DE2717744C3 - Abtastender Einweg-Augereleltronenanalysator - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich auf einen abtastenden Einweg-Augerelektronenanaiysator, bei dem Augerelektronen, die von einer bestrahlten Probe emittiert werden, durch einen evakuierbaren zylindrischen Spiegelanalysator laufen mit einem inneren metallischen Zylinder, der neben den einander gegenüberlie-

genden Enden jeweils eine ringförmige öffnung besitzt, mit einem EJektronenstrahlgeneratoi, einem von dem inneren metallischen Zylinder durch isolierende Bauteile beabstandeten und zu ihm koaxialen Zylinder sowie mit einem Augerelektronen-Detektor, der an dem der s Probe gegenüberliegenden Ende des Analysator auf dessen Achse hinter einer sich auf dieser Achse befindlichen Blendenöffnungen, durch welche die fokussierten Augerelektronen hindurchtreten, angeordnet ist

Ein derartiger Analysator ist bereits bekannt (US-PS 37 35 128). Er besitzt eine einzige feste Blendenöffnung, deren Größe so gewählt ist, daß sie eine Auflösung R liefert Die Verwendung einer kleinen Blendenöffnung bedingt eine verhältnismäßig hohe Auflösung R, jedoch ι zu Lasten des Signal/Rauschverhältnisses (S/N). Die maximale abtastbare Räche hängt für einen bestimmten Analysator von seinem Auflösungsvermögen ab. Die Fähigkeit, eng benachbarte Spitzen oder Peaks einer Verteilung dN/dE über der Elektronenenergie zu unterscheiden, hängt jedoch von dem Auflösungsvermögen des Analysators ab. Bei niedriger Elektronenenergie kann man im allgemeinen die meisten interessierenden Peaks auch dann unterscheiden, wenn die Auflösung etwa 1% beträgt Für höhere Elektronenenergien ist eine Auflösung von weniger als 0,5% erforderlich, um eine ausreichende Unterscheidung vornehmen zu können.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, einen abtastenden Einweg-Augerelektronen-Analysa- jo tor der bekannten Art dahingehend auszugestalten, daß unabhängig von unterschiedlichen Meßbedingungen wie unterschiedliche Elektronenenergie und unterschiedlichen Benutzerwünschen ein optimaler Kompromiß zwischen hoher Auflösung und hohem Signal/ J5 Rauschverhältnis erzielt werden kann.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß nahe dem isolierenden Bauteil auf Detektorseite unmittelbar außerhalb der Zylinderanordnung ein sich im wesentlichen senkrecht zur Analysatorachse erstrekkendes Tragteil befestigt ist, das die Blendenöffnung aufweist, deren einem Ende ummittelbar benachbart sich der Fokussierungspunkt für die Augerelektronen befindet, daß eine Ausgangsblendenöffnungs-Vorrichtung für in der Größe veränderbare öffnungen an dem -ts Tragteil befestigt ist, die mit Öffnungen versehene Platten aufweist, welche in einer Ebene senkrecht zur Analysatorachse unmittelbar am Fokussierungspunkt der Augerelektronen liegen und in dieser Ebene relativ zum Tragteil derart bewegbar sind, daß die in ihnen enthaltenen öffnungen zusammen mit der Blendenöffnung im Tragteil in Achsrichtung des zylindrischen Analysators eine unterschiedliche Größe annehmen und daß außerhalb des evakuierbaren zylindrischen Spiegelanalysators eine Steuervorrichtung vorgesehen ist, die v> mittels einer drehbaren Durchführung zum Analysator über einen Verbindungsmechanismus die Relativbewegung der Platten ermöglicht.

Mit der Erfindung ist ein abtastender Einweg-Augerelektronen-Analysator geschaffen, der den unterschied- «) liehen Benutzerwünschen angepaßt werden kann und mit dem jeweils ein bestmöglicher Kompromiß zwischen hoher Auflösung und hohem .Signal/Rauschverhältnis erzielt werden kann.

Soll bei einem derartigen Analysator eine Anzeige (.5 mit Hilfe einer Kathodenstrahlröhre erfolgen, ist es von beträchtlichem Vorteil, em großes Signal/Rauschverhältnis zu haben, so daß das Signal ohne übermäßige Verstärkung und ohne ein Verwischen des Bildes aufgrund von Rauschen angezeigt werden kann. Ist das Signal verhältnismäßig groß, ist die Abtastzeit bedeutend geringer als bei kleinen Signalen, obwohl letztere einen höheren Auflösungsgrad besitzen können. Um jedoch ein besseres Signal/Rauschverhältnis innerhalb der Grenzen zu erhalten, die durch die natürlichen Gegebenheiten der Augeranalyse gesetzt sind, muß ein größerer Signalanteil zugelassen werden. Dadurch erhält man unvermeidbar ein geringeres Auflösungsvermögen. Mit Hilfe der Erfindung ist es möglich, die Auflösung wahlweise zu ändern und somit das Signal/Rauschverhältnis zu wählen, ohne daß das Vakuum belüftet oder sonstige Änderungen an der Apparatur vorgenommen werden müssen.

Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen wiedergegeben.

Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nachfolgend anhand von Zeichnungen näher beschrieben.

F i g. 1 zeigt schematisch einen Einv.^g-Augerelektronen-Anaiysator nach der Erfindung einschließlich zugehöriger Elektronik.

F i g. 2 zeigt einen Schnitt durch einen Einweg-Augerelektronen-Analysator nach der Erfindung.

F i g. *>■% 3b und 3c sind Aufsichten auf eine Ausgangsblendenöffnungsvorrichtung für in der Größe veränderbare öffnungen.

F i g. 4 zeigt einen Schnitt durch die Darstellung nach F i g. 3b entlang der Linie 4-4.

F i g. 5a zeigt die Vorderansicht einer anderen Ausführungsform einer Ausgangsblendenöffnungsvorrichtung.

Fig.5b zeigt die Endansicht der in Fig. 5a gezeigten Vorrichtung.

F i g. 5c zeigt einen Schnitt durch die Darstellung nach F i g. 5a entlang der Linie 5c-5a

F i g. 6a, 6b und 6c sind Darstellungen eines Augerbildes mit Hilfe einer Kathodenstrahl· öhre.

F i g. 7a, 7b und 7c zeigen eine graphische Darstellung der Analysierungsfläche gegenüber der Energieauflösung zu den Bildern nach den F i g. 6a, 6b und 6c.

Fig.8 zeigt ein Diagramm bezüglich dN(E)/i1E für drei Öffnungsgrößen und für eine Aluniiniumprobe.

Fig.8a zeigt einen Ausschnitt des Diagramms nach Fig. 8 bei kleiner Öffnung und für ungefähr 1,4 keV.

In Fig. 1 ist in schematischer Form ein SAM-Instrument (SAM = Abtast-Augermikrosonde für Abtastenden-Augerelektronen-Analysator) gezeigt sowie eine ebenfalls schematische Darstellung der zugehörigen Elektronik, die bei einem derartigen Instrument verwendet wird. Eine Probe 60 ist in unmittelbarer Nähe des offenen Endes des Spiegelanalysators (CMA) 61 apgecvdiiet, das eingebaut einen Elektronenstrahlgenerator 62 besitzt. Der Elektronenstrahlgenerator 62: kann den Elektronenstrahl steuern, um eine Rsiterfläche abzutasten, die von der Probenfläche gebildet wird. Eine Synchronisationsvorrichtung 63 für den Elektronenstrahlgenerator steuert die Abtastung und synchronisiert auch die Anzeige auf einer Kathodenstrahlröhre 64. Ein zweiter Elektronendetektor 65 ist vorgesehen, um zusätzliche Einsatzmöglichkeiten für das Instrument zu bieten. Ein Betriebswahlschalter 6»> dienil zur Auswahl des gewünschten Signals. Derartige !instrumente sind seit einigpr Zeit bekannt.

In Fig. 2 ist im Querschnitt ein zylindrischer Spiegeianalysator 10 von im wesentlichen konventionellem Aufbau mit Ausnahme des unten Aufgeführten dargestellt. Die Gesamtlänge des Analysierabschnitls

des Analysators 10 wurde etwas vergrößert, so daß der Punkt der minimalen Spurbreite der Elektronen, die analysiert werden, in der Achse des Instrumentes liegt anstatt außerhalb, wie es üblicherweise der Fall ist. Der Analysierabschnitt besteht aus einem inneren metallischen Zylinder 11, der neben den gegenüberliegenden Enden ringförmige öffnungen 12 und 13 besitzt. Die öffnungen 12 und 13 sind vorzugsweise mit einem feinen metallischen Sieb abgedeckt, das aus einem nicht magnetischen Material hergestellt ist, ebenso wie der Zylinder 11. Em äußerer metallischer Zylinder 14 ist mit dem inneren Zylinder 11 axial ausgerichtet und von ihm durch isolierende Keramikbauteile 15 und 16 beabstandet. Wie dargestellt, besteht das Bauteil 15 aus einem Kegelstumpf, um so die Anordnung eines äußeren Elektronenstrahlgenerators oder eines anderen Instrumentes neben der Probe zu ermöglichen, wie es im

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zen. Eine mittlere Stellung ist durch einen Arm 30 vorgesehen, der mit einer Feder 31 beaufschlagt ist, die ihn gegen den äußeren Rand der Platte 26 drückt. Der Arm 30 ist um eine Schwenkachse 32 schwenkbar. An dem abgebogenen Abschnitt des Armes ist ein Rastvorsprung 33 vorgesehen, der in eine Ausnehmung 34 am äußeren Umfang der Platte 26 eingreift. Die Platte 26 ist mit drei voneinander beabstandeten Öffnungen 35,36 und 37 versehen. Diese öffnungen sind

ίο derart angeordnet, daß sie in axialer Ausrichtung mit der abgeschrägten Blendenöffnung 38 von der Stellung der Abdeckplatte 26 gebracht werden können. Während die spezielle Anordnung der öffnungen in der Platte 26 beliebiger Art sein kann, zeigen die F i g. 3a und 3b, daß

i^r) der kleinste Durchmesser der öffnung 36 kleiner ist als der der Öffnung 38. Die öffnungen 35 und 37 sind jeweils kleiner als die öffnung 36 und von untereinander

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15 und 16 sind vorzugsweise Feldbegrenzungsplatten. Eine μ-Metallumhüllung 17 umgibt den gesamten Analysator, um eine zusätzliche Abschirmung gegen Streumagnetfelder zu liefern, die in nachteiliger Weise die Analyse beeinträchtigen.

In dem inneren Zylinder U in Abstand zwischen den öffnungen 12 und 13 ist ein Elektronenstrahlgenerator 18 angeordnet. Durch eine Fokussierung des Generators 18 können ebenfalls größere Fleckgrößen erzeugt werden. Der in dem Elektronenstrahlgenerator 18 erwünschte Strom für Analysezwecke ist groß genug, daß eine LaB₆ Kathode wünschenswert ist, um eine lange Lebensdauer zu gewährleisten. Der Aufbau des abtastenden Elektronenstrahlgenerators gehört ebenfalls zum Stande der Technik. Da der Elektronenstrahlgenerator für sich keinen Teil der Erfindung darstellt und in Einzelheiten in der Literatur behandelt wird, wird er hier nicht weiter beschrieben.

In der äußeren Umhüllung 17 ist ebenfalls ein Detektor für die analysierten Elektronen vorgesehen, der üblicherweise ein Elektronenmultiplier 19 ist. Ein relativ schweres plattenförmiges Tragteil 20 besitzt eine öffnnna in Hpr Mittp für Hip 711 annlvsiprpnrlpn

Elektronen. Der gesamte beschriebene CMA ist auf einem großen Flansch 21 befestigt, der ein Teil der Wand einer Hochvakuumkammer ist.

In den F i g. 3a, b und c und in F i g. 4 sind verschiedene Ansichten einer Ausgangsblendenöffnungsvorrichtung dargestellt, in der drei Öffnungsgrößen vorgesehen sind, die nach dem Wunsch des Benutzers ausgewählt werden können. Die gleichen Teile besitzen in de.:i verschiedenen Figuren gleiche Bezugszeichen.

Das Tragteil 20 ist mit einem Rezeß 22 und einer Blendenöffnung 38 versehen, wie es am besten der Fig.4 entnommen werden kann. Um eine deutliche Darstellung zu ermöglichen, ist das Tragteil 20 nicht mit den notwendigen Öffnungen für die Stromzuführung zum Elektronenstrahlgenerator und auch nicht mit den verschiedenen Befestigungsschrauben dargestellt, die notwendig sind, um sie anzubringen.

Das Tragteil 20 ist mit einer Schwenkvorrichtung 23 versehen mit einer in einem Lager 25 drehbaren Welle 24. An der Welle 24 ist mit einer Befestigungsschraube 27 eine Platte 26 befestigt. Die gestrichelten Linien 54 stellen den ICegei der einfallenden Elektronen dar, däe zur Blendenöffnung 38 hin konvergieren. Die Platte 216 kann drei getrennte Stellungen einnehmen. Die beiden äußeren Stellungen sind durch die Anschläge 28 und 29 gebildet die die Drehbewegung der Platte 26 begren-

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der unten beschrieben wird. Wenn die kleineren öffnungen in Ausrichtung zu der Blendenöffnung 38 sind, bildet die kleinere öffnung die Ausgangsblendenöffnung. Die drei Öffnungen 35 bis 37 der Platte 26 besitzen vorzugsweise folgende Durchmesser: 3,048 mm, 1,32 mm und 0,635 mm. Die Blendenöffnung hat einen Durchmesser von 2,54 mm.

Während die Platte 26 so dargestellt ist, daß sie an der inneren W.ud des Tragteils 20 in Richtung auf die zu analysierenden Elektronen angeordnet ist kann sie auch auf der gegenüberliegenden Seite liegen. Durch eine

Jn Anordnung an der inneren Wand anstehen weniger Probleme bezüglich der Anordnung ties Elektronenmultir.· iers 19 an der Außenseite des Tragteils 20.

In F i g. 2 ist zu sehen, daß eine drehbare Durchführung 39 durch die Platte 21 vorgesehen ist, um eine mechanische Bewegung der Platte 26 zu ermöglichen. Im Inneren der Vakuumkammer ist die drehbare Durchführung mit Hilfe einer Zahnradkupplung 40 zum Antrieb einer Welle 41 angeschlossen, die ihrerseits in Eingriff mit der Platte 26 über die Welle 24 steht. Das Ende 42 der Welle 24 kann mit der Antriebswelle 41

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außerhalb der Vakuumkammer drehen, um sie in eine der drei gewünschten Positionen zu bringen. Natürlich wird die Platte 21 auch mit geeigneten Durchführungen 55 für elektrische Anschlüsse oder ähnliches versehen.

In den Fig. 5a, b und c ist eine alternative Ausgangsblendenvorrichtung dargestellt die im übrigen wie die vorher beschriebene im Analysator angeordnet ist

W Das Tragteil 20 ist mit einer im Vergleich zu aer Darstellung in den Fig.3 und 4 etwas größeren Blendenöffnung 22* versehen. Der Grund dafür ist daß die öffnung 22' nicht die Ausgangsöffnung bildet wie es der Fall in einer der drei Möglichkeiten in der Ausführung nach Fig.3 und 4 ist Sie ist vollständig durch zwei bewegbare Platten 43 und 44 begrenzt Die Plattenteile 43 und 44 sind in gleitendem Eingriff miteinander befestigt und gegenüber dem Tragteil 20 mit Hilfe winkliger Klammern 45 und 46 gehalten. Auf dem Tragteil 20 sind zwei Zahnräder 47 und 48 drehbar befestigt die so miteinander verzahnt sind, daß sie gegenläufig rotieren.

Das Zahnrad 47 ist in Eingriff mit einer Zahnstange 49 an der Platte 43, während das Zahnrad 48 in Eingriff mit einer Zahnstange 50 an der Platte 44 ist Es ist eine öffnung 51 am Zahnrad 47 vorgesehen, die in Eingriff mit der Welle 41 der drehbaren Durchführung (F i g. 2) steht Daraus folgt daß bei Drehung des Zahnrades 47 in

eine Richtung das Zahnrad 48 in die entgegengesetzte Richtung zum Zahnrad 47 rotiert, und jedes der Zahnräder 47 und 48 die jeweilige Platte 43 und 44 bewegt.

Sowohl die Platte 43 als auch die Platte 44 besitzen rechtwinklig geformte Öffnungen 52 und 53, die in der dargeaellten Ausrichtung angeordnet sind. Die Öffnung 52 ist mit schrägen Wänden in Richtung des Inneren des Analysators versehen, während die Platte 43 die öffnung 53 aufweist mit schrägen Wänden in Richtung to der Ausgangsseite des Analysators. Die Ausrichtung der beiden öffnungen 52, 53 ist derart, daß bei einer Relativbewegung der Platten 43 und 44 zueinander eine rechtwinklig geformte öffnung von veränderbarer Größe über einen im wesentlichen kontinuierlichen Bereich entsteht, wobei die Feinunterteilung lediglich durch die Feinheit der Zähne an den Zahnrädern 47 und 45 und den Zahnstangen 49 tii'iu 50 beschränkt isi. Wie zu sehen ist, ist das Zentrum der Ausgangsöffnung in der Achse 51 des Analysators angeordnet und bleibt konzentrisch mit ihr unabhängig von der Größe der öffnung.

Es dürfte natürlich einleuchten, daß die Platte 26 in Fig.3 zwei oder mehr öffnungen besitzen kann. Gleichermaßen kann anstatt einer schwenkbaren Platte diese linear verschoben werden.

Wie oben diskutiert wurde, liegt der Punkt minimaler Spurbreite für die zu analysierenden Elektronen in der Achse des Analysators, und diese Achse und der miniiuale Spurbreitenpunkt entsprechend der Ausgangsöffnung sowohl der in den F i g. 3 und 4 gezeigten Ausführungsform als auch der in Fig.5 gezeigten Ausführungsform. Dadurch wird das empfangene Signal maximiert.

Einige der erzielten Vorteile werden im folgenden dargestellt. In den Fig.6a, b und c ist die Darstellung einer Analysierfläche für verschiedene Auflösungen dargestellt. Die erste Figur F i g. 6a zeigt das Augerbild für ein 70OeV Eisenspektrum bei einer Auflösung R = 03%. Der Maßstab des Bildes ist wie angegeben.

Ein vergleichbares Bild, das bei einer Auflösung R = 0,6% erreicht wird, wird darunter in Fig. 6b gezeigt, und das dritte Bild wurde bei einer Auflösung R = 1,2% gewonnen. Die Figuren sind von Fotos eines Kathodenstrahlrohrbildes gewonnen, jedoch zu Darstellungszwecken vereinfacht worden. Wie man erkennen kann, ist die Fläche des Bildes beträchtlich größer für einen zunehmenden Auflösungsprozentsatz. Man kann jedoch erkennen, daß im wesentlichen die gleichen Merkmale (dunkle Flecken) für jede der gemeinsamen Analyseflächen dargestellt sind. Somit dürfte deutlich werden, daß bei einer höheren prozentualen Auflösung Bilder erhalten werden, die bedeutend größere Flächen zeigen, so daß man interessierende Punkte, die eine genauere Analyse erfordern, lokalisieren kann.

F i g. 7 ist die graphische Darstellung der Analysierfläche für verschiedene Energieauflösungen für die Probe in F i t. 6 Wie Γη«" crks""cn Η^γϊγϊ ist bei sintr Auflösung von 0.3% die Halbwertsbreite der Signalintensität etwa 0,8 mm, während sie bei einer Auflösung von 1,2% 1,7 mm beträgt und das Signal über eine größere Strecke verhältnismäßig konstant ist.

In F i g. 8 ist ein Diagramm von tZ/V/c/Edargestellt, um die Energieauflösung und die chemischen Effekte darzustellen. Kurven sind angegeben für die Auflösung bei verschiedenen Öffnungsgrößen (die Auflösung für die unterste Kurve mit großer öffnung betrug 1,2%, für die kleinste öffnung 0,3%). Bei der Kurve mit großer Öffnung kann man, obwohl man ein gutes Signal/ Rauschverhalten erzielt hat, nicht zwischen den Peaks von Al und AI2O3 unterscheiden. In Fig.8a ist ein Abschnitt der Kurve für R = 0,3% gezeigt, der wie dargestellt verstärkt ist. Daraus kann man sehen, daß bei dieser feinen Auflösung leicht zwischen Aluminium und Aluminiumoxid unterschieden werden kann. Für die größeren Öffnungsdurchmesser und die entsprechende Auflösung mit !höheren Prozentzahlen ist es nicht möglich, einen solchen Unterschied zwischen Aluminium und Aluminiumoxid zu erhalten.

Hierzu 5 Blatt Zeichnungen

Claims (13)

Patentansprüche;

1. Abtastender Einweg-Augerelektronen-Analysator, bei dem Augerelektronen, die von einer bestrahlten Probe emittiert werden, durch einen evakuierbaren zylindrischen Spiegelanalysator laufen mit einem inneren metallischen Zylinder, der neben den einander gegenüberliegenden Enden jeweils eine ringförmige öffnung besitzt, mit einem Elektronenstrahlgenerator, einem von dem inneren metallischen Zylinder durch isolierende Bauteile beabstandeten und zu ihm koaxialen äußeren metallischen Zylinder sowie mit einem Augereiektronen-Detektor, der an dem der Probe gegenüberliegenden Ende des Analysators auf dessen Achse hinter einer sich auf dieser Achse befindlichen Blendenöffnung, durch weiche die fokussierten Augerelektronen hindurchtreten, angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, daß nahe dem isolierenden Bauteil (16) auf Detektorseite unmittelbar außerhalb der Zylinderanordnung (10, U, 14) ein sich im wesentlichen senkrecht zur Analysatorachse erstreckendes Tragteil (20) befestigt ist, das die Blendenöffnung (38,22') aufweist, deren einem Ende unmittelbar benachbart sich der Fokussierungspunkt für die Augerelektronen befindet, daß eine Ausgangsblendenöffnungsvorrichtung für in der Größe veränderbare Öffnungen an dem Tragteil (20) befestigt ist, die mit öffnungen (35, 36, 37; 52, 53) versehene Platten (26; 43, 44) aufweist, welche in einer Ebene senkrecht zur Analysatorachse unmittelbar am Fokussierang.,punkt dr Augerelektronen liegen und in dieser Eben:: relativ zum Tragteil (20) derart bewegbar sind, daß die ir ihnen enthaltenen öffnungen (35, 36, 37; 52, 53) zusammen mit der Blendenöffnung (38, 22') im Tragteil (20) in Achsrichtung des zylindrischen Analysators eine unterschiedliche Größe annehmen und daß außerhalb des evakuierbaren zylindrischen Spiegelanalysators (10) eine Steuervorrichtung vorgesehen ist, die mittels einer drehbaren Durchführung (39) zum Analysator (10) über einen Verbindungsmecha.nismus (40, 41; 47 bis 51) die Relativbewegung der Platten (26; 43,44) ermöglicht.

2. Analysator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Ausgangsblendenöffnungsvorrichtung eine einzige Platte (26) aufweist, in der eine Vielzahl von beabstandeten Öffnungen (35, 36, 37) unterschiedlicher Größe angebracht sind, und daß Arretierungen (33, 28, 29) am Tragteil (20) in einer solchen Stellung befestigt sind, daß sie mit den Arretierungen (33, 28, 29) angepaßten Randabschnitten (34) der Platte (26) derart in Eingriff kommen, daß die öffnungen (35,36,37) in der Platte (26) wahlweise mit der Blendenöffnung (38) im Tragteil (20) in Ausrichtung gebracht werden.

3. Analysator nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Arretierungen auf dem Tragteil (20) in den beiden Stellungen, die den gegenüberliegenden Enden des Schwenkweges für die Platte (26) entsprechen, aus Anschlägen (28,29) bestehen.

4. Analysator nach einem der Ansprüche I bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß eine der Öffnungen (35, 36, 37) in der Platte (26) größer als die Blendenöffnung (38) im Tragteil (20) ist.

5. Analysator nach einem der Ansprüche I bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß zumindest eine der öffnungen (35, 36, 37) in der Platte (26) kleiner als

die Blendenöffnung (38) im Tragteil (20) ist.

6. Analysator nach einem der Ansprüche 2 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Platte (26) auf der nach innen weisenden Seite des Tragteils (20) befestigt ist und die Öffnungen (35, 36, 37) in der Platte (26) eine kegelstumpfförmige Wandung haben, wobei die größere Öffnungsseite in Richtung zum Analysator (10) weist

7. Analysator nach einem der Ansprüche 2 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Arretierung einen schwenkbar an dem Tragteil (20) befestigten Arm besitzt, ein Teil des Armes (30) nachgiebig beaufschlagt ist und in Eingriff mit mindestens einer Ausnehmung (34) des Randabschnitts der Platte (26) bringbar ist

8. Analysator nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Öffnungen (38; 35, 36, 37) im Tragteil (20) und in der Platte (26) die Form von Kegelstümpfen besitzen, wobei der engere Abschnitt der öffnungen (35, 36, 37) in der Platte (26) in Richtung der Blendenöffnung (38) des Tragteils (20) weist

9. Analysator nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß die Ausgangsblendenöffnungsvorrichtung eine erste und eine zweite bewegbare, jeweils mit einer einzigen Öffnung (52,53) versehene Platte (43, 44) aufweist, die sich zumindest teilweise gegenseitig überlappen und die durch die Steuervorrichtung so relativ zueinander bewegbar sind, daß die aus den Öffnungen (52,53) der beiden Platten (43, 44) und der Blendenöffnung (22') im Tragteil (20) gebildete Blendenöffnung eine unterschiedliche Größe annimmt.

10. Analysator nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Seiten der öffnungen (52, 53) zueinander rechte Winkel bilden.

11. Analysator nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Plane (43) in Richtung des Inneren des zylindrischen Spiegelanalysators (10) eine öffnung (53) mit abgeschrägtem Rand in Richtung des Inneren des zylindrischen Spiegelanalysators (10) besitzt und die Platte (44) eine Öffnung (52) mit abgeschrägtem Rand in Richtung der äußeren Seite des Spiegelanalysators (10) besitzt.

IZ Analysator nach einem der Ansprüche 9 bis II, dadurch gekennzeichnet, daß die parallelen Ränder der ersten und der zweiten Platte (43, 44) eine erste und eine zweite Zahnstange (49, 50) bilden und die Steuervorrichtung ein erstes und ein zweites Zahnrad (47, 48) besitzt, das auf dem Tragteil (20) befestigt ist und mit der ersten bzw. zweiten Zahnstange (49, 50) in Eingriff steht, wobei die beiden Zahnräder (47,48) so miteinander verbunden sind, daß sie sich in entgegengesetzter Richtung zueinander drehen.

13. Analysator nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die beiden Zahnräder (47, 48) in Eingriff miteinander stehen.