DE2647254C2 - Anordnung zum Bestrahlen eines Targets mit einem Strahl geladener Teilchen und Verwendung - Google Patents

Anordnung zum Bestrahlen eines Targets mit einem Strahl geladener Teilchen und Verwendung

Info

Publication number
DE2647254C2
DE2647254C2 DE2647254A DE2647254A DE2647254C2 DE 2647254 C2 DE2647254 C2 DE 2647254C2 DE 2647254 A DE2647254 A DE 2647254A DE 2647254 A DE2647254 A DE 2647254A DE 2647254 C2 DE2647254 C2 DE 2647254C2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
potential
target
cuff
diameter
arrangement
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
DE2647254A
Other languages
German (de)
English (en)
Other versions
DE2647254A1 (de
Inventor
Wen-Chuang Wappinger Falls N.Y. Ko
Erich San Jose Calif. Sawatzky
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
International Business Machines Corp
Original Assignee
International Business Machines Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by International Business Machines Corp filed Critical International Business Machines Corp
Publication of DE2647254A1 publication Critical patent/DE2647254A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE2647254C2 publication Critical patent/DE2647254C2/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/30—Electron-beam or ion-beam tubes for localised treatment of objects
    • H01J37/3002—Details
    • H01J37/3007—Electron or ion-optical systems
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
    • H01J37/10—Lenses
    • H01J37/12—Lenses electrostatic

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Electron Beam Exposure (AREA)
  • Electron Sources, Ion Sources (AREA)
DE2647254A 1975-12-15 1976-10-20 Anordnung zum Bestrahlen eines Targets mit einem Strahl geladener Teilchen und Verwendung Expired DE2647254C2 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US05/641,054 US4013891A (en) 1975-12-15 1975-12-15 Method for varying the diameter of a beam of charged particles

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE2647254A1 DE2647254A1 (de) 1977-06-16
DE2647254C2 true DE2647254C2 (de) 1984-05-10

Family

ID=24570764

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE2647254A Expired DE2647254C2 (de) 1975-12-15 1976-10-20 Anordnung zum Bestrahlen eines Targets mit einem Strahl geladener Teilchen und Verwendung

Country Status (6)

Country Link
US (1) US4013891A (cg-RX-API-DMAC7.html)
JP (1) JPS588548B2 (cg-RX-API-DMAC7.html)
CA (1) CA1061416A (cg-RX-API-DMAC7.html)
DE (1) DE2647254C2 (cg-RX-API-DMAC7.html)
FR (1) FR2335919A1 (cg-RX-API-DMAC7.html)
GB (1) GB1519726A (cg-RX-API-DMAC7.html)

Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2383702A1 (fr) * 1977-03-18 1978-10-13 Anvar Perfectionnements aux procedes et dispositifs de dopage de materiaux semi-conducteurs
FR2389998B1 (cg-RX-API-DMAC7.html) * 1977-05-05 1981-11-20 Ibm
US4118630A (en) * 1977-05-05 1978-10-03 International Business Machines Corporation Ion implantation apparatus with a cooled structure controlling the surface potential of a target surface
US4199689A (en) * 1977-12-21 1980-04-22 Tokyo Shibaura Denki Kabushiki Kaisha Electron beam exposing method and electron beam apparatus
FR2412939A1 (fr) * 1977-12-23 1979-07-20 Anvar Implanteur d'ions a fort courant
US4263514A (en) * 1979-09-13 1981-04-21 Hughes Aircraft Company Electron beam system
JPS58164134A (ja) * 1982-03-24 1983-09-29 Hitachi Ltd 半導体装置の製造方法
JPS60243960A (ja) * 1984-05-18 1985-12-03 Hitachi Ltd イオンマイクロビ−ム装置
DE3430984A1 (de) * 1984-08-23 1986-03-06 Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln Verfahren und vorrichtung zur registrierung von teilchen oder quanten mit hilfe eines detektors
US4717829A (en) * 1985-03-14 1988-01-05 Varian Associates, Inc. Platen and beam setup flag assembly for ion implanter
JPS62115715A (ja) * 1985-07-22 1987-05-27 Toshiba Mach Co Ltd 電子ビ−ム露光装置
JPH0766775B2 (ja) * 1985-12-04 1995-07-19 日新電機株式会社 イオン注入装置
US4757208A (en) * 1986-03-07 1988-07-12 Hughes Aircraft Company Masked ion beam lithography system and method
JPH0744027B2 (ja) * 1986-04-28 1995-05-15 日新電機株式会社 イオン処理装置
DE3734442A1 (de) * 1987-10-12 1989-04-27 Kernforschungsanlage Juelich Verfahren und vorrichtung zur bestrahlung grosser flaechen mit ionen
US7045799B1 (en) * 2004-11-19 2006-05-16 Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. Weakening focusing effect of acceleration-deceleration column of ion implanter
JP6132907B2 (ja) * 2013-05-14 2017-05-24 株式会社日立製作所 試料ホルダ及びそれを備えた集束イオンビーム加工装置
CN104091746A (zh) * 2014-06-30 2014-10-08 京东方科技集团股份有限公司 一种离子注入设备用电极和离子注入设备
JP2022147563A (ja) * 2021-03-23 2022-10-06 本田技研工業株式会社 塗装方法および塗膜硬化装置

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3434894A (en) * 1965-10-06 1969-03-25 Ion Physics Corp Fabricating solid state devices by ion implantation
US3483427A (en) * 1967-11-03 1969-12-09 Minnesota Mining & Mfg Lens for electron beam recorder
US3619608A (en) * 1969-08-04 1971-11-09 Stanford Research Inst Multiple imaging charged particle beam exposure system
US3689782A (en) * 1971-07-01 1972-09-05 Thomson Csf Electronic transducer for a piezoelectric line
US3756862A (en) * 1971-12-21 1973-09-04 Ibm Proton enhanced diffusion methods

Also Published As

Publication number Publication date
GB1519726A (en) 1978-08-02
JPS5274198A (en) 1977-06-21
JPS588548B2 (ja) 1983-02-16
CA1061416A (en) 1979-08-28
FR2335919A1 (fr) 1977-07-15
DE2647254A1 (de) 1977-06-16
US4013891A (en) 1977-03-22
FR2335919B1 (cg-RX-API-DMAC7.html) 1978-06-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2647254C2 (de) Anordnung zum Bestrahlen eines Targets mit einem Strahl geladener Teilchen und Verwendung
DE102018007652B4 (de) Teilchenstrahl-System sowie Verfahren zur Stromregulierung von Einzel-Teilchenstrahlen
DE102019004124B4 (de) Teilchenstrahl-System zur azimutalen Ablenkung von Einzel-Teilchenstrahlen sowie seine Verwendung und Verfahren zur Azimut-Korrektur bei einem Teilchenstrahl-System
EP0461442B1 (de) Teilchenstrahlgerät
EP0333018B1 (de) Objektivlinse zur Fokussierung geladener Teilchen
DE3219573C2 (de) Elektronenstrahlunterbrecher
DE3590146C2 (cg-RX-API-DMAC7.html)
EP0180723B1 (de) Korpuskularstrahlgerät
EP0075712B1 (de) Elektronenoptisches System zur Erzeugung eines Elektronen-Formstrahl mit variablem Strahlquerschnitt, insbesondere zur Erzeugung von Mikrostrukturen
CH364046A (de) Elektronenlinsenanordnung in einem Elektronenstrahlgerät
DE112007003418T5 (de) Elektronenkanone und Elektronenstrahlbelichtungsgerät
DE69916241T2 (de) Ionenimplantierungsvorrichtung gestaltet zur ausfilterung von neutralen ionen aus dem ionenstrahl und methode
DE2620262A1 (de) Rechner-gesteuertes elektronenstrahllithographie-verfahren
DE3307138A1 (de) Belichtungssystem mit einem strahl geladener teilchen
DE60105199T2 (de) Sem mit einem sekundärelektronendetektor mit einer zentralelektrode
EP1389794B1 (de) Strahlführungssystem, Abbildungsverfahren und Elektronenmikroskopiesystem
DE69920182T2 (de) Korpuskularstrahloptisches gerät mit auger-elektronendetektion
DE3933317A1 (de) Saeule zur erzeugung eines fokussierten ionenstrahls
DE112014004151T5 (de) Verfahren zur Korrektur der Neigung eines Strahls geladener Teilchen und mit einem Strahl geladener Teilchen arbeitende Vorrichtung
DE102020123567A1 (de) Vielzahl-Teilchenstrahl-System mit Kontrast-Korrektur-Linsen-System
DE60033767T2 (de) Korpuskularoptisches gerät mit einer teilchenquelle umschaltbar zwischen hoher helligkeit und grossem strahlstrom
DE69202782T2 (de) Feldemissions-Elektronenkanone geringer Aberration.
DE102021122388A1 (de) Teilchenstrahlsäule
EP0739531B1 (de) Teilchenoptisches abbildungssystem
DE102006018633A1 (de) Flächenemitter

Legal Events

Date Code Title Description
OD Request for examination
8125 Change of the main classification

Ipc: H01J 37/317

D2 Grant after examination
8364 No opposition during term of opposition
8339 Ceased/non-payment of the annual fee