DE2627176C3 - - Google Patents

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DE2627176C3
DE2627176C3 DE19762627176 DE2627176A DE2627176C3 DE 2627176 C3 DE2627176 C3 DE 2627176C3 DE 19762627176 DE19762627176 DE 19762627176 DE 2627176 A DE2627176 A DE 2627176A DE 2627176 C3 DE2627176 C3 DE 2627176C3
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DE
Germany
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lens
excitation
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windings
coil
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DE19762627176
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German (de)
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DE2627176B2 (de
DE2627176A1 (de
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Andreas Dipl.-Phys. Dr.- Ing. Oelmann
Reinhold Dipl.-Ing. Schmitt
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Siemens AG
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Siemens AG
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement or ion-optical arrangement
    • H01J37/10—Lenses
    • H01J37/14—Lenses magnetic
    • H01J37/141—Electromagnetic lenses

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DE19762627176 1976-06-15 1976-06-15 Elektronenstrahloptisches Projektionsgerät mit einer langbrennweitigen magnetischen Linse Granted DE2627176B2 (de)

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FR7712711A FR2355374A1 (fr) 1976-06-15 1977-04-27 Lentille magnetique comportant une grande distance focale decouplee vis-a-vis de l'excitation
NL7706304A NL7706304A (nl) 1976-06-15 1977-06-08 Magnetische lens met een lalge en van de be- krachtignng ontkoppelde braldpuntsafstand.
JP7095177A JPS52153662A (en) 1976-06-15 1977-06-15 Long focus magnetic lens
GB2493477A GB1584005A (en) 1976-06-15 1977-06-15 Electro-magnetic lens assemblies for use in corpascular beam devices

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DE2627176B2 DE2627176B2 (de) 1978-09-14
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DE (1) DE2627176B2 (enExample)
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FR2355374A1 (fr) 1978-01-13
GB1584005A (en) 1981-02-04
JPS52153662A (en) 1977-12-20
NL7706304A (nl) 1977-12-19
DE2627176B2 (de) 1978-09-14
FR2355374B1 (enExample) 1980-09-12
DE2627176A1 (de) 1977-12-22

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