DE2801287B2

DE2801287B2 - Lackdosiervorrichtung

Info

Publication number: DE2801287B2
Application number: DE19782801287
Authority: DE
Inventors: Altan 6148 Heppenheim Akyuerek
Original assignee: BBC Brown Boveri AG Germany
Current assignee: BBC Brown Boveri AG Germany
Priority date: 1978-01-13
Filing date: 1978-01-13
Publication date: 1980-08-14
Also published as: DE2801287A1; DE2801287C3

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Lackdosiervorrichtung für Halbleiterbauelemente, insbesondere für kontaktierte Halbleiterbauelemente, die über Anschlußelektroden an einem gemeinsamen Metallstreifen gehalten sind. Sie kann Anwendung bei der Massenfertigung von Halbleiterbauelementen, insbesondere von Thyristoren, finden.

Halbleiterbauelemente werden nach der Kontaktierung mit ihren Anschlußeleketroden mit einer Schutzlackierung versehen, um sie mechanisch und elektrisch zu stabilisieren. Bei der Massenfertigung von Halbleiterbauelementen dienen zur Kontaktierung bekanntlich verschiedenartig geformte Kontaktierungskämme (DE-OS 24 00 863). Dabei besteht ein Kamm jeweils aus einem Metallstreifen, der quer zu seiner Längsrichtung die Anschlußelektroden trägt. Im bekannten Fall werden im Endeffekt zwei Kämme benutzt; es ist aber auch möglich, daß sämtliche AnschluOelektroden an einem einzigen Metallstreifen gehalten sind. Es versteht sich, daß der Metallstreifen nach Kontaktierung und Lackierung des Halbleiterbauelementes abgetrennt wird.

Zur Lackierung ist es bisher allgemein bekannt, daß man mit einer einfachen Kanüle den Lack auf die kontaktierten Halbleiterbauelemente auftropft. Dieses Verfahren ist für niedrig viskose Lackt: möglich, weil diese Lacke dünnflüssig sind und sich gut verteilen lassen. Wenn der Lack hochviskos bzw. dickflüssig ist, so muß man mindestens drei Arbeitsgänge vornehmen, um die einzelnen Bereiche bzw. Flächen des Halbleiterbauelementes abzudecken. Sind die Halbleiterbauelemente an einem Metallstreifen befestigt, so ist ein Verlacken sämtlicher Seiten direkt von oben nicht möglich, d. h„ die Lackverteilung wäre in diesem Falle zu schlecht Vielmehr muß man in einem manuellen Verfahren die erläuterten drei Arbeitsgänge vornehmen, d. h. vordere, hintere und Seitenelemente müssen mühsam abgedeckt werden, wobei auch eine Drehbewegung der Kanüle von der vorderen Hauptoberfläche zur hinteren Hauptoberfläche des Halbleiterbauelementes notwendig ist Eine maschinelle Lackierung würde einen

to komplizierten Mechanismus erfordern.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Lackdosiervorrichtung zu schaffen, die für die maschinelle Lackierung von Halbleiterbauelementen geeignet ist

Die Lösung dieser Aufgabe besteht darin, daß die Lackierdosiervorrichuing erfindungsgemäß mit mindestens zwei Kanülen ausgerüstet ist, die in vorbestimmten Abständen in durchgehenden Öffnungen einer ersten Scheibe sitzen und daß die erste Scheibe einen Lackbehälter abschließt, der mit einer Lackeinführungsöffnung versehen ist.

Bei einer solchen Anordnung lassen sich die einzelnen Kanülen bzw. die endseitigen Düsen genau auf die zu lackierenden Flächen ausrichten. Die Lackdosiervorrichtung kann stationär neben anderen entsprechend ausgerichteten Lackiervorrichtungen in einer Lackiermaschine angeordnet sein, so daß der Lack druckgesteuert allen Lackeinführungsöffnungen und somit allen Lackbehäitern und Kanülen zuführbar ist und mehrere an einem Metallstreifen befindliche Halbleiterbauelemente gleichzeitig lackiert werden können.

Bei maschineller Verwendung der Lackdosiervorrichtung befindet sich die Lackeinführungsöffnung in einer zweiten Scheibe, an die eine Lackzuführleitung von einem zentralen Steuerorgan aus angeschlossen ist. Die erste Scheibe auf einer Seite des Lackbehälters und die zweite Scheibe auf der gegenüberliegenden Seite des Lackbehälters sind durch Oberwurfmuttern an demselben gehalten.

Zweckmäßig besitzt die Lackvorrichtung drei Kanülen mit derart ausgerichteten Düsen, daß dieselben ein geometrisches Dreieck aufspannen. Beim Lackieren eines Thyristors kann somit eine Kanüle eine Hauptoberfläche der kontaktierten Halbleiterscheibe hintergreifen, wogegen die anderen beiden Kanülen auf die andere Hauptoberfläche gerichtet werden können.

Weiterhin bestehen zweckmäßig mindestens die Düsen aus einem Edelmetall, und der Lackbehälter sowie die erste und zweite Scheibe sind innen mit einem Kunststoff, vorzugsweise Polytetrafluorethylen oder Melaminharz, beschichtet. Mit diesen Maßnahmen wird vermieden, daß der Lack verunreinigt wird.

Die Erfindung wird nachfolgend anhand eines in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispieles näher erläutert. Es zeigt

Fig. 1 einen mit einem Halbleiterbauelement bestückten Metallstreifen,

F i g. 2 eine Draufsicht auf eine Lackdosiervorrichtung und

F i g. 3 einen Längsschnitt der Lackdosiervorrichtung nach F i g. 2.

Wie bereits eingangs erläutert ist, dient bei der Massenfertigung von Halbleiterbauelementen 1 ein Metallstreifen 2 als Kontaktierungshilfe für die Anschlußelektroden 3 bis 5. Nach der Verbindung der Anschlußelektroden mit den entsprechenden Kontaktierungsflächen am Halbleiterbauelement 1 erfolgt die Lackierung, die zuniinuesiens sämiiiene Koiiiakiie-

rungsbereiche mit erhabenen Rächen und Randflächen umfassen soll. Arbeitet man nur mit einer Kanüle und mit einem relativ hochviskosen Lack, so muß man, wie eingangs beschrieben, in z. B. drei Arbeitsgängen (durch Pfeile 6 angedeutet) die verschiedenen Bereiche bearbeiten.

Die F i g. 2 und 3 zeigen eine Lackdosiervorrichtung, die mit drei Kanülen 10, 11, 12 ausgerüstet ist, die in vorbestimmten Abständen in durchgehenden Öffnungen 13,14,15 einer ersten Scheibe 16 sitzen. Die erste Scheibe 16 schließt einen zylinderförmigen Lackbehälter 17 ab, der auf seiner anderen Seite mit einer Lackeinführungsöffnung 18 versehen ist Die Lackeinführungsöffnung 18 befindet sich in einer zweiten Scheibe 19 und ist an eine Lackzuführleitung 20 is angeschlossen. Beide Scheiben 16 und 19 sind durch Überwurfmuttern 21 und 22 an dem Lackbehälter 17, der ein entsprechendes Außengewinde trä«»t gehalten.

Die zentrale Steuereinrichtung ist durch eine Kolben-Zylinder-Einheit 23 an der Lackzuführleitung 20 angedeutet — Bei Einzelverwendung der Lackdosiervorrichtung kann die Lackeinführungsöffnung 18 selbst derart gestaltet sein, daß darin ein Kolben arbeiten kann, oder die zweite Scheibe 19 fällt fort und das offene Ende des Behälters dient selbst als Lackeinführungsöffnung, in die schließlich auch ein entsprechender Kolben eingeführt wird. —

Die vorzugsweise für maschinellen Einsatz bestimmte Lackdosiervorrichtung arbeitet in folgender Weise:

Über die Lackeinführungsöffnung 18 wird eine vorbestimmte Lackmenge im Lackbehälter 17 deponiert Durch einen entsprechenden Votdruck wird der Lack dabei bereits in die Öffnungen 13 bis 15 und die Kanülen 10 bis 12 hineingedrückt. Auf einen Steuerbefehl hin wird der Druck dann soweit erhöht, daß der Lack aus der Kanülengruppe heraus auf die entsprechenden Stellen des Halbleiterbauelementes 1 spritzt Es versteht sich, daß dieser Vorgang unter Verwendung einer einzigen Lackiervorrichtung im Taktverfahren erfolgen kann, wobei der Metallstreifen 2 über in seine Ausnehmungen eingreifende Transportvorrichtungen im Schrittverfahren weiterbewegt wird. Eine andere Möglichkeit besteht darin, mehrere Lackiervorrichtungen nebeneinander anzuordnen und parallel auf die noch am Metallstreifen befindlichen Halbleiterbauelemente 1 arbeiten zu lassen.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen

Claims

Patentansprüche:

1. Lackdosiervorrichtung für Halbleiterbauelemente, insbesondere für kontaktierte Halbleiterbauelemente, die über Anschlußelektroden an einem gemeinsamen Metallstreifen gehalten sind, dadurch gekennzeichnet, daß sie mit mindestens zwei Kanülen (10,11,12) ausgerüstet ist, die in vorbestimmten Abständen in durchgehenden Öffnungen (13, 14, 15) einer ersten Scheibe (16) sitzen und daß die erste Scheibe (16) einen Lackbehäiter (17) abschließt, der mit einer Lackeinführungsöffnung (18) versehen ist

2. Lackdosiervorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß sich die Lackeinführungsöffnung (18) in einer zweiten Scheibe (19) befindet und an eine Lackzuführleitung (29) angeschlossen ist und daß die erste Scheibe (16) auf einer Seite und die zweite Scheibe (19) auf der gegenüberliegenden Seite des Lackbehäliers (17) durch Überwurfmuttern (21, 22) an demselben gehalten sind.

3. Lackdosiervorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Düsen von drei Kanülen (10,11,12) derart ausgerichtet sind, daß sie ein geometrisches Dreieck aufspannen.

4. Lackdosiervorrichtung nach Anspruch 1 oder folgenden, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens die Düsen der Kanülen (10, 11, 12) aus einem Edelmetall bestehen und der Lackbehälter (17) sowie die erste und zweite Scheibe (16,19) innen mit einem Kunststoff beschichtet sind.