DE2722497A1 - Elektronenstrahlroehre mit feldemissionselektronenquelle, feldemissionselektronenquelle fuer eine derartige elektronenstrahlroehre und verfahren zur herstellung einer derartigen feldemissionselektronenquelle - Google Patents

Elektronenstrahlroehre mit feldemissionselektronenquelle, feldemissionselektronenquelle fuer eine derartige elektronenstrahlroehre und verfahren zur herstellung einer derartigen feldemissionselektronenquelle

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DE2722497A1 DE19772722497 DE2722497A DE2722497A1 DE 2722497 A1 DE2722497 A1 DE 2722497A1 DE 19772722497 DE19772722497 DE 19772722497 DE 2722497 A DE2722497 A DE 2722497A DE 2722497 A1 DE2722497 A1 DE 2722497A1
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Description

PHN. 8*4 12.
.. ,., ""-*" 18.1.1977.
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N.V Γ'-.'.'ί ■.·■■-■·■·-■·■, ·-- --'^.-.en
Elektronenstrahlröhre mit Feldemissionselektronenquelle, Feldemissionselektronenquelle für eine derartige Elektronenstrahlröhre und Verfahren zur Herstellung einer derartigen Feldemissionselektronenquelle
Die Erfindung bezieht sich auf eine Elektronenstrahlröhre mit einer Feldemissionselektronenquelle, die eine aus Kohlenstoff bestehende, ein zugespitztes Ende aufweisende drahtförmige Kathodenspitze enthält. Die Erfindung bezieht sich weiterhin auf ein
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PHN. 8412. 18.1.77.
Verfahren zur Herstellung einer derartigen Feldemissionselektronenquelle.
Eine derartige Elektronenstrahlröhre ist z.B. aus dem Aufsatz "The carbon field emitter" in "Journal Phys. D. Applied Physics", Band 7, 197^, S.2105-2115 bekannt, Insbesondere wird in diesem Aufsatz ein Abtastelektronen— mikroskop beschrieben, das mit einer Feldemissionselektronenquelle mit einer aus Kohlenstoff zusammengesetzten Kathodenspitze versehen ist. Diese Kathodenspitze weist neben den im genannten Aufsatz erwähnten Vorteilen auch Nachteile auf, wie eine verhältnismässig geringe Reproduzierbarkeit und eine wenig exakte Positionierung in der Elektronenquelle. Es ist weiter fast nicht möglich, an einem Kohlenstoffdraht ein gut definiertes zugespitztes Ende zu bilden.
In der britischen Patentschrift 1 39*» 055 ist ein graphitartiger Feldemitter beschrieben, der dadurch, erhalten ist, dass Polyacrylnitril karbonisiert wird. Vie in der britischen Patentschrift 1 k^k 189 beschrieben ist, kann ein derartiger Feldemitter mit Hilfe einer Entladung mit einem zugespitzten Ende versehen werden. Von einer derartigen Kathodenspitze wird kein radialsymmetrischer Elektronenstrahl erhalten.
In der Dt-OS 26 Ok 60J ist eine Elektronenstrahlröhre beschrieben, die eine Kathodenspitze aufweist, die aus einem Kerndraht aus Wolfram besteht, auf dem eine
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PHN. 8*»12. 18.1.77. - \-
Kohlenstoffschicht angebracht ist. Das Ueberziehen der Spitze eines derartigen Kerndrahtes mit Kohlenstoff auf derartige Weise, dass der Abrundungsradius kleiner als etwa 1 /um bleibt, erweist sich als besonders schwierig.
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Es sind auch Elektronenstrahlröhren mit einer Kathodenspitze aus lediglich Wolfram bekannt. Für eine stabile Emission müssen bei diesen Kathodenspitzen sehr hohe Vakuumanforderungen in der Elektronenstrahlröhre erfüllt werden. Wird bei etwa 1000°C ein Strom von mehr als 1 yuA einer derartigen Kathodenspitze entzogen, so wird diese Kathodenspitze durch Haarkristallwachstnm an dem zugespitzten Ende eine beschränkte. Lebensdauer aufweisen. Bei einer Temperatur von jh O0C wird die Kathodenspitze innerhalb einer Sekunde durch einen Durchschlag zerstört.
Auch stellt sich heraus, dass von einer derartigen Kathodenspitze kein radialsymmetrischer Elektronenstrahl erhalten wird.
Die Erfindung bezweckt, eine Elektronenstrahlröhre zu schaffen, mit der ein nahezu radialsymmetrischer Elektronenstrahl mit einem kleinen Durchmesser und einer grossen Stromdichte erhalten wird.
Die Erfindung bezweckt ausserdem, eine Feldemissionselektronenquelle mit einer nahezu unbeschränkten Lebensdauer anzugeben, die sich auf einfache Weise her— stellen lässt und ausserdem bei einem Druck von 10 Torr
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PHN. 8412. Γ 18.1.77.
-ν6-'
oder niedriger betrieben werden kann.
Eine Elektronenstrahlröhre der eingangs genannten Art ist nach der Erfindung dadurch gekennzeichnet, dass die drahtförmige Kathodenspitze aus glasartigem Kohlenstoff ("glassy carbon") besteht.
Die Herstellungsweise und die Eigenschaften glasartigen Kohlenstoffs sind in dem Aufsatz "Glasartiger Kohlenstoff" in "Chemie-Ingenieur-Technik", den 4'2. Jahrgang 9 und 10 (1970), S. 659-669 beschrieben und darin wird auch erwähnt, dass Drähte aus glasartigem Kohlenstoff eine erheblich günstigere Oberflächenstruktur als die bekannten Graphitdrähte aufweisen, die aus Cellulose oder Polyacrylnitril hergestellt werden. Vielleicht ist es darauf zurückzuführen, dass glasartiger Kohlenstoff für die Herstellung derartiger Kathodenspitzen besonders gut geeignet ist.
Glasartiger Kohlenstoff ist eine parakristalline Substanz mit einer geringen Dichte (etwa 1,5 g/cm3), die aus einer Anzahl organischer Polymere mit einem hohen Polymerisationsgrad durch Pyrolyse erhalten werden kann. Die wesentlichen Merkmale glasartigen Kohlenstoffs sind strukturabhängige physikalische Eigenschaften, wobei die Art und die Eigenschaften des Ausgangsmaterials praktisch keine Rolle mehr spielen. Dies bedeutet, dass zwar in Abhängigkeit von dem Ausgangsmaterial ein anderer Vorgang
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PHN.8412. 18.1.77.
bei der Transformation in glasartigen Kohlenstoff angewandt werden soll, aber dass eine Bestimmung des Ausgangsmaterials aus den Eigenschaften des Endprodukts mit physikalischen oder chemischen Verfahren nicht mehr möglich ist. Glasartiger Kohlenstoff mit praktisch identischen Eigenschaften kann daher aus unterschiedlichen Ausgangsmaterialien, wie Polyvinylidenchlorid, Phenol- oder Kresolresolen und -novolacken, Polyimiden, regenerierter Cellulose, polymerisiertem Furfurylalkohol, Teer, usw.
hergestellt werden.
Das Karbonisieren von Cellulose oder Polyacrylonitril (wie z.B. in der genannten britischen Patentschrift 1 394 055) ergibt eine polykristalline Substanz, die, auch wenn sie röntgenamorph zu sein scheint, Korngrenzen aufweist und sich daher zur Herstellung derartiger FeIdemissionselektionenquellen weniger gut eignet.
Ausserdem wurde durch Versuche gefunden, dass dieser glasartige Kohlenstoff auf einfache Weise durch chemisches Aetzen oder durch Stromdurchgang durch ein leitendes Bad mit einer für Feldemission geeigneten Spitze versehen werden kann. Durch den amorphen Charakter glasartigen Kohlenstoffs wird ausserdem ein Elektronenstrahl mit einer nahezu radialsymmetrischen Elektronenverteilung erhalten. Die Form des Elektronenstrahls wird durch die Form der Spitze und nicht, wie bei V, durch die Kristall-
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struktur des Materials bestimmt, aus dem die Spitze hergestellt ist. Es stellt sich heraus, dass das Betreiben einer Feldemissionselektronenquelle, die eine glasartige Kohlenstoffkathodenspitze enthält, bei etwa O0C keinen Durchschlag und Zerstörung der Kathodenspitze zur Folge hat. Bei einer Betriebstemperatur von etwa 1000°C und einem Strom bis zu 100/UA weist die Kathodenspitze eine nahezu unbeschränkte Lebensdauer auf.
Die Erfindung kann in einem Abtastelektronenmikroskop mit einem hohen Auflösungsvermögen, einem Durchstrahlungselektronenmikroskop, für Elektronenstrahlbearbeitungsgeräte, für Röntgenröhren, insbesondere für Röntgenprojektionsmikroskope, für Bildröhren u.dgl. und bei mehrfachen Kathoden angewandt werden.
Vorzugsweise weist die drahtförmige Kathodenspitze einen Durchmesser zwischen 10 und 100/Utn auf und ist der Abrundungsradius der Spitze kleiner als 1 /um. Die schlechte Wärmeleitfähigkeit des glasartigen Kohlenstoffes macht es in Fällen, in denen eine lange Kathodenspitze (z.B.
!0 langer als 1000/um) verwendet wird, erwünscht, die drahtförmige Kathodenspitze mit ihrem zugespitzten Ende aus einer rohrförmigen metallenen Hülle hervorragen zu lassen. Diese vorzugsweise aus Wolfram hergestellte Hülle dient in diesem Falle für den Transport der Wärme von dem Heiz-
'5 element zu dem zugespitzten Ende der Kathodenspitze.
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PHN. 8412. 18.1.77.
Das Heizelement wird vorzugsweise aus einem Stützdraht für die Kathodenspitze gebildet, der aus einem elektrisch leitenden Material besteht und mit der Metallhülle der Kathodenspitze verbunden ist.
Es ist möglich, die Kathodenspitze aus glasartigem Kohlenstoffdraht dadurch herzustellen, dass dieser Draht mit einem Ende in ein leitendes Bad geführt wird, wonach ein Strom durch den Draht und das leitende Bad hindurchgeschickt wird. Bei diesem Vorgang schiefert das Ende ab, bis es zugespitzt ist.
Die Erfindung wird nunmehr beispielsweise an Hand der Zeichnung näher erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 schematisch ein Abtastelektronenmikroskop nach der Erfindung,
Fig. 2 schematisch eine Feldemissionselektronenquelle nach der Erfindung,
Fig. 3 ebenfalls schematisch eine Feldemissionselektronenquelle nach der Erfindung mit einer Metallhülle rings um die drahtförmige Kathodenspitze, und Fig. k schematisch ein Verfahren zur Herstellung einer drahtförmigen Kathodenspitze.
Ein Abtastelektronenmikroskop der skizzenweise in Fig. 1 dargestellten Art enthält innerhalb einer Hülle 1 eine Kathodenvorrichtung 2, eine Anode 3> eine Strahlrichtlinse k, eine Kondensorlinse 5» eine Ablenk-
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vorrichtung 6, eine Objektivlinse 7» eine Blende 8 mit einem Einstellmechanismus 9 und einen Objektträger 10 mit einem Einstellmechanismus 11. Auf den Objektträger kann ein Objekt 12 gesetzt sein, das von einem Elektronen— strahl abgetastet werden kann. Zum Detektieren von Strahlung, die nach Wechselwirkung zwischen dem Elektronenstrahl und dem Objekt das Objekt verlässt, sind Detektoren 13 und 14 vorgesehen. Diese Detektoren sind mit einer Detektionsvorrichtung 15 verbunden. Mit den Detektoren 13 Wird Strahlung aufgezeichnet, die das Objekt auf der Auftreffseite verlässt. Diese Strahlung kann u.a. Sekundärelektronen, reflektierte Elektronen und elektromagnetische Strahlung enthalten. Mit dem Detektor 14 kann Strahlung aufgezeichnet werden, die das Objekt auf der von der Auftreff— seite abgekehrten Seite verlässt und die u.a. zerstreute Elektronen, verzögerte Elektronen und elektromagnetische Strahlung enthält.
Ein Generator 16 speist die Abtastvorrichtung 6 und ist für eine eindeutige Ortsbestimmung im Objekt auch mit der Detektorvorrichtung I5 und mit einer Ueberwachungs- oder Aufzeichnungsvorrichtung 17 verbunden.
Eine bevorzugte Ausführungsform der Kathoden— vorrichtung 2 ist vergrössert in Fig. 2 dargestellt. Diese Kathodenvorrichtung ist aus einer Montageplatte 20 aufgebaut, auf der ein Stützdraht 21 z.B. unter Zwischenfügung eines Fernicomantels 22 montiert ist. An, in oder
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PHN. 8*« 12. 18.1.77.
auf dem Stützdraht ist eine Kathodenspitze 23 angebracht. Diese Kathodenspitze besteht nach der Erfindung aus glasartigem Kohlenstoff ("glassy carbon"). Die Kathodenspitze weist in diesem Falle einen Durchmesser von 50/um und eine Länge von 0,5 nun auf und ist in einem Ende 2k mit einem Krümmungsradius von 0,05 /um zugespitzt. Zur Ausheizung der Kathodenspitze oder zur Erhitzung derselben beim Betrieb besteht der Stützdraht 21 aus einem elektrisch leitenden Material, z.B. Wolfram, und ist mit Zuführungsleitungen 27 versehen, wodurch ein Heizelement gebildet wird.
Die Spitze aus glasartigem Kohlenstoff kann auch als T.F.-Emitter ("thermal field emission) verwendet werden. Dazu wird die Kathodenspitze auf I5OO bis 2000°C gebracht, wodurch neben Feldemission auch thermische Emission auftritt.
Auch ist es möglich, die Kathodenspitze mit Hilfe eines Lasers oder einer anderen Lichtquelle zu erhitzen. Dabei übt die schlechte Wärmeleitfähigkeit des Kohlenstoffes gerade einen günstigen Einfluss aus, weil die Wärme aus der Spitze weniger gut abfliessen kann, und in diesem Falle soll denn auch keine Metallhülle verwendet werden. Eine Feldemissionselektronenquelle mit einer Kathodenspitze aus Wolfram erfordert das Aufrechterhalten eines Vakuums in der betreffenden Röhre
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PHN. Hk λΖ. 18.1.77.
mit einem Druck von nicht mehr als etwa 10"* Torr. Für viele Anwendungen kann diese Anforderung nur zu hohen zusätzlichen Kosten oder gar nicht erfüllt werden. In einer Elektronenstrahlröhre nach der Erfindung ist ein Druck bis zu etwa 10 Torr zulässig. Ein derartiger Druck lässt sich mit viel einfacheren Abdichtungsmitteln erzielen und das Innere der Röhre braucht in der Regel nicht ausgeheizt zu werden. Ein derartiger Druck ist zulässig, wenn in einer Kathodenstrahlröhre nach der Erfindung die Kathodenspitze beim Betrieb auf z.B. 1000°C erhitzt wird. Bei dieser Temperatur liefert eine Kathodenspitze nach der Erfindung in einem Raum mit einem Gasdruck bis zu etwa 10 Torr während sehr langer Zeit eine stabile Emission mit einem Emissionsrauschen von nicht mehr als etwa 3 % des Gesamtstromes. Auch wird durch Erhitzung die Durchschlagfestigkeit der Kathode beträchtlich vergrössert. Der amorphe Charakter des glasartigen Kohlenstoffes hat zur Folge, dass der erzeugte Elektronenstrahl eine radialsymmetrische Struktur (Elektronenverteilung) aufweist.
Ausserdem erweist es sich als besonders einfach, glasartigen Kohlenstoffdraht mit einem zugespitzten Ende zu versehen. Dies kann z.B. dadurch erfolgen, dass Strom durch den Kohlestoffdraht geschickt wird, wobei dieser Kohlenstoffdraht mit einem Ende in ein elektrisch leitendes Bad (z.B.
ein Bad von Alkalihydroxid, z.B. Natriumhydroxid oder
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PHN. 8412.
18.1.77.
einer NaCl-Lösung) eingetaucht ist, oder dass das Ende in geschmolzenes Natrium- oder Kaliumperoxid eingetaucht wird.
Derartige Feldemissionselektronenquellen können also auch in Röhren verwendet werden, in denen nicht oder sehr schwer ein Druck von weniger als 10 Torr aufrechterhalten werden kann. Der Anwendungsbereich der Erfindung umfasst denn auch neben dem bereits genannten Abtastelektronenmikroskop und anderen Elektronenmikroskopen auch Elektronenstrahlbearbeitungsgeräte, insbesondere diejenigen, die für Mikrobearbeitungen, wie das Herstellen oder Bearbeiten von IC-Elementen, Röntgenröhren, insbesondere des sogenannten Röntgenprojektionsmikroskops, in dem ein Elektronenauftreffleck mit einer verhältnismässig geringen Abmessung angestrebt wird, Bildröhren zum Erzeugen von Bildern mit einem hohen Auflösungsvermögen u. dgl. eingerichtet sind. Die Kathodenspitze 23 kann z.B. mit "Aquadac" 25 an, auf oder in dem Stützdraht 21 befestigt sein. Venn die Kathodenspitze eine Länge von mehr als 1 mm aufweist, lässt sich das zugespitzte Ende 2k der Kathodenspitze schwer mit Hilfe des beschriebenen Stützdrahtes auf die gewünschte Temperatur, bringen. Dies ist der Tatsache zuzuschreiben, dass glasartiger Kohlenstoff eine schlechte Wärmeleitfähigkeit im Vergleich zu z.B. Wolfram aufweist. In Fig. 3 ist eine Lösung für dieses Problem dargestellt.
Rings um die Kathodenspitze 23 ist eine metallene rohrförmige
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PHN. 8*H2. 18.1.77.
Hülle 18 angeordnet, die vorzugsweise aus einem Metall oder einem Metallcarbid (z.B. Mo, W, Ta oder deren Carbiden) besteht und aus der das zugespitzte Ende 2k der Kathodenspitze hervorragt. Die Hülle 18 sorgt für einen genügend grossen Wärmetransport zu dem zugespitzten Ende 2k.
Eine derartige Hülle kann durch das Aufdampfen z.B. einer Wolframschicht auf die Kathodenspitze und durch anschliessendes selektives Wegätzen des Wolframs von dem zugespitzten Kathodenende 2k erhalten werden. Auch ist es möglich, eine Wolframschicht dadurch anzubringen, dass die Kathodemspitze teilweise in eine wolframhaltige Suspension eingetaucht und das Ganze dann gesintert wird. Das Wolfram dieser Hülle dient zugleich zur Befestigung der Kathodenspitze j»n dem Stützdraht 21.
In Fig. k ist schematisch angegeben, wie an einem nichtgraphitischen glasartigen Kohlenstoffdraht ein zugespitztes Ende gebildet werden kann. Ein glasartiger Kohlen stoff draht 28 wird mit seinem Ende 29 in ein leitendes Bad 30 geführt (z.B. ein KOH-Bad). Indem nun ein Gleichstrom oder ein Wechselstrom der Quelle 31 durch den Draht 28 und das Bad 30 über die Elektrode 32 geschickt wird, wird das Ende 29 abgeschiefert, wodurch ein zugespitztes Ende erhalten wird. Es handelt sich hier nicht um einen Aetzvorgang, weil der Kohlenstoff abschiefert und nicht in Lösung geht. Auf diese Weise kann eine sehr gut definierte
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PHN. 8412.
18.1.77. -/15"-
Spitze erhalten werden, die die Elektronenstrahlgeometrie bestimmt. Es ist auch möglich, mit Hilfe eines Bades mit geschmolzenem Natriumperoxid, in das das Ende des Kohlenstoffdrahtes eingetaucht wird, eine Spitze an dem glasartigen Kohlenstoffdraht zu ätzen.
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Claims (1)

  1. PHN. 8*4 12. 18.1.77.
    PATENTANSPRÜCHE
    1. / Elektronenstrahlröhre mit einer Feldemissionselektronenquelle, die eine aus Kohlenstoff bestehende, ein zugespitztes Ende aufweisende drahtförinige Kathodenspitze enthält, dadurch gekennzeichnet, dass die drahtförmige Kathodenspitze aus glasartigem Kohlenstoff ("glassy carbon") bes teht.
    2. Elektronenstrahlröhre nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Durchmesser der drahtförmigen Kathodenspitze zwischen 10 und 300 ,um liegt und der Abrundungsradius der Spitze kleiner als 1 /um ist.
    3. Elektronenstrahlröhre nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass das zugespitzte Ende der drahtförmigen Kathodenspitze aus einer rohrförmigen metallenen oder aus Metallcarbid bestehenden Hülle hervorragt, h. Elektronenstrahlröhre nach Anspruch 3» dadurch gekennzeichnet, dass die metallene Hülle aus Wolfram besteht.
    5. Elektronenstrahlröhre nach einem der Ansprüche
    1 bis h, dadurch gekennzeichnet, dass die metallene Hülle und/oder Kathodensjjitze init einem Stützdraht aus elektrisch leitendem Material verbunden ist, der mit Zuführungsleitungen versehen ist.
    6. Feldemissionselektronenquelle für eine Elektronenstrahlröhre nach einem der vorhergehenden Ansprüche.
    7098 B 1 /0737 ORIGINAL INSPECTED
    PHN. 8412. 18.1.77.
    7. Elektronenstrahlröhre nach einem der Ansprüche
    1 bis 5 j dadurch gekennzeichnet, dass sie als Elektronenmikroskop ausgebildet ist.
    8. Elektronenstrahlröhre nach einem der Ansprüche
    1 bis 5» dadurch gekennzeichnet, dass sie als Elektronenstrahlbearbeitungsgerät ausgebildet ist.
    9· Elektronenstrahlröhre nach einem der Ansprüche 1 bis 5» dadurch gekennzeichnet, das sie als eine Röntgen— strahlungsquelle ausgebildet ist.
    10. Elektronenstrahlröhre nach einem der Ansprüche
    1 bis 5» dadurch gekennzeichnet, dass sie als ein Röntgen— projektionsmikroskop ausgebildet ist.
    11. Elektronenstrahlröhre nach einem der Ansprüche 1 bis 5» dadurch gekennzeichnet, dass sie mit Mitteln zum Erzeugen eines Bildes versehen ist.
    12. Verfahren zur Herstellung eirer Feldemissionselektronenquelle nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die drahtförmige Kathodenspitze aus einem glasartigen Kohlenstof!'draht gebildet wird, der mit einem Ende in ein leitendes Bad geführt wird, wonach ein Strom durch den Draht und das leitende Bad hindurchgeschickt wird.
    13· Verfahren zur Herstellung einer Feldemissionselektronenquelle nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, dass die drahtförmige Kathodenspitze aus glasartigem Kohlenstoffdraht gebildet wird, der mit einem Ende in geschmolzenes Alkaliperoxid getaucht wird.
    709851/0737
DE19772722497 1976-05-31 1977-05-18 Elektronenstrahlroehre mit feldemissionselektronenquelle, feldemissionselektronenquelle fuer eine derartige elektronenstrahlroehre und verfahren zur herstellung einer derartigen feldemissionselektronenquelle Withdrawn DE2722497A1 (de)

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SE (1) SE7706095L (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP4303906A4 (de) * 2021-03-19 2024-05-22 Denka Company Ltd Emitter und vorrichtung damit

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5578901A (en) * 1994-02-14 1996-11-26 E. I. Du Pont De Nemours And Company Diamond fiber field emitters
JPH08212952A (ja) * 1995-02-06 1996-08-20 Natl Res Inst For Metals レーザー照射型電子銃
EP0861498B1 (de) * 1995-11-15 1999-10-27 E.I. Du Pont De Nemours And Company Feldmitters aus geglühtem kohlenstoffruss und daraus hergestellte feldemissionskathoden

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3631291A (en) * 1969-04-30 1971-12-28 Gen Electric Field emission cathode with metallic boride coating
GB1394055A (en) * 1971-07-09 1975-05-14 Nat Res Dev Electron emitters
NL7501932A (nl) * 1975-02-19 1976-08-23 Philips Nv Veldemissiebron.
DE2628584C3 (de) * 1975-06-27 1981-04-16 Hitachi, Ltd., Tokyo Feldemissionskathode und Verfahren zur Herstellung einer nadelförmigen Kathodenspitze dafür
JPS524162A (en) * 1975-06-27 1977-01-13 Hitachi Ltd Electric field radiation cathode and its manufacturing method

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP4303906A4 (de) * 2021-03-19 2024-05-22 Denka Company Ltd Emitter und vorrichtung damit

Also Published As

Publication number Publication date
JPS52146545A (en) 1977-12-06
NL7605820A (nl) 1977-12-02
ES459255A1 (es) 1978-03-16
SE7706095L (sv) 1977-12-01
FR2353948A1 (fr) 1977-12-30
ES462612A1 (es) 1978-06-16
FR2353948B1 (de) 1981-05-29
IT1078861B (it) 1985-05-08
GB1538660A (en) 1979-01-24
AU2558877A (en) 1978-11-30

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