DE2604367A1

DE2604367A1 - Verfahren zum erhoehen der magnetischen permeabilitaet von koerpern aus einer magnetischen legierung

Info

Publication number: DE2604367A1
Application number: DE19762604367
Authority: DE
Inventors: Ronald Lee Anderson; Eugene Evans Castellani; Patrick Michael Mccaffrey; Lubomyr Taras Romankiv
Original assignee: International Business Machines Corp
Current assignee: International Business Machines Corp
Priority date: 1975-02-12
Filing date: 1976-02-05
Publication date: 1976-08-26
Also published as: JPS5197532A; US4003768A; FR2301077B1; GB1479400A; FR2301077A1; JPS609098B2

Description

Verfahren zum Erhöhen der magnetischen Permeabilität von Körpern aus einer magnetischen Legierung

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Erhöhen der magnetischen Permeabilität von Körpern aus einer magnetischen Legierung mit einer Achse bevorzugter (easy axis) und einer Achse erschwerter (hard axis) Magnetisierung.

Das beschriebene Verfahren findet insbesondere Anwendung bei fabrikmäßig hergestellten magnetischen Gegenständen, wie sie z.B. in Dünnfilmmagnetköpfen, normalen Magnetköpfen, magnetischen Abschirmungen und in magnetischen, zylindrischen Einzelwanddomänen Anwendung finden, soweit sie magnetisch anisotrope Filme verwenden, welche durch Elektroplattieren, und/oder Bedampfung und/oder Kathodenzerstäubung des magnetischen Materials unter dem Einfluß eines orientierenden magnetischen Feldes erhalten werden. Der resultierende Film zeigt eine magnetische Anisotropie in der Filmebene. Die Richtung, in welcher das orientierende Feld während des Filmaufbringens gerichtet ist, wird die longitudinale oder bevorzugte Achse der Magnetisierung (easy axis), während die Richtung in der Filmebene senkrecht zu der Achse bevorzugte Magnetisierung die transversale Achse oder die Achse

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erschwerter Magnetisierung (hard axis) wird.

In magnetischen Geräten wie den oben erwähnten, ist es ganz allgemein wünschenswert, daß die magnetische Permeabilität so hoch wie möglich ist. Solche Geräte haben zwei stabile Zustände der Magnetisierung. Um solch ein Gerät von einem ersten Zustand in den anderen stabilen Zustand umzuschalten, wird ein Feld in einer Richtung angelegt und wenn das angelegte Feld abgeschaltet wird, kehrt das Gerät in seinen ursprünglichen Zustand zurück.

Die Rückkehr eines magnetisch anisotropen Films oder Geräts in seinen ursprünglichen Zustand findet normalerweise mittels der sogenannten Rotationsumschalttechnik (rotational switching technique) statt, die von der Domänenwandbewegung (domain wall motion) zu unterscheiden ist. Die Domänenwandbewegung ist etwa eine Größenordnung langsamer als die Rotionsumschalttechnik und ist im allgemeinen begleitet von dem unerwünschten Barkhausenrauschen.

Die Rotationsumschalttechnik benutzt ein magnetisches Feld, das die Richtung der Achse erschwerter Magnetisierung hat, in Verbindung mit dem Feld in Richtung der Achse bevorzugter Magnetisierung, um einen Dreheffekt auf die Bereiche der magnetischen Domänen auszuüben, wodurch eine Reduzierung der für die Umschaltung des Films oder des Gerätes notwendigen Zeit erreicht wird.

Wie gesagt,ist es in vielen magnetischen Geräten erwünscht, Materialien mit hoher magnetischer Permeabilität zu haben, welche in Form dünner Filme in der Lage sind, einen großen magnetischen Fluß bei relativ hohen Frequenzen, wie z.B. solchen Frequenzen, bei welchen der Film mittels Rotation umschaltet, zu unterhalten. Die wesentlichen Frequenzen liegen im Bereich zwischen etwa 0,1 und etwa 100 MHz,

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Es ist die Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren anzugeben, mit dem in einer vertretbaren Behandlungszeit mit geringem zusätzlichem apparativem Aufwand eine Erhöhung der Permeabilität von Körpern aus einer magnetischen Legierung mit einer Achse bevorzugter und einer Achse erschwerter Magnetisierung erzielt werden kann, ohne daß dabei die magnetische Anisotropie der magnetischen Körper reduziert wird.

Diese Aufgabe wird mit einem Verfahren der eingangs genannten Art dadurch gelöst, daß der aus einer magnetischen Legierung bestehende Körper mit einem in Richtung der Achse erschwerter Magnetisierung orientierten Magnetfeld einer Stärke von mindestens 40 Oe behandelt wird, wobei dieser Körper auf einer festgelegten Temperatur zwischen etwa 200 und etwa 500 ⁰C gehalten wird, und die Behandlungsdauer so festgelegt wird, daß noch keine die magnetische Anisotropie vermindernde Rekrxstallxsation eintritt, und anschließend auf Zimmertemperatur abgekühlt wird.

Mit dem beschriebenen Verfahren ist es in einzelnen Fällen möglich, die Permeabilität in Richtung der Achse erschwerter Magnetisierung mehr als zu verdoppeln. Dieser Effekt kann durch entsprechende Abstimmung von Behandlungsdauer und Behandlungstemperatur erzielt werden, ohne daß eine Blockierung der Achse erschwerter Magnetisierung (hard axis locking) und eine wesentliche Verminderung der magnetischen Anisotropie eintritt. Eine Erhöhung der Permeabilität läßt sich im ganzen Frequenzbereich zwischen etwa 0,1 und etwa 100 MHz erzielen. Ein weiterer Vorteil des beschriebenen Verfahrens besteht darin, daß es sich auch auf Körper von kompli- j zierter Form anwenden läßt. Das Verfahren ist in seiner Anwendung ■ flexibel. Insbesondere Legierungen, die durch Aufdampfen, Elektroplattieren oder Stromlosplattieren aufgebracht worden sind, können entweder bei relativ niedrigen Temperaturen oder bei relativ hohen Temperaturen behandelt werden. Im ersten Fall dauert zwar

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dann die Behandlung entsprechend lang, sie muß aber nicht überwacht werden, während im zweiten Fall das gewünschte Ergebnis in sehr kurzer Zeit erreicht wird. Da das beschriebene Verfahren keine besonders hohen Anforderungen an die genaue Einhaltung der Prozeßparameter stellt, läßt es sich mit einfachen und deshalb billigen Vorrichtungen durchführen.

Zwar sind, wie sich z.B. aus der US-Patentschrift 3 546 031 ergibt, Verfahren bekannt, bei denen magnetische Legierungen in einem Magnetfeld einer Wärmebehandlung ausgesetzt werden. Bei dem in der genannten US-Patentschrift beschriebenen Verfahren wird aber nicht die Aufgabe gelöst, die Permeabilität zu erhöhen, und im übrigen wird bei diesem Verfahren unter Prozeßbedingungen gearbeitet, bei denen eine vorhandene magnetische Anisotropie in der Legierung verlorengeht, was bei dem beschriebenen Verfahren vermieden wird.

Insbesondere dann, wenn die Form des magnetischen Körpers durch schmale Spalten oder Streifen zwischen etwa 1 und etwa 12 μ Breite unterbrochen ist, ist es vorteilhaft, wenn ein Magnetfeld einer Stärke von mindestens 100 Gauss angelegt wird, wobei es besonders günstig ist, wenn bei Feldstärken zwischen etwa 500 und etwa 5000 Gauss gearbeitet wird. Bei der Festlegung der günstigsten Magnetfeldstärke sind im übrigen auch das Verhältnis von der Dicke des magnetischen Körpers zu seinen lateralen Abmessungen und die Form des Körpers zu berücksichtigen.

Es ist vorteilhaft, wenn magnetische Legierungen, die mittels Bedampfens, Elektroplattierens oder Stromlosplattierens aufgebracht worden sind, bei Temperaturen zwischen etwa 200 und etwa 250 ⁰C behandelt werden. Bei diesen Temperaturen besteht auch bei längerer Behandlung nicht die Gefahr der Rekristallisation.

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In dem Temperaturbereich unter 250 ⁰C ist es günstig, den Körper zwischen etwa 1/2 und etwa 6 Stunden zu behandeln. Besonders vorteilhafte Behandlungszeiten liegen zwischen etwa 1 1/2 und etwa 3 Stunden.

Um die Behandlungsdauer abzukürzen, ist es vorteilhaft, magnetische Legierungen, die mittels Bedampfens, Elektroplattierens und Stromlosplattierens aufgebracht worden sind, bei Temperaturen zwischen etwa 250 und etwa 450 ⁰C zu behandeln.

Es ist günstig, Körper, die aus einer Legierung bestehen, welche mittels Kathodenzerstäubung oder Hochtemperaturbedampfung aufgebracht worden ist, bei Temperaturen zwischen etwa 250 und etwa 500 ⁰C zu behandeln, wobei der Temperaturbereich zwischen etwa 400 und etwa 450 ⁰C besonders vorteilhaft ist.

Bei Temperaturen oberhalb 250 ⁰C liegt die günstige Behandlungsdauer zwischen etwa 2 Minuten und etwa 1/2 Stunde, wobei es besonders vorteilhaft ist, zwischen etwa 2 und etwa 15 Minuten lang zu behandeln.

Das Verfahren läßt sich vorteilhaft anwenden auf Körper, welche etwa 20 bis etwa 95 Gew.-% Nickel, etwa 50 bis etwa 80 Gew.-% Eisen und etwa 20 Gew.-% eines oder mehreren aus der Gruppe Kupfer, Mangan, Molybdän, Titan, Silicium, Chrom, Beryllium und Wolfram entnommener Elemente enthält, oder aus einer Legierung besteht, die Eisen und bis zu etwa 12 Gew.-% Silicium enthält. Solche Körper lassen sich durch Kathodenzerstäubung oder Hochtemperaturbedampfung aufbringen-

Zur Stabilisierung kann der Körper aus einer magnetischen Legierung zusätzlich mit einem in Richtung der Achse bevorzugter Magnetisierung orientierten Magnetfeld behandelt werden.

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Um sicherzugehen, daß der Körper aus einer magnetischen Legierung beim Abkühlen nicht beschädigt wird, ist es vorteilhaft, wenn er innerhalb von mindestens 1/2 Stunde auf Zimmertemperatur abgekühlt wird.

In vorteilhafter Weise läßt sich das Verfahren anwenden auf Körper aus einer magnetischen Legierung, welche in magnetischen Geräten, wie z.B. Dünnschichtmagnetköpfen, normalen Magnetköpfen, magnetischen Abschirmungen und Laminaten, in welchen sich Schichten aus dem magnetischen Material mit Schichten aus unmagnetischem Material abwechseln, enthalten sind. Dabei ist das Verfahren auch auf solche magnetische Körper aus einer magnetischen Legierung anwendbar, die aus einem 1 bis 12 μ breite, senkrecht zur Filmebene verlaufende Spalte aufweisenden dünnen Film bestehen.

Die Erfindung wird anhand von durch Zeichnungen erläuterten Ausführungsbeispielen beschrieben.

Es zeigen!

Fig. 1 in schematischer Darstellung einen horizontalen

Magnetkopf mit einer Windung entsprechend dem Stand der Technik, der mit dem erfindungsgemäßen Verfahren behandelt werden kann,

Fig.2 in schematischer Darstellung einen vertikalen

Fig. 3 die schematische Darstellung eines Musters

(pattern) eines Magnetkopfes mit einer Windung entsprechend dem Stand der Technik.

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Fig. 4 die schematische Darstellung einer Vorrichtung,

die dazu benutzt werden kann, das erfindungsgemäße Verfahren durchzuführen,

Fig. 4A eine Probe, welche in der in Fig. 4 dargestellten

Vorrichtung behandelt werden kann und die

Fign. 5-11 Diagramme, welche die Wirkung auf bestimmte

Eigenschaften durch verschiedene Behandlungen mit magnetischen Feldern zeigen.

Das beschriebene Verfahren befaßt sich mit der Erhöhung der magnetischen Permeabilität eines Körpers aus einer magnetischen Legierung, welcher eine bevorzugte (easy axis) und eine erschwerte (hard axis) Richtung der Magnetisierung hat und in der Filmebene magnetisch anisotrop ist. Der Körper aus einer magnetischen Legierung, welcher gemäß dem beschriebenen Verfahren behandelt wird, kann aus einem magnetischen Material bestehen, welches insbesondere in Form eines Films vorliegt, welcher hergestellt wurde, indem eine geeignete ferromagnetische Legierung auf ein Substrat unter dem Einfluß eines orientierenden magnetischen Feldes aufgebracht worden ist. Der Film kann mittels bekannter Methoden wie z.B. mittels Aufdampfens, Elektroplattieren, Stromlosplattierens, Kathodenzerstäubens, Kombinationen solcher Methoden oder ähnlicher Verfahren aufgebracht werden. Der resultierende Film zeigt eine magnetische Anisotropie bezogen auf eine Achse, die parallel zu der Ebene des Films verläuft und als harte Achse (hard axis) bezeichnet wird und das beschriebene Verfahren bewirkt eine bedeutsame Erhöhung der magnetischen Permeabilität.

Zu den Beispielen geeigneter magnetischer Filme, welche mit dem beschriebenen Verfahren behandelt werden können, gehören Eisen-Siliciumlegierungen, welche von einer Spur (d.h. etwa 0,01 Gew.-%) bis zu etwa 12 Gew.-% Silicium enthalten, wobei der

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Siliciumanteil bevorzugt zwischen etwa 3 und etwa 6 Gew.-% liegt, und Nickel-Eisenlegierungen, welche zwischen etwa 20 und 95 Gew.-\ Nickel und zwischen etwa 5 und etwa 80 Gew.-% Eisen enthalten. Zusätzlich können die Nickel-Eisenlegierungen bis zu einer Gesamtmenge von etwa 20 Gew.-% ein oder mehrere andere Elemente, wie z.B. Kobalt, Kupfer, Beryllium, Mangan, Molybdän, Titan, Silicium, Chrom und Wolfram enthalten.

Beispielhaft für einige Legierungen, welche bei dem beschriebenen Verfahren angewandt werden können, sind eine Legierung, die 50 Gew.-% Nickel und 50 % Gew.-% Eisen enthält, eine Legierung, die 80 Gew.~% Nickel und 20 Gew.-% Eisen enthält, eine Legierung, die 65 Gew.-% Nickel und 35 Gew.-% Eisen enthält, eine Legierung, die 45 % Gew.-% Nickel, 25 Gew.-% Kobalt und 30 Gew.-% Eisen enthält, eine Legierung die 79 Gew.-% Nickel, 17 Gew.-% Eisen und 4 Gew.-% Molybdän enthält, eine Legierung, die 78 Gew.-% Nickel, 17 Gew.-% Eisen und 5 Gew.-% Kupfer enthält, eine Legierung, die 79 Gew.-% Nickel, 19 Gew.-% Eisen und 2 Gew.-% Chrom enthält, eine Legierung die 65 Gew.-% Nickel, 25 Gew.-% Eisen und 10 Gew.-% Mangan enthält, eine Legierung, die 43 Gew.-% Nickel, 54 Gew.-% Eisen und 3 Gew.--% Silicium enthält, eine Legierung, die 16 Gew.-I Eisen, 6 Gew.-% Chrom und 78 Gew.-% Nickel enthält und eine Legierung die 94 Gew.-% Eisen und 6 Gew.-% Silicium enthält.

Das Substrat, auf welches der Film aufgebracht wird, kann aus einer Vielzahl von Materialien ausgewählt werden, welche schon bisher von Fachleuten benutzt werden. Das Substrat kann beispielsweise Glas, thermisch auf einem Siliciumplättchens gewachsenes SiO₂, kathodenzerstäubtes Al₃O₃ oder Saphir sein. Darüberhinaus kann das Substrat ein nichtmagnetisches Metall oder eine Metallegierung, wie z.B. Kupfer, Silber oder Gold sein. Wenn dies erwünscht ist, können die oben genannten Substrate mit synthetischen Polymeren, wie z.B. Polyimiden, Polysulfonen oder Photolack-Polymeren beschichtet sein. Kommerziell können Photolackpolymere von der Shipley Company, Inc. of Wellesley,

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Massachusetts und von der Eastman Kodak Company, Rochester, New York bezogen werden. Ein besonders handelübliches Material ist der Shipley Photolack 1350, welcher nach Auskunft des Herstellers aus einem m-Kresolformaldehyd-Novolak-Harz besteht und mit dem 2-Diazo-1-Oxo-naphtalin-5-sulfensäureester von 2, 3, 4~Trihydroxybenzophenon sensibilisiert ist.

Werden die oben erwähnten Substrate für Dünnfilmmagnetköpfe benutzt, können sie zusätzlich metallisiert werden, beispielsweise durch Aufdampfen einer etwa 50 bis 500 S dicken Schicht eines die Haftung fördernden Metalls, wie Titan, Tantal, Chrom oder Aluminium und einer etwa 200 bis 1000 S dicken Schicht von Kupfer, Gold oder Permalloy (80 Gew.-% Nickel, 20 Gew.-% Eisen) vor dem Aufbringen des magnetischen Materials. Darüberhinaus können die magnetischen Filme so prozessiert werden, daß schmale Spalte im Film entstehen. Etwa 1 bis 12 μ breite Spalte werden beispielsweise bei der Herstellung dieser Filme erzeugt, wenn diese Filme für Dünnfilmmagnefcköpfe vorgesehen sind. Es ist auch möglich, dünne Streifen von beispielsweise etwa 1 bis etwa 12 ja Breite entlang dem Film vorzusehen, um die Bereiche des Dünnfilmmagnetkopfes zu markieren, um auf diese Weise das Ätzen zu erleichtern.

Das beschriebene Verfahren ist auch besonders geeignet zum Behandeln von Gegenständen, welche zwei voneinander durch einen Leiter und mehrere dielektrische Schichten getrennte magnetische Filme haben, wie z.B. in induktiv oder integriert induktiv gekoppelten magnetoresistiven Köpfen mit vielen Windungen. In solchen Fällen kann einer der Filme kleinflächig, d.h. geätzt, sein, während der andere Film in der Form einer großen Fläche vorliegen kann.

Jede Schicht oder jeder Film aus magnetischem Material, der entsprechend dem beschriebenen Verfahren behandelt wird, hat eine Dicke zwischen etwa 0,25 und etwa 5 μ, wobei der bevorzugte Be-

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reich zwischen etwa 1 und etwa 4 u liegt. Das beschriebene Verfahren ist auch besonders dafür geeignet, Laminate zu behandeln, welche beispielsweise eine Vielzahl von sich abwechselnden Schichten von magnetischen und nichtmagnetischen Filmen und Substraten des oben besprochenen Typs enthalten.

Die Fig. 1 ist eine schematische Darstellung eines horizontalen Magnetkopfes mit einer Windung entsprechend dem Stand der Technik, dessen Eigenschaften verbessert werden können, indem er entsprechend dem beschriebenen Verfahren behandelt wird. Mit der Nummer 1 ist der Spalt des Magnetkopfes bezeichnet. Dieser Spalt kann eine Breite von beispielsweise zwischen etwa 0,5 und etwa 5 u haben. Der zu dem Magnetkopf gehörende magnetische Film, welcher entsprechend dem beschriebenen Verfahren behandelt werden kann, hat eine mit der Nummer 2 bezeichnete Dicke, welche in dem speziellen abgebildeten Fall zwischen etwa 1 und etwa 4 μ dick sein kann. Der genannte Film hat eine mit 3 bezeichnete Breite, welche je nach Wunsch zwischen etwa 1O und etwa 500 u betragen kann. Der magnetische Film ist mit einem Leiter verbunden, der z.B. aus Kupfer, Gold oder Aluminium besteht, und eine mit der Nummer 4 bezeichnete Breite und eine mit der Nummer 5 bezeichnete Dicke hat.

Die Fig. 2 zeigt in schematischer Darstellung einen vertikalen Magnetkopf mit einer Windung entsprechend dem Stand der Technik, der auch entsprechend dem beschriebenen Verfahren behandelt werden kann. Die Nummern 1, 2 und 3 in der Fig. 2 bezeichnen dieselben Elemente wie in der Fig. 1. Die Nummer 10 bezeichnet einen Leiter, der z.B. aus einer Kupfer-, Aluminium- oder Goldschicht besteht, für die magnetischen Filme 2 und 3. Die Nummer 11 bezeichnet das Substrat für den Magnetkopf, welches, wie in diesem Beispiel gezeigt wird, aus einem ersten Substrat 12, welches aus Silicium hergestellt sein kann und eine Schicht 13 aus einem anderen nichtleitenden Material, wie z.B. Siliciumdioxid (SiO₀) unterstützt. Die Nummer 14 bezeichnet die Grundplatte für den Magnetkopf.

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Die Fig. 3 ist eine schematische Darstellung eines Musters (pattern) mit einer Windung für den in Fig. 1 gezeigten Magnetkopf. Die Nummern 1,3 und 4 bezeichnen dieselben Elemente wie in der Fig. Die Nummer 20 bezeichnet Kontaktflächen für den Magnetkopf, die Nummer 21 die Leiterzüge und die Nummer 22 eine zusätzliche magnetische Schicht, wie z.B. eine äußere, geätzte Permalloy-Schicht. X bezeichnet die Achse der bevorzugten Magnetisierung der magnetischen Schicht. Eine detailliertere Diskussion des Verfahrens, nach dem die oben beschriebenen Dünnfilmmagnetköpfe erhalten werden können, kann in den IEEE Transactions on Magnetics, Band MA9-6, Nr. 3, September 1970, Seiten 597-601 in einem Artikel von Romankiw u.a. und in dem Artikel von Romankiw u.a.: "Batch Fabrication of Thin Film Magnetic Rocording Heads', der eine Literaturzusammenfassung und eine Prozeßbeschreibung für die Herstellung von vertikalen Magnetköpfen mit einer Windung enthält und der auf der Intermag. Conference, April 1973 in Washington, D.C. (Abstract Nr. 15-2) vorgetragen und in den IEEE Transactions on Magnetics, Band Mag-11, Seiten 50-55 veröffentlicht worden ist, nachgelesen werden.

Die Fig. 4 veranschaulicht die Vorrichtung, welche bei der Durchführung des beschriebenen Verfahrens angewandt werden kann. Die Nummern 30 und 31 bezeichnen den Nord- bzw. Südpol eines Elektromagneten. Anstelle eines Elektromagneten kann ein Paar von Helmholtz-Spulen oder ein Permanentmagnet benutzt werden. Die Nummer 32 bezeichnet Halter für Proben 33, die dem beschriebenen Verfahren unterworfen werden sollen. Mehrere Probenhalter können aufeinander gestellt werden. Die Probenhalter bestehen aus einem Metall mit guter Wärmeleitfähigkeit, wodurch eine einheitliche Temperatur des Probenhalters gesichert ist. Die Nummer 34 bezeichnet einen Metallblock, welcher wie die Probenhalter 32 aus einem gutleitendem Metall gemacht ist und deshalb eine einheitliche Temperatur hat. Die Nummer 35 bezeichnet eine elektrische Heizung und Ziffer 36 eine elektrische Lei-

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tung zu der Heizung 35. Die Ziffer 37 bezeichnet ein Thermoelement/ um die Temperatur während der Behandlung zu messen. Das Thermoelement ist mit den Probenhaltern 32 verbunden, obwohl dies nicht in der Figur gezeigt ist. Ziffer 38 bezeichnet eine Abdeckung, welche über die Probe während der Behandlung gestülpt wird. Die Ziffern 39 und 40 bezeichnen eine ankommende bzw. eine abgehende Leitung für Kühlmittel, wie z.B. Luft oder Wasser, welche nach der magnetischen Behandlung angewandt werden, um die Probe auf Raumtemperatur abzukühlen. Y bezeichnet die Richtung der Achse der erschwerten Magnetisierung (hard axis). Die Fig. 4A ist eine vergrößerte Ansicht der in Fig. 4 gezeigten Probe 33. X bezeichnet die Richtung der Achse bevorzugter Magnetisierung (easy axis) und Y bezeichnet die Richtung der Achse der erschwerten Magnetisierung (hard axis).

Das magnetische Feld, dem der Körper aus der magnetischen Legierung bei der Durchführung des beschriebenen Verfahrens ausgesetzt wird, muß mindestens eine Stärke von 40 Gauss haben und hat bevorzugt eine Stärke von mindestens 100 Gauss. Wenn die Schicht der magnetischen Legierung durch enge Spalte oder Streifen von etwa 1 bis 12 μ Breite unterbrochen ist_f muß das Feld mindestens eine Stärke von 100 Gauss und bevorzugt von mindestens 500 Gauss haben. Die Stärke des benötigten magnetischen Feldes hängt ab von der Beziehung zwischen der Dicke und den lateralen Abmessungen der magnetischen Legierung. Die Stärke des notwendigen Feldes nimmt zu, wenn, die lateralen Abmessungen der magnetischen Legierung, die behandelt wird, abnehmen und wenn die Dicke der z.B. in Form eines Films vorliegenden magnetischen Legierung zunimmt. Die Stärke des magnetischen Feldes liegt im allgemeinen zwischen etwa 40 und 5000 Gauss und bevorzugt zwischen 100 und 5000 Gauss, wobei die optimalste Stärke zwischen etwa 500 und etwa 5000 Gauss liegt.

Allgemein gesagt muß die Stärke des angewandten magnetischen Feldes größer sein als die Summe aus dem entmagnetisierenden Feld und der Koerzitivkraft des speziellen Gegenstandes, der

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behandelt wird. Im besonderen gilt, daß wenn der Gegenstand komplizierter wird und der Unterschied zwischen beispielsweise den lateralen Abmessungen des magnetischen Materials und seiner Dicke 2 abnimmt, das magnetische Feld, das nötig ist um die magnetische Permeabilität zu erhöhen, zunimmt. Allgemein läßt sich sagen, daß wenn man es mit sehr dünnschichtigen Magnetköpfen von komplizierter Form zu tun hat, das magnetische Feld mindestens etwa 100 Gauss stark sein muß.

Um die gewünschten Wirkungen des beschriebenen Verfahrens zu erzielen,muß das magnetische Feld entlang der Achse der erschwerten Magnetisierung (hard axis) des magnetischen Materials orientiert sein. Darüber hinaus ist beobachtet worden, daß zusätzlich zu der Behandlung in Richtung der Achse erschwerter Magnetisierung es manchmal wünschenswert sein kann_f auch einen magnetischen Behandlungsschritt in Richtung der Achse bevorzugter Magnetisierung (easy axis) vor oder nach der Behandlung entlang der Achse erschwerter Magnetisierung einzufügen. Jedoch wird das beschriebene Verfahren überwiegend ohne eine Behandlung in Richtung der Achse bevorzugter Magnetisierung durchgeführt.

Die Temperatur, bei der der Gegenstand während der magnetischen Behandlung gehalten wird, sollte bevorzugt oberhalb der Temperatur liegen, welche angewandt wurde und welche notwendig ist, um die magnetische Legierung auf ihr Substrat aufzubringen. Jedoch sollte der Körper aus der magnetischen Legierung nicht auf einer Temperatur und vor allem nicht für eine so lange Zeit gehalten werden, die ausreicht, um die magnetische Legierung in einem solchen Ausmaß zur Rekristallisation zu bringen, daß sie ihre Anisotropie verliert.

Oberhalb der bei einem gegebenen Film für die Rekristallisation kritischen Temperatur ist das Ausmaß der Rekristallisation abhängig sowohl von der Temperatur als auch von der Zeit. Unterhalb der Rekristallisationstemperatur, d.h. unterhalb 250 ⁰C

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bei Filmen, die durch Aufdampfen, Elektroplattieren oder stromloses Plattieren aufgebracht worden sind, kann der Gegenstand relativ lange Zeit erhitzt werden, ohne daß sich dies nachteilig auf die Anisotropie auswirkt.

In dem Temperaturbereich, in welchem Rekristallisation auftreten kann, sollte je höher die Temperatur ist, auf der der Gegenstand gehalten wird, umso kürzer die Zeitdauer des Erhitzens gehalten werden, um Rekristallisation und einen Verlust an Anisotropie zu vermeiden.

Es ist beobachtet worden, daß Filme von magnetischem Material, die mittels Bedampfens, Elektroplattierens -oder Stromlosplattierens aufgebracht worden sind, bei Temperaturen zwischen etwa 200 und etwa 250 ⁰C und oberhalb etwa 250 ⁰C bis etwa 450 ⁰C abhängig von der Zeitdauer der Behandlung behandelt werden können. Werden solche Filme bei Temperaturen oberhalb dieses Bereichs oder langer als die vorherbestimmten Zeiten behandelt, findet eine Rotation der Achse bevorzugter Magnetisierung statt, wodurch, wie die Kurve 4 in der Fig. 5 zeigt, eine Reduzierung seiner Permeabilität auftritt. Bei solchen höheren Temperaturen beginnen die Filme eine teilweise Blockierung der Achse erschwerter Magnetisierung (hard axis locking) zusammen mit einer Reduzierung in der Permeabilität zu zeigen.

Wird jedoch die magnetische Legierung mit Verfahren wie Kathodenzerstäubung oder Hochtemperaturaufdampfen aufgebracht, bei denen die Temperatur der Filmoberfläche viel höher ist als bei normaler Bedampfung, bei Elektroplattierung und bei stromloser Plattierung, muß die magnetische Behandlung bei Temperaturen im Bereich zwischen der Oberflächentemperatur des Films während der Kathodenzerstäubung oder der Hochtemperaturbedampfung und etwa 500 ⁰C stattfinden. Normalerweise liegt dabei die Temperatur im Bereich zwischen etwa 250 und etwa 500 ⁰C und bevorzugt im Bereich zwischen etwa 400 und 450 ⁰C. Magnetische Legierungen, welche mittels

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Kathodenzerstäubung oder Hochtemperaturaufdampfung aufgebracht werden, enthalten Eisen und Silicium oder Eisen, Nickel und Molybdän und/oder Chrom und/oder Wolfram und/oder Kobalt und/oder Beryllium und/oder Kupfer. Temperaturen unterhalb der Kathodenzerstäubangstemperatur würden keine Verbesserung der Permeabilität solcher Legierungen bewirken.

Der Gegenstand wird dem oben erwähnten magnetischen Feld bei der ; oben erwähnten Temperatur eine Zeitdauer ausgesetzt, die mindestenä ^ausreichend ist, um die magnetische Permeabilität zu erhöhen, aber nicht ausreichend ist, um eine Rekristallisation der magnetischen Legierung in einem solchen Ausmaß zu bewirken, daß er seine Anisotropie verliert, wenn die Behandlungstemperatur oberhalb der , kritischen Temperatur, die eine Rekristallisation bewirken könnte, liegt. Die Behandlungsdauer ist in erster Linie abhängig von der Behandlungstemperatur. Die Behandlungszeit ist in einem geringeren ; Maß auch abhängig von der Stärke des Magnetfeldes, von der Größe, j ι

ider Form, von der Zusammensetzung des magnetischen Materials, . j jdas behandelt wird, vom Typ des angewandten Substrats und von der i Temperatur, der Stärke des Magnetfeldes und der Methode, die beim j !Aufbringen des magnetischen Materials angewandt werden. Normaler- i !weise wird die Behandlung zwischen mindestens einigen Minuten, d. !

■ i

;h. etwa 2 Minuten, und etwa 6 Stunden je nach der Temperatur i {dauern. Im besonderen wird die Behandlung im allgemeinen zwischen ! mindestens 1/2 Stunde und etwa 6 Stunden und vorzugsweise zwischen; etwa 1 1/2 und etwa 3 Stunden bei Temperaturen zwischen etwa 200 und 250 ⁰C durchgeführt. Bei Behandlungstemperaturen zwischen etwa 275 und etwa 500 ⁰C liegt die Behandlungsdauer im allgemeinen zwischen etwa 2 Minuten und etwa 1/2 Stunde und vorzugsweise zwischen etwa 2 Minuten und etwa 15 Minuten. Es sei klargestellt, daß die Behandlungszeit, dann, wenn Temperaturen oberhalb der Rekristallisationstemperatur angewandt werden, die Gesamtzeit ist, innerhalb der der Gegenstand solchen Temperaturen ausgesetzt ist, und die Aufheizzeit und die Zeit zum Herunterkühlen unterhalb die Rekristallisationstemperatur einschließt.

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Die Behandlung gemäß dem beschriebenen Verfahren erfordert normalerweise nicht eine besondere Gasatmosphäre, um die gewünschten Wirkungen zu erzielen. Normalerweise wird die Behandlung in Luft durchgeführt, weil dies die bequemste, einfachste und wirtschaftlichste Art ist, um das Verfahren durchzuführen. Ist jedoch der magnetische Körper oder Film dünner als 0,5 μ und die Behandlungstemperatur höher als 250 C, so wird die magnetische Behandlung vorzugsweise in einer nichtoxidierenden Atmosphäre, wie z.B. im Vakuum, in einer inerten Atmosphäre, wie z.B. in Stickstoff oder Argon, oder in einer reduzierenden Atmosphäre, wie z.B. in einer Wasserstoff- oder in einer Wasser-Stickstoff-Atmosphäre durchgeführt.

Den Gegenstand läßt man nach der magnetischen Behandlung auf Zimmertemperatur abkühlen, was im allgemeinen mindestens etwa 1/2 Stunde und gewöhnlich bis zu etwa 2 Stunden dauert. Die Zeit, in welcher ein spezieller Gegenstand bis auf Raumtemperatur abkühlt, hängt natürlich von der speziellen Struktur und der Form des Gegenstandes und auch von den speziellen angewandten Materialien ' ab. In manchen Fällen mag es wünschenswert sein, den Gegenstand ί schneller abzukühlen, um dadurch den Durchsatz zu erhöhen und j es kann dann möglich sein, spezielle Gegenstände in etwa 10 bis ■ 15 Minuten abzukühlen.

Auch kann es wünschenswert sein, nur teilweise schneller zu kühlen.. Liegt z.B. die Behandlungstemperatur oberhalb der Rekristallisationstemperatur, so kann es notwendig sein, den Gegenstand ! schnell bis unterhalb der Rekristallisationstemperatur und dann ' langsam vollends auf Raumtemperatur abzukühlen, um dadurch zu er- j reichen, daß die Gesamtzeit, während welcher sich der Gegenstand auf. einer Temperatur oberhalb der Rekristallisationstemperatur befindet, kürzer ist als die Zeitdauer, die ausreicht, um einen Anisotropieverlust zu bewirken. Jedoch sollen die Arten von Gegenständen, welche dem hier beschriebenen Verfahren unterworfen werden, nicht schnell gekühlt oder abgeschreckt werden, d.h. in

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weniger als 1 Minute auf Raumtemperatur abgekühlt werden. Der thermische Schock einer solch raschen Abkühlung könnte möglicherweise die Struktur des speziellen Gegenstandes zerstören, indem z.B. eine Entlaminierung verschiedener Schichten der Gegenstände, die dem beschriebenen Verfahren unterworfen werden, stattfindet. Das Abkühlen findet normalerweise in Gegenwart des Magnetfeldes statt. Das hier beschriebene Verfahren ermöglicht es, die magnetische Permeabilität der Achse der erschwerten Magnetisierung (hard axis) eines Körpers mit komplizierter Form beachtlich zu erhöhen.

Die folgenden Beispiele, die das beschriebene Verfahren in keiner Weise abschließend beschreiben, sollen das beschriebene Verfahren noch näher erläutern, Sofern nichts anderes angegeben ist, sind unter allen "Teil"-Angaben "Gewichtsteile" zu verstehen.

Beispiel 1

Teil A ;

Ein 2 μ dicker elektroplattxerter Permalloyfilm (81 Gew,-% Nickel, I 19 Gew.-% Eisen) mit einem Durchmesser von 2,794 cm und einer ; Permeabilität von 1800 bei 1 MHz, wird 2 Stunden lang in Luft in ! einem Magnetfeld von > 100 Gauss, das in Richtung der Achse der i erschwerten Magnetisierung (hard axis) orientiert ist, behandelt, wobei der Film auf einer Temperatur von etwa 200 ⁰C gehalten wird. ! Den Film läßt man dann innerhalb etwa 1 Stunde auf Raumtemperatur . abkühlen. Die Permeabilität des Filmes bei verschiedenen Fre- j

quenzen wird gemessen und es wird gefunden, daß sich die Permea- j bilität um einen Faktor von 1,5 bis 2 bei 1 MHz, d.h. auf 2700 bis 3600 erhöht hat. Die Permeabilität bei 100 MHz erhöht sich Von etwa 320 auf etwa 380.

Teil B

Der Teil A wird wiederholt mit der einen Ausnahme, daß die Be-

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handlungstemperatur bei etwa 250 ⁰C liegt. Die Permeabilität des Filmes erhöht sich während der Behandlung bei dieser Temperatur von etwa 27OO auf etwa 4OOO bei 1 MHz. Die Permeabilität bei 100 MHz ändert sich von 350 auf 250.

Teil C

Der Teil A wird mit dem 2 μ dicken elektroplattierten Film mit der Ausnahme wiederholt, daß die Temperatur des Gegenstandes während der magnetischen Behandlung bei etwa 275 ⁰C liegt. Die Behandlung bei 275 °C bewirkt eine Abnahme der Permeabilität der Achse mit erschwerter Magnetisierung (hard axis) des Films bei allen Frequenzen, da die Länge der Behandlung in Verbindung mit der Temperatur ausreicht, um einen Anisotropieverlust zu bewirken.

Die Permeabilität der Achse mit erschwerter Magnetisierung des in Teil A bis C behandelten Films gemessen bei verschiedenen Frequenzen ist in der Fig. 5 gezeigt. Die Kurve 1 in der Fig. 5 zeigt die Permeabilität bei verschiedenen Frequenzen nach einer Behandlung bei 2OO ⁰C. Die Kurve 2 in Fig. 5 zeigt die Permeabilität gemessen bei verschiedenen Frequenzen nach einer Behandlung bei 250 ⁰C, Die Kurve 4 zeigt die Permeabilität gemessen bei verschiedenen Frequenzen nach der Behandlung bei 275 ⁰C. Die Kurve 3 zeigt die Permeabilität des Films nach dem Plattieren vor jeder Behandlung.

Teil D

Teil A wird mit einer frischen Probe wiederholt mit der Ausnahme, j daß der Gegenstand mit 2,794 cm 0 anfänglich einer magnetischen Be-} handlung entlang der Achse bevorzugter Magnetisierung (easy axis) ; bei etwa 2OO ⁰C 2 Stunden lang mit einem 100 Gauss starken Magnetfeld vor der magnetischen Behandlung in Richtung der Achse der er- ^! schwerten Magnetisierung (hard axis) unterworfen wird. Die Permeabilität dieses Gegenstands wird bei verschiedenen Frequenzen

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gemessen und ebenso wird die Permeabilität desselben Gegenstandes vor jeder magnetischen Behandlung bei verschiedenen Frequenzen gemessen.

Die Fig. 6 zeigt die Permeabilität bei verschiedenen Frequenzen des Gegenstands der in Teil A und Teil D behandelt wurde und die Permeabilität eines Gegenstands, der überhaupt keine magnetische Behandlung in Richtung der Achse erschwerter Magnetisierung durchgemacht hat. Insbesondere zeigt die Kurve 1 in der Fig. 6 die Permeabilität des Gegenstands bei verschiedenen Frequenzen, der nur eine magnetische Behandlung in Richtung der Achse erschwerter Magnetisierung wie im Teil A durchgemacht hat. Die !Kurve 2 illustriert die Kombination von magnetischer Behandlung in Richtung der Achse bevorzugter Magnetisierung gefolgt von einer magnetischen Behandlung in Richtung der Achse erschwerter Magnetisierung wie im Teil D, und Kurve 3 zeigt die Permeabilität bei verschiedenen Frequenzen vor jeder magnetischen Behandlung in 'Richtung der Achse mit erschwerter Magnetisierung.

!Beispiel 2

Teil A

;Ein laminierter Gegenstand, der aus 40 Schichten von 500 S dicken Permalloyfilmen, die sich mit 40 Schichten von 200 8 dickem ■Schott-Glas abwechseln, aufgebaut ist und der hergestellt worden ist, indem das Permalloy bei 150 ⁰C aufgedampft worden ist, wird 2 Stunden lang in einem 100 Gauss starken Magnetfeld bei 225 ⁰C einer magnetischen Behandlung in Richtung der Achse mit erschwerter Magnetisierung ausgesetzt. Nach der magnetischen Behandlung wird das Laminat innerhalb von etwa 2 Stunden auf Raumtemperatur 'abgekühlt.

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Teil B

Der Teil A wird wiederholt mit dem Unterschied, daß das Laminat aufgebaut ist aus 40 Schichten von 500 S dicken Permalloyfilmen, die sich mit 40 Schichten von 200 S dickem Kupfer abwechseln, wobei das Laminat durch Elektroplattieren des Permalloyfilms erhalten worden ist.

Teil C

Der Teil A wird wiederholt mit der Ausnahme, daß das angewandte Laminat aus 40 Schichten von 500 A dicken Permalloyfilmen, die sich mit 40 Schichten von 200 S dicken Titanfilmen abwechseln, aufgebaut ist, wobei das Laminat durch Aufdampfen des Permalloyfilms auf ein Si0₂~oder Siliciumsubstrat bei 225 °C erhalten wird.

Die Ergebnisse der Permeabilitätsmessungen bei verschiedenen Frequenzen sind in Fig. 7 gezeigt. Die Kurve 1 in Fig. 7 zeigt die Permeabilität bei verschiedenen Frequenzen des im Beispiel 2 A benutzten Laminats, welches der magnetischen Behandlung unterworfen worden ist, während die Kurve 2 die Permeabilitäten des Laminats vom Beispiel 2 A vor der magnetischen Behandlung zeigt. Die Kurve 3 zeigt die Permeabilität des Laminats vom Beispiel 2 B, welches der magnetischen Behandlung unterworfen worden ist, während die Kurve 4 die Permeabilität des Laminats vom Beispiel 2 B vor der magnetischen Behandlung zeigt. Die Kurve 5 zeigt die Permeabilität des Laminats vom Beispiel 2 C, nachdem es der magnetischen Behandlung unterworfen worden ist, während die Kurve 6 die Permeabilität des Laminats vom Beispiel 2 C vor der magnetischen Behandlung zeigt.

Beispiel 3

Laminate unterschiedlicher Dicke, die aus etwa 500 R dicken, elektroplattierten Filmen von Permalloy mit 5 % Kupfer bestehen, die

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sich mit 250 Ä dicken Schichten von elektroplattiertem Kupfer abwechseln, werden 2 Stunden lang in einem 3000 Gauss starken Magnetfeld in Luft bei 225 ⁰C einer magnetischen Behandlung in Richtung der Achse erschwerter Magnetisierung (hard axis) ausgesetzt. Die Laminate werden anschließend innerhalb von 2 Stunden auf Raumtemperatur abgekühlt.

Kurve 1 in Fig. 8 zeigt die Permeabilität bei verschiedenen Frequenzen eines Laminats entsprechend Beispiel 3, dessen magnetische Schichten eine Gesamtdicke von 1,8 u haben, und das entsprechend dem Beispiel 3 behandelt worden ist, und Kurve 2 in Fig. 8 zeigt die Permeabilitätswerte desselben Laminats vor der magnetischen Behandlung. Kurve 3 in Fig. 8 zeigt die Permeabilität bei verschiedenen Frequenzen eines Laminats entsprechend Beispiel 3, dessen magnetische Schichten eine Gesamtdicke von etwa 1,04 u haben und das entsprechend Beispiel 3 behandelt worden ist, während die Kurve 4 in Fig. 8 die Permeabilitätswerte desselben Laminats vor der magnetischen Behandlung zeigt. Kurve 5 in Fig. 8 zeigt die Permeabilität bei verschiede- I nen Frequenzen eines Laminats entsprechend Beispiel 3, dessen ^: magnetische Schichten eine Gesamtdicke von etwa 0,9 u haben und ' das entsprechend Beispiel 3 behandelt worden ist, und die Kurve 6 zeigt die Permeabilitätswerte desselben Laminats wie in Kurve _: 5 vor der magnetischen Behandlung. '

Beispiel 4 ;

Ein Laminat bestehend aus 40 Schichten von 500 Ä dickem Permalloy, welches bei 150 ⁰C aufgedampft worden ist, wobei sich die Per- , malloyschichten mit 40 Schichten aus 100 8 dickem Titan abwechseln_f wird 2 Stunden lang in einem 3000 Gauss starken Feld, das in | Richtung der Achse mit erschwertter Magnetisierung orientiert ! ist, in Luft bei 225 °C behandelt. j

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Der Gegenstand wird dann in einem 300 Gauss starken Magnetfeld, das in Richtung der Achse bevorzugter Magnetisierung orientiert ist, in Luft 2 Stunden lang bei etwa 225 ⁰C behandelt. Anschließend läßt man das Laminat auf Raumtemperatur abkühlen.

Die Fig. 9 zeigt die Permeabilitätswerte, die bei verschiedenen Frequenzen an dem Produkt des obigen Beispiels gemessen wurden. Insbesondere zeigt Kurve 1 in Fig. 9 die Permeabilität bei verschiedenen Frequenzen des Laminats, das bei 225 °C mit einem Magnetfeld, das in Richtung der Achse erschwerter Magnetisierung orientiert war, behandelt worden ist und das nicht der anschließenden Behandlung mit einem Magnetfeld in Richtung der bevorzugten Magnetisierung unterworfen worden ist. Kurve 2 in Fig. 9 zeigt die Permeabilität bei verschiedenen Frequenzen des Laminats, welches beiden Behandlungen, nämlich sowohl dem Magnetfeld in Richtung der Achse erschwerter Magnetisierung als auch dem Magnetfeld in Richtung der bevorzugten Magnetisierung entsprechend dem obigen Beispiel unterworfen worden ist. Die Kurve 3 in Fig. 9 zeigt die Permeabilität bei verschiedenen Frequenzen des Laminats von Beispiel 5, welches keiner magnetischen Behandlung entsprechend dem obigen Beispiel unterworfen ist, ■

Beispiel 6

Ein 2 u dicker Film aus elektroplattiertem Permalloy wird 2 Stunden lang in einem 3000 Gauss starken Feld, das in Richtung der Achse erschwerter Magnetisierung orientiert ist, bei zunehmend höheren Temperaturen zwischen Raumtemperatur und 275 ⁰C behandelt. Die Permeabilität des Gegenstands wird bei verschiedenen Frequenzen und bei den verschiedenen Temperaturen gemessen. Die Messungen von H (Koerzitivkraft), H, (Anisotropiefeld), α (auf den Winkel bezogene Dispersion der Achse bevorzugter Magnetisierung) und ξ' (magnetischer Widerstand) sind über den verschiede- ; nen Temperaturen in den Fign. 10 und 11 aufgetragen. Wie man aus

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diesen Figuren ersieht, scheint die optimale Temperatur bei der gewählten ] zu liegen.

gewählten Behandlungszeit für diesen Filmtyp bei etwa 250 C

Wie sich aus den verschiedenen Beispielen ergibt und sich anhand der Figuren, in welche die Permeabilitätsmessungen eingetragen sind, zeigen läßt, ist es offensichtlich, daß das beschriebene Verfahren, die Permeabilität stark erhöht und daß in den meisten Fällen diese Erhöhung im ganzen untersuchten Frequenzbereich auftritt.

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Claims

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PATENTANSPRÜCHE

Verfahren zum Erhöhen der magnetischen Permeabilität von Körpern aus einer magnetischen Legierung mit einer Achse bevorzugter (easy axis) und einer Achse erschwerter (hard axis) Magnetisierung, dadurch gekennzeichnet, daß der aus einer magnetischen Legierung bestehende Körper mit einem in Richtung der Achse erschwerter Magnetisierung orientierten Magnetfeld einer Stärke von mindestens etwa 40 Oe behandelt wird, wobei dieser Körper auf einer festgelegten Temperatur zwischen etwa 200 und etwa 500 C gehalten wird und die Behandlungsdauer so festgelegt wird, daß noch keine die magnetische Anisotropie vermindernde Rekristallisation eintritt, und anschließend auf Zimmertemperatur abgekühlt wird.

Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein Magnetfeld einer Stärke von mindestens etwa 100 Gauss angelegt wird.

Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, i daß ein Magnetfeld einer Stärke zwischen etwa 500 und etwa j 5000 Gauss angelegt wird. I

Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Körper aus einer mittels Bedampfens, Elektroplattierens oder Stromlosplattierens aufgebrachten magnetischen Legierung bei Temperaturen zwischen etwa 200 und etwa 250 ⁰C behandelt wird.

Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Körper aus einer magnetischen Legierung zwischen etwa 1/2 und 6 Stunden lang behandelt wird.

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6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet,

daß zwischen etwa 1,5 und etwa 3 Stunden behandelt wird.

7. Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Körper aus einer mittels Bedampfens, Elektroplattieren oder Stromlosplattierens aufgebrachten magnetischen Legierung bei Temperaturen zwischen etwa 250 und etwa 450 ⁰C behandelt wird.

8. Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Körper aus einer mittels Kathodenzerstäubung oder Hochtemperaturbedampfung aufgebrachten Legierung bei Temperaturen zwischen etwa 250 und etwa 500 ⁰C behandelt wird.

9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß bei Tempera
behandelt wird.

daß bei Temperaturen zwischen etwa 400 und etwa 450 ⁰C

10. Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche 7 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen etwa 2 Minuten und etwa 1/2 Stunde lang behandelt wird,

11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen etwa 2 Minuten und etwa 15 Minuten lang behandelt wird.

12. Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß ein Körper aus einer etwa 20 bis etwa 95 Gew.-% Nickel, etwa 5 bis 80 Gew.-% Eisen und bis zu etwa 20 Gew.-% eines oder mehreren aus der Gruppe Kupfer, Mangan, Molybdän, Titan, Silicium, Chrom, Beryllium und Wolfran entnommener Elemente enthaltenden, magnetischen Legierung behandelt wird.

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13. Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß ein Körper aus einer Eisen und bis zu etwa 12 Gew.-% Silicium enthaltenden magnetischen Legierung behandelt wird.

14. Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 11, dadurch gekennzeichnet, daß der Körper aus einer magnetischen Legierung zusätzlich mit einem in Richtung der Achse bevorzugter Magnetisierung orientierten Magnetfeld behandelt wird.

15. Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß der Körper aus einer magnetischen Legierung innerhalb eines Zeitraumes von mindestens 1/2 Stunde auf Z iramer temperatur abgekühlt wird.

16. Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß es auf einen den Körper aus einer magnetischen Legierung in dünner Schicht enthaltenden Dünnschichtmagnetkopf angewandt wird.

17. Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß es auf eine den Körper aus einer magnetischen Legierung enthaltende magnetische Abschirmung angewandt wird.

18. Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß es auf ein den Körper aus einer magnetischen Legierung in Form von sich mit Schichten aus unmagnetischem Material abwechselnden Schichten enthaltendes Laminat angewandt wird.

19. Verfahren nach einem oder mehreren der Ansprüche 1 bis 15, dadurch gekennzeichnet, daß es auf einen Körper aus einer magnetischen Legierung angewandt wird, der aus

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einem 1 bis 12 μ breite, senkrecht zur Filmebene verlaufende Spalte aufweisenden, dünnen Film besteht.

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