DE2804470C2

DE2804470C2 - Polierwerkzeug

Info

Publication number: DE2804470C2
Application number: DE2804470A
Authority: DE
Inventors: Joergen Hoersholm Hartfelt; Ralf Chelmsford Mass. Hoehn
Original assignee: Brueckner Trockentechnik & Co Kg 7250 Leonberg De GmbH; Brueckner Trockentechnik & Co Kg 7250 Leonberg GmbH
Current assignee: Brueckner Trockentechnik GmbH and Co KG
Priority date: 1977-02-02
Filing date: 1978-02-02
Publication date: 1985-09-26
Also published as: US4138228A; DE2804470A1

Description

Die Erfindung betrifft ein Polierwerkzeug, bestehend aus einer porösen, schwammartigen, flflssigkeitsabsorbierenden Matrix aus einem Polymer und daran befestigtem Polierkorn, welche gegebenenfalls auf einer Trägerunterlage befestigt sind.

Ein Polierwerkzeug dieser Art ist beispielsweise aus der DE-OS 17 69339 bekannt Bei dieser bekannten Ausführungsform, bei der vor allem Schleifkorn in großen Mengen in dem entsprechenden elastischen Material eingebettet ist, ist das Polier- oder Schleifkorn mit Hilfe eines Klebe- oder Bindemittels festgelegt und im wesentlichen vollkommen eingekapselt Die Polier- und Schleifkornmengen nehmen dabei in dem Werkzeug selbst nach innen zu allmählich ab, so daß im inneren Teil kein Polier- bzw. Schleifkorn mehr vorliegen solL Zum Polieren von feinen Oberflächen aus Glas, Kunststoff, Metall, Keramik- und Halbleitermaterialien usw. 3s ist dieses bekannte Polierwerkzeug nicht ohne weiteres geeignet

Es ist auch bereits bekannt, ehe Art passive Polierwerkzeuge, z. B. Wolle, Filz, Seide, Samt Leder Velour, Gewebe, Pech, mit Pyroxylin überzogene Gewebe, mit lösungsmittelgetränktem Urethan überzogene Gewebe (poriges Wildleder) und flockige Gewebe, in Verbindung mit Polierpaste zu verwenden, um die Bearbeitung schwierig zu polierender Oberflächen aus den weiter oben genannten Materialien zu bewerkstelligen. Obwohl über 20 Jahre versucht worden ist, Poliermittel (Polierkorn) in eine Matrix einzubringen, um ein aktives Polierwerkzeug zu schaffen, führten alle bisherigen Versuche im wesentlichen zu einer vollständigen Einkapselung des Polierkorns, so daß die Identität und Aktivität des Polierkorns verlorenging und letzteres praktisch zu einem passiven Füllstoff wurde.

Des weiteren ist aus der DE-AS 16 52 046 ein Polierwerkzeug mit einer Läppauflage bekannt, die aus mit Polyester verstärktem, umgeschäumtem mikroporösem Polyurethan-Material besteht Diese Läppauflage wird mit Hilfe einer druckempfindlichen Klebeschicht auf einer metallischen Läppunterlage befestigt, so daß sie dann mit Hilfe dieser Läppunterlage gegen die von einem rotierenden Befestigungsblock gehaltenen, zu bearbeitenden Werkstücke gedrückt werden kann. Bei dieser bekannten Läppauflage handelt es sich um eine Art Kunstleder. Um mit diesem Polierwerkzeug das gewünschte Polieren (vorzugsweise von Halbleiter-Werkstoffen) durchführen zu können, bedarf es noch der Zufuhr von sog. Polierschlamm. Dieser Polierschlamm wird mit Hilfe einer Düse aus einem Vorratsbehälter in den Bereich zwischen Werkstücke und Läppauflage gesprüht, so daß er sich gleichmaßig über die Lippauflage verteilen kann. Dies bedeutet also, daß auch bei dieser bekannten Ausführung für die gewünschte Bearbeitung von Werkstücken das Polierwerkzeug an sich noch gar nickt ohne weiteres in der gewünschten Weise verwendet werden kann,, sondern daß noch die zusätzliche Sprüheinrichtung sowie Polierschlanun erforderlich sind.

Der'Erfindung liegt nun die Aufgabe zugrunde, ein Polierwerkzeug der eingangs genannten Art bezüglich seiner Beschaffenheit so auszubilden, daß während des Poliervorganges das im Werkzeug enthaltene Polierkorn ohne allzu großen Widerstand freigegeben wird, damit jene Polierwirkung erreicht werden kann, die sonst nur mit lose zugeführtem Polierkorn erreichbar wäre.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß das Polymer din Form von schwach aneinanderheftenden Plattchen aufweist, die mit Polierkörnern kleiner als 10 um bedeckt sind.

Bei dieser erfindungsgemäßen Ausführungsform des Polierwerkzeuges ist also in besonders vorteilhafter Weise eins Kunststoffschicht oder ein Kunststoffkörper vorhanden, die bzw. der aus einer Vielzahl von schwach aneinanderhaftenden Plättchen sowie daran anhaftenden Polierkornteilchen so hergestellt ist daß die Polymer-Plättchen einschließlich der sie bedeckenden kleinen Polierkörner die schwammartige, mikroporöse polymereMatrix bilden, die flüssigkeitsabsorbierend ist Auf diese Weise ergibt sich eine äußerst homogene, selbsttätige Schleif- bzw. Polierstruktur, in der die Polierkörner durch die Polymerplättchen gebunden sind.

Was das Aneinanderheften der Polymerplättchen anbelangt so ist der Ausdruck »schwach« relativ zu sehen. Der Grad des Aneinanderhaftens ist nämlich in vorteilhafter Weise kontrollierbar und dem jeweiligen Endanwendungszweck anpaßbar. So ist z. B. das Aneinanderheften zwischen Polierkornteilchen und Polymer-Plättchen in einem Werkzeug zum Polieren von Brillengläsern aus Kunststoff als besonders schwach zu bezeichnen (da das Polieren selbst beispielsweise unter einem Druck von etwa 03 bis 0,4 kg/cm² stattfindet). Ein Polierwerkzeug für Brillengläser aus Glas muß eine etwas stärkere Bindung zwischen den Polierkornteilchen und den Polymer-Plättchen besitzen, da dieses Polieren unter einem etwas größeren Druck (beispielsweise etwa 0,8 bis 0,9 kg/cm²) erfolgt Ferner setzen Polierwerkzeuge, die zum mehrmaligen Gebrauch beim Polieren von Glaslinsen-Rohlingen bestimmt sind, einen noch höheren Polierdruck (beispielsweise 1, 2 bis 1,5 kg/cm²) und somit ein noch stärkeres Anhaften an den Polymer-Plättchen voraus. Falls dieses Aneinanderhaften nicht kontrollierbar ist reibt sich die aktive Polierschicht zu schnell ab, oder für das Polieren ist eine wirtschaftlich nicht vertretbare Zeit erforderlich.

Die erfindungsgemäße Ausführung des Polierwerkzeuges ermöglicht somit ein gewisses freies Bewegen der Polierkörner und dadurch ein äußerst wirksames Polieren schwierig zu bearbeitender Oberflächen, und zwar insbesondere von Linsen, aber auch von Glas, Kunststoff, Metall, Keramik- und Halbleitermaterialien, metallurgischen und geologischen Proben, Quarz, Halbedelsteinen, piezoelektrischen Kristallen usw.

Gemäß einer vorteilhaften Ausgestaltung des erfindungsgemäßen Polierwerkzeuges ist das Polymer ein wasserbindendes, eine wäßrige Flüssigkeit absorbierendes Polymer.

Die Erfindung sei nachfolgend u. a. auch anhand der

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Zeichnung an einigen Beispielen näher erläutert In der ter der Bezeichnung »Hypol P-740« der Firmen PolyZeichnung zeigt merics Inc. und W. R.Grace & Go. bekanntes handels-Fig. 1 eine schematische Darstellung des Ausmaßes, übliches Produkt sowie die Produkte »Latex X-1128« mit dem Polierkörner aus dem Ppliemerkzesug gelöst der Firma BASF Wyandotte Corporation, »Desmolac werden (zahlenmäßig nicht bestimmt, durch 3eobach- 5 XP-D-402« der Firma Mobay Chemical Co. und dergleitung der Wirksamkeit der Polierkornteilchen); chen. Bei den Produkten gemäß US-PS 3889417 (z. B. F i g. 2 einen Ted-Querschnitt durch ein Polierwerk- »Hypol FHP*rPolymere) handelt es sich um mit Isozyzeug gemäß der vorliegenden Erfindung. anat überzogene Polyoxyäthylenpolyijle, die leicht mit Die im erfindungsgemäßen Polierwertzeug verwen- Wasser reagieren. »H/pol P-740« ist eine Latex-Suspendeten Polierkörner haben eine mittlere Teilchengröße 10 sion eines abgebundenen, mit Isozyanat überzogenen von weniger als 10 μΐη. Ak Material für Polierkörner Polyoxyäthylenpolyols, bei dem durch Abbinden eine wird ein solches verwendet, das zur Seltenmeialloxyd- Reaktion mit Wasser bei Temperaturen von etwa unter oder Metalloxydgnjppe gehört und beispielsweise Zer- 120⁰C verhindert wird, so daß Polyol als Latex angeoxyd, Zirkonoxyd, Kolloidkieselerde, Polierrpt, Bims- setzt werden kann. Die Erfindung ist auf eine Matrix stein, Quarzstaab usw. enthalten (ohne Beschränkung 15 jedes Polymers anwendbar, das beim Trocknen und in auf diese Materialien). bestimmten Fällen bei dem gleichzeitig damit erfolgen-Bei diesem erfindungsgemäßen Polierwerkzeug ist ei- den Härten eine feinporige Struktur von Platten statt ne poröse, schwammartige, flüssigkeitsabsorbierende eines monolithischen Films bildet. Zahlreiche Polymere Matrix aus einem Polymer und daran befestigtem Po- sind hierfür bekannt

lierkorn vorgesehen, die gegebenenfalls auf einer Trä- 20 Es wurde nun festgestellt, daß, wenn die Polymer-Magerunterlage befestigt sind, wie sich aus der folgenden trix aus einem wasserbindenden, wasserabsorbierenden Beschreibung noch im einzahlen ergibt Polymer oder einem Polymer besteht, das nur eine

Die poröse bzw. mikroporöse polymere Struktur liegt schwache Bindung mit den Polierkornteilchen bildet, eiin Form von schwach aneinanderheftenden Polymer- ne ausreichende kontrollierte Freigabe, d. h. ein Auslö-Plättchen vor, die mit Polierkörnern kleiner als IO pm 25 sen bzw. durch Reibung hervorgerufenes Freigeben der bedeckt sind, wobei diese Polierkörner an der Oberflä- Polierkörner aus der Matrix erreicht wird, selbst wenn ehe der Plättchen haften. das Polymer keine Plättchen bildet Beispiele solcher

Für diese erfindungsgemäße Ausbildung kann jedes Polymere sind wasserbindende, wasserabsorbierende Polymer verwendet werden, das Plättchen bildet Das Akrylpolymere, z. B. die Gruppe der Polymere, die unter Polymer selbst ist vorzugsweise, jedoch nicht notwendi- 30 der Handelsbezeichnung »Hydron« der Firma National gerweise wasserbindend. Patent Development Company vertrieben werden so-

Eine zu polierende Oberfläche wird gegen die mit wie andere Akrylpolymere, wie 2. B. Akrylesterpolyme-Polierkörnern bedeckte Oberfläche des Polierwerkzeu- re, Butadienstyrol und andere Butadienpolymere, Nyges in Gegenwart einer Flüssigkeit gerieben. Die Flüs- lon-8, in Alkohol suspendierte Nyloncopolymere, ungesigkeit kann irgendeine Flüssigkeit sein, die üblicherwei- 35 härteter Nitrilgummi (ohne Zn oder S) und Polymermise zusammen mit Schleif- bzw. Polierkörnern verwen- schungen, wie z. B. 80 Gew.-% Polyvinylalkohol mit det wird. Wasser und wäßrige Flüssigkeiten werden be- 20 Gew.-% üblichem hydrophobem Akrylpolymer, wovorzugt Aufgrund theoretischer Überlegungen erfor- bei das Gemisch wasserbindend und wasserabsorbiedert das Poliei^n von Glas insbesondere in Gegenwart rend ist, nicht jedoch anschwellend oder lösend, von Wasser sowohl eine chemische als auch eine mecha- 40 Die erfindungsgemäßen Polierwerkzeuge können irnische Aktivität Andere geeignete Flüssigkeiten sind gendeine Form haben und auf viele Arten hergestellt solche, die einen ausreichenden Anteil von Hydroxyl- werden. Das Werkzeug kann die Form eines Gemisches gruppen, z. B. niedrige aliphatische Alkohole, enthalten, des Polymermateriales und der polymeren Matrix hadamit sie sich gegenüber einem wasserbindenden Mate- ben, das eine flexible Schicht a uf einer flexiblen Trägerrial wie Wasser verhalten, d. h. von diesem vor allem 45 unterlage, z. B. einem Gewebe oder einem anderen Träleicht absorbiert werden. Andere Flüssigkeiten, die ObIi- germaterial, bildet Eine solche Überzugsschicht kann cherweise beim Polieren Verwendung finden, wie z. IB. eben, texturiert oder gemustert sein, wobei die Textur Kerosin, könne η die Polierkörner dieses Polierwerkzeu- oder das Muster durch übliche Vorgänge, wie z. B. Präges nicht voll aktivieren, obwohl deren Verwendung gen, Einschneiden und dergleichen, erzielt werden könnicht vollkommen ausgeschlossen ist Die kombinierte 50 nen. Als Beispiele seien flexible Trägerunterlagen, ge-Wirkung des Reibens und der Absorption von Flüssig- webte oder nicht gewebte Wolle, eine Wolle-Polyesterkeit in die schwammartige polymere Matrix bewirkt ein mischung, Kunstseidengewebe, Papier und dergleichen gesteuertes Freigeben der Polierkörner aut dieser Ma- erwähnt Die Funktion der Trägerunterlpge besteht dartrix während des Poliervorganges. Wenn das Polymer in, eine mechanische Festigkeit herzustellen. Eine bewasserbindend ist und die Flüssigkeit Wasser enthält 55 sonders typische Trägerunterlage ist ein entschlichtetes absorbieren nicht nur die feinen Poren Wasser, sondern Wollgewebe mit einem Quadratmeter-Gewicht von auch das Polymer selbst absorbiert Wasser. Die tatsäch- 100 g. Auf die unbeschichtete Seite der Trägerunterlage lieh übliche Praxis beim Polieren, insbesondere beim kann ein üblicher druckempfindlicher Klebstoff aufge-Polieren von Linsen, erforderte bisher — wie oben er- bracht werden, und die gesamte Klebstoff-Fläche kann läutert - die Verwendung einer Paste aus Poliermittel- ω mit einem üblichen Silikonpapier geschützt werden. Das teilchen, was durch das erfindungsgemäße Polierwerk- sich ergebende Band wird dann zerschnitten, um einzelzeug nicht mehr notwendig ist ne polsterartige Polierwerkzeuge zu bilden.

Leicht erhältliche, plättchenbildende Polymere sind Statt aufgeschichtet zu sein, Kann das Gemisch aus

wasserbindende Urethan-Polymere. Beispiele wasser- Polymermatrix und Polierkorn auf die Unterlage aufgebindender, wasserabsorbierender Urethan-Polymere 65 druckt werden. Dies bedeutet, daß durch Verwendung sind unter der Handelsbezeichnung »Hypol« der Firma eines Drucksiebes oder einer anderen üblichen Einrich-W. R. Grace & Co. vertriebene Produkte (z. B. in de:r tung das Gemisch in einem regelmäßigen oder zufälli-US-PS 38 89 417 beschriebene Produkte), ferner ein uri- gen Muster von Punkten oder Flecken - statt als konti-

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nuierliche Schicht — aufgebracht werden kann. Statt den Gewichtsteilen des Polierkorns pro 100 Gewichtsdessen kann auch ein Webstoff oder ein Papierträger teile trockenen Polymers dargestellt Der »Auslösepemit dem Gemisch aus Polymermatrix und Polierkorn gel« ist eine nicht zahlenmäßige Auswertung der Wirkgetränkt werden, so daß die Trägerunterlage mit diesem samkeit des polsterartigen Polierwerkzeugs. Diese AusGemisch imprägniert ist Eine weitere Möglichkeit be- s wertung ist auf den Auslösepegel bezogen, da es die steht darin, ein Verstärkungsmaterial, z. B. Fasern, mit Auslösung, d. h. die gesteuerte Freigabe, des Polierdem genannten Gemisch zu durchmischen und das er- korns ist, die erheblich zur Wirksamkeit des Polierwerkhaltene Gemisch in Blöcke oder andere Formen, die sich zeugs beiträgt Bei Polierkorn-Konzentrationen bis zu für die Verwendung eines solchen verstärkten Gemi- etwa 45 Teilen pro 100 Teilen trockenen Polymers wersches als Polierwerkzeug eignen, zu formen. Eine noch to den die Polierkornteilchen von dem Polymer tatsächlich andere Möglichkeit besteht darin, das verstärkte Ge- eingekapselt Der Auslösepegel ist sehr niedrig, d. h. daß misch in Platten oder Folien zu formen, die nicht so dick keine ausreichende Polierwirkung in einem wirtschaftsind, daß sie die Flexibilität des erhaltenen Produktes Hch angemessenen Zeitraum erreicht werden kann. Bei verhindern. Auf diese Weise können Polierwerkzeuge Polierkorn-Konzentrationen von etwa 45 Teilen bis etgebiidet werden, die mit den mit einem Träger versehe- 15 wa 172 Teilen Polierkorn pro 100 Teile trockeneis Polynen Schichten vergleichbar sind. mers wird eine Randauslösung erhalten, d. h. daß eine Unabhängig davon, ob das genannte Gemisch auf die ausreichende Polierwirkung nur bei einer Zeitdauer er-Oberfläche eines Substrats aufgebracht wird, das Sub- reicht werden kann, die größer ist, als es für wirtschaftlistrat damit imprägniert wird oder das Gemisch zu ei- ehe Zwecke erwünscht wird. Der ideale Auslösebereich, nem Körper oder dergleichen geformt wird, kann es 20 bei dem eine ausreichende Polierwirkung in einer wirtwasserbindende Füllstoffe enthalten, um die gesteuerte schaftlich angemessenen Zeitdauer erreicht wird, liegt Freigabe der Polierkörner während des Poliervorgan- bei Polierkorn-Konzentrationen von etwa 172 bis etwa ges zu unterstützen, oder es kann für den gleichen 250 oder etwas mehr Teilen Polierkorn pro 100 Teile Zweck in einer Paste lösliche Füllstoffe enthalten, um trockenen Polymers. Bei höheren Konzentrationen des selbst Oberflächenblasen zu erzeugen, oder auch Bläh- 25 Polierkorns verliert das Gemisch aus Polymer und Po- ' mittel, um eine feinzellige Struktur zu schaffen. lierkorn sein Widerstandsvermögen. Dies bedeutet daß Wasserbindende Polymere werden im allgemeinen sich das Polierkorn nicht mehr aus der Polymermatrix als Latices zugeführt oder können als solche ausgebildet löst, wenn die zu polierende Oberfläche mit dem Polier- ' werden. Nachdem das Gemisch aus polymerem Latex, werkzeug gerieben wird, sondern daß das genannte Ge-Polierkorn und irgendeinem der zuvor erwähnten Zu- 30 misch in grober Struktur auseinanderfällt, wodurch das satzstoffe aufgeschichtet, gedruckt, imprägniert oder Polierkorn zu schnell verbraucht wird,
geformt worden ist, wird das sich ergebende nasse Pro- Bei einem typischen Beispiel wurde ein Gemisch mit , dukt in einem Ofen Bedingungen ausgesetzt, die die einem Gewichtsverhältnis von 50:50 aus Zeroxyd mit Feuchtigkeit verdampfen und die polymeren Teilchen einer mittleren Teilchengröße von 2 bis 4 um und aus schmelzen, z. B. bei etwa 120 bis 160⁰C während 10Mi- 35 mit Isozyanat überzogenem Blockpolyoxyäthylen-Ponuten. Die exakte Zeit und Temperatur werden empi- lyolurethan-PoIymerlatex mit einem Feststoffgehalt von _;, risch bestimmt und hängen von der Güte des verwende- 51 Gew.-% (»Hypol P-740«) auf einen entschlichteten ten Latex, der Dicke des feuchten Produkts, der Art des Wollwebstoff von 100 g/m² mit 400 g/m² aufgeschichtet verwendeten Substrats und dergleichen ab. Der beschichtete Stoff wurde in einem Ofen bei etwa ,

Wasserbindende Urethanpolymerlatizes, wie sie vom 40 120 bis 160°C während 5 bis 1,5 Minuten getrocknet, so Hersteller geliefert werden, haben typischerweise einen daß eine Trockenschicht mit einem Gewicht von etwa : Feststoffgehalt von etwa 50 Gew.-%. Bei diesem Latex 300 g/m² erhalten wurde. Ein üblicher auf Druck anspre- und Zeroxyd als Polierkorn wurde festgestellt, daß das chender Klebstoff wurde auf die andere Seite des Geoptimale Gewichtsverhältnis von Latex zu Polierkorn webes aufgebracht, und die Klebstoffschicht wurde mit } etwa 40:60 bis 50:50 beträgt; die Verhältnisse sind 45 üblichem Silikonpapier bedeckt Das beschichtete Ge- ' empirisch bestimmt Das Gemisch muß eine ausrei- webe wurde gestanzt und das überschüssige beschichtechend feste Konsistenz haben, damit es aufgeschichtet te Gewebematerial wurde ausgeschieden, um mehrere und geformt werden kann, und es muß einen ausreichen- diskrete, an dem Silikonpapier anhaftende Polierpolster den Anteil Polierkorn in bezug auf das Polymer haben, zu bilden. Diese Polster wurden vom Silikonpapier ab- · damit ein Polierwerkzeug geschaffen wird, aus dem das so gezogen, auf einen Werkzeugträger aufgebracht und rüucfköfü in einer angemessenen Menge freigegeben unter Anwendung von Wasser oder einer anderen Flüs- %■ wird und das wirksam poliert sigkeit als Schmier- und Kühlmittel zum Polieren von ^v Basierend auf einem Latex mit einem Feststoffgehalt Linsen verwendet ^₃ von 50 Gew.-% beträgt das maximale Gewichtsverhält- Bei einem anderen typischen Beispiel wurde die glei- % nis von Latex zu Polierkorn etwa 80 :20; oberhalb die- 55 ehe Schicht nach dem Trocknen in einem Ofen auf etwa ses Wertes tritt eine Einkapselung der Polierkornteil- 150° bis 160° C während etwa 5 Minuten erhitzt Dies chen auf und es kann kein Auslösen der Polierkömer führte zur Freigabe und zum Härten des Urethanpolyaus der Matrix bewirkt werden. Beim anderen Extrem- mers, wobei das sich ergebende Polierwerkzeug etwas wert — vorausgesetzt, daß ein ausreichend dünnflüssi- abriebfester und langlebiger als das andere ist
ger Latex verwendet wird — κ*»,... das maximale Ge- eo Bei einem weiteren Beispiel wurde »H/pol P-740« bei Wichtsverhältnis von Latex zu Schleifkorn etwa 10:90 zufriedenstellenden Ergebnissen durch »Hydron« erbetragen. Der Latex und das Polierkorn werden so ge- setzt Bei einem noch anderen Beispiel wurde bei zuf riewählt daß deren pH-Werte einander kompatibel sind denstellenden Ergebnissen »Hypol P-740« durch einen Die relativen Anteile von Polymer und Polierkorn kön- nicht härtenden Nitrilgummi ersetzt
nen auch z. B. als Gewichtsteile des Polierkorns pro 100 es F i g. 2 zeigt in einem Teil-Querschnitt ein polsterarti-Gewichtsteile trockenem Polymers ausgedrückt wer- ges Polierwerkzeug, bei dem die Polierkornschicht aus den. einer polymeren Matrix in Form von Plättchen 1 bein F i g. 1 ist ein Auslösepegel-Diagramm gegenüber steht, an denen die Polierkornteilchen 2 haften oder in

die diese Polierkornteilchen geringfügig eingebettet sind. Diese Polierkornteilchen tragende Matrix haftet an der einen Seite eines als Trägerunterlage dienenden Gewebes 3. An der anderen Seite des Gewebes 3 haftet eine auf Druck ansprechende Klebstoffschicht 4, über der ein Silikon-Abziehpapier 5 liegt. Dieses Polierwerkzeug kann in der zuvor beschriebenen Weise verwendet werden.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

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Claims

Patentansprüche:

1, Polierwerkzeug, bestehend aus einer porösen, schwammartigen, QQssigkeitsabsorfoierenden Matrix s aus einem Polymer und daran befestigtem Polierkorn, welche gegebenenfalls auf einer Trägerunterlage befestigt sind, dadurch gekennzeichnet, daß das Polymer die Form von schwach aneinander haftenden Plättchen aufweist, die mit Polier- to kontern kleiner als 10 um bedeckt sind.

Z Polierwerkzeug nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Polymer ein wasserbindendes, eine wäßrige Flüssigkeit absorbierendes Polymer ist

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