DE2624409A1 - Schottky-transistor-logik - Google Patents

Schottky-transistor-logik

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DE2624409A1 DE19762624409 DE2624409A DE2624409A1 DE 2624409 A1 DE2624409 A1 DE 2624409A1 DE 19762624409 DE19762624409 DE 19762624409 DE 2624409 A DE2624409 A DE 2624409A DE 2624409 A1 DE2624409 A1 DE 2624409A1
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Description

  • Schottky-Transistor-Logik.
  • Die Erfindung bezieht sich auf eine Schottky-Transistor-Logik nach dem Oberbegriff des Patentanspruches 1.
  • Schaltungen dieser Art sind bekannt. Beispielsweise ist in der Veröffentlichung H.H. Berger und S.K Wiedmann, "Schottky Transistor Logik, ISSCC, Philadelphia, Feb. 1975, eine solche Logikanordnung beschrieben. Dabei wird die minimale Schaltzeit dieser I2L- (Integrated Injection Logic) Gatteranordnung im wesentlichen durch die Minoritätsträgerspeicherung in der Basis und in dem Emitter des Ausgangstransistors bestimmt.
  • Es amide versucht die Minoritätsträgerspeicherung durch die Einführung von Schottky-Kontakten zu verringern. Dieser Vorschlag erfordert Jedoch bei einer Speisung durch das Substrat zwei Epitaxie-Schichten, wobei die Dicke der Epitaxie-Schichten die Basisweite des Last- und des Ausgangstransistors bestimmt.
  • Zur gegenseitigen Isolation der Bauelemente ist eine Oxid-Isolations-Technik nötig.
  • Die Aufgabe der vorliegenden Erfindung besteht darin, eine Schottky-Transistor-Logik-Anordnung anzugeben, mit der Gatterlaufzeiten um 1 ns erzielbar sind.
  • Diese Aufgabe wird durch eine wie eingangs bereits erwähnte Schottky-Transistor-Logik-Anordnung gelöst, die durch die in dem kennzeidwenden Teil des Patentanspruches 1 aufgeführten Merkmale gekennzeichnet ist.
  • V@rteilhafterweise kann die Basis:eite der verwendeten Transistoren mit lonenimplantatior. bis auf Weiten die unter einem /um liegen, reduziert werden.
  • Weitere Erläuterungen zur Erfindung gehen aus der Eeschreibung und den Figuren hervor.
  • Die Fig. 1 zeigt das Schaltbild einer erfindungsgemäßen Schottky-Transi#tor-Logik-Anordnung.
  • Die Fig. 2 zeigt in scheilatischer Darstellung einen Querschnitt durch eine erfindungsgemäße Schaltung nach der Fig. 1.
  • Die Fig. 1 zeigt das Schaltbild einer bekannten S#ottky-Transistor-Logik. Dabei besteht diese Logik aus dem Lasttransistor 1 und dem Ausgangstransistor 2. Der Kollektor des Lasttransistors 1, der über seine Basis 11 gesteuert wird, ist mit der Basis des Ausgangstransistors 2, dessen Kollektor 23 den Ausgang darstellt, verbunden. Über Dioden 261, 271 und 281 sind die Eingänge 26, 27 und 28 mit dem Kollektor des Transistors 1 bzw. mit dem Basisbereich 17 des Transistors 2 verbunden. Beispielsweise ist der Transi stor 1 als npn-Transistor und der Transistor 2 als pnm-Transistor ausgebildet. Dabei wird unter einem pnm-Transistor ein Transistor verstanden, dessen Kollektor durch eine auf einem Halbleitergebiet aufgebrachten Metallschicht gebildet wird, wobei diese Metallschicht mit dem Haibleitergebiet einen Schottky-Ubergang bildet.
  • An den Easisanschluß 241 des Lasttransistors 1 und an den Emitteranschluß 241 des Ausgangstransistors 2 wird vorzugsweise eine Spannung S UD angelegt. Vorzugsweise wird an den Emitteranschluß 13 eine Spannung -UB angelegt.
  • In der Fig. 2 ist eine Ausführungsform der erfindungsgemäßen Anordnung dargestellt, bei der npn-Lasttransistoren 1 und pnm-Ausgan#stransistoren 2 durch Oxidisolationen 3 von den Eingangsdioden 26, 27, 28 getrennt ist. Zur Herstellung eines npn-Transistors 1 und eines pnm-Ausg#ngstransistors 2 ist auf einem n -dotierten Substrat, bei dem es sich vorzugsweise um ein Silizium-Substrat handelt, eine epitaktisch abgeschiedene n-dotierte Schicht 111 aufgebracht. Das Substrat 131, das mit einem Emitteranschlußkontakt 13 versehen ist, stellt den Emitteranschlußbereich des npn-Lasttransistors 1 dar. Der in der Fig. 2 dargestellte Bereich 14 der Schicht 111 stellt den Emitterbereich des npn-Lasttransistors 1 dar. In der epi- taktisch abgeschiedenen n-dotierten. Schicht#111 sind durch Trennbereiche 3, einzelne Bereiche zur Herstellung der Transistoren 1 und 2 von anderen Bereichen zur Herstellung der Schottky-Dioden 26, 27, 28 voneinander elektrisch isoliert.
  • Bei den Trennisolationen handelt es sich vorzugsweise um Siliziumdioxid-Schichten, die in zuvor dort angebrachten Ätzungen eingebracht wurden. Oberhalb des Emitterbereichs 14 des npn-Lasttransistors 1 ist ein p-tiefimplantiertes Gebiet 11 vorgesehen. Dieses Gebiet 11 stellt den Basisbereich des Lasttransistors 1 dar. Auf dem oberhalb des tiefimplantierten p-Gebietes 15 befindlichen Teil 172 der epitaktischen Schicht 141 sind in aus der Figur ersichtlichen Weise die Elektroden 26, 27 und 28 aufgebracht. Diese Elektroden dienen als Eingangselektroden der gesamten Anordnung und bilden mit dem Bereich 172 Schottky-Übergänge. Über ein n+-dotiertes Gebiet 174, das an der Oberfläche des Gebietes 172 angeordnet ist, und eine Leiterbahn 173 steht der Bereich 172 mit dem Basisbereich 17 des pnm-Ausgangstransistors 2 in Verbindung.
  • Der n-dotierte Bereich 175, der den Basisbereich des Ausgangstransistors darstellt, ist oberhalb des tiefimplantierten Gebietes 11 angeordnet. Das tiefimplantierte Gebiet 11,das in demsiben Verfahrensschritt wie das Gebiet 15 hergestellt wurde, stellt den Emitterbereich des Ausgangstransistors 2 und gleich' zeitig detl Basisbereich des Lasttransistors 1 dar. In aus der Figur ersichtlichen Weise ist das tiefimplantierte Gebiet 11 mit einem ebenfalls p-dotierten Diffusionsgebiet 242 und mit einer darauf befindlichen Elektrode 241, die den Emitteranschluß des Ausgangstransistors 2 darstellt, verbunden. Auf dem Gebiet 17 ist die Elektrode 23 angeordnet, die mit dem Gebiet 17 einen Schottky-Kontakt bildet, und die den Ausgang der Anordnung darstellt, vorgesehen. Die Materialien der Elektroden 23, 26, 27 und 28 sind so ausgewählt, daß die Elektroden 26 und 27 und 28 eine niedrigere Schottky-Barriere aufweisen als die Ausgangselektrode 23.
  • Zu diesem Zweck besteht die Ausgangselektrode 23 vorzugsweise aus PtSi und die Elektroden 26, 27 und 28 aus Ti.
  • Die Pegeldifferen zwischen einer logischen "O" und einer logischen "1" entspricht dann in etwa der Differenz der Schottky-Barrierenhöhe.
  • Zur Herstellung einer Gatteranordnung mit pnp-Lasttransistoren und npm-Ausgangstransistoren werden die in der Fig. 2 beschriebenen Bereiche jeweils in der entgegengesetzten Weise dotiert. An die Elektroden werden die in der Fig. 1 angegebenen Spannungen entgegengesetzter Polarität angelegt. Als Material für die Elektrode 23 eignet sich PtSi und als Material für die Elektroden 26, 27 und 28 eignet sich Ti.
  • In der Anordnung nach der Fig. 2 läßt sich jeweils das n -Substrat 131 durch ein p-Substrat ersetzen. Bei der Anordnung nach der Fig. 2 kann dann die tiefimplantierte Schicht 15 entfallen und durch eine vergrabene n+ -Schicht (Buried-Layer-Schicht) unter der tiefimplantierten Schicht 11 ersetzt setzt werden. In diesem Fall muß die vergrabene n+-Schicht jedoch an die Spannung-Ug angeschlossen werden, so daß die Tiefimplantation gegebenenfalls nicht mehr ganzflächig ausgeführt werden kann.
  • 5 Patentansprüche 2 Figuren L e e r s e i t e

Claims (5)

  1. Patentansprüche Schottky-Transistor-Logik mit einem npn- (pnp ) -Lasttransistor und mit einem pnm-(npm)-Ausgangstransistor in einem Substrat aus halbleitendem Material, dadurch g e k e n n z e i c h -n e t , daß das Substrat (131) aus halbleitendem Material n+- (p+)-dotiert ist, daß auf dem Substrat (131) eine n-(p)-dotierte Epitaxie-Schicht (11:1) aufgebracht ist, daß in der n-(p)-dotierten Epitaxie-Schicht (141) Trennbereiche (3) vorgesehen sind, die in der Epitaxie-Schicht (141) elektrisch voneinander getrennte erste Bereiche zur Herstellung des npn-(pnp)-Lasttransistors (1) und des pnm-(npm)-Ausgangstransistors (2) und zweite Bereiche zur Herstellung von Schottky-Kontakten (26, 27, 28) erzeugen, daß in allen ersten und zweiten Bereichen der Epitaxie-Schicht (141) ein p-(n)-tiefimplantiertes Gebiet (11, 15) vorgesehen ist, daß in dem ersten Bereich der Epitaxie-Schicht (141) zur Herstellung des Lasttransistors (1) und des Ausgangstransistors (2) das p-(n)-tiefimplantierte Gebiet (11) den Basisbereich des Lasttransistors (1) und den Emitterbereich des Ausgangstransistors (2) darstellt, daß der unterhalb des in dem ersten Bereich der Epitaxie-Schicht (141) liegende erste untere Teil (14) dieser Epitaxie-Schicht (141) den Emitterbereich (14) des Lasttransistors (1) darstellt, daß der oberhalb des p-(n)-tiefimplantierten Gebietes (11) liegende erste obere Teil (17) der Epitaxie-Schicht (141) in dem ersten Bereich den Kollektorbereich (17) des Lasttransistors (1) und den Basisbereich des Ausgangstransistors (2) darstellt, daß auf dem zweiten oberen Teil (172) Me-tallelektroden (26, 27, 28) vorgesehen sind, die mit dem zweiten oberen Teil (172) die Schottky-Kontakte bilden und die die Eingänge der Logikanordnungen darstellen, daß in dem zweiten oberen Teil (172) des zweiten Bereiches der Epitaxie-Schicht (141) ein p+-(n+)-dotierter Bereich (174) vorgesehen ist, der über eine Leiterbahn (173) mit dem oberhalb des p-(n)-tiefimplantierten Gebietes (24,11) in dem ersten Bereich der Epitaxie-Schicht (141) liegenden ersten oberen Teil (17) elektrisch in Verbindung steht, wobei sich zu diesem Zweck an der Oberfläche des ersten oberen Teiles (17) an der Kcntaktstelle zur Leiterbahn (173) ein ?+-(n+)-dotiertes Gebiet (175) befindet, daß der erste obere Teil (17) den Basisbereich des Ausgangstransistors (2) darstellt, daß das in dem ersten Bereich vorgesehene p-(n)-tiefimplantierte Gebiet (11) den Emit-terbereich des Ausgangstransistors (2) darstellt, daß an der Oberfläche des ersten oberen Teiles (17) eine Elektrode (23) vorgesehen ist, die mit dem zweiten oberen Teil (17) einen Schottky-Kontakt bildet, der gleichzeitig den Kollektorbereich des Ausgangstransistors (2) darstellt, daß das p-(n)-tiefimplan-\:ierte Gebiet (11) in dem zweiten Bereich mit einer Anschlußelektrode (241) elektrisch in Verbindung steht, wobei diese Anschlußelektrode (241) den Emitteranschluß des Ausgangstransistors (2) und den Basisanschluß des Lasttransistors (1) darstellt und daß das Substrat (131) mit einem Anschluß (13) versehen ist, der den Emitteranschluß des Lasttransistors (1) darstellt.
  2. 2. Anordnung nach Anspruch 1, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , daß das Substrat (131) und die epitaktische Schicht (141) aus Siliziu. besteht.
  3. 3. Anordnung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , daß die Trennbereiche (3) aus SiO2 bestehen.
  4. 4. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch g e k e n n z e i c h n e t , daß die Elektrode (23) aus PtSi oder Al besteht und das die weiteren Elektroden (26, 27, 28) aus Ti oder Pd2Si bestehen.
  5. 5. Anordnung nach einem der AnsprUche 1 bis 4, dadurch g e k e n n z e ic h n e t , daß die Anschlußelektroden (241, 13) und die Leiterbahn (173) aus Aluminium bestehen.
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