DE2608101A1

DE2608101A1 - Verfahren und filter zur filterung von analogen signalen durch verschiebung von elektrischen ladungen in halbleitendem material

Info

Publication number: DE2608101A1
Application number: DE19762608101
Authority: DE
Inventors: Raymond Poirier
Original assignee: Thomson CSF SA
Current assignee: Thales SA
Priority date: 1975-02-28
Filing date: 1976-02-27
Publication date: 1976-09-09
Also published as: FR2302636B1; JPS51110947A; GB1536020A; NL7601978A; US4123733A; BE839022A; CA1055572A; FR2302636A1; SE7602563L; PL115952B1; SE411988B

Description

75008 PARIS / Frankreich

Unser Zeichen: T 1946

Verfahren und Filter zur Filterung von analogen Signalen durch Verschiebung von elektrischen Ladungen in halbleitendem Material

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Filterung von analogen Signalen durch Verschiebung von elektrischen Ladungen in halbleitendem Material und Filter, bei welchen das Verfahren angewandt wird.

Die Verschiebung van elektrischen Ladungen in halbleitendem Material erfolgt mit Hilfe von "Metall-Isoliermittel-Halbleiter"-Anordnungen. Bekannt sind beispielsweise Ladungsverschiebungsanordnungen (Charge-Coupled Devices, CCD, im angelsächsischen Sprachgebrauch) und Eimerketten-Anordnungen (Bucket Brigade Devices, BBD, im angelsächsischen Sprachgebrauch). In beiden

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Fällen wird durch Anlegen von passenden Potentialen an Ketten von Elektroden ein Schieberegister erzeugt, in welchem elektrische Ladungen, deren Menge zu einer Signal abtastprobe proportional ist, von einem Element des Registers zu dem folgenden Element verschoben werden. Die an die aufeinanderfolgenden Elektroden angelegten Potentiale kommen von einem •Taktgeber"mit mehreren Ausgängen, wobei die an zwei benachbarten Ausgängen an dem Taktgeber abgegebenen Potentiale zeitlich um einen Bruchteil 1/n der Periode der Taktsignale verschoben sind. Es sind 2-, 3- und 4-Phasen-Ladungsverschiebeanordnungen bekannt.

Die elektrische Filterung besteht aus dem Informbringen eines analogen Signals in Abhängigkeit von der Impulsantwort des theoretischen Filters. In dem Fall von Filtern, welche ein Schieberegister enthalten, wird das Informbringen auf aufeinanderfolgende Abtastproben angewandt, die in den Eingang des Registers eingegeben und an verschiedenen Stufen (an den Elektroden einer vorbestimmten Phase) entnommen werden, um durch bewertete algebraische Addition vereinigt und an dem Ausgang des Filters abgegeben zu werden.

Gemäß einem bekannten Verfahren speist man durch ein und dieselbe Taktgeberphase zwei Leitungen zur bewerteten Entnahme von Ladungen. Jede Leitung ist mit einem Elektrodenbruchteil (unterteilt in zwei voneinander isolierte Teile) verbunden, der normalerweise durch diese Phase gespeist wird. Zwei Bruchteile, die gleich der Hälfte einer normalen Elektrode sind, ergeben eine Bewertung Null und zwei ungleiche Bruchteile ergeben eine

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zwischen Null und 1 Hegende Bewertung, denn man ordnet die Vorzeichen + und - den beiden .Leitungen zu. Diese sind an die Plus- und Minuseingänge eines Differenzverstärkers ange— —schlossen, dessen Ausgang eine Abtastung des gefilterten Signals abgibt.

Ein Nachteil des oben genannten Verfahrens rührt daher, daß sich die Potentiale der Elektroden in bezug auf den Absolutwert des Betriebspotentials der Taktleitung sehr wenig ändern. Unter diesen Umständen liefert der Differenzverstärker Signale, die mit relativ beachtlichen Fehlern behaftet sind.

Die Erfindung beseitigt diesen Nachteil.

Bei dem Filterungsverfahren nach der Erfindung handelt es sich um ein Verfahren, bei welchem aufeinanderfolgend Eingangsabtastproben des analogen Signals entnommen werden, die in ein Schieberegister eingegeben werden, welches Phasenelektroden und Entnahmeelektroden oder Teile von EntnahmeeJßktroden aufweist, an denen Signale empfangen werden, welche algebraisch die Verschiebungen von Ladungen ausdrücken, um Gesamtausgangs— abtastproben zu bilden.

Es ist dadurch gekennzeichnet, daß jede Eingangsabtastprobe gleichzeitig in zwei Register eingegeben wird, deren Elektroden, welche gleiche Flächeninhalte haben, zwei parallele Reihen bilden, und daß die Ausgangsabtastproben mit derselben Taktfrequenz wie die Eingangsabtastproben mit einer vorbestimmten Phasenverschiebung entnommen werden, indem eine einzige Entnahm el eitung

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an vorbestimmte Entnahmeelektroden oder Teile von Entnahme— elektroden der Register angeschlossen wird.

Weitere Merkmale und Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der folgenden Beschreibung von Ausführungsbeispielen der Erfindung. In den Zeichnungen zeigen:

Die Fig. 1 und 2 die bekannten Prinzipien der Filte

rung mit einem Schieberegister,

Fig. 3 schematisch eine be**annt3 Anwen

dung dieses Filterprinzips,

Fig. 4 schematisch zwei Schieberegister,

welche die Anwendung des Verfahrens nach der Erfindung gestatten,

Fig. 5 Diagramme zur Erläuterung der

Betriebsweise der Register von Fig. 4,

Fig. 6 ein Schaltbild eines Ausführungsbei

spiels der Erfindung, und

Fig. 7 eine Variante der Erfindung.

Gemäß der Darstellung in Fig. 1 enthält ein Schiebegregister eine Reihe von Stufen D , D , ... D , die sich wie Verzögerungsleitungen verhalten und dem Signal, welches das Register durchläuft, eine konstante Phasenverschiebung geben, deren Wert von

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■■ O ""

der Taktfrequenz der Taktsignale abhängt. At^-. dem Eingang des Registers schneidet eine Taststufe S einen Signalabschnitt ab, bei welchem es sich beispielsweise um einen Spannungsimpuls ν handelt. In Fig. 2a ist ein Spannungsimpuls mit der Amplitude Eins in einem Diagramm mit rechtwinkeligen Koordinaten t, ν (Zeit, elektrische Spannung) dargestellt. Die Dauer des 1 -Impulses wird zur Vereinfachung gleich der Dauer der Verzögerung angenommen, die durch die Stufen D , D , ... D hervorgerufen wird. In Fig. 2b ist dargestellt, was man an dem Ausgang der aufeinanderfolgenden Stufen des Schieberegisters gewinnt, und zwar nach der Bewertung des Signals mit

Koeffizienten k , k. , k .. . k , die positiv oder negativ sind o* 1 2 η

und deren Absolutwert kleiner oder gleich 1 ist, wobei sich die Bewertung durch die Wirkung von Ehtnahmestufen K , K , K ... K ergibt. Da die Spannungen vor der Bewertung gleich Eins sind und da die entnommenen Signale immer größere Verzögerungen aufweisen, ist die graphische Darstellung der gewonnenen Signale eine gezackte Linie.

Die Ausgänge der Entnahmestufen sind mit dem Eingang eines Addierers S verbunden, welcher an einem Ausgang 21 ein Signal mit der Amplitude ν abgibt, nämlich:

ν =(k + k. + k * + +k)v C¹)

s ^v ο 1 2 n'e ^w

Das ist effektiv" das Signal, das sich durch den Durchgang durch ein Filter mit den Impulsantworten k , k , k ... k ergeben

ο 1 2 η

würde.

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Fig. 3 zeigt das bereits erwähnte bekannte Verfahren, bei welchem zwei getrennte Entnahmeleitungen, hier die Leitungen L und

31

L verwendet werden, die durch ein und dieselbe Taktgeber-32

phase (beispielsweise die dritte Phase in einer 3-Phasen-Anordnung, Fig. 3) gespeist werden und zu Eingängen 31 und 32 eines Differenzverstärkers 300 führen. Die Bewertung der Entnahme erfolgt, indem die durch dieselbe Taktgeberphase gespeisten Entnahmeelektroden in zwei Teile unterteilt werden, welche mit den Leitungen L bzw. L verbunden sind und

31 32

deren Flächeninhalte zu folgenden Faktoren proportional sind:

1/2 (1 + k)
- bzw. 1/2(1 - k)

wobei k einer der Koeffizienten k , k .. . k der Gleichung (1) ist. Die beiden anderen Taktgeberphasen speisen:

- die erste Phase über eine Leitung L Elektroden 101, 102, usw., bzw.

- die zweite Phase über eine Leitung L Elektroden 201 , 202, usw.

Die durch diese Phasen gespeisten Elektroden sind nicht unterteilt und haben allein ihre gewöhnliche Aufgabe, die Ladungen längs des Registers zu verschieben.

Als Beispiel sind von den mit der dritten Phase verbundenen Entnahmeelektroden dargestellt:

— eine Elektrode E , die in zwei gleiche Teile E . und E _

o' ^a o1 o2

unterteilt ist, was k = O entspricht;

- eine Elektrode, die in zwei Teile E und E unterteilt ist, deren Flächeninhalte proportional zu 1/3 und 2/3 sind, was

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k = - 1/3 entspt ichtj und

- eine Elektrode, die in zwoi Teile E und E unterteilt ist, deren Flächeninhalte proportional zu 2/3 und 1/3 sind, was k = + 1/3 entspricht.

Als Klemmen hat der Differenzverstärker 300 außer dem Plus- und Minuseingang 31 bzw. 32 einen Eingang 33 für die Zuführung von Taktsignalen und einen Ausgang 34, welcher Abtastproben des gefilterten Signals abgibt. Eine Anordnung zur Wiederherstellung des Signals durch Synthese der Abtastproben ist nicht dargestellt worden. Eine solche Anordnung ist erforderlich und benötigt die Versorgung mit einem Taktsignal.

In dem Anwendungsbeispiel des Verfahrens nach der Erfindung, das in Fig. 4 dargestellt ist, hat man es mit einem 2-Phasen— System zu tun, wobei die Impulsantwort des herzustellenden Filters festgelegt ist, beispielsweise durch die folgende Reihe der Koeffizienten k:

+ 1, + 1/2, 0, - 1/2, - 1

Zwei Schieberegister., welche zwei Ketten von parallelen und einander gegenüberliegenden Elektroden enthalten, sind folgendermaßen gebildet:

- bei dem ersten Register sind Elektroden 401, 405, 409, 413, 417, 421 mit einer ersten Taktleitung L (Phasei) verbunden, wobei aufeinanderfolgend Elektroden 407 (Teilelektrode), 411, 415,

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419 zwischgeschaltet sind, die mit einer Versorgungsleitung

L . verbunden sind:
o1

— bei dem zweiten Register sind Elektroden 402, 406, 410, (Teilelektrode), 422 mit einer Versorgungsleitung L verbunden, wobei aufeinanderfolgend Elektroden 404, 408, 412, 416 und 420 zwischengeschaltet sind, die mit der zweiten Taktleitung L verbunden sind (Phase 2).

Außerdem sind folgende Entnahmelektroden über eine einzige Entnahmeleitung L mit einer Ausgangsklemme 40 verbunden:

— in dem ersten Register die Elektrode 403 (k = 1) und eine Elektrode 427 (Teilelektrode), die sich in der Verlängerung der Elektrode 407 befindet: diese beiden Elektroden, die jeweils gleich der Hälfte einer normalen Elektrode sind, gestatten eine Bewertung entsprechend k = + 0,5;

- in dem zweiten Register die Elektrode 418 (k = - 1) und eine Elektrode 434 (Teilelektrode), die sich in der Verlängerung der Elektrode 414 befindet: diese beiden Elektroden, die jeweils gleich der Hälfte einer normalen Elektrode sind, gestatten eine Bewertung entsprechend k = — 0,5.

Schließlich sind drei Elektroden derart angeordnet, daß sie einen gemeinsamen Eingang für die beiden Register bilden. Es handelt sich um:

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- eine Elektrode 43, der über eine Klemme V ein Eingangssignal zugeführt wird, welc'ies vor der Abtastung die Spannung

V hat:
s

- eine Elektrode 44, die über eine Klemme V . gespeist wird

el

und die Gateelektrode eines MOS-Transistors bildet, der die Aufgabe eines "Tores" für den Zugang eines Signalabschnitts zu dem Eingang der Register bildet;

- eine Elektrode 45, die in zwei Bruchteile 451 und 452 unterteilt ist und über eine Klemme V mit einer Impulsspannung V gespeist wird, deren Zustand weiter unten näher dargelegt ist.

Die graphischen Darstellungen in Fig. 5 geben in Abhängigkeit von der auf den Abszissen auftragenen Zeit t die Spannungen in Volt (mit unterschiedlichen Maßstäben) an, die in vei— schiedenen Punkten der Anordnung von Fig. 4 anliegen:

- bei (a), die Kurve des an die Elektrode 43 angelegten Signals V und die in Zeitintervallen T entnommenen Abtastproben, welche durch Impulse 51 dargestellt sind; es ist zu beachten, daß die Spannung V die Seite (positiv oder negativ, je nach der Art der Dotierung des Halbleiters) nicht wechseln soll, was voraussetzt, daß gegebenenfalls dem Signal eine positive Gleichspannung überlagert wird, bevor es an die Elektrode 43 angelegt wird: ein solches Verfahren ist bekannt;

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— bei (b), eine Reihe von Spannungsimpulsen V . , die an die Elektrode 44 mit der Periodizität T in den auf-

einanderfolgenden Abtastzeitpunkten angelegt werden: das sind die Impulse zum Öffnen des "Tores", welches aus einem MOS-Transistor besteht, dessen Gateelektrode die Elektrode 44 bildet; die Spannung V . ist zumindest gleich der größten

el

Amplitude des Signals V_;

- bei (C), Impulse V , mit einer Amplitude, die viel größer als die Spannung V ist, beispielsweise 10 V, und mit der.-selben Periodizität wie die Spannungsimpulse V . , aber um

el

eine Halbperiode verschoben; sie erfüllen eine Aufgabe bei dem Betrieb der in Fig. 6 dargestellten Schaltung;

- bei (d), eine Gleichspannung V , beispielsweise 10 V, die an den Leitungen L . und L anliegt:

o1 o2 ^J

— bei (e), eine impulsform ige Spannung V. , deren maximale Amplitude gleich der Spannung V ist und die mit den Spannungs-

impulsen V . synchronisiert ist; und

- bei (f) und bei (g),die impulsförmigen Spannungen W und W mit gleichen Maximalamplituden, die größer als die Spannung V sind, also beispielsweise 15 V, die an den Leitungen L und L anHegen; diese Spannungen s ind um T /2 gegeneinander verschoben und die Spannung W ist mit der Spannung V synchron.

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In dem Fall eines P-dotierten Halbleitermaterial, in welchem r»egative Ladungen verschoben, werden, d.h. Elektronen ("Löcher" in dem Fall einer N-Dotierung), ergibt sich folgende Betriebsweise:

Jeder Impuls V . verursacht die Verschiebung einer Elektronenel

menge, die proportional zu der Abtastprobe 51 ist, von der Elektrode 43 zu der Elektrode 45, da die Spannung V . immer

el

größer als die Spannung V ist. Die Elektronen sammeln sich in einer "Mulde", die in dem Halbleitermaterial durch den Spannungsimpuls V an der Elektrode 45 erzeugt wird. Nach dem Impuls V. erscheint ein Impuls W an der Elektrode 401 und zieht die Elektronen unter die Elektrode 401 . Danach wird das "ungeradzahlige" Register (Elektroden 401 - 421) wie ein herkömmliches Schieberegister durchlaufen, mit dem Unterschied, daß die zweite Phase mit'einer Gleichspannung V versorgt wird, die kleiner als die Spannung W ist. Die Verschiebung von Ladungen von der Elektrode 401 zu der Elektrode 403 während des Intervalls zwischen zwei Impulsen W wird durch das Vorhandensein der Spannung V hervorgerufen. Die Verschiebung von der Elektrode 403 zu der Elektrode 405 erfolgt aber aufgrund der Tatsache, daß die Spannung W größer ist als die Gleichspannung V . In vorbestimmten Zeitpunkten wird das an der Klemme 40 verfügbare Lesepotential durch die unter den Elektroden 403 (mit einem Koeffizienten k = + 1) und 427 (mit einem Koeffizienten k = 0,5) angehäuften Ladungen verändert. Die "Tor"-Anordnung, welche das Lesen in den vorbestimmten Zeitpunkten ermöglicht,

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—. 1 Ο _

ist nicht dargestellt worden.

Die Erscheinungen sind mit einer Verzögerung um eine Halbperiode bei dem "geradzahligen" Register (Elektroden 402 - 422) analog, mit dem wichtigen Unterschied, daß das Lesepotential aufgrund der mit den Elektroden 434 und 41 8 hergestellten Verbindungen mit einer Voreilung um eine Periode verändert wird, was darauf hinausläuft, daß der Start der Ladungen aufgezeichnet wird und daß der Entnahme ein Koeffizient - 0,5 (T eil elektrode 434) oder - 1 (Elektrode 41 8) zugeordnet wird.

In Fig. 6 sind Abschnitte der Leitung L dargestellt, insbe-

sondere diejenigen, an die die Elektroden 403 (erstes Register) und 418 (zweites Register) angeschlossen sind, und das Ende dieser Leitung, die zu der Klemme 40 führt. Eine Kapazität C , deren einer Belag an Masse liegt und deren anderer Belag mit der Elektrode 403 verbunden ist, stellt eine Ersatzschaltung für ein Halbleiterelement der Ladungsverschiebungsanrodnung dar. Dasselbe gilt für eine Kapazität C unter der Elektrode 418. Die eigentliche Leseanordnung besteht aus einer Kapazität C und drei MOS-Transistoren T. , T und T . Ausgehend von der Klemme 40 befinden sich aufeinanderfolgend in der Fort- -setzung der Leitung L eine Abzweigklemme 62, über die der

Leitung die Gleichspannung V durch den Kanal des Transistors T zugeführt wird, dessen Gateelektrode durch die Spannungsimpulse V (Fig. 5c) gesteuert wird. Darauf folgt eine Abzweigklemme 63, die über die Kapazität C , welche gegenüber den

Kapazitäten C und C einen großen Wert hat, mit Masse verbunden

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ist. Die Leitung setzt sich bis zu der Gateel^ktrode 64 -des Transistors T über den Kanal des Transistors T fort, dessen Gateelektrode durch die Impulse V . (Fig. 5b) gesteuert wird. Der Transistor T ist als Folgeverstärker

geschaLtet. Seiner Drainelektrode wird über eine Klemme 60 direkt eine Gleichspannung zugeführt und seine Sourceelektrode liegt über einen Widerstand 600 an Masse. Das Lesesignal wird vor diesem Widerstand an einer Klemme 602 über eine Kapazität 601 entnommen.

Das Lesen geht folgendermaßen vor sich: wenn die Spannung W an der Leitung L anliegt, bringt die Spannung V das Potential der mit der Leitung L verbundenen Elektroden auf das Potential

V , indem alle Kapazitäten C , C , usw. aufgeladen (oder entladen) werden. Dann wird die Spannung W an die Leitung L angelegt und das Potential der Klemme 40 wird, unter Berücksichtigung der Kapazität C , gemäß dem Zeitpunkt beeinflußt, in welchem man sich befindet:

— bald durch Zuflüsse von Ladungen, die unter den Entnahmeelektroden verschoben werden;

- bald durch Abflüsse von Ladungen.

Die Gateelektrode 64 wird in dem Zeitpunkt des Impulses V , somit mit einer Phasenverschiebung um T /2 gegenüber dem; Impuls V , an die Spannung der Klemme 63 gelegt. Wenn man

V , und V umkehrt, so läuft das auf eine Umkehrung des Vore1 e2

zeichens des Entnahmekoeffizienten der Ladv ngen hinaus.

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Der Transistor T liefert Stromimpulse, die infolge des

Widerstandes 600 und über die Kapazität 601 Spannungsirnpulse an der Klemme 602 erzeugen.

Bei einer abgewandelten Ausführungsform der Erfindung wird das Register nicht in derselben Weise wie in Fig. 4 verdoppelt: es werden die Ladungen in dem Zeitpunkt des Übergangs auf eine Elektrode, die sich unmittelbar vor einer Teilelektrode befindet, in zwei Pakete unterteilt.

Es ist nämlich bekannt, daß, wenn man eine Oberflächenzcne (Z, Fig. 7) des Halbleitermaterials unter einer Phasenelektrode stark dotiert, man die Trennung der sich beiderseits der Zone Z befindlichen Ladungen erreicht.

In dem Beispiel von Fig. 7 ist ein Teil eines Registers mit vier Phasen dargestellt (Elektroden 70 bis 74, die über Phasenleitungen L_Q1 , L_Q2, L₀₃, L₀₄ und dann erneut L_Q1 gespeist

werden). Die zweite Elektrode überdeckt die Zone Z, welche die Aufteilung der Ladungen auf die Bereiche des Halbleitermaterials festlegt, die sich unterhalb der Teile 71¹ bzw. 712 der betreffenden Elektrode befinden. Die beiden folgenden Elektroden sind in Teilelektroden 721 und 722 einerseits und 731 und 732 andererseits unterteilt. Die Ladungen, die an der Klemme 80 über die Leitungen L (verbunden mit der Elektrode 731) und L. (verbunden mit der Elektrode 722) entnommen werden, haben eine Aufgabe, die der der Ladungen analog ist, welche an der Klemme 40 gewonnen wurden und von den Elektroden 403 und 41 8 der Anordnung

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von Fig. 4 kamen. Es sei jedoch angemerkt, daß in dem Fall von Fig. 7 alles so vor sich geht, als hätte man o*e Phasenelektroden 401 und 402 von Fig. 4 verlängert, um nur eine einzige Elektrode zu bilden, mit Erzeugung einer Trennzone Z; und in dem Fall der Teil elektroden 407/427 und 41 4/434, als hätte man die Teile 427 und 434 mit den Elektroden 408 bzw. 413 vereinigt.

Außer den bereits genannten Vorteilen der Erfindung können angeführt werden:

— die Synthese der Abtastproben des gefilterten Signals, ohne auf neue Taktsignale zurückzugreifen;

— die Möglichkeit, genausogut Eimerkettenanordnungen wie Ladungsverschiebeanordnungen zu benutzen;

— die Möglichkeit, die Leseanordnung von Fig. 6^vauf demselben Halbleiterplättchen wie die Ladungsverschieberegister zu integrieren,

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Claims

Patentansprüche:

' 1 L Verfahren zur Filterung von analogen Signalen durch Ladungsverschiebung in halbleitendem Material, wobei aufeinanderfolgend Eingangsabtastproben des analogen Signals entnommen werden, die in ein Schieberegister eingegeben werden, welches Phasenelektrodsn und Entnahmeelektroden oder Teile von Entnahmeelektroden aufweist, an denen Signale empfangen werden, welche algebraisch die Ladungs verschiebung en ausdrücken, um Gesamtausgangsabtastproben zu bilden, dadurch gekennzeichnet, daß die verschobenen Ladungen aufgrund einer bestimmten Elektrode in zwei Bruchteile unterteilt und über Elektroden entnommen werden, welche getrennte Register bilden, und daß die Ausgangsabtastproben mit derselben Taktfrequenz wie die Eingangsabtastproben mit einer vorbestimmten Phasenverschiebung entnommen werden, indem eine einzige Entnahmeleitung an vorbestimmte Entnahmeelektroden oder an vorbestimmte Teile von Entnahmeelektroden angeschlossen wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, daß eine 2-Phasen-Ladungsverschiebeanordnung benutzt wird, wobei die Spannungsimpulse, welche die Signale der ersten Phase büdr^n, um eine Halbperiode gegenüber den Eingangsabtastproben verschoben sind, und wobei die Spannungsimpulse, welche die Signale der zweiten Phase bilden, mit den Eingangsabtastproben synchron sind, daß die Verschiebung der Ladungen von einer Elektrode zur nächsten Elektrode durch eine Gleichspannung oder

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durch einen Spannungsimpuls mit derselben Taktfrequenz wie die Eingangsabtastproben erfolgt und daß das Lesen in Zeitpunkten ausgeführt wird, die mit allein einer der Phasen zusammenfallen.
3. Vorfahre*"» nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, daß eine 4-Phasen-Ladungsverschiebeanordnung benutzt wird und daß die Entnahmeelektroden einen ersten Bruchteil enthalten, der mit einer Phasenleitung verbunden ist, und einen zweiten Bruchteil, der mit einer Entnahmeleitung verbunden ist, wobei zwei getrennten Phasen die Steuerung der Entnahmeelektroden zugeordnet ist.
4. Filter zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch

I oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß jedes Schieberegister eine erste Reihe von Elektroden enthält, die durch eine erste Phase eines 2-Phasen-Taktsystems gespeist werden, eine zweite Reihe von Elektroden, die mit denen der ersten Reihe abwechseln und eine Fläche haben, die gleich der Gesamtheit oder gleich einem Teil der Elektroden der ersten Reihe ist, und eine dritte Reihe von Elektroden, welche eine Fläche aufweisen, die gleich dem Einerkomplement des Bruchteils ist , wobei die Elektroden der dritten Reihe mit einer den beiden Registern gemeinsamen Entnahmeleitung verbunden sind.
5. Filter nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß es an

dem gemeinsamen Eingang der beiden Register eine erste Elektrode

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zum Empfang des zu filternden Signals, eine zweite Elektrode zur Steuerung der Entnahme der Abtastproben und eine dritte Elektrode aufweist, die zwei Teile hat, von der.en jeder dieselbe Fläche wie eine Elektrode des Registers hat, und der eine impulsförmige Spannung synchron mit einer der Phasen zugeführt wird.
6. Filter nach Anspruch 4, gekennzeichnet durch ein Lesesystem mit wenigstens einer Kapazität, mit einer Anordnung zur periodischen Wiederherstellung der Ladung der Kapazität, mit einer periodisch gesteuerten AusgangstorschaLtung und mit einem Ausgangsverstärker.
7. Filter nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß das Lesesystem, welches in dasselbe Halbleiterplättchen wie die Schieberegister integriert ist, ausschließlich Kapazitäten, Widerstände und MOS-Transistoren enthält.
8. Filter zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, daß es ein mit Ladungsverschiebung arbeitendes Filter mit vier Phasen ist und nur eine einzige Reihe von Elektroden enthält, von denen zumindest eine, die eine halbleitende Zone bedeckt, die Verteilung der Ladungen auf zwei halbleitende Gebiete gestattet, die sich' beiderseits der Zone befinden, wobei die folgenden Elektroden, die in zwei Teile unterteilt sind, zu ein und derselben Entnahmeklemme führen.

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