DE2836854A1

DE2836854A1 - System und verfahren zum erzeugen und auslesen von strahlungsbildern unter einsatz einer mehrschichtigen vorrichtung mit einer photoleitfaehigen isolierschicht

Info

Publication number: DE2836854A1
Application number: DE19782836854
Authority: DE
Inventors: Donald M Korn; Owen L Nelson
Original assignee: Minnesota Mining and Manufacturing Co
Current assignee: 3M Co
Priority date: 1977-08-22
Filing date: 1978-08-21
Publication date: 1979-03-08
Also published as: FR2401447B1; JPS5470835A; DE2836854C2; JPS6252981B2; IT1105510B; FR2401447A1; GB1602757A; US4176275A; IT7850800A0

Description

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Minnesota Mining and Manufacturing Company, 3t. Paul, Minnesota SjIoI, V. .Gt. A.

System und Verfahren rium Erzeugen und Auslesen von Htra'nlungsbildern unter Einsatz einer mehrschichtigen Vorrichtung mit einer photoleitfähigen Isolierschicht

Die vorliegende^!-'Erf indung betrifft Abbildungssysteme und ein Verfahren, bei dem eine Bildbildungvorrichtung verwendet wird, um ein elektrostatisches Ladungsbild entsprechend einer von der Vorrichtung aufgenommenen unterschiedlichen Licht- oder Röntgenstrahlenmenge herzustellen. Das System und das Verfahren erlauben die Umwandlung des elektrostatischen Ladungsbildes zu elektrischen Signalen, mit denen das Bild in sichtbarer Form wiedergegeben v/erden kann.

Die US-PS 3 97o 884 offenbart ein System, in dem ein elektrostatisches Ladungsbild auf der Oberfläche einer photoleitfähigen Schicht entsprechend der Röntgenenergie erzeugt wird, die ein Ionen emittierendes Medium absorbiert, das - bspw. ein Gas - sich zwischen der Röntgenstrahlenquelle und der photoleitfähigen Schicht befindet. Eine Elektrode liegt zwischen dem Ionen emittierenden Medium und der Röntgenstrahlungsquelle.

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V/ährerid d'e Röntgenstrahlung vorliegt, wird eine Bildspannungsvecsorgung ''.'./.'.sehen die Elektrode und eine optisch transparente Ie:'tfäh ^;.ge Schicht gelegt, die sich auf der Oberfläche der photoleitfähigen Schicht von der Ronbgenstrahlenquelle entfernt beendet, 30 daß sich auf der Oberflache der photoleitfähigen Schicht das elektrostatische Ladungsbild bildet; dann schal heb nan c\'-e Bildspannungsversorgung ab. An die lei L-fähige Schicht ist eineBilddarstellungsolektronik angeschlossen und ninnt Signale auf, die der Ladungsstärke an unterschiedlichen Punkten auf der photoleitfähigen Schicht entsprechen und durch Abtasten der photoleitfähigen Schicht mit einer Lichtquelle erzeugb v/erden, die von der Bildausgabeelektronik gesteuert v/ird. Es sind mehrere unterschiedliche Abtastverfahren offenbart. Dieses System erfordert, daß die photoleitfähige Schicht keine Röntgenstrahlen absorbiert bzw. daß bine Schicht aus.Röntgenstrahlen absorbierendem Material an der Oberfläche der photoleitfähigen Schicht am Ionen emittierenden Medium angeordnet und das Maberial elektrisch anisotrop ist, so daß sich das Ladungsbild auf die photoleitfähige Schicht j

überträgt. I

I Die vorliegende Erfindung schafft ein System und ein Verfahren zur Herstellung eines elektrostatischen Ladungsbildes und zur Darstellung des Bildes, bei dem eine mehrschichtige photoleitf ähige Anordnung, eine über die Anordnung gelegte Gleichspannungsquelle, die ein starkes elektrisches Feld über die Anordnung legt, während sie mit einer Strahlungsquelle bildmäßig bestrahlt wird, um an_ einer Schicht der Anordnung ein

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elektrostatisches Bild zu erzeugen, und ein Abtastet verwendet sind, um die Anordnung mit Ablesestrahlung abzutasten, während die Ableseelektronik und die Gleichspannungsquelle in Reihe über die Anordnung gelegt sind. In einer Ausführungsform kann die mehrschichtige Anordnung eine erste leitfähige Schicht, eine Isolierschicht, eine photoleitfähige isolierende Schicht sowie eine zweite leitfähige Schicht (in dieser Reihenfolge) aufweisen; alle diese Schichten liegen unmittelbar aufeinander, wenn das System Licht oder Röntgenstrahlen zur Herstellung eines Strahlungsbildes verwendet. Die Verwendung der Gleichspannungsquelle während des Auslesens stützt dabei die Ladüngsströmung, die die Auslesestrahlung einleitet, die aufeinen Teil der Anordnung gerichtet ist. Diese Ladungsströmung wird von der Ausleseelektronik erfaßt, die in Reihe mit der Gleichspannungsquelle liegt.

Liefert eine Rontgenstrahlenquelle das Strahlungsbild, kann eine mehrschichtige Anordnung verwendet werden, in der die letzteren drei Schichten der Anordnung unmittelbar aufeinanderliegen, während die erste leitfähige Schicht von der isolierenden Schicht beabstandet und der Zwischenraum mit einem Strömungsmittel wie einem Gas oder einer Flüssigkeit gefüllt ist, das Röntgenstrahlen absorbiert, um Elektronen und Ionen zu erzeugen. Während des Auslesens des elektrostatischen Ladung bildes, das in dieser Anordnung entsteht, liegt die leitfähige Schicht nahe an oder unmittelbar auf der Isolierschicht. Soll die erste leitfähige Schicht in direkte elektrische Berührung mit der Isolierschicht gebracht werden, um das elektrostatische]

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Bild auszmlesen, wird diese Anordnung vorübergehend von der
Glexchspannungsquelle getrennt, während man sie mit Strahlung flutet, damit die elektrischen Ladungen an der zweiten leit—
fähigen Schicht zur Grenzfläche zwischen der photoleitfähigen isolierenden Schicht und der Isolierschicht wandern. Anstatt
die erste leitfähige Schicht in elektrische Berührung mit der Isolierschicht zu bringen, kann man die erste leitfähige
Schicht in die Nähe der Isolierschicht bringen, so daß die
Schritte entfallen können, in denen sonst die Anordnung von
der Glexchspannungsquelle getrennt und mit Strahlung geflutet werden müßte. Es ist bei dieser Lage der ersten leitfähigen
Schicht auch möglich, eine Anordnung mit einem Strömungsmittel im Zwischenraum zu verwenden, bei der die Isolierschicht nicht Teil des Aufbaus der Anordnung ist-

Eine weitere Anordnung für eine Vorrichtung, die sie in dem
System und nach dem Verfahren der vorliegenden Erfindung einsetzen läßt, verlangt die anfänglich beschriebene mehrschichtige Anordnung, aber mit einer zweiten photoleitfähigen Isolierschicht zv/ischen der ersten leitfähigen und der Isolierschicht= Diese zweite photoleitfähige Schicht dient dazu, auf die bildmäßige Strahlung anzusprechen, während die andere
photoleitfähige Schicht auf die Auslesestrahlungansprichto

Die im System nach der vorliegenden Erfindung eingesetzte j mehrschichtige Anordnung erlaubt die Verwendung einer breiten Vielfalt organischer oder anorganischer photoleitfähiger Isolierstoffe für eine der Schichten, die amorph₂ kristallin oder j

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in Form von mit einem Bindemittel beschichteten Teilchen vorliegen können, so daß sich eine Anordnung herstellen läßt, die größere Bildbildungsflächen auf v/eist als mit Halbleiteranordnungen möglich wäre; außerdem ergeben sich hierbei Anordnungen mit erheblichem Bestrahlungsspielraum.

Die vorliegende Erfindung verwendet eine mehrschichtige Anordnung, die wirkungsvoll auch bei Raumtemperatur arbeitet, wobei ihre Funktion nicht vom Vorliegen eines Ladungsverarmungs- oder Ladungsanreicherungsbereichs in der strahlungsempfindlichen Schicht abhängt.

Weiterhin hängt die Anordnung nach der vorliegenden Erfindung ■

nicht von Oberflächen- bzw. Elektronenzuständen in einem Dielektrikum ab, um Ladungen unter der Bildstrahlung zu speichern4

Zusätzlich hat die mehrschichtige Anordnung, wie sie in der vor liegenden Erfindung verwendet wird, eine aktive Empfindlichkeitstiefe, die nicht von der Dicke eines Ladungsanreicherungs- oder Ladungsverarmungsbereiches bestimmt wird, sondern von der

Dicke der ätrahlungsempfindlichen Schicht, wobei diese Schicht eine aktive Empfindlichkeitsdicke hat, die ausreichend tief ist, um auch auf stark eindringende Strahlung wie Röntgenstrahlen anzusprechen; dabei ergibt sich eine hohe Empfindlichkeit über einen breiten Bereich von Bildstrahlungen.

Die in der vorliegenden Erfindung eingesetzte mehrschichtige Anordnung ist mehrfach verwendbar, da sie sich mit der zur

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Bildbildung oder zum Auslesen verwendeten Strahlung leicht löschen läßt; außerdem kann man sie für spezielle Anwendungen mit getrennter strahlungsempfipdlicher Bildbildung-'und Ausleseschicht versehen.

Die in der vorliegenden Erfindung verwendete mehrschichtige Anordnung erlaubt, ein elektrostatisches Ladungsbild ansprechend auf seitintegrierte Bildstrahlung auszubilden, wobei diese Ladungsbildung für beide Polaritäten des elektrischen Feldes möglich ist, das man zur Bildung des Ladungsbildes verwendet.

Diese und andere Besonderheiten und Vorteile der Erfindung sollen nun anhand der beigefügten Zeichnungen ausführlich erläutert werden.

Fig. 1 ist eine schaubildliche Darstellung eines Systems nach der vorliegenden Erfindung und zeigt die Ladungsverteilung während eines Schritts des Verfahrens nach der vorliegenden Erfindung;

Fig. 2 und 3 entsprechend der Fig. 1 und zeigen andere Schritte im Verfahren gemeinsam mit einer Diagrammdarstellung der Ladungsverteilung während dieser Schritte;

Fig. 4 ist eine Draufsicht einer Struktur für die untere der mehrschichtigen Anordnung der Fig„ 1;

Fig.4a ist eine bildliche Darstellung der Ladungsströmung als

Ordnungen;

! Funktion der Gesamtbestrahlung für die eingesetzten An-

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Fig. ^!5 , 6, 7 zeigen schaubildlich entsprechend den Fig. 1-3 ein weiteres System sowie ein Verfahren nach der vorliegenden Erfindung;

Fig. 8, 9, lo, 11 zeigen schaubildlich ein weiteres System und ein Verfahren nach der vorliegenden Erfindung;

Fig. 12 zeigt gemeinsam mit den Fig. 8 und 9 ein weiteres

System und ein Verfahren nach der vorliegenden Erfindung

Fig. 13 ist eine schaubildliche Darstellung eines weiteren
Systems nach der vorliegenden Erfindung.

Die Fig. 1 zeigt eine Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, die eine Strahlungsbildquelle Io aufweist, die so angeordnet ist, daß sie ein Strahlungsbild auf die obere Fläche

eines strahlungsempfindlichen Abbildungsvorrichtung 2o richtet. Dabei kann das Strahlungsbild aus Licht oder Röntgenstrahlen
bestehen.

Die Abbildungsvorrichtung (nicht maßstäblich dargestellt) besteht aus einer einheitlichen Anordnung aus aneinanderliegenden Schichten, bei denen es sich um eine erste leitfähige
Schicht 21, eine photoleitfähige Isolierstoffschicht 22, eine 'j '■■ Isolierschicht 23 und eine zweite leitfähige Schicht 24 handelt.' Die Schicht 21 oder 24 kann die Oberfläche aufweisen, auf die das Strahlungsbild gerichtet ist; in diesem Fall muß sie im

j wesentlichen transparent für die Strahlungsenergie aus der

f Strahlungsbildquelle Io sein. In der Fig_o.l ist die Vorrichtung

so aufgebaut, daß die Schicht 24 das Strahlungsbild aufnimmt_o In diesem Fall muß auch_di_e_Isolierschicht 23 im wesentlichen

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transparent: für die eingesetzte Strahlung sein, so daß diese die pho LoT eit.?."^:h'.ge Isolierschicht 22 erreichen kann.

Cs ist ein Abtaster 3o vorgesehen, der unter Steuerung durch die Λ lslcc-nol.elctjronik 4o arbeite'; und eine Auslesestrahlung liefert, die fortschrei bend auf Bereiche der Außenfläche der lejtfähigcn Schicht 21 oder 24 gerichtet wird, um die Abbildungs^orrichLung abzutasten, wenn man das System in der Betriebsart Auslesen betreibt, In Fig. 1 ist die Vorrichtung so aufgebaut, daß die Auslesestrahlung auf die Schicht 21 gerichtet ist. Die zur Aufnahme der Abtaststrahlung gewählte Schicht souie die anderen Schichten, durch die die Strahlung auf dem '/eg nur photoleitfähigen Schicht 22 hindurchtreten muß, müssen aus einem Material bestehen, das im wesentlichen transparent für die eingesetzte Abtaststrahlung ist.

Eine Gleichspannungsquelle 5o ist vorgesehen, urn ein starkes elektrisches Gleichfeld über die Vorrichtung 2o zu legen, und ist so angeordnet, daß sie sich unmittelbar über die Abbildungs-f vorrichtung 2o oder in Reihe mit der Ausleseelektronik über die j Abbildungsvorrichtung 2o legen läßt. Die beiden möglichen Verschaltungen für die Gleichspannungsversorgung 5o sind schematisch durch den Schalter Go mit zwei festen Kontakten 61, 62 und einem beweglichen Kontakt 63 angedeutet. Der bewegliche Kontakt 63 ist an die erste leitfähige Schicht 21 gelegt, der feste Kontakt 61 an die Gleichspannungsquelle 5o und die Ausleseelektronik 4o. Der feste Kontakt 62 ist mit der Ausleseelektronik 4o verbunden. Liegt im Schalter 6o der bewegliche

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Kontakt 63 am Festen Kontakt 61, .ist die Gleichspa.nniin--ir.que.lle

unmittelbar ?;uischen die leitfähigen Schichten 21, 24 neiogi:. ^: Liegt der Kontakt G3 am Kontakt 62, liegen die loitfähigen Schichten .21, 24 gemeinsam über die Gleichspannungsquellc 5o

in Reihe mit der Ausleseelektronik 4o. Es ist einzusehen, daß - der Schalter Go entfallen kann, wenn man die Ausleseelektronik

; 4o so auslegt, daß sie den Ladestrom aufnehmen kann, der fließt, i

wenn man die Gleichspannung anfänglich an die Vorrichtung 2o

j legt.

Das in Fig. 1 gezeigte System stellt die Mittel dar, um das

^; Verfahren nach der vorliegenden Erfindung zur 'Urzeugung eines elektrostatischen Ladungsbildes durchrnrfü'iren, .'.r.cleri !ran. die Vorrichtung 2o bWnK-ßig bestrahl L und das roouT ti o-endo Ladungsbild hinterher r.u ele!:t:ronischcn Sljnalcr; unv?.ndelt; hierzu testet man die Vorrichtung 2o mit eino^'isleser.trahlun-j

' -ab, die der Abtaster 3o erzeugt. Dabei i/ird die Fun);tion des Abtasters so mit der Funktion der Ausleseelektronik leoordiniert, daß jeder Teil des elektrostatischen Ladungsbildes, der abgefragt wird, lagemäßig einwandfrei dem elektronischen Signal zugeordnet ist, das man bei dieser Abfragung erhält.

Das Verfahren erfordert, daß die Vorrichtung 2o so sensibilisiert ist, daß sie auf ein von der Strahlungsquelle Io zu lieferndes Strahlungsbild ansprechen kann. Die Vorrichtung wird

i sensibilisiert, indem man ein gleichmäßiges starkes elektrische^

Feld zwischen den Außenflächen der Isolierschicht 23 und der j photoleitfähigen Isolierschicht 22 aufbaut. Für die in Fig. 1 ;

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gezeigte Vorrichtung 2o gesch^;eh!: d'os, indem man die Gleich— fjp-.irir.un-jnquGllG Ho unmittelbar ~.vn ~chen die lei I.fähigen Schichten 21, ?·'¹ legt. Die P₀Iaritat der angelegten Spannung hängt von ΐΊοι.ί für tf'->~'. ρ!ιο tole.it fr'tr· ge Schicht 2? veri/endeten V/erk— 'stoff -?b. Znr Hr"! ^:;u toning ^:st hier die Gleichsoannurigsquelle '3ο so angeschlossen, daß die Schicht 21 positiv gegenüber der Schicht 24 ist. Der Sc'anl 1-er Go ist so gelegt, v/ie es die Fig. 1 -.oigt, iin diesen Zui-tiMid r-'.u erreichen; die sich einstellende Ledungsverteilung seigt schaubildlich die Fig. 1.

Bei derart- sensioil'i s ' erter Vorrichtung und an die Vorrichtung 2o angeschlossener Gloi clisoannungsquelle schaltet man die itrahl'ingsM Idqnel Ie ε-.η, υπ die Vorrichtung b.i ldniäßig ?,u be- :■"; trahl en , '.o!.>o"·. die- "-trcihlunr "·'<■>η '1er ρ'πη tole.i tTälii gen Iso— "! · ';r".chic!i ■'. ?^ -mfgrinont ion -/^TfI, d t ο T,e" t^rühig!:eit d^r strah— ι "!!g:-.;'.].'Sn.-'')i ti-'c-iide ι ?]."ch-->n r;nn ί i.ir ι!:, d'e Ladungen auf der ,Yifien!71r"c'ie do.~ pho'joleitfiihi-je/i "chichh in Bereichen, in uanen "tvolüung d">so!-biert '.;ird, vui Innenfläche der photo— ] ei t""jhigen Schicht v/andern und dort ein elelttrostratisches Ladungs-abbild des S trahlungsbi Ides auf der oberen Fläche der photole:" tföhigen Schicht bilden. Da ciie"crhö'nte Leitfähigkeit dieser Bereiche des photole.i tfähigen Materials sich als Verringerung der wirksamen Dicke des Kondensators zwischen den rv./ei leitfähigen Schichten 21, 24 v/irkt, erfordert das Anliegen der gleichmäßigen Gleichspannung an der Außenfläche der Isolierschicht 24 das Einfließen zusätzlicher Ladungen in die Strahlungsabsorbierenden Bereiche. Die Höhe der Gleichspannung und die -Gesamtbestrahlung in einem gegebenen Bereich der photo-;-

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leitfähigen Schicht bestimmen dabei die Ladungsmenge,, die durch die photoleitfähige Schicht wandert, so daß in Effekt eine seitliche Integration dec von der photoleitfähigen hellicht aufgenommenen Strahlungsenergie stattfindet. Die Fig. 2 neigt die endgültige Verteilung dar Ladungen unter der Einwirkung . der Bildstrahlung, die die photo]ei l;f iihige Schicht absorbiert.

Machden das elek tros'").':! scha Laduügsbi.ld erzeugt ist, '.;ird es ausgelesen, indan t-ian die Glei.chspannungsquolle 5o in Reihe mit der Ausleseelektronik Ao über die leitfähigen Schichten 21, 24 schaltet; man legt in Schalter Go den beweglichen Kontakt S3 an den festen Kontakt 62. Wie in Fig. 3 geneigt, wird eine Abtaststrahlung mit kleiner Querschnitts.?lache, wie bei 71 ge^e'gt, fortschreitend auf die FlächentoiJ e der Schicht in zeitlicher Zuordnung r.nn Arbeiten der Ausleseel ek tronik gerichtet: diese n"^r.arat die elektronischen Signale auf, die den LndungsstroiV! entsprechen, der an denjenigen Punkt der Vorrichtung fließt, auf den die \bt~<.ststrahlung gerade gerichtet ist. Auf diese V/eise erhält i.ian eine punktweise Ablesung des i-vuvor ausgebildeten elektrostatischen Ladungsbildes in Form elektronischer Signale. '.Jird also die Abtaststrahlung auf einen Bereich gerichtet, in den die gestirnte Ladung für das elektrostatische Ladungsbild sich an der oberen Fläche der photoleitfähigen Schicht 22 befindet, v/ird kein elektrisches Signal erzeugt, so lange die von der Gleichspannungsquelle 5o gelieferte. Spannung sich nicht ändert, l.'enn entsprechend die Abtaststrahl- ; lung auf einen Bereich gerichtet v/ird, in dem keine Bildstrahlung auf die photoleitfähige Schicht 22 auftraf, geht die Ladung, die auf der Außenfläche der Schicht -22 vorlag ,—auf—die.--

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obere Fläche der Schicht 22 über. Da weiterhin die Auslese— strahlung die Leitfähigkeit der photoleitfähigen Schicht 22 in diesem Bereich erhöht und damit die wirksame Dicke des Kondensators zwischen den beiden leitfähigen Schichten 21, 24 verringert, erfordert die Konstante Gleichspannung über der Vorrichtung 2o, daß diese Spannung durch einen zusätzlichen Ladungsstrom beibehalten wird» Dieser zusätzliche Ladungsstrom verstärkt das elektrische Signal, das für den gerade abgetasteten Bereich an die Ausleseelektronik 4o geht. Die Stärke dec durch den Abtastprozeß für einen gegebenen Bereich der Vorrichtung 2o erzeugten Auslesesignals ändert sich natürlich invers zur Stärke der Bildstrahlung, die dieser Bereich aufgenommen hat.

Anstatt einen kleinflächigen Strahl der Abtaststrahlung über die Oberfläche der Schicht 21 zu bewegen, und diese punktweise abzutasten, kann man eine Strahlungslinie verwenden. In diesem Fall ist die leitfähige Schicht 21 lccine durchgehende Platte, '»/ie für die punktweise Abtastung erforderlich, sondern so aufgebaut, wie es die Fig. 4 zeigt, die eine 'Draufsicht der Schicht darstellt. Hierbei trägt ein Substrat 26 beabstandete Leiter 25, wobei das Substrat und die Leiter 25 so angeordnet sind, daß sie für von dieser Seite einfallende Strahlung transparent sind. Die Fig. 4 zeigt auch die elektrischen Verbindungen 27 (je eine pro Leiter 25) zur Ausleseelektronik 4o₀ Die Strahlungslinie liegt quer zu den Leitern 25 und wird in dieser Ausrichtung die Leiter 25 entlang bewegt,, In diesem Fall werden die elektrischen Signale in die Ausleseelektronik in

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zeitlicher Zuordnung zur Bev/egung der Strahlungslinie längs zu den Leitern 25 parallel eingelesen.

Die Fig. 4a zeigt zur Verdeutlichung bildlich die Stärke der Ladungsströmung (Ordinate) im externen Stromkreis der Abbildungsvorrichtung 2o als Funktion der Gesamtbestrahlung (Abszisse) pro Flächeneinheit der Vorrichtung.

Die durchgezogene Kurve, die charakteristisch fst für die Abbildungsvorrichtung der im System der Fig. 1 verwendeten Art, ist anfänglich im wesentlichen linear für geringe Bestrahlungen und geht dann für stärkere Bestrahlungen in die Sät- I tigung. Der Punkt loo auf der Kurve zeigt die Ladungsströmung I infolge einer Bildbestrahlung in einer Flächeneinheit der Vorrichtung, die abgelesen werden soll. Der Punkt loo auf der Kurve bestimmt sich für eine gewählte Flächeneinheit der Vorrichtung aus der zeitlich integrierten Bildbestrahlung, die diese Flächeneinheit aufnimmt. Beim Auslesen nimmt diese Flächeneinheit weitere Bestrahlung auf, so daß eine zusätzliche Ladungsströmung die gesamte Ladungsströmung für die Flächeneinheit auf den Punkt lol bringt. Diese zusätzliche Ladungsströmung (Auslese-Ladungsströmung), die in Fig. 4a durch den Übergang vom Punkt loo zum Punkt lol für eine gegebene abzulesende Flächeneinheit dargestellt ist, ist es, die beim Ablesen von der Auswertungselektronik festgestellt und ausgewertet wird. Indem man eine Auslesebestrahlung verv/endet, die ausreichend hoch ist, um den Punkt lol für eine gegebene Flächeneinheit der-Vorrichtung über den linearen Kurventeil zu

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bringen, ist die A_uslese-Ladungsströmung unterschiedlich für Flächeneinheiten, die unterschiedlich bildbestrahlt worden sind, so daß sich Signale ergeben, die dem Strahlungsbild entsprechen, mit dem die Vorrichtung anfänglich bestrahlt v/urde. Ist die Auslesebestrahlung so schv/ach, daß die Vorrichtung weiter im linearen Kurventeil für jede Flächeneinheit bleibt, bleibt die Auslese-Ladungsströmung bei der Ablesung jeder Flächeneinheit im wesentlichen gleich. Es ist ebenso einzusehen, daß, wenn die Bildbestrahlung dazu führt, daß jede Flächeneinheit einen Arbeitspunkt loo im linearen Kurventeil erbringt, man einen im wesentlichen linearen Zusammenhang zwischen der Auslese-Ladungsströmung bund der Bildbestrahlung erhält, die die unterschiedlichen Flächeneinheiten der Vorrichtung aufnehmen»

Das System und das Verfahren nach der vorliegenden Erfindung erlauben auch andere Formen der Abbildungsvorrichtung einzusetzen, wie die in Fig. 5 gezeigte, in der die Vorrichtung der der Fig. 1 entspricht, aber unter Hinzufügung einer zweiten photoleitfähigen Isolierschicht 28 zwischen der leitfähigen Schicht 24 und der Isolierschicht 23ο Die Abbildungsvorrichtung 2o der Fig. 5 ist dabei im System an die Gleichspannungsquelle 5o geschaltet gezeigt, wobei die Ausleseelektronik 4o, der Schalter 6o, ein Abtaster 3o und eine Bildstrahlungsquelle Io auf die gleiche Weise wie in der Fig. 1 vorliegen=

Die Fig. 5 zeigt den Schalter 6o in die zum Sensibilisieren der Vorrichtung 2o vorgesehenen Stellung gelegt, wobei die

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elektrische Ladungsverteilung schematisiert an den leitfähigen Schichten 21, 24 gezeigt ist. Bei unverändertem Schalter 6o erfordert das Verfahren, das Strahlungsbild auf die Vorrichtung 2o zu richten, wo es primär von der photoleitfähigen Isolierschicht 28 absorbiert wird, die ihre Leitfähigkeit entsprechend der aufgenommenen Strahlungsm'enge erhöht, so daß die Ladung an der oberen Fläche der Schicht 28, wo die Strahlung auftrifft, auf die an die Isolierschicht 23 angrenzende j Oberfläche der Schicht 28 wandert; dieser Vorgang ist in Fig. 6 \ gezeigt. Auf diese Weise entsteht ein elektrostatisches Ladungsbild an der Oberfläche der photoleitfähigen Schicht 28 ^!

an der Isolierschicht 23. Das System der Fig. 5 in dem in '

Fig. 6 gezeigten Ztjstand läßt sich dann ablesen, indem man ;

j den Abtaster 3o und die Ausleseelektronik 4o nach einer der be- j schriebenen Verfahrensweisen zur Ablesunq des elektrostatischen j

Ladungsbildes nach Fig. 1-3 einsetzt. Der Auslesezustand des ! Systems der Fig. 5 ist in Fig. 7 gezeigt, in der im Schalter Go der bewegliche Kontakt am festen Kontakt 62 liegt, so daß die Gleichspannungsquelle 5o mit der AÜsleseelektronik 4o in Reihe über die Vorrichtung 2o gelegt wird. Die Auslesestrahlung ist schematisiert auf die Vorrichtung 2o an der Schicht 21 gegenüber einem unbestrahlten Teil der Schicht 28 gezeigt; sie läuft zu einem Teil der photoleitfähigen Isolierschicht 22, wo sie absorbiert wird. Der abgefragte Teil der photoleitfähigen Schicht 22 wird leitfähig, so daß die Ladung an der unteren Seite der Schicht 22 zur oberen Seifee der Schicht 22 fließen kann. Die Leitfähigkeit, die die Schicht 22 dabei annimmt, reduziert die effektive Dicke des Kondensators zwischen

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den Schichten 21, 24, so daß eine zusätzliche Ladungsströmung auftritt, um die Gleichspannung an der Vorrichtung 2o konstant zu halten. Beim Abtasten wird Strahlung aufgebracht, um einen Bereich der photoleitfähigen Isolierschicht 22 gegenüber einem Bereich der photoleitfähigen Schicht 28 abzufragen, der Bildstrahlung aufgenommen hatte. Eine entsprechende Ladungsströmung findet statt; die wirksame Dicke des diesem abgefragian Bereich entsprechenden Kondensators nimmt nun jedoch ab, da die Leitfähigkeit infolge der Bildstrahlung in der Schicht 28 höher geworden ist und weiterhin die Abtaststrahlung die Schicht -22 zusätzlich leitfähiger gemacht hat; die zusätzlich auftretende Ladungsströmung ist also größer als die zusätzliche Ladungsströnung bein Abtasten eines Bereichs der Schicht 22 gegenüber einem unbelichteten Flächen teil der Schicht 28 <> Die Ladungsströmung für jeden abgetasteten Bereich der Schicht 21 erzeugt nun elektrische Signale, die von der Ausleseelektronik erfaßt werden und deren Stärke abhängig von der Bildstrahlung schwankt, die die Schicht 28 gegenüber den abgefragten Bereichen der Schicht 21 aufgenommen hatte» Je stärker das elektrische Signal für einen abgefragten Bereich, desto stärker auch die Bildstrahlung, die der entsprechende Bereich der Schicht 28 aufgenommen hat. Im Fall der Vorrichtung 2o im System der Fig_o 1-3 galt die entgegengesetzte Folgerung hinsichtlich 6er erhaltenen Auslesesignale, do ho man erhält dort das stärkste elektrische Signal, wenn die Abtaststrahlung einen Bereich der Schicht 21 der Fig_o 3 abfragt«, der gegenüber eihem Bereich der Schicht 23 liegt, in die überhaupt keine Bildstrahlung gefallen war„

Die Fig.. 8 zeigt eine weitere Ausführungsform der Erfindung. Hierbei wird eine strahlungsempfindliche Abbildungsvorrichtung 2o»l eingesetzt, die ein System ergibt, das brauchbar ist in denjenigen Fällen, in denen das Strahlungsbild in Form von
Röntgenstrahlen vorliegt. Die strahlungsempfindliche Abbildungsvorrichtung 2o.l ist keine vollständig einheitliche
Schichtstruktur, wie die Vorrichtung 2o der Fig. 1, obgleich sie wie die Vorrichtung 2o drei aneinanderliegende Schichten aufweist, d.h. eine erste leitfähige Schicht 21.1, eine photoleitfähige Isolierschicht 22.1 und eine Isolierschicht 23.1. Eine zweite leitfähige Schicht 24.1 ist vorgesehen, die, wenn die Vorrichtung sich in einem zur Aufnahme eines Strahlungsbildes zwecks Erzeugung eines elektrostatischen Ladungsbildes bereiten Zustand befindet, von der Isolierschicht 23.1 beabstandet liegt, wobei der Zwischenraum mit einem Strömungsmittel wie einem Gas oder einer Flüssigkeit gefüllt ist, das Röntgenstrahlen absorbiert, um Elektronen und Ionen abzugeben« Während des Auslesens des im System der Fig. 8 entstehenden
elektrostatischen Ladungsbildes werden die leitfähige Schicht 24.1 und die Isolierschicht 23.1 in innige Berührung mitein-

I ander gebracht. Diese Verwendung der Vorrichtung 2o«l erfordert, sie in ein geeignetes (nicht gezeigtes) Gehäuse einzusetzen, damit das Gas bzw. die Flüssigkeit eingefüllt und entfernt
werden kann.

Wie im Fall der anderen beschriebenen Systeme sind im System der Fig. 8 eine Gleichspannungsquelle 5o, die Ausleseelektronik 4o, der Abtaster 3o und ein Schalter 6o vorhanden. Die ver-

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schiedenen Verschaltungsweisen dieser Elemente entsprechen denen der Systeme der Fig. 1 und der Fig. 5, wobei die Gleichspannungsquelle an die leitfähige Schicht 24.1 und der bewegliche Kontakt 63 des Schalters Go an die leitfähige Schicht 21.1 angeschlossen sind.

Die Sensibilisierung der Abbildungsvorrichtung 2o.l als Vorbereitung auf die Aufnahme eines Röntgenbildes aus der Strahlungsbildquelle lo.l erfolgt, indem man im Schalter 6o den beweglichen Kontakt 63 an den festen Kontakt 61 legt_} wie es die Fig. 8 zeigt, damit Ladungen auf die leitfähige Schicht 24«1 und entgegengesetzte Ladungen an die leitfähige Schicht 21.1 gelangen.

Bei unveränderter Stellung des Schalters 6o erfordert das Verfahren zur Nutzung des Systems der Fig_o 8, daß ein Röntgenbild auf die leitfähige Schicht 24„1 der Vorrichtung 2o,l gerichtet wird. Der Werkstoff für die leitfähige Schicht 24„1 ist so gewählt, daß sie das Röntgenbild durchläßt, wobei das Gas oder die Flüssigkeit im Raum zwischen der Schicht 24„1 und der Isolierschicht 23.1 das Röntgenbild absorbiert und Elektronen oder Ionen erzeugt, die zur Oberseite der Isolierschicht 23»1 wandern und dort entsprechend dem Röntgenbild ein elektrostatisches Ladungsbild ausbilden,, Dieser Abbildungsschritt ist in Fig. 9 gezeigt. Die wirksame Dicke des Kondensators zwischen den leitfähigen Schichten 21«1 und 24.1 wird von der Strahlung reduziert, die das Gas absorbierte Da eine konstante Gleichspannung an der leitfähigen Schicht 24.1 liegt, muß nun wieder-

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um zusätzliche Ladung in diejenigen Bereiche fließen, wo die Röntgenstrahlung absorbiert wird. Die Fig. 9 zeigt die endgültige Anordnung der Ladungen, die sich ;unter der Bestrahlung mit dem Röntgenbild ergibt.

Die Abbildungsvorrichtung 2o.l wird dann von der Gleichspannungsquelle 5o getrennt. Bevor man die leitfähige Schicht 24.1 in elektrische'Berührung mit der isolierschicht 23.1 bringt, wird die Vorrichtung noch mit Strahlung geflutet, die durch die leitfähigen Schichten 21.1 oder 24.1(|läuft und von der photoleitfähigen Schicht 22.1 absorbiert wird, so daß die elek- i trischen Ladungen an der leitfähigen Schicht 21.1 auf die Oberseite der photoleitfähigen Schicht 22.1 wandern. Ohne diese Vorbereitung würde man::das Ladungsmuster auf der Schicht 23.1 verlieren, wenn die leitfähige Schicht 24.1 in elektrische Berührung mit der Schicht 23.1 gerät. Die Fig. Io zeigt diesen Vorbereitungsschritt. VJie ersichtlich, dient dieser Schritt dazu, das Ladungsrnuster an der leitfähigen Schicht 21.1 durch die photoleitfähige Isolierschicht 22.1 hindurch zur Isolierschicht 23.1 zu überführen. Man kann natürlich diesen Vorbereitungsschritt gleichzeitig mit der Bildbildung ausführen, falls erwünscht.

{ Für den nächsten Schritt ist erforderlich, daß die leitfähige j

Schicht 24.1 und die Isolierschicht 23.1 so angeordnet werden, j daß die Schicht 24.1 einen guten elektrischen Kontakt mit der :

ί !

\ Oberseite der Isolierschicht 23.1 hat» Die Spannung aus der Spannungsquelle 5o wird so eingestellt, daß sich ein elektrisches

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Auslesefeld über der photoleitfähigen Schicht 22.1 ergibt, und man legt den Schalter 60 so an die Abbildungsvorrichtung 2o.l, daß der bewegliche Kontakt 63 am festen Kontakt 62 liegt; die Gleichspannungsquelle 5o und die Ausleseelektronik 4o liegen also in Reihe über den leitfähigen Schichten 21.1, 24.1. Dann erfolgt ein Abtastschritt wie zum System der Fig. 1 beschrieben, so daß man elektrische Signale für die Ausleseelektronik 4o erhält, die dem elektrostatischen Ladungsbild in der Vorrichtung 2o.l entsprechen. Die Stärke der entstehenden elektrischerjSignale, die an die Ausleseelektronik 4o gehen, ist weit größer als die, die man erhalten würde, wenn man die leitfähige Schicht 24.1 vor dem Abtasten nicht umordnet, da das Aufheben des gasbzv/. flüssigkeitsgefüllten Zwischenraums zwischen der Schicht 24.1 und der Isolierschicht 23»1 die Dicke des Kondensators gleichmäßig reduziert, so daß während des Auslesens eine stärkere Ladungsströmung stattfinden muß als beim Bestehenbleiben des Zwischenraums.

A_uslesesignale, die wesentlich stärker sind als die, die man ohne Umordnen der leitfähigen Schicht 24.1 vor dem Abtasten, lassen sich ohne ein Strahlungsfluten der Vorrichtung 2o.l erreichen, wenn man die Schicht 24-1 vor dem Abtasten sehr nahe an die Schicht 23.1 heranführt, ohne aber eine elektrische Berührung herzustellen. Für diesen Fall sind die verschiedenen Schritte der Verfahrensweise in denFig_o 8, 9 und 12 gezeigte Das Auslesen erfolgt, wie zur Fig_o 7 beschrieben=

Die gerade beschriebene Anordnung und Verfahrensweise_? wonach

die leitfähige Schicht 24.1 vor dem Abtasten sehr nahe, aber nicht bis zur elektrischen Berührung mit ihr, an die Isolierschicht 23.1 herangeführt wird, ist auch anwendbar auf eine Anordnung und eine Verfahrensweise, bei der die mehrschichtige Vorrichtung 2o.l keine Isolierschicht 23.1 enthält; eine solche Anordnung ist in Fig. 13 gezeigt, die der Fig. 8 ähnlich ist, aber keine Isolierschicht 23.1 enthält. Die Besugszeichen der Fig. 8 sind dabei auch in der Fig. 13 verwendet, um gleiche Elemente zu kennzeichnen. Das Verfahren unter Benutzung der Vorrichtung 2o„l der Fig. 8 zur Erzeugung eines elektrostatischen Ladungsbildes unter einex^öntgenbildstrahlung entspricht dem zur Fig. 8 und 9 beschriebenen, wobei das elektrostatische Ladungsbild an der Trennfläche der Gas- bzw. Flüssigkeitsschicht und der photoleitfähigen Isolierschicht 22.1 entsteht. Die leitfähige Schicht 24.1 wird vor dem A,_Qtastschritt nahe ! an die photoleitfähige Isolierschicht 22,1, aber nicht in Be- j rührung mit ihr geführt. Die auf einen bestrahlten Teil der J Vorrichtung gerichtete Abtaststrahlung bewirkt dann eine Neu- [ tralisierung der Bildladung auf der photoleitfähigen Schicht |

22.1 und ein Aufladen des Kondensators zwischen eier photoleitfähigen Schicht 22.1 und der leitfähigen Schicht 24.1. Die auf einen unbestrahlten Bereich gerichtete Abtaststrahlung bewirkt eine geringere Ladungsströmung als die, die man in einem bildmäßig bestrahlten Bereich erhält.

Die beschriebenen Vorrichtungen sind mehrfach verwendbar; für die erneute-Verwendung versetzt man sie in ihren Ausgangszustand, indem man die beiden leitfähigen Elektroden mitteinander kurz-

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schließt und die Vorrichtung in diesem Zustand der Strahlung aussetzt, für die sie empfindlich ist. ^

Hinsichtlich der erläuterten Vorrichtungen müssen mehrere Eigenschaften der verschiedenen Schichten in Betracht gezogen werden, v/enn man eine brauchbare Vorrichtung für Systeme nach der vorliegenden Erfindung aufbauen will. Da das Verfahren nach der vorliegenden Erfindung zur Durchführung eine gewisse Zeitspanne erfordert, ist erwünscht, die Abschwächung der verschiedenen elektrischen Felder, die bei diesem Verfahren erzeugt werden, minimal zu halten. Es sollte daher die Schnittfläche zwischen der leitfähigen Schicht 21 (21.1) und der photoleitfähigen Isolierschicht 22 (22.1) elektrisch einen Sperrkontakt darstellen, d.h. einen Kontakt, bei dem so v/enige Ladungen aus der leitfähigen in die photoleitfähige Schicht übergehen, daß die anfänglich über die photoleitfähige Schicht gelegte Spannung (ohne Strahlung) langer erhalten bleibt als die gesamte Zeitspanne, die zwischen dem anfänglichen Sensibilisieren und dem Auslesen verstreicht. Einen solchen Kontakt erhält man, wenn man bspw. Indiumoxid als Leiter für die leitfähige Schicht verwendet und wenn das photoleitfähige Material in der photoleitfähigen Schicht; amorphes Selen, Bleioxid oder Cadmiumsulfid ist. Die leitfähige Indiumoxidschicht liegt zweckmäßig als Schicht auf Glas vor; in dieser Ausführungsform ist es im Handel erhältlich; die Fa. Pittsburgh Plate Glass Company, Pittsburgh, Pennsylvania, Vo St. Α., vertreibt eine solche Struktur unter der Bezeichnung "Nesatron". Das Glas dient dabei gleichzeitig als Lager für die anderen Schichten der Vor-

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richtung. Die photoleitfähige Isolierschicht 22 (22.1) sollte eine geringe Dunkelleitfähigkeit haben, so daß sie das elektrische Feld aufrechterhält. Der spezifische Widerstand sollte

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vorzugsweise etwa Io Ohm.cm oder mehr betragen. Weiterhin ist erwünscht, daß die Isolierschicht 23 (23.1) einen spezifischen Widerstand von etwa.Io Ohm.cm oder mehr hat und die angelegte Spannung wesentlich langer beibehält als die gesamte Zeitspanne, die zwischen dem anfänglichen Sensibilisieren und dem Auslesen des Bildes verstreicht* Wird die Vorrichtung für Röntgenbilder eingesetzt, darf der gewählte Isolierstoff Röntgenstrahlen nicht wesentlich absorbieren. Es lassen sich hier Polyester und auch Poly-p-xylylen verwenden. Die minimale Dicke für die photoleitfähige Schicht beträgt etwa o,5 yum, die maximale Dicke etwa looo

Die Erfindung soll anhand der folgenden Beispiele v/eiter erläutert "werden.

Beispiel 1

Es wurde eine Vorrichtung 2o, wie sur Fig. 1 beschrieben, mit einer leitfähigen Schicht 21 verwendet, wie sie zur Fig. 4 be- ' schrieben wurde. Auf die Indiumoxid-Seite eines 8,18 χ 7,62- cm großen Stücks Nesatron-Glas wurden 64 Linienelektroden von o,75 rnm Breite in o,25 mm Abstand nach herkömmlichen photolithographischen und Ätzverfahren aufgebracht, um die leitfähige Schicht 21 herzustellen. Das Glas-wurde dann gereinigt und in ein Standard-Vakuumsystem -.so eingesetzt, daß die leitfähigen Elektroden einem Verdampfungstiegel zugewandt waren,

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In rl en R¹Ch Selen befand. Dann wurde das Vakuumsystem auf etwa 5 χ Ίο Torr evakuiert und eine etwa 4o yum dicke Schicht aus amorphem Selen auf die mit den leitfähigen Elektroden versehene Seite des Glases aufgedampft, um die photoleitfähige Isolierschicht darzustellen. Vor dem Aufdampfen wurde der Abstand zwischen Substrat und Quelle auf 2oo mm eingestellt, um eine Kristallisierung des Seleniums unter der Wärme aus der Verdampfungsquelle zu verhindern. Nach dem Herausnehmen aus dem Vakuumsystem wurde die Isolierschicht 23 der Vorrichtung 2o durch Aufdampfen einer 12 bis 15 jam dicken Schicht aus Poly-pxylylen auf die Selenschicht hergestellt. Als leitfähige Schicht 24 diente eine auf die Isolierschicht 23 aufgedampfte Goldschicht.

Verwendet nnn in diesen Beispiel sichtbares Licht, führt man die AbbilduiKjs- und Ausleseschritte des Verfahrens nach der vorliegenden Erfindung aus, indem man das Lichtbild und die Äüslesestrahlung durch die Glastragschicht für die Schicht richtet. D.'e Sensibilisicrung, die Bildbildung und das Auslesen erfolgen entsprechend der vorgehenden ausführlichen Beschreibung In diesem Beispiel wurde aus der Gl?£a.tShspannungsquelle 5o eine Spannung von looo V angelegt, wobei der negative Pol an die Schicht 24 gelegt wurde. Bei der Verwendung von Röntgenstrahlen r.ur Bildbildung betreibt man eine herkömmliche Röntgenröhre unter 9o keV mit einer Bestrahlung von 36o ma.sec. Die Zeilenauslesestrahlung war die 45 7,9-nm-Linie eines Argonlasers, die durch l:reu""ylindrische Linsen zu einer e^:;wa 5o *urn breiten Lr.chtlinie geformt wurde«, Das Auslesesignal wurde zu einem

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helligkeitsmodulierten Abbild au? einer Kathodenstrahlröhre verarbeitet, das eine genaue Wiedergabe des Röntgen';'..Ides; darstellte. Die Vorrichtung v/.ird gelöscht, ändern man die Vorrichtung bei kurzgeschlossenen Elektroden bestrahlt. Die Vorrichtung kann dann erneut verwendet werden.

Beispiel 2

In diesem Beispiel wurde eine Vorrichtung 2o 'nach der Beschreibung zur Fig. 1 mit einer leitfähigen Schicht nach der Beschreibung zur Fig. 4 eingesetzt. Ein Stück Polyester mit den Abmessungen 5o χ 8o mm mit einer Aluminiumschicht wurde als Isolierschicht 23 bzw. leitfähige Schicht 24 verwendet. Eine etv/aSo /um dicke Schicht Bleioxid(PbO)-Pigrnent in einem organischen Bindemittel wie einem Mischpolymerisat aus Butadien und Styrol wurde auf die Schicht 23 mit einer Klinge aufgestrichen, um die photoleitfähige Isolierschicht 22 darzustellen; das Gewichtsverhältnis Pigment zu Bindemittel betrug lo:l. Dann wurden Rußstreifen einer Breite von 1,5 mn im Abstand von 1,6 mm auf die Schicht 22 aufgestrichen, un die Schicht 21 darzustellen. Die Bildbildung und das Auslesen erfolgten entsprechend dem Beispiel 1.

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Claims

1. System zur Herstellung eines elektrostatischen I.adungsbilrdes und zum A_uslesen des Bildes, mit einer mehrschichtigen photoleitfähigen Vorrichtung mil: (in dieser Reihenfolge) einer ersten leitfähigen Schicht, einer photoleitfähigen Isolierschicht und einer zweiten leitfähigen Schicht, v/o bei mindestens die ersten beiden Schichten unmittelbar aufe.i.nanderliegen und die zweite leitfähige Schicht von der photoleitfähigen Schicht beabstandet liegt, um ein Röntgenstrahlen absorbierendes Strömungsmittel aufzunehmen, das unmittelbar an die zweite leitfähige Schicht angrenzt, mit einer Gleichspannungsquelle, die ein starkes elektrisches Feld zwischen die erste und die zweite leitfälige Schicht legt, mit einer Röntgenbildstrahlungsquelle, um die Vorrichtung in Anwesenheit des Röntgenstrahlen absorbierenden Strömungsmittels bildmäßig zu bestrahlen, während die Gleichspannungsquelle betrieblich über die Vorrichtung gelegt ist, um an einer Schicht der Vorrichtung ein elektrostatisches Ladungsbild zu erzeugen, mit einem Abtaster, der die Vorrichtung mit einer Auslesestrahlung abtastet_? und einer Ausleseelektronik , die betrieblich zwischen die erste und die zweite leitfähige Schicht geschaltet ist, während der Abtaster die Vorrichtung abtaster, so daß die Ausleseelektronik die Ladungsströmung erfaßt, die die Aus.1 e: estrahlung aus dem Ab-

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I taster verursacht, dadurch gekennzeichnet, daß die Auslese- I

eloktronik betrieblich in Reihe mit der Gleichspannungsquelle i

i und diese Reihenschaltung betrieblich über die erste und die ' zweite leitfähige Schicht gelegt sind, wenn der Abtaster abtastet, und daß das Röntgenstrahlen absorbierende Strömungsmittel abwesend und die zweite leitfähige Schicht näher an der photoleitfähigen Schicht angeordnet sind, v/enn die Vorrichtung vom Abtaster abgetastet wird.

2. System nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung eine Isolierschicht aufweist, die an die photoleit— ₅ fähige Isolierschicht angrenzt und von der zv/eiten leitfähigen i Schicht beabstandet ist, v/enn das elektrostatische Bild ausgebildet wird«,

3ο Verfahren zur Erzeugung eines elektrostatischen Ladungs— bildes und Auslesen des Bildes, indem man eine mehrschichtige photoleitfähige Vorrichtung mit (in dieser Reihenfolge) einer ersten leitfähigen Schicht, einer photoleitfähigen Isolierschicht und einer zweiten leitfähigen Schicht vorsieht, in der vor dem bildmäßigen Bestrahlen der Vorrichtung mit Röntgenstrahlung die zweite leitfähige Schicht von der photoleitfähigen Schicht beabstandet und ein Röntgenstrahlen absorbierendes Strömungsmittel angrenzend an die erste leitfähige Schicht vorgesehen ist, während man eine Gleichspannung an die Vorrichtung legt, um ein starkes elektrisches Feld zwischen de·.- ürstc-n und der zweiten ieitfähigen Schicht aufzubauen,

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um ein elektrostatisches Ladungsbild auf einer Schicht der Vorrichtung zu erzeugen, und die Vorrichtung dann mit Auslesestrahlung abtastet und die vom Abtasten der Vorrichtung mit der Auslesestrahlung verursachte Ladungsströmung mit einer Ausleseelektronik erfaßt, dadurch gekennzeichnet, daß man bei fehlendem Röntgenstrahlen absorbierendem Strömungsmittel ausliest, dabei die zweite leitfähige Schicht näher an die photoleitfähige Isolierschicht heranbringt und die Ausleseelektronik in Reihe mit der Gleichspannungsquelle und diese Reihenschaltung über die erste und zweite Schicht legt»

4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß man die Vorrichtung mit einer an die photoleitfähige Isolierschicht angrenzenden Isolierschicht versieht und ausliest, indem man die zweite leitfähige Schicht näher an die Isolierschicht heranbringt.

5. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß man die Vorrichtung mit einer an die photoleitfähige Isolierschicht angrenzenden Isolierschicht versieht und ausliest, während man die zweite leitfähige Schicht in Berührung mit der Iso-

raan
lierschicht bringt, wobei'vor dem Auslesen die Vorrichtung bei abgetrennter Gleichspannungsquelle·mit Strahlung flutet, die von der photoleitfähigen Schicht absorbiert wird.

6. System zum Erzeugen eines elektrostatischen Ladungsbildes und Auslesen desselben, mit einer mehrschichtigen photoleitfähigen Vorrichtung mit tin dieser Reihenfolge) einer ersten

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leitfähigen Schicht, einer ersten photoleitfähigen Isolieri schicht, einer Isolierschicht und einer zweiten leitfähigen j Schicht, einer Spannungsquelle, mit der ein starkes elektri— : sches Feld zwischen der ersten und der zweiten Schicht aufgebaut wird,-einer Strahlungsbildquelle, um die Vorrichtung bild-

' mäßig zu bestrahlen, während die Gleichspannungsquelle betrieb-

' lieh über die Vorrichtung gelegt ist, um an einer Schicht der

Vorrichtung ein elektrostatisches Ladungsbild zu erzeugen, mit I einem Abtaster, um die Vorrichtung mit Auslesestrahlung abzu- ; tasten, sowie einer Ausleseelektronik, die betrieblich zwischen die erste und die zweite leitfähige Schicht gelegt ist, wenn

I der Abtaster die Vorrichtung abtastet, und die Ladungsströmung-

j erfaßt, die die Auslesestrahlung aus dem Abtaster verursacht,

i dadurch gekennzeichnet, daß die Ausleseelektronik betrieblich

I in Reihe mit der Gleichspannungsquelle und diese Reihenschal=·

j tung betrieblich über die erste und die zweite leitfähige j

Schicht gelegt sind, während der Abtaster abtastet, wobei die Vorrichtung eine zweite photoleitfähige Isolierschicht, zwischen der Isolier- und der zweiten leitfähigen Schicht und an diese angrenzend enthält»

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