DE2645792C2 - Verfahren zur Gewinnung von Hexamethyldisilazan - Google Patents

Verfahren zur Gewinnung von Hexamethyldisilazan

Info

Publication number
DE2645792C2
DE2645792C2 DE19762645792 DE2645792A DE2645792C2 DE 2645792 C2 DE2645792 C2 DE 2645792C2 DE 19762645792 DE19762645792 DE 19762645792 DE 2645792 A DE2645792 A DE 2645792A DE 2645792 C2 DE2645792 C2 DE 2645792C2
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
hexamethyldisilazane
ammonium chloride
ammonia
distillation
mbar
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired
Application number
DE19762645792
Other languages
English (en)
Other versions
DE2645792A1 (de
Inventor
Paul 4200 Oberhausen Bordin
Götz Dr. 4300 Essen Koerner
Hans-Jürgen 4650 Gelsenkirchen Patzke
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Evonik Operations GmbH
Original Assignee
TH Goldschmidt AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by TH Goldschmidt AG filed Critical TH Goldschmidt AG
Priority to FR7635495A priority Critical patent/FR2334687A1/fr
Priority to IT5250676A priority patent/IT1069982B/it
Priority to NL7613725A priority patent/NL162655C/xx
Priority to GB5176976A priority patent/GB1516900A/en
Priority to ES456309A priority patent/ES456309A1/es
Publication of DE2645792A1 publication Critical patent/DE2645792A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE2645792C2 publication Critical patent/DE2645792C2/de
Expired legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C07ORGANIC CHEMISTRY
    • C07FACYCLIC, CARBOCYCLIC OR HETEROCYCLIC COMPOUNDS CONTAINING ELEMENTS OTHER THAN CARBON, HYDROGEN, HALOGEN, OXYGEN, NITROGEN, SULFUR, SELENIUM OR TELLURIUM
    • C07F7/00Compounds containing elements of Groups 4 or 14 of the Periodic Table
    • C07F7/02Silicon compounds
    • C07F7/08Compounds having one or more C—Si linkages
    • C07F7/10Compounds having one or more C—Si linkages containing nitrogen having a Si-N linkage

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Gewinnung In dem Buch »Chemie und Technologie eier Silicone«
von Hexamethyldisilazan aus durch Umsetzung von von W. Noil, Verlag Chemie, 1960, wird auf Seite 229
Trimethyichlorsilan mit gasförmigem Ammoniak unter ausgeführt, daß man durch Umsetzung von Trime-
Verwendung von Hexamethyldisilazan als Lösungsmit- 15 thylchlorsilan mit Ammoniak sofort Hexamethyldisila-
tel erhaltenen Reaktionsgemischen durch Abtrennung zan nach folgender Gleichung erhält:
von gebildetem Ammoniumchlorid.
2(CHj)3SiCl
3NH3
(CHj)3Si-NH-Si(CH3)j + 2NH4Cl
Diese zunächst sehr einfach erscheinende Reaktion bereitet bei der technischen Durchführung jedoch Schwierigkeiten, die insbesondere durch Abtrennung des gebildeten Ammoniumchlorids verursacht werden.
In der DE-PS 9 38 845 ist ein Verfahren zur Herstellung von Organosilazanen beschrieben, welches dadurch gekennzeichnet ist, daß man eine mittels eines inerten Lösungsmittels hergestellte Lösung eines Organochlorsilans der Formel RnSiCU-;,, worin R ein Alkyl-, Alkenyl- oder monocyclischer Arylrest ist und π einen durchschnittlichen Wert von 2 bis 3 hat, mit flüssigem Ammoniak bei Überdruck in solcher Menge umsetzt, daß mindestens 4 Mol Ammoniak auf 1 Mol Organochlorsilan kommen. Vorzugsweise soll die Lösung des Organochlorsilans und das flüssige Ammoniak zusammen in das Reaktionsgefäß eingegeben werden. Das patentbegründende Merkmal dieser Erfindung soll insbesondere in der Anwendung von flüssigem Ammoniak bei Überdruck bestehen. In der Schilderung des Standes der Technik wird beschrieben, daß bisher entweder eine Lösung eines Organochlorsilans in einem inerten Lösungsmittel, wie Benzol oder Hexan, mit gasförmigem Ammoniak oder Organochlorsilane mit flüssigem Ammoniak bei Normaldruck umgesetzt wurden. In beiden fällen habe die Ausbeute an Silazanen 65% oder weniger der Theorie betragen. Bei diesem Verfahren habe sich zudem ein erheblicher Niederschlag an Ammoniumchlorid gebildet, der die Abtrennung der Silazane erschwert hätte. Entsprechend der DE-PS 9 38 845 wird als bester Verfahrensweg der beschrieben, daß man eine Lösung des Organochlorsilans in einem inerten Lösungsmittel gleichzeitig mit dem flüssigen Ammoniak in die Reaktionszone einführt. In den Beispielen werden als Lösungsmittel Hexan und Benzol genannt. Entsprechend der Beschreibung sollen auch Äther, wie z. B. Diäthyläther, geeignet sein. Zur Aufarbeitung des Reaktionsgemisches und Gewinnung des Silazans ist eine fraktionierte Destillation notwendig.
Auch bei dem in der US-PS 39 27 057 gezeigten Verfahren ist eine solche Fraktionierung notwendig. Das gleiche gilt für das Verfahren, welches in der US-PS 34 81 964 vorgeschlagen wird.
In der DE-OS 24 09 674 ist ein Verfahren zur Herstellung eines Silazans durch Umsetzen eines Mono- oder Dihalogensilans der Formel R3S1X bzw. R2S1X2, worin R eine niedere Alkyl-, niedere Alkoxy-, V^nyl- oder Phenylgruppe bedeutet und X ein Chlor-, Bromoder Jodatom ist mit Ammoniak, beschrieben, welches dadurch gekennzeichnet ist, daß man die Umsetzung mit zumindest etwa 50ü/o der stöchiometrisch für die umzusetzenden Si-Hal-Bindungen erforderlichen Ammoniakmenge in Gegenwart eines Alkylenamins, welches mit dem als Nebenprodukt gebildeten Halogenwasserstoff ein Salz zu bilden vermag, durchführt, wobei die molare Menge an Alkylendiamin etwa 90 bis 110% der stöchiometrisch den umzusetzenden Si-Hal-Bindungen entsprechenden Menge beträgt. Bei diesem Verfahren wird vorzugsweise Äthylendiamin als Neutralisationsmittel verwendet. Ein Vorteil dieses Verfahrens besteht darin, daß das aus äquivalenten Mengen HCl und Äthylendiamin gebildete Salz flüssig anfällt und als spezifisch leichtere Phase von dem gebildeten Hexamethyldisilazan abgezogen werden kann. Nachteilig ist jedoch, daß das Verfahren durch die Verwendung des Alkylendiamins verteuert wird. Zur Neutralisation von 1 Mol HCl benötigt man 17 g N H3, jedoch 56 g Äthylendiamin. Will man das Äthylendiaminsalz nicht verwerfen, was im Hinblick auf Umwelt-(Deponie)Probleme nicht ohne weiteres möglich ist, muß man das Äthylendiaminsalz durch Lauge wieder aufspalten und in einem zusätzlichen Verfahrensschritt wiedergewinnen. Ein weiterer Nachteil besteht in der Verwendung eines fremden Neutralisationsmittels, d. h. eines anderen Neutralisationsmittels als zur Bildung des Disilazans benötigt wird. Bei Verwendung des Äthylendiamins bilden sich immer gewisse Mengen von N,N'-Bis(trimethylsilyl)-äthylendiamin. Diese Verbindung wirkt selbst als Silylierungsmittel, ähnlich dem Hexamethyldisilazan. Verwendet man aber das Hexamethyldisilazan als Silylierungsmittel, etwa bei der Penicillinherstellung, kann ein derartiger Gehalt an Verunreinigungen nicht toleriert werden.
Aus der DE-OS 24 26 109 ist ein Verfahren zur Herstellung von Organosilylaminen bekannt, welches dadurch gekennzeichnet ist, daß man Triorganohalosilane der allgemeinen Formel R1R2R3SiX, worin R1, R2 und R3 gleiche oder verschiedene Kohlenwasserstoffgruppen mit 1 bis 18 Kohlenstoffatomen sind und X ein Halogenatom ist mit einer Stickstoff enthaltenden Verbindung aus der Gruppe Ammoniak und Amine der allgemeinen Formel R4R5NH, worin R4 und Rs aus der Gruppe Wasserstoffe torn und einwertige Kohlenwasserstoffgruppen ausgewählt sind, in einem organischen
Lösungsmittel zur Reaktion bringt, die Reaktionsmischung mit einer wäßrigen Alkalilösung, die ein Alkalihydroxid in einer Menge enthält, die im Oberschuß steht zu der äquivalenten Menge der Halogensalze, die in der Reaktionsmischung vorhanden sind, in Kontakt bringt, die Halogensalze in der wäßrigen Alkalilösung auflöst und die Reaktionsmischung von der wäßrigen Alkalilösung trennL In dieser DE-OS wird u.a. darauf hingewiesen, daß man mit Vorteil arteigenes Lösungsmittel verwenden kann, d. h„ daß man bei der Herstellung von Hexamethyldisilazan als Lösungsmittel Hexamethyldisilazan, welches zu Beginn der Reaktion zugesetzt wird, verwenden kann. Man vermeidet auf diese Art fremde, das Produkt verunreinigende Lösungsmittel.
Die der Erfindung zugrundeliegende Aufgabe besteht darin, ausgehend von diesem Stand der Technik ein Verfahren zu finden, mittels dem man das gebildete Hexamethyldisilasan vom als Nebenprodukt gebildeten Ammoniumchlorid abtrennen kann. Um eine mögliche Hydrolyse des Hexamethyldisilazans zu vermeiden, soll dabei das Ammoniumchlorid nicht mit Wasser oder wäßrigen Alkalihydroxidlösungen ausgewaschen werden.
Erfindungsgemäß gelingt dies dadurch, daß man das Hexamethyldisilazan vom Ammoniumchlorid durch Destillation bei einer Sumpf temperatur unter 75° C und verringertem Druck abtrennt.
Beim erfindungsgemäßen Verfahren liegt die Sumpftemperatur unter 75° C, da sonst größere Mengen Ammoniumchlorid sublimieren und die Leitungswege verstopfen könnten. Es ist deshalb angebracht, die Destillation bei Unterdruck durchzuführen, z. B. bei ca. 40-133mbar, wobei am Ende der Destillation möglichst der niedrigere Druck angewendet werden sollte. Der Siedepunkt des Hexamethyldisilazans bei Normaldruck liegt bei 126° C. Bei der diesem Siedepunkt entsprechenden Sumpftemperatur tritt eine sehr starke Sublimation des Ammoniumchlorids auf, durch welche ein vernünftiges Abdestillieren des Hexamethyldisilazans sehr rasch unmöglich gemacht wird. Es war überraschend, daß sich durch die relativ geringe Verringerung der Sumpftemperatur auf S 750C die Sublimation des Ammoniumchlorides so weitgehend unterdrücken läßt, daß eine einwandfreie Destillation ermöglicht wird.
Überraschenderweise ist bei den beanspruchten Verfahrensbedingiingen eine Sublimation des Ammoniumchlorids nicht zu beobachten. Dies ist um so überraschender, als unter gleichen Bedingungen die Trennung von Toluol und Ammoniumchlorid infolge starker Sublimation des Ammoniumchlorids nicht gelingt. Auch ein Gemisch aus Toluol, Hexamethyldisilazan und Ammoniumchlorid läßt sich unter den erfindungsgemäßen Verfahrensbedingungen destillativ nicht trennen, da das Ammoniumchlorid zu stark sublimiert. Erst bei Sumpftemperaturen oberhalb 75° C ist bei der Trennung des Hexamethyldisilazans vom Ammoniumchlorid eine störende Sublimation des Ammoniumchlorids festzustellen.
Vergleichsbeispiele
1. Erfindungsgemäßer Vergleich
Zunächst wurden im Reaktor 378,4 g Hexamethyldisilazan und 107 g Ammöniumchlorid vorgelegt.
Das Hexamethyldisilazan wurde nun unter Rühren vom Ammoniumchlorid durch einfache Destillation abgetrennt Diese Destillation wurde bei einem Unterdruck von ca. 133 mbar begonnen und bis am Ende auf ca. 40 mbar gesteigert Während der Destillation betrug die maximale Innentemperatur 750C.
Eine Sublimation des Ammoniumchlorids war kaum zu bemerken, die Leitungswege blieben frei, ίο die Destillation verlief einwandfrei.
Die Ausbeute an Hexamethyldisilazan betrug 353 g.
2. Nichterfindungsgemäßer Vergleich
Zunächst wurden im Reaktor 378,4 g Toluol und 107 g Ammoniumchlorid vorgelegt Das Toluol wurde nun unter Rühren vom Ammoniumchlorid durch einfache Destillation abgetrennt Diese Destillation wurde bei einem Unterdruck von ca.
133 mbar begonnen.
Während der Destillation betrug die Temperatur der Badflüssigkeit (Heizmedium) maximal 75°C.
Nachdem ca. 150 g Toluol abdestilliert waren, hatten sich in den Leitungssystemen so großen Mengen Ammoniumchlorid abgelagert, was zur Verstopfung des Systems führte. Ein einwandfreies Arbeiten war somit nicht mehr gegeben.
3. Nichterfindungsgemäßer Vergleich
Zunächst wurden im wassergekühlten Reaktor 217,2 g Trimethylchlorsilan und 217,2 g Toluol vorgelegt. In dieses Gemisch wurde gasförmiges Ammoniak eingeleitet. Die Reaktion wurde bei 25° C begonnen, während des Einleitens von Ammoniak stieg die Temperatur auf 50° C an. Nach zweistündigem Einleiten von Amoniak wurde scheinbar kein Ammoniak mehr absorbiert. Dem System wurde trotzdem während weiterer 3 Stunden Ammoniak vermindert zugeführt. Das Gemisch aus Toluol und Hexamethyldisilazan wurde nun vom Ammoniumchlorid durch einfache Destillation abgetrennt. Diese Destillation wurde bei einem Unterdruck von ca. 133 mbar begonnen und bis auf ca. 40 mbar gesteigert Während der Destillation betrug die maximale Innentemperatur 75° C.
Nachdem 217 g des Gemisches aus Toluol und Hexamethyldisilazan abdestilliert waren, hatten sich in den Leitungssystemen so große Mengen Ammoniumchlorid abgelagert, was zur Verstopfung führte. Ein einwandfreies Arbeiten war nicht mehr möglich, die Destillation mußte abgebrochen werden.
In dem folgenden Beispiel wird das erfindungsgemäße Verfahren noch näher erläutert.
Beispiel
Nichterfindungsgemäße Herstellung
des Hexamethyldisilazans
In einen mit Wasser gekühlten Reaktionsbehälter wurden 350 g Hexamethyldisilazan gegeben. Dann wurde der behälter evakuiert und danach über ein Tauchrohr Ammoniak unter Rühren in die flüssige Phase eingeleitet, bis sich ein Ammoniaküberdruck von
ca 200 mbar einstellte. Danach erfolgte über einen Tropftrichter während 7 Stunden die Zugabe von 1530 g Trimethylchlorsilan (99,9%ig), wobei gleichzeitig eine dem Trimethylchlorsilan stets äquivalente Menge Ammoniak eingeleitet wurde. Zur Zudosierung des Trimethylchlorsila"« wurde am Tropftrichter ein Stickstoffdruck von ca. 333 mbar angelegt. Während dieser gesamten Phase wurde ein Ammoniaküberdruck von ca. 200 —267 mbar aufrechterhalten. Die Innentemperatur stieg bis auf 55° C an. Nachdem alles Trimeihylchlorsilan zugetropft war, wurde noch 30 Minuten unter dem erwähnten Ammoniaküberdruck gerührt. Während dieser Nachreaktionsphase wurde nicht gekühlt.
Erfindungsgemäße Abtrennung
des Hexamethyldisilazans
Das Hexamethyldisilazan wurde nun vom Amrnoniumchlorid durch einfache Destillation abgetrennt. Diese Destillation wurde bei einem Unterdruck von ca. 133 mbar begonnen und bis am Ende auf ca. 40 mbar gesteigert. Während der Destillation betrug die maximale Innentemperatur 75° C. '
Das abdestilliertt Hexamethyldisilazan enthielt noch Spuren Trimethylchlorsilan. Deshalb wurde das gesamte Destillat wieder in den vom Salz befreiten und getrockneten reaktionsbehälter gegeben. Unter Rühren und Wasserkühlung wurde so lange Ammoniak eingeleitet, bis sich ein Ammoniaküberdruck von ca. 200 mbar einstellte. Danach wurde weitere 10 Minuten bei gleichem Oberdruck gerührt. Anschließend wurde das im Produkt gelöste Ammoniak entfernt, indem das Reaktionsgefäß evakuiert und 30 Minuten bei Unterdruck (ca. 40 mbar) gerührt wurde. Zur Entfernung des gebildeten Ammoniumchlorids wurde das von Trimethylchlorsilan-Spuren befreite Hexamethyldisilazan über eine Filterscheibe aus Celiulosefasern filtriert Die Ausbeute an Hexamethyldisilazan betrug 1315g (das sind 85,0% der Theorie, bezogen auf eingesetztes Trimethylchlorsilan). Der gaschromatograDhische Reinheitsgrad betrug 99,6%. .
Das nach der Destillation im Reaktionsbehälter
ίο verbliebene Ammoniumchloiid enthielt noch Reste Hexamethyldisilazan. Dieses Ammoniumchlorid wurde aus dem Reaktor durch Waschen mit verdünnter Salzsäure entfernt Durch diesen Verfahrensschritt wurde außer der Reinigung des Reaktors aus dem eingeschlossenen Hexamethyldisilazan auch noch Hexamethyldisiloxan gewonnen, welches ebenfalls ein wertvoller Silicon-Rohstoff ist. Es wurde unter Rühren soviel verdünnte Salzsäure zugesetzt, bis die beim Abstellen des Rührers sich absetzende wäßrige Phase sauer reagierte. Danach wurde die wäßrige Phase abgelassen. Die obere Phase wurde einmal mit Wasser gewaschen, danach vom Wasser befreit und anschließend unter Rühren mit Natriumhydrogencarbonat neutralisiert Die Trocknung des Hexamethyldisiloxans erfolgte durch Eintragen von wasserfreiem Natriumsulfat. Danach erfolgte die Filtration über eine Filterscheibe aus Celiulosefasern.
Die Ausbeute an Hexamethyldisiloxan betrug 113 g (das entspricht einer Si-Ausbeute von 9,9%). insgesamt wurden also vom eingesetzten Trimethylchlorsilan 94,9% der Theorie in Form von Hexamethyldisilazan und Hexamethyldisiloxan gewonnen. Der gaschromatographische Reinheitsgrad betrug 99,8%.

Claims (1)

  1. Patentanspruch:
    Verfahren zur Gewinnung von Hexamethyldisilazan aus durch Umsetzung von Trimethyichlorsilan mit gasförmigem Ammoniak unter Verwendung von Hexamethyldisilazan als Lösungsmittel erhaltenen Reaktionsgemischen, dadurch gekennzeichnet, daß man das Hexamethyldisilazan von Ammoniumchlorid durch Destillation bei einer Sumpftemperatur unter 75" C und verringertem Druck abtrennt.
DE19762645792 1975-12-10 1976-10-09 Verfahren zur Gewinnung von Hexamethyldisilazan Expired DE2645792C2 (de)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR7635495A FR2334687A1 (fr) 1975-12-10 1976-11-25 Procede de preparation d'hexamethyldisilazane avec emploi de cette substance comme solvant et separation par distillation de l'hexamethyldisilazane forme
IT5250676A IT1069982B (it) 1975-12-10 1976-12-07 Procedimento per la produzione di e sametil disilazano
NL7613725A NL162655C (nl) 1975-12-10 1976-12-09 Werkwijze voor het bereiden van hexamethyldisilazan.
GB5176976A GB1516900A (en) 1976-10-09 1976-12-10 Process for the manufacture of hexamethyldisilazane
ES456309A ES456309A1 (es) 1976-10-09 1977-02-25 Procedimiento para la preparacion de hexametildisilazano.

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
GB5068075A GB1516899A (en) 1975-12-10 1975-12-10 Process for the manufacture of hexamethyldisilazane

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE2645792A1 DE2645792A1 (de) 1977-06-16
DE2645792C2 true DE2645792C2 (de) 1982-12-23

Family

ID=10456916

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19762645792 Expired DE2645792C2 (de) 1975-12-10 1976-10-09 Verfahren zur Gewinnung von Hexamethyldisilazan
DE19762645703 Expired DE2645703C3 (de) 1975-12-10 1976-10-09 Verfahren zur Herstellung von Hexamethyldisilazan

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19762645703 Expired DE2645703C3 (de) 1975-12-10 1976-10-09 Verfahren zur Herstellung von Hexamethyldisilazan

Country Status (6)

Country Link
BE (1) BE849293A (de)
DE (2) DE2645792C2 (de)
ES (1) ES454033A1 (de)
FR (1) FR2334688A1 (de)
GB (1) GB1516899A (de)
NL (1) NL159987B (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19753480C1 (de) * 1997-12-02 1999-01-07 Wacker Chemie Gmbh Verfahren zur Herstellung von Organosilazanen und Ammonchlorid

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1516899A (en) * 1975-12-10 1978-07-05 Goldschmidt Ag Th Process for the manufacture of hexamethyldisilazane
NL7812080A (nl) * 1978-02-03 1979-08-07 Goldschmidt Ag Th Werkwijze voor het bereiden van hexamethyldisilazan.
JP6176175B2 (ja) * 2014-04-03 2017-08-09 信越化学工業株式会社 シラザン化合物の製造方法

Family Cites Families (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5112608B2 (de) * 1973-05-29 1976-04-21
GB1516899A (en) * 1975-12-10 1978-07-05 Goldschmidt Ag Th Process for the manufacture of hexamethyldisilazane

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19753480C1 (de) * 1997-12-02 1999-01-07 Wacker Chemie Gmbh Verfahren zur Herstellung von Organosilazanen und Ammonchlorid
US6051729A (en) * 1997-12-02 2000-04-18 Wacker-Chemie Gmbh Process for preparing organosilazanes

Also Published As

Publication number Publication date
ES454033A1 (es) 1977-11-16
FR2334688A1 (fr) 1977-07-08
NL159987B (nl) 1979-04-17
FR2334688B1 (de) 1979-03-09
GB1516899A (en) 1978-07-05
NL7613726A (nl) 1977-06-14
BE849293A (fr) 1977-04-01
DE2645703A1 (de) 1977-06-16
DE2645703B2 (de) 1979-01-04
DE2645703C3 (de) 1979-08-30
DE2645792A1 (de) 1977-06-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
EP0999214B1 (de) Verfahren zur Herstellung von chloridarmen oder chloridfreien Alkoxysilanen
DE102005055815A1 (de) Verfahren zur Herstellung von ionischen Flüssigkeiten
DE2638765C2 (de) Verfahren zur Erhöhung der Ausbeute bei der Herstellung cyclischer Organosiloxane
EP0999215B1 (de) Verfahren zur Herstellung von Alkoxysilanen
DE102014204785A1 (de) Verfahren zur Herstellung von reinem Trisilylamin
DE2645792C2 (de) Verfahren zur Gewinnung von Hexamethyldisilazan
DE2828604C2 (de) Verfahren zur Reduktion von Phosphinoxiden
EP0015366A2 (de) Verfahren zur Herstellung wässriger Lösungen von Alkaliorganosiliconaten
EP0277642B1 (de) Verfahren zur Herstellung von Oximosilanen
DE69100196T2 (de) Verfahren zur Herstellung von Benzylaminen.
DE1156809B (de) Verfahren zur Herstellung von Cyanalkylfluorsilanen
DE1158071B (de) Verfahren zur Herstellung von ª†-Aminoisobutylgruppen enthaltenden siliciumorganischen Verbindungen
EP0075174A1 (de) Verfahren zur Herstellung von 4-Nitrodiphenylaminen
DE2807230C3 (de) Verfahren zur Herstellung von Alkoxymethylsilazanen
DE69930733T2 (de) Herstellung von substituierten (amino)alkoxysilanen
DE3127193A1 (de) Verfahren zur herstellung von n-cyclohexylbenzothiazol-2-sulfenamid
DE69110734T2 (de) Verfahren zur Herstellung von hexamethylcyclotrisilazan.
DE102010061816A1 (de) Verfahren zur Herstellung von Carbamatoorganosilanen
DE1237114B (de) Verfahren zur Herstellung von Cyclopolysiloxanen
DE19941283A1 (de) Verfahren zur Herstellung von chloridarmen oder chloridfreien Alkoxysilanen
DE2302843A1 (de) Verfahren zur herstellung von biseckige klammer auf di(-halogenalkyl)phosphorsaeure eckige klammer zu -polyaethylenglykolestern
DE2536010A1 (de) Verfahren zur herstellung von cyclischen diphenylsiloxanen
DE3512295A1 (de) Verfahren zur herstellung von 2-merkaptobenzoxazolen
DE2220101A1 (de) Verfahren zur umsetzung halogenhaltiger substanzen mit verbindungen, die reaktionsfaehige wasserstoffatome enthalten
WO2018033199A1 (de) Verfahren zur herstellung von sekundären aminoorganosiliciumverbindungen

Legal Events

Date Code Title Description
D2 Grant after examination
8339 Ceased/non-payment of the annual fee