsprechende Darstellungen, die andere Schritte im Verfahren gemeinsam mit einer Diagrammdarstellung der Ladungsverteilung während dieser Schritte;

Fig. 4 eine Draufsicht einer Struktur für die untere Schicht der mehrschichtigen Vorrichtung der Fig. 1;

Fig. 4a eine bildliche Darstellung der Ladungsströmung als Funktion der Gesamtbestrahlung für die eingesetzten Vorrichtungen;

Fig. 5, 6, 7 den Fig. 1 bis 3 entsprechende Darstellungen einer weiteren Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens;

Fig. 8, 9, 10, 11 schaubildliche Darstellungen einer weiteren Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens;

Fig. 12 gemeinsam mit den Fig. 8 und 9 eine Wiedergabe einer weiteren Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens; und

Fig. 13 eine schaubildliche Darstellung einer weiteren Vorrichtung.

Fig. 1 zeigt eine Ausführungsform der Vorrichtung, die eine Strahlungsbildquelle 10 aufweist, die so ange­ ordnet ist, daß sie ein Strahlungsbild auf die obere Fläche einer strahlungsempfindlichen Abbildungsvorrichtung 20 richtet. Dabei kann das Strahlungsbild aus Licht oder Röntgenstrahlen bestehen.

Die Abbildungsvorrichtung (nicht maßstäblich dargestellt) be­ steht aus einer einheitlichen Anordnung aus aneinanderliegen­ den Schichten, bei denen es sich um eine erste leitfähige Schicht 21, eine photoleitfähige Isolierstoffschicht 22, eine Isolierschicht 23 und eine zweite leitfähige Schicht 24 handelt. Die Schicht 21 oder 24 kann die Oberfläche aufweisen, auf die das Strahlungsbild gerichtet ist; in diesem Fall muß sie im wesentlichen transparent für die Strahlungsenergie aus der Strahlungsbildquelle 10 sein. In der Fig. 1 ist die Vorrichtung so aufgebaut, daß die Schicht 24 das Strahlungsbild aufnimmt. In diesem Fall muß auch die Isolierschicht 23 im wesentlichen transparent für die eingesetzte Strahlung sein, so daß diese die photoleitfähige Isolierschicht 22 erreichen kann.

Es ist ein Abtaster 30 vorgesehen, der unter Steuerung durch die Ausleseelektronik 40 arbeitet und eine Auslesestrahlung liefert, die fortschreitend auf Bereiche der Außenfläche der leitfähigen Schicht 21 oder 24 gerichtet wird, um die Abbil­ dungsvorrichtung abzutasten, wenn die Vorrichtung in der Be­ triebsart Auslesen betrieben wird. In Fig. 1 ist die Vorrichtung so aufgebaut, daß die Auslesestrahlung auf die Schicht 21 gerich­ tet ist. Die zur Aufnahme der Abtaststrahlung gewählte Schicht sowie die anderen Schichten, durch die die Strahlung auf dem Weg zur photoleitfähigen Schicht 22 hindurchtreten muß, müssen aus einem Material bestehen, das im wesentlichen transparent für die eingesetzte Abtaststrahlung ist.

Eine Gleichspannungsquelle 50 ist vorgesehen, um ein starkes elektrisches Gleichfeld über die Vorrichtung 20 zu legen, und ist so angeordnet, daß sie sich unmittelbar über die Abbildungs­ vorrichtung 20 oder in Reihe mit der Ausleseelektronik über die Abbildungsvorrichtung 20 legen läßt. Die beiden möglichen Ver­ schaltungen für die Gleichspannungsversorgung 50 sind schema­ tisch durch den Schalter 60 mit zwei festen Kontakten 61, 62 und einem beweglichen Kontakt 63 angedeutet. Der bewegliche Kontakt 63 ist an die erste leitfähige Schicht 21 gelegt, der feste Kontakt 61 an die Gleichspannungsquelle 50 und die Aus­ leseelektronik 40. Der feste Kontakt 62 ist mit der Auslese­ elektronik 40 verbunden. Liegt im Schalter 60 der bewegliche Kontakt 63 am festen Kontakt 61, ist die Gleichspannungsquelle unmittelbar zwischen die leitfähigen Schichten 21, 24 gelegt. Liegt der Kontakt 63 am Kontakt 62, liegen die leitfähigen Schichten 21, 24 gemeinsam über die Gleichspannungsquelle 50 in Reihe mit der Ausleseelektronik 40. Es ist einzusehen, daß der Schalter 60 entfallen kann, wenn man die Ausleseelektronik 40 so auslegt, daß sie den Ladestrom aufnehmen kann, der fließt, wenn man die Gleichspannung anfänglich an die Vorrichtung 20 legt.

Die in Fig. 1 gezeigte Vorrichtung ist geeignet, um das Verfahren zur Erzeugung eines elektrostatischen Ladungsbildes durchzuführen, indem die Vorrichtung 20 bildmäßig bestrahlt und das resultierende La­ dungsbild hinterher zu elektronischen Signalen umgewandelt wird. Hierzu wird die Vorrichtung 20 mit einer Auslesestrahlung abgetastet, die der Abtaster 30 erzeugt. Dabei wird die Funktion des Abtasters so mit der Funktion der Ausleseelektronik koordi­ niert, daß jeder Teil des elektrostatischen Ladungsbildes, der abgefragt wird, lagemäßig einwandfrei dem elektronischen Signal zugeordnet ist, das bei dieser Abfragung erhalten wird.

Das Verfahren erfordert, daß die Vorrichtung 20 so sensibili­ siert ist, daß sie auf ein von der Strahlungsquelle 10 zu lieferndes Strahlungsbild ansprechen kann. Die Vorrichtung wird sensibilisiert, indem ein gleichmäßiges starkes elektrisches Feld zwischen den Außenflächen der Isolierschicht 23 und der photoleitfähigen Isolierschicht 22 aufgebaut wird. Für die in Fig. 1 gezeigte Vorrichtung 20 geschieht dies, indem man die Gleich­ spannungsquelle 50 unmittelbar zwischen die leitfähigen Schich­ ten 21, 24 gelegt wird. Die Polarität der angelegten Spannung hängt von dem für die photoleitfähige Schicht 22 verwendeten Werk­ stoff ab. Zur Erläuterung ist hier die Gleichspannungsquelle 50 so angeschlossen, daß die Schicht 21 positiv gegenüber der Schicht 24 ist. Der Schalter 60 ist so gelegt, wie es die Fig. 1 zeigt, um diesen Zustand zu erreichen; die sich einstellende elektrische Ladungsverteilung zeigt schaubildlich die Fig. 1.

Bei derart sensibilisierter Vorrichtung und an die Vorrichtung 20 angeschlossener Gleichspannungsquelle wird die Strahlungsbildquelle angeschaltet, um die Vorrichtung bildmäßig zu be­ strahlen, wobei die Strahlung von der photoleitfähigen Iso­ lierschicht 22 aufgenommen wird, die Leitfähigkeit der strah­ lungsabsorbierenden Flächen zunimmt, die Ladungen auf der Außenfläche der photoleitfähigen Schicht in Bereichen, in denen Strahlung absorbiert wird, zur Innenfläche der photo­ leitfähigen Schicht wandern und dort ein elektrostatisches Ladungsabbild des Strahlungsbildes auf der oberen Fläche der photoleitfähigen Schicht bilden. Da die erhöhte Leitfähigkeit dieser Bereiche des photoleitfähigen Materials sich als Ver­ ringerung der wirksamen Dicke des Kondensators zwischen den zwei leitfähigen Schichten 21, 24 wirkt, erfordert das Anlie­ gen der gleichmäßigen Gleichspannung an der Außenfläche der Isolierschicht 24 das Einfließen zusätzlicher Ladungen in die strahlungsabsorbierenden Bereiche. Die Höhe der Gleichspannung und die Gesamtbestrahlung in einem gegebenen Bereich der photo­ leitfähigen Schicht bestimmen dabei die Ladungsmenge, die durch die photoleitfähige Schicht wandert, so daß im Effekt eine zeitliche Integration der von der photoleitfähigen Schicht aufgenommenen Strahlungsenergie stattfindet. Fig. 2 zeigt die endgültige Verteilung der Ladungen unter der Einwirkung der Bildstrahlung, die die photoleitfähige Schicht absorbiert.

Nachdem das elektrostatische Ladungsbild erzeugt ist, wird es ausgelesen, indem die Gleichspannungsquelle 50 in Reihe mit der Ausleseelektronik 40 über die leitfähigen Schichten 21, 24 geschaltet wird. Im Schalter 60 wird der bewegliche Kon­ takt 63 an den festen Kontakt 62 gelegt. Wie in Fig. 3 gezeigt, wird eine Abtaststrahlung mit kleiner Querschnittsfläche, wie bei 70 gezeigt, fortschreitend auf die Flächenteile der Schicht 21 in zeitlicher Zuordnung zum Arbeiten der Ausleseelektronik ge­ richtet. Diese nimmt die elektronischen Signale auf, die dem Ladungsstrom entsprechen, der an demjenigen Punkt der Vor­ richtung fließt, auf den die Abtaststrahlung gerade gerichtet ist. Auf diese Weise wird eine punktweise Ablesung des zuvor ausgebildeten elektrostatischen Ladungsbildes in Form elektronischer Signale erhalten. Wird die Abtaststrahlung auf einen Bereich gerichtet, in dem die gesamte Ladung für das elektro­ statische Ladungsbild sich an der oberen Fläche der photoleit­ fähigen Schicht 22 befindet, wird kein elektrisches Signal er­ zeugt, so lange die von der Gleichspannungsquelle 50 gelieferte Spannung sich nicht ändert. Wenn entsprechend die Abtaststrah­ lung auf einen Bereich gerichtet wird, in dem keine Bildstrah­ lung auf die photoleitfähige Schicht 22 auftraf, geht die La­ dung, die auf der Außenfläche der Schicht 22 vorlag, auf die obere Fläche der Schicht 22 über. Da weiterhin die Auslese­ strahlung die Leitfähigkeit der photoleitfähigen Schicht 22 in diesem Bereich erhöht und damit die wirksame Dicke des Kon­ densators zwischen den beiden leitfähigen Schichten 21, 24 verringert, erfordert die konstante Gleichspannung über der Vorrichtung 20, daß diese Spannung durch einen zusätzlichen Ladungsstrom beibehalten wird. Dieser zusätzliche Ladungs­ strom verstärkt das elektrische Signal, das für den gerade abgetasteten Bereich an die Ausleseelektronik 40 geht. Die Stärke des durch den Abtastprozeß für einen gegebenen Bereich der Vorrichtung 20 erzeugten Auslesesignals ändert sich invers zur Stärke der Bildstrahlung, die dieser Be­ reich aufgenommen hat.

Anstatt einen kleinflächigen Strahl der Abtaststrahlung über die Oberfläche der Schicht 21 zu bewegen, und diese punktweise abzutasten, kann eine Strahlungslinie verwendet werden. In diesem Fall ist die leitfähige Schicht 21 keine durchgehende Platte, wie für die punktweise Abtastung erforderlich, sondern so auf­ gebaut, wie es Fig. 4 zeigt, die eine Draufsicht der Schicht darstellt. Hierbei trägt ein Substrat 26 beabstandete Leiter 25, wobei das Substrat und die Leiter 25 so angeordnet sind, daß sie für von dieser Seite einfallende Strahlung trans­ parent sind. Fig. 4 zeigt auch die elektrischen Verbin­ dungen 27 (je eine pro Leiter 25) zur Ausleseelektronik 40. Die Strahlungslinie liegt quer zu den Leitern 25 und wird in dieser Ausrichtung die Leiter 25 entlang bewegt. In diesem Fall werden die elektrischen Signale in die Ausleseelektronik in zeitlicher Zuordnung zur Bewegung der Strahlungslinie längs zu den Leitern 25 parallel eingelesen.

Fig. 4a zeigt zur Verdeutlichung bildlich die Stärke der Ladungsströmung (Ordinate) im externen Stromkreis der Abbil­ dungsvorrichtung 20 als Funktion der Gesamtbestrahlung (Abs­ zisse) pro Flächeneinheit der Vorrichtung.

Die durchgezogene Kurve, die charakteristisch ist für die Ab­ bildungsvorrichtung der in der Vorrichtung nach Fig. 1 verwendeten Art, ist anfänglich im wesentlichen linear für geringe Bestrah­ lungen und geht dann für stärkere Bestrahlungen in die Sät­ tigung. Der Punkt 100 auf der Kurve zeigt die Ladungsströmung infolge einer Bildbestrahlung in einer Flächeneinheit der Vor­ richtung, die abgelesen werden soll. Der Punkt 100 auf der Kurve bestimmt sich für eine gewählte Flächeneinheit der Vor­ richtung aus der zeitlich integrierten Bildbestrahlung, die diese Flächeneinheit aufnimmt. Beim Auslesen nimmt diese Flä­ cheneinheit weitere Bestrahlung auf, so daß eine zusätzliche Ladungsströmung die gesamte Ladungsströmung für die Flächen­ einheit auf den Punkt 101 bringt. Diese zusätzliche Ladungs­ strömung (Auslese-Ladungsströmung), die in Fig. 4a durch den Übergang vom Punkt 100 zum Punkt 101 für eine gegebene abzu­ lesende Flächeneinheit dargestellt ist, ist es, die beim Ab­ lesen von der Auswertungselektronik festgestellt und ausge­ wertet wird. Indem eine Auslesebestrahlung verwendet wird, die ausreichend hoch ist, um den Punkt 101 für eine gegebene Flä­ cheneinheit der Vorrichtung über den linearen Kurventeil zu bringen, ist die Auslese-Ladungsströmung unterschiedlich für Flächeneinheiten, die unterschiedlich bildbestrahlt worden sind, so daß sich Signale ergeben, die dem Strahlungsbild entsprechen, mit dem die Vorrichtung anfänglich bestrahlt wurde. Ist die Auslesebestrahlung so schwach, daß die Vor­ richtung weiter im linearen Kurventeil für jede Flächenein­ heit bleibt, bleibt die Auslese-Ladungsströmung bei der Ab­ lesung jeder Flächeneinheit im wesentlichen gleich. Wenn die Bildbestrahlung dazu führt, daß jede Flächeneinheit einen Arbeitspunkt 100 im linearen Kurventeil erbringt, wird ein im wesentlichen linearer Zu­ sammenhang zwischen der Auslese-Ladungsströmung und der Bild­ bestrahlung erhalten, die die unterschiedlichen Flächeneinhei­ ten der Vorrichtung aufnehmen.

Das Verfahren und die Vorrichtung zu seiner Durchführung erlauben auch andere Formen der Abbildungsvorrichtung einzu­ setzen, wie die in Fig. 5 gezeigte, in der die Vorrichtung der der Fig. 1 entspricht, aber unter Hinzufügung einer zweiten photoleitfähigen Isolierschicht 28 zwischen der leitfähigen Schicht 24 und der Isolierschicht 23. Die Abbildungsvorrich­ tung 20 der Fig. 5 ist dabei in der Vorrichtung an die Gleichspannungs­ quelle 50 geschaltet gezeigt, wobei die Ausleseelektronik 40, der Schalter 60, ein Abtaster 30 und eine Bildstrahlungsquelle 10 auf die gleiche Weise wie in Fig. 1 vorliegen.

Fig. 5 zeigt den Schalter 60 in die zum Sensibilisieren der Vorrichtung 20 vorgesehenen Stellung gelegt, wobei die elektrische Ladungsverteilung schematisiert an den leitfähigen Schichten 21, 24 gezeigt ist. Bei unverändertem Schalter 60 erfordert das Verfahren, das Strahlungsbild auf die Vorrich­ tung 20 zu richten, wo es primär von der photoleitfähigen Iso­ lierschicht 28 absorbiert wird, die ihre Leitfähigkeit ent­ sprechend der aufgenommenen Strahlungsmenge erhöht, so daß die Ladung an der oberen Fläche der Schicht 28, wo die Strah­ lung auftrifft, auf die an die Isolierschicht 23 angrenzende Oberfläche der Schicht 28 wandert; dieser Vorgang ist in Fig. 6 gezeigt. Auf diese Weise entsteht ein elektrostatisches La­ dungsbild an der Oberfläche der photoleitfähigen Schicht 28 an der Isolierschicht 23. Die Vorrichtung nach Fig. 5 in dem in Fig. 6 gezeigten Zustand läßt sich dann ablesen, indem der Abtaster 30 und die Ausleseelektronik 40 nach einer der be­ schriebenen Verfahrensweisen zur Ablesung des elektrostatischen Ladungsbildes nach Fig. 1 bis 3 eingesetzt werden. Der Auslesezustand der Vorrichtung nach Fig. 5 ist in Fig. 7 gezeigt, in der im Schalter 60 der bewegliche Kontakt am festen Kontakt 62 liegt, so daß die Gleichspannungsquelle 50 mit der Ausleseelektronik 40 in Reihe über die Vorrichtung 20 gelegt wird. Die Auslesestrahlung ist schematisiert auf die Vorrichtung 20 an der Schicht 21 gegen­ über einem unbestrahlten Teil der Schicht 28 gezeigt; sie läuft zu einem Teil der photoleitfähigen Isolierschicht 22, wo sie absorbiert wird. Der abgefragte Teil der photoleitfä­ higen Schicht 22 wird leitfähig, so daß die Ladung an der un­ teren Seite der Schicht 22 zur oberen Seite der Schicht 22 fließen kann. Die Leitfähigkeit, die die Schicht 22 dabei an­ nimmt, reduziert die effektive Dicke des Kondensators zwischen den Schichten 21, 24, so daß eine zusätzliche Ladungsströmung auftritt, um die Gleichspannung an der Vorrichtung 20 konstant zu halten. Beim Abtasten wird Strahlung aufgebracht, um einen Bereich der photoleitfähigen Isolierschicht 22 gegenüber einem Bereich der photoleitfähigen Schicht 28 abzufragen, der Bild­ strahlung aufgenommen hatte. Eine entsprechende Ladungsströmung findet statt. Die wirksame Dicke des diesem abgefragten Bereich entsprechenden Kondensators nimmt nun jedoch ab, da die Leit­ fähigkeit infolge der Bildstrahlung in der Schicht 28 höher geworden ist und weiterhin die Abtaststrahlung die Schicht 22 zusätzlich leitfähiger gemacht hat. Die zusätzlich auftretende Ladungsströmung ist größer als die zusätzliche Ladungs­ strömung beim Abtasten eines Bereichs der Schicht 22 gegenüber einem unbelichteten Flächenteil der Schicht 28. Die Ladungs­ strömung für jeden abgetasteten Bereich der Schicht 21 erzeugt nun elektrische Signale, die von der Ausleseelektronik erfaßt werden und deren Stärke abhängig von der Bildstrahlung schwankt, die die Schicht 28 gegenüber den abgefragten Bereichen der Schicht 21 aufgenommen hatte. Je stärker das elektrische Signal für einen abgefragten Bereich, desto stärker auch die Bild­ strahlung, die der entsprechende Bereich der Schicht 28 aufge­ nommen hat. Im Fall der Vorrichtung nach Fig. 1 bis 3 galt die entgegengesetzte Folgerung hinsichtlich der erhaltenen Auslesesignale, d. h. dort wird das stärkste elektrische Signal erhalten, wenn die Abtaststrahlung einen Bereich der Schicht 21 der Fig. 3 abfragt, der gegenüber einem Bereich der Schicht 23 liegt, in die überhaupt keine Bildstrahlung gefallen war.

Fig. 8 zeigt eine weitere Ausführungsform der Vorrichtung. Hierbei wird eine strahlungsempfindliche Abbildungsvorrichtung 20.1 eingesetzt, womit sich eine für die Fälle brauchbare Vorrichtung ergibt, in denen das Strahlungsbild in Form von Röntgenstrahlen vorliegt. Die strahlungsempfindliche Abbil­ dungsvorrichtung 20.1 ist keine vollständig einheitliche Schichtstruktur, wie die Vorrichtung 20 der Fig. 1, obgleich sie wie die Vorrichtung 20 drei aneinanderliegende Schichten aufweist, d. h. eine erste leitfähige Schicht 21.1, eine photo­ leitfähige Isolierschicht 22.1 und eine Isolierschicht 23.1. Eine zweite leitfähige Schicht 24.1 ist vorgesehen, die, wenn die Vorrichtung sich in einem zur Aufnahme eines Strahlungs­ bildes zwecks Erzeugung eines elektrostatischen Ladungsbildes bereiten Zustand befindet, von der Isolierschicht 23.1 beab­ standet liegt, wobei der Zwischenraum mit einem Strömungs­ mittel wie einem Gas oder einer Flüssigkeit gefüllt ist, das Röntgenstrahlen absorbiert, um Elektronen und Ionen abzugeben. Während des Auslesens des in der Vorrichtung nach Fig. 8 entstehenden elektrostatischen Ladungsbildes werden die leitfähige Schicht 24.1 und die Isolierschicht 23.1 in innige Berührung mitein­ ander gebracht. Diese Verwendung der Vorrichtung 20.1 erfordert, sie in ein geeignetes (nicht gezeigtes) Gehäuse einzusetzen, damit das Gas bzw. die Flüssigkeit eingefüllt und entfernt werden kann.

Wie im Fall der anderen beschriebenen Vorrichtungen sind in der Vorrichtung nach Fig. 8 eine Gleichspannungsquelle 50, die Ausleseelektronik 40, der Abtaster 30 und ein Schalter 60 vorhanden. Die ver­ schiedenen Verschaltungsweisen dieser Elemente entsprechen denen der Vorrichtungen der Fig. 1 und der Fig. 5, wobei die Gleich­ spannungsquelle an die leitfähige Schicht 24.1 und der beweg­ liche Kontakt 63 des Schalters 60 an die leitfähige Schicht 21.1 angeschlossen sind.

Die Sensibilisierung der Abbildungsvorrichtung 20.1 als Vor­ bereitung auf die Aufnahme eines Röntgenbildes aus der Strah­ lungsbildquelle 10.1 erfolgt, indem im Schalter 60 der be­ wegliche Kontakt 63 an den festen Kontakt 61 gelegt wird, wie es die Fig. 8 zeigt, damit Ladungen auf die leitfähige Schicht 24.1 und entgegengesetzte Ladungen an die leitfähige Schicht 21.1 gelangen.

Bei unveränderter Stellung des Schalters 60 erfordert das Ver­ fahren zur Nutzung der Vorrichtung nach Fig. 8, daß ein Röntgenbid auf die leitfähige Schicht 24.1 der Vorrichtung 20.1 gerich­ tet wird. Der Werkstoff für die leitfähige Schicht 24.1 ist so gewählt, daß sie das Röntgenbild durchläßt, wobei das Gas oder die Flüssigkeit im Raum zwischen der Schicht 24.1 und der Iso­ lierschicht 23.1 das Röntgenbild absorbiert und Elektronen oder Ionen erzeugt, die zur Oberseite der Isolierschicht 23.1 wandern und dort entsprechend dem Röntgenbild ein elektro­ statisches Ladungsbild ausbilden. Dieser Abbildungsschritt ist in Fig. 9 gezeigt. Die wirksame Dicke des Kondensators zwischen den leitfähigen Schichten 21.1 und 24.1 wird von der Strahlung reduziert, die das Gas absorbiert. Da eine konstante Gleich­ spannung an der leitfähigen Schicht 24.1 liegt, muß nun wieder­ um zusätzliche Ladung in diejenigen Bereiche fließen, wo die Röntgenstrahlung absorbiert wird. Fig. 9 zeigt die end­ gültige Anordnung der Ladungen, die sich unter der Bestrahlung mit dem Röntgenbild ergibt.

Die Abbildungsvorrichtung 20.1 wird dann von der Gleichspan­ nungsquelle 50 getrennt. Bevor die leitfähige Schicht 24.1 in elektrische Berührung mit der Isolierschicht 23.1 gebracht wird, wird die Vorrichtung noch mit Strahlung geflutet, die durch die leitfähigen Schichten 21.1 oder 24.1 läuft und von der photoleitfähigen Schicht 22.1 absorbiert wird, so daß die elek­ trischen Ladungen an der leitfähigen Schicht 21.1 auf die Oberseite der photoleitfähigen Schicht 22.1 wandern. Ohne diese Vorbereitung würde das Ladungsmuster auf der Schicht 23.1 verlorengehen, wenn die leitfähige Schicht 24.1 in elektrische Berührung mit der Schicht 23.1 gerät. Fig. 10 zeigt diesen Vorbereitungsschritt. Wie ersichtlich, dient dieser Schritt dazu, das Ladungsmuster an der leitfähigen Schicht 21.1 durch die photoleitfähige Isolierschicht 22.1 hindurch zur Isolier­ schicht 23.1 zu überführen. Dieser Vorbe­ reitungsschritt kann, falls erwünscht, gleichzeitig mit der Bildbildung, ausgeführt werden.

Für den nächsten Schritt ist erforderlich, daß die leitfähige Schicht 24.1 und die Isolierschicht 23.1 so angeordnet werden, daß die Schicht 24.1 einen guten elektrischen Kontakt mit der Oberseite der Isolierschicht 23.1 hat. Die Spannung aus der Spannungsquelle 50 wird so eingestellt, daß sich ein elektrisches Auslesefeld über der photoleitfähigen Schicht 22.1 ergibt. Der Schalter 60 wird so an die Abbildungsvorrichtung 20.1 gelegt, daß der bewegliche Kontakt 63 am festen Kontakt 62 liegt. Die Gleichspannungsquelle 50 und die Ausleseelektronik 40 liegen in Reihe über den leitfähigen Schichten 21.1, 24.1. Dann erfolgt ein Abtastschritt wie bei der Vorrichtung nach Fig. 1, so daß elektrische Signale für die Ausleseelektronik 40 er­ halten werden, die dem elektrostatischen Ladungsbild in der Vorrichtung 20.1 entsprechen. Die Stärke der entstehenden elektrischen Signale, die an die Ausleseelektronik 40 gehen, ist weit größer als die, die erhalten würden, wenn die leitfähige Schicht 24.1 vor dem Abtasten nicht umgeordnet wird, da das Aufheben des gas- bzw. flüssigkeitsgefüllten Zwischenraums zwischen der Schicht 24.1 und der Isolierschicht 23.1 die Dicke des Kondensators gleichmäßig reduziert, so daß während des Auslesens eine stär­ kere Ladungsöffnung stattfinden muß als beim Bestehenbleiben des Zwischenraums.

Auslesesignale, die wesentlich stärker sind als die, die ohne Umordnen der leitfähigen Schicht 24.1 vor dem Abtasten erhalten werden, lassen sich ohne ein Strahlungsfluten der Vorrichtung 20.1 erreichen, wenn die Schicht 24.1 vor dem Abtasten sehr nahe an die Schicht 23.1 herangeführt wird, ohne aber eine elektrische Berührung herzustellen. Für diesen Fall sind die verschiedenen Schritte der Verfahrensweise in den Fig. 8, 9 und 12 gezeigt. Das Auslesen erfolgt, wie zur Fig. 7 beschrieben.

Die gerade beschriebene Vorrichtung und Verfahrensweise, wonach die leitfähige Schicht 24.1 vor dem Abtasten sehr nahe, aber nicht bis zur elektrischen Berührung mit ihr, an die Isolier­ schicht 23.1 herangeführt wird, ist auch anwendbar auf eine Vorrichtung und eine Verfahrensweise, bei der die mehrschichtige Vorrichtung 20.1 keine Isolierschicht 23.1 enthält. Eine solche Anordnung ist in Fig. 13 gezeigt, die der Fig. 8 ähnlich ist, aber keine Isolierschicht 23.1 enthält. Die Bezugszeichen der Fig. 8 sind dabei auch in der Fig. 13 verwendet, um gleiche Elemente zu kennzeichnen. Das Verfahren unter Benutzung der Vorrichtung 20.1 der Fig. 8 zur Erzeugung eines elektrostati­ schen Ladungsbildes unter einer Röntgenbildstrahlung entspricht dem zur Fig. 8 und 9 beschriebenen, wobei das elektrostatische Ladungsbild an der Trennfläche der Gas- bzw. Flüssigkeits­ schicht und der photoleitfähigen Isolierschicht 22.1 entsteht. Die leitfähige Schicht 24.1 wird vor dem Abtastschritt nahe an die photoleitfähige Isolierschicht 22.1, aber nicht in Be­ rührung mit ihr geführt. Die auf einen bestrahlten Teil der Vorrichtung gerichtete Abtaststrahlung bewirkt dann eine Neu­ tralisierung der Bildladung auf der photoleitfähigen Schicht 22.1 und ein Aufladen des Kondensators zwischen der photo­ leitfähigen Schicht 22.1 und der leitfähigen Schicht 24.1. Die auf einen unbestrahlten Bereich gerichtete Abtaststrahlung bewirkt eine geringere Ladungsströmung als die, die in einem bildmäßig bestrahlten Bereich erhalten wird.

Die beschriebenen Vorrichtungen sind mehrfach verwendbar. Für die erneute Verwendung werden die Vorrichtungen in ihren Ausgangszustand versetzt, indem die beiden leitfähigen Elektroden miteinander kurz­ geschlossen und die Vorrichtung in diesem Zustand der Strahlung ausgesetzt wird, für die sie empfindlich ist.

Hinsichtlich der erläuterten Vorrichtungen müssen mehrere Eigen­ schaften der verschiedenen Schichten in Betracht gezogen werden. Da das Verfahren zur Durchführung eine gewisse Zeitspanne erfordert, ist erwünscht, die Abschwächung der verschiedenen elektrischen Felder, die bei diesem Verfahren erzeugt werden, minimal zu halten. Es sollte daher die Schnittfläche zwischen der leitfähigen Schicht 21 (21.1) und der photoleitfähigen Iso­ lierschicht 22 (22.1) elektrisch einen Sperrkontakt darstellen, d. h. einen Kontakt, bei dem so wenige Ladungen aus der leit­ fähigen in die photoleitfähige Schicht übergehen, daß die an­ fänglich über die photoleitfähige Schicht gelegte Spannung (ohne Strahlung) länger erhalten bleibt als die gesamte Zeit­ spanne, die zwischen dem anfänglichen Sensibilisieren und dem Auslesen verstreicht. Einen solchen Kontakt wird erhalten, wenn bspw. Indiumoxid als Leiter für die leitfähige Schicht verwendet wird und wenn das photoleitfähige Material in der photo­ leitfähigen Schicht amorphes Selen, Bleioxid oder Cadmium­ sulfid ist. Die leitfähige Indiumoxidschicht liegt zweckmäßig als Schicht auf Glas vor. Das Glas dient da­ bei gleichzeitig als Lager für die anderen Schichten der Vor­ richtung. Die photoleitfähige Isolierschicht 22 (22.1) sollte eine geringe Dunkelleitfähigkeit haben, so daß sie das elek­ trische Feld aufrechterhält. Der spezifische Widerstand sollte vorzugsweise etwa 10⁹ Ohm · cm oder mehr betragen. Weiterhin ist erwünscht, daß die Isolierschicht 23 (23.1) einen spezifischen Widerstand von etwa 10⁹ Ohm · cm oder mehr hat und die angelegte Spannung wesentlich länger beibehält als die gesamte Zeitspanne, die zwischen dem anfänglichen Sensibilisieren und dem Auslesen des Bildes verstreicht. Wird die Vorrichtung für Röntgenbilder eingesetzt, darf der gewählte Isolierstoff Röntgenstrahlen nicht wesentlich absorbieren. Es lassen sich hier Polyester und auch Poly-p-xylylen verwenden. Die minimale Dicke für die photoleitfähige Schicht beträgt etwa 0,5 µm, die maximale Dicke etwa 1000 µm.

Die Erfindung soll anhand der folgenden Beispiele weiter er­ läutert werden.

Beispiel 1

Es wurde eine Vorrichtung 20, wie zur Fig. 1 beschrieben, mit einer leitfähigen Schicht 21 verwendet, wie sie zur Fig. 4 be­ schrieben wurde. Auf die Indiumoxid-Seite eines 8,18 × 7,62 cm großen Glasstücks der genannten Art wurden 64 Linienelektroden von 0,75 mm Breite in 0,25 mm Abstand nach herkömmlichen photo­ lithographischen und Ätzverfahren aufgebracht, um die leit­ fähige Schicht 21 herzustellen. Das Glas wurde dann gereinigt und in ein Standard-Vakuumsystem so eingesetzt, daß die leit­ fähigen Elektroden einem Verdampfungstiegel zugewandt waren, in dem sich Selen befand. Dann wurde das Vakuumsystem auf etwa 5 × 10^-5 Torr evakuiert und eine etwa 40 µm dicke Schicht aus amorphen Selen auf die mit den leitfähigen Elektroden versehene Seite des Glases aufgedampft, um die photoleitfähige Isolier­ schicht darzustellen. Vor dem Aufdampfen wurde der Abstand zwischen Substrat und Quelle auf 200 mm eingestellt, um eine Kristallisierung des Seleniums unter der Wärme aus der Verdamp­ fungsquelle zu verhindern. Nach dem Herausnehmen aus dem Vakuum­ system wurde die Isolierschicht 23 der Vorrichtung 20 durch Aufdampfen einer 12 bis 15 µm dicken Schicht aus Poly-p- xylylen auf die Selenschicht hergestellt. Als leitfähige Schicht 24 diente eine auf die Isolierschicht 23 aufgedampfte Goldschicht.

Wird in diesem Beispiel sichtbares Licht verwendet, so werden die Abbildungs- und Ausleseschritte des Verfahrens ausgeführt, indem das Lichtbild und die Auslesestrahlung durch die Glastragschicht für die Schicht 21 gerichtet werden. Die Sensibilisierung, die Bildbildung und das Auslesen erfolgen entsprechend der vorgehenden ausführlichen Beschreibung. In diesem Beispiel wurde aus der Gleichsspannungsquelle 50 eine Spannung von 1000 V angelegt, wobei der negative Pol an die Schicht 24 gelegt wurde. Bei der Verwendung von Röntgenstrahlen zur Bildbildung wird eine herkömmliche Röntgenröhre unter 90 keV mit einer Bestrahlung von 360 ma · sec betrieben. Die Zeilen­ auslesestrahlung war die 457,9-nm-Linie eines Argonlasers, die durch kreuzzylindrische Linsen zu einer etwa 50 µm breiten Lichtlinie geformt wurde. Das Auslesesignal wurde zu einem helligkeitsmodulierten Abbild auf einer Kathodenstrahlröhre verarbeitet, das eine genaue Wiedergabe des Röntgenbildes dar­ stellte. Die Vorrichtung wird gelöscht, indem die Vorrich­ tung bei kurzgeschlossenen Elektroden bestrahlt wird. Die Vorrich­ tung kann dann erneut verwendet werden.

Beispiel 2

In diesem Beispiel wurde eine Vorrichtung 20 nach der Beschrei­ bung zur Fig. 1 mit einer leitfähigen Schicht nach der Be­ schreibung zur Fig. 4 eingesetzt. Ein Stück Polyester mit den Abmessungen 50 × 80 mm mit einer Aluminiumschicht wurde als Isolierschicht 23 bzw. leitfähige Schicht 24 verwendet. Eine etwa 50 µm dicke Schicht Bleioxid(PbO)-Pigment in einem organischen Bindemittel wie einem Mischpolymerisat aus Buta­ dien und Styrol wurde auf die Schicht 23 mit einer Klinge auf­ gestrichen, um die photoleitfähige Isolierschicht 22 darzu­ stellen; das Gewichtsverhältnis Pigment zu Bindemittel betrug 10 : 1. Dann wurden Rußstreifen einer Breite von 1,6 mm im Ab­ stand von 1,6 mm auf die Schicht 22 aufgestrichen, um die Schicht 21 darzustellen. Die Bildbildung und das Auslesen er­ folgten entsprechend dem Beispiel 1.

Claims (9)

1. Verfahren zur Erzeugung eines elektrostatischen Ladungs­ bildes und zum Abtasten des Bildes, bei dem eine mehr­ schichtige photoleitende Vorrichtung mit einer, der Reihe nach angeordneten, ersten leitfähigen Schicht, einer photoleitfähigen Schicht und einer zweiten leitfähigen Schicht gebildet wird, wobei mindestens die beiden ersten Schichten unmittelbar aneinandergelegt werden, die zweite leitfähige Schicht von der photoleitfähigen Schicht im Abstand angeordnet und zwischen den beiden letzteren Schichten ein Medium unmittelbar an der zweiten leit­ fähigen Schicht angrenzend vorgesehen wird, bei dem weiter durch Anlegen einer Gleichspannung an die photo­ leitende Vorrichtung ein starkes elektrisches Feld zwischen der ersten und der zweiten leitenden Schicht aufgebaut sowie ein elektrostatisches Ladungsbild auf einer Schicht der Vorrichtung erzeugt, die Vorrichtung mit einem Strahlungsbild beaufschlagt, dann mit einem Abtaststrahl abgetastet und die dabei verursachte Ladungsströmung mit einer Ausleseelektronik erfaßt wird, dadurch gekennzeichnet, daß während der Abtastung des elektrostatischen Ladungs­ bildes die Ausleseelektronik und die Gleichspannungsquelle in Reihe geschaltet werden und daß diese Reihenschaltung bei Aufrechterhaltung konstanter Gleichspannung über der Vorrichtung über die erste und die zweite leitfähige Schicht gelegt wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die bildmäßige Bestrahlung der Vorrichtung mittels Röntgenstrahlung erfolgt, wobei als Medium zwischen der photoleitfähigen Schicht und zweiten leitfähigen Schicht ein die Röntgenstrahlen absorbierendes Strömungsmittel gewählt wird, und daß die Abtastung des elektrostatischen Ladungsbildes in Abwesenheit des Röntgenstrahlen absor­ bierenden Strömungsmittels unter Heranführung der zweiten leitfähigen Schicht näher an die photoleitfähige Schicht erfolgt.

3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die bildmäßige Bestrahlung mittels Licht erfolgt, wobei als Medium zwischen der photoleitfähigen Schicht und der zweiten leitfähigen Schicht eine an diesen Schichten an­ liegende Isolierschicht gewählt wird.

4. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung mit einer an die photoleitfähige Isolierschicht angrenzenden Isolierschicht versehen wird und die Abtastung des elektrostatischen Ladungsbildes unter Heranführung der zweiten leitfähigen Schicht näher an die Isolier­ schicht erfolgt.

5. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung mit einer an die photoleitfähige Isolier­ schicht angrenzenden Isolierschicht versehen wird, daß unter Abschaltung der an die photoleitende Vorrichtung angelegten Gleichspannung die Bestrahlung mit den Röntgen­ strahlen erfolgt, und daß dann beim Abtasten des elektro­ statischen Ladungsbildes die zweite leitfähige Schicht mit der Isolierschicht in Berührung gebracht wird.

6. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß eine zweite photoleitfähige Isolierschicht zwischen der Isolierschicht und der zweiten leitfähigen Schicht an­ grenzend an diese angeordnet wird.

7. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Patent­ anspruch 1 mit einer mehrschichtigen photoleitfähigen Vorrichtung mit einer, der Reihe nach angeordneten ersten leitfähigen Schicht, einer photoleitfähigen Isolier­ schicht und einer zweiten leitfähigen Schicht, wobei mindestens die ersten beiden Schichten unmittelbar auf­ einanderliegen und die zweite leitfähige Schicht von der photoleitfähigen Schicht beabstandet liegt, um ein Röntgen­ strahlen absorbierendes Strömungsmittel aufzunehmen, das unmittelbar an die zweite leitfähige Schicht angrenzt, mit einer Gleichspannungsquelle, die ein starkes elektrisches Feld zwischen die erste und die zweite leitfähige Schicht legt, mit einer Röntgenbildstrahlungsquelle, um die Vor­ richtung in Anwesenheit des Röntgenstrahlen absorbierenden Strömungsmittels bildmäßig zu bestrahlen, während die Gleichspannungsquelle betrieblich über die Vorrichtung gelegt ist, um an einer Schicht der Vorrichtung ein elek­ trostatisches Ladungsbild zu erzeugen, mit einem Abtaster, der die Vorrichtung mit einem Abtaststrahl abtastet, und einer Ausleseelektronik, die elektrisch zwischen die erste und die zweite leitfähige Schicht geschaltet ist, während der Abtaster die Vorrichtung abtastet, so daß die Auslese­ elektronik die Ladungsströmung erfaßt, die der Abtaststrahl aus dem Abtaster verursacht, dadurch gekennzeichnet, daß die Ausleseelektronik (40) elektrisch in Reihe mit der Gleichspannungsquelle (50) und diese Reihenschaltung elektrisch über die erste und die zweite leitfähige Schicht (21 bzw. 24) gelegt sind, wenn der Abtaster (30) abtastet, und daß das Röntgenstrahlen absorbierende Strömungsmittel abwesend und die zweite leitfähige Schicht (24) näher an der photoleitfähigen Schicht (22) angeordnet sind, wenn die Vorrichtung (20) vom Abtaster (30) abge­ tastet wird.

8. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung (20) eine Isolierschicht (23) aufweist, die an die photoleitfähige Isolierschicht (22) angrenzt und von der zweiten leitfähigen Schicht (20) beabstandet ist, wenn das elektrostatische Bild ausgebildet wird.

9. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Patent­ anspruch 1 mit einer mehrschichtigen photoleitfähigen Vor­ richtung mit einer, der Reihe nach angeordneten, ersten leitfähigen Schicht, einer ersten photoleitfähigen Isolier­ schicht, einer Isolierschicht und einer zweiten leitfähigen Schicht, einer Gleichspannungsquelle, mit der ein starkes elektrisches Feld zwischen der ersten und der zweiten Schicht aufgebaut wird, einer Strahlungsbildquelle, um die Vorrichtung bildmäßig zu bestrahlen, während die Gleichspannungsquelle elektrisch an die Vorrichtung gelegt ist, um an einer Schicht der Vorrichtung ein elektro­ statisches Ladungsbild zu erzeugen, mit einem Abtaster, um die Vorrichtung mit einem Abtaststrahl abzutasten, sowie einer Ausleseelektronik, die elektrisch zwischen die erste und die zweite leitfähige Schicht gelegt ist, wenn der Abtaster die Vorrichtung abtastet, und die Ladungsströmung erfaßt, die der Abtaststrahl aus dem Abtaster verursacht, dadurch gekennzeichnet, daß die Aus­ leseelektronik (40) elektrisch in Reihe mit der Gleich­ spannungsquelle (50) und diese Reihenschaltung elektrisch über die erste und die zweite leitfähige Schicht (21 bzw. 24) gelegt sind, während der Abtaster (30) abtastet, wobei die Vorrichtung (20) eine zweite photoleitfähige Isolier­ schicht (28) zwischen der Isolier- und der zweiten leit­ fähigen Schicht (23 bzw. 24) und an diese angrenzend ent­ hält.