DE2540911B2 - Verfahren zur Bestimmung des Teilchenflusses in einer Vakuumbeschichtungsanlage und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens - Google Patents
Verfahren zur Bestimmung des Teilchenflusses in einer Vakuumbeschichtungsanlage und Vorrichtung zur Durchführung des VerfahrensInfo
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Description
ermittelt werden kann, wobei T1 und Ti die
Transmission des Teilchenstromes jeweils ohne bzw. mit Dopplereffekt des Laserstrahls in den beiden
genannten Richtungen bedeuten und ei, C2 und cj von ·"'
der geometrischen Anordnung und vorn Absorptionskoeffizienten der zu bestimmenden Teilchen bei
der Meßwellenlänge abhängige Konstanten darstellen.
4. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekenn- Vl
zeichnet, daß zuerst die Transmission T1 ohne Dopplereffekt an einer vorgewählten, einem Absorptionsmaximum der nachzuweisenden Teilchensorte entsprechenden Stelle des Spektrums gemessen und anschließend die Laserwellenlänge um Δ λ w
derart verändert wird, daß man für die Transmission
T2 mit Dopplereffekt ein Minimum erhält, so daß sich
der Teilchenfluß ergibt nach der Formel
R = C (log T1)C4 d λ
wobei Ci eine von der geometrischen Anordnung
und dem Absorptionskoeffizienten der zu messenden Teilchen abhängige Konstante bedeutet.
5. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß Laserstrahlung solcher Wellenlänge b0
eingestrahlt wird, daß in dem zu messenden Teilchenstrom Resonanzfluoreszenz erregt wird,
und daß die Verschiebung der Absorptionswellenlänge infolge Dopplereffektes auf Grund der zur
Erregung der Fluoreszenz erforderlichen Wellenlän- M
genverschiebung ermittelt wird.
6. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Verschiebung der Absorptionswel-
lenlänge bei Vorliegen eines Dopplereffektes auf Grund der sich infolge dieser Verschiebung ergebenden Änderung der Emissicnsüitensität der Fluoreszenzstrahlung ermittelt wird.
7. Vakuumbeschichtungsanlage zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1, bestehend aus
einem evakuierbaren Rezipienten mit Einrichtungen zur Erzeugung eines Teilchenstromes durch Verdampfung und/oder Zerstäubung von Stoffen,
Haltevorrichtungen für Substrate, auf denen dünne Schichten niedergeschlagen werden sollen, eine
Laser-Strahlungsquelle und mindestens einem Empfänger zur Messung der Absorption, dadurch
gekennzeichnet, daß Einrichtungen vorgesehen sind, um den Laserstrahl in zwei verschiedenen Richtungen durch den Teilchenstrom zu führen, und zwar in
je einer Richtung ohne bzw. mit Dopplereffekt, und daß jeder der beiden Richtungen ein Strahlungsempfänger zugeordnet ist, welcher die Intensität des
Laserstrahles nach Durchlaufen des Teilchenstromes zu messen ermöglicht
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Bestimmung des Teilchenflusses in einer Vakuumbeschichtungsanlage zur Herstellung dünner Schichten auf
Substraten und eine Vakuumbeschichtungsanlage für die Durchführung dieses Verfahrens, wobei der
Teilchenstrom von einem Laserstrahl durchstrahlt, die Schwächung der Intensität des Strahls infolge Absorption gemessen und daraus die Dichte ρ des Teilchenstromes ermittelt wird.
Unter Teilchenfluß im Rahmen dieser Beschreibung wird die Menge der Teilchen verstanden, die während
einer Sekunde durch einen vorgegebenen Querschnitt des Teilchenstromes fließt. Die Messung des Teilchenflusses hat beim Aufbringen von dünnen Schichten auf
Substrate eine besondere Bedeutung, weil die Schichteigenschaften (Struktur, Gefüge, Änderung der stofflichen
Zusammensetzung der Schicht infolge chemischer Reaktionen der Teilchen während des Aufbringens
usw.) wesentlich von der Aufbringungsgeschwindigkeit beeinflußt werden, so daß für die reproduzierbare
Herstellung dünner Schichten ein stets gleichbleibender Teilchenfluß erforderlich ist. Üblicherweise werden die
zum Aufbringen dünner Schichten benötigten Teilchenströme durch thermisches Verdampfen oder durch
Zerstäubung des aufzubringenden Materials durch Ionenbeschuß (z. B. durch Kathodenzerstäubung in
Edelgasen) hergestellt. Die zu beschichtenden Substrate werden im Teilchenstrom angeordnet, wobei die
Kondensationsrate auf dem Substrat außer vom Teilchenfluß noch vom Kondensationskoeffizienten
abhängig ist.
Bisher bekanntgewordene Einrichtungen zur Überwachung der Kondensationsrate beruhen nur auf der
Messung der Dampfdichte ρ im Aufdampfstrom, im Raum zwischen der Dampfquelle und den Substraten.
Auch ist bekannt, daß die Dampfdichte aus der optischen Absorption ermittelt werden kann. Die
Dichte ρ steht mit der Aufdampfrate R in Zusammenhang gemäß der Formel
R=QV
wobei ν die mittlere Geschwindigkeit der Dampfteilchen in der Richtung von der Quelle zum Substrat
bedeutet Letztere wurde bei diesen Absorptionsverfahren bisher nicht gemessen. Die Verwendung eines
Dampfdichtemeßgerätes als Ratemeter beruht auf der
Voraussetzung, daß einer gemessenen Dampfdichte in einem bestimmten Aufdampfprozeß in einer vorgegebenen
Anlage stets eine bestimmte, von Messung zu Messung gleichbleibende Geschwindigkeit ν zugeordnet
ist Diese Voraussetzung trifft aber im allgemeinen nicht mit genügender Genauigkeit zu, so daß eine
sichere Ratemessung allein durch Messung der Dampfdichte nicht möglich ist
Eine andere Art von bekannten Ratemetern benutzt die durch die Beschichtung eines in der Anlage
angeordneten Schwingquarzes sich ergebende Änderung seiner Eigenfrequenz, die mit Hilfe elektronischer
Meßeinrichtungen bestimmt wird. Aus der Frequenzänderung läßt sich die pro Zeiteinheit auf der Schwingquarzoberfläche
niedergeschlagene Masse und daraus die Zahl der zur Kondensation gelangenden Teilchen
ermitteln. Ein Nachteil dieser Geräte lie^t darin, daß sie
die Ratemessung nur während einer begrenzten Zeit ermöglichen, weil die auf den Quarz aufgebrachte
Schicht eine gewisse Dicke nicht überschreiten darf.
Weitere Nachteile der bekannten Schwingquarz-Ratemeter liegen in den Störungen, die durch die 2">
Wärmestrahlung von der Verdampfungsquelle her und die auf der Quarzoberfläche bei dessen Beschichtung
freiwerdende Kondensationswärme verursacht werde i.
Ferner sind Schwingquarzmeßeinrichtungen störanfällig gegenüber elektrischen Gasentladungen, die in to
Beschichtungsanlagen, vor allem bei den verschiedenen Verfahren der Festkörperzerstäubung durch Ionenbeschult
auftreten.
Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren der eingangs genannten Art is
zur direkten Bestimmung des Teilchenflusses anzugeben, so daß bei Kenntnis des Kondensationskoeffizienten
die Kondensationsrate exakt gemessen und gesteuert werden kann. Diese Aufgabe wird gemäß
Erfindung dadurch gelöst, daß außerdem aus der sich -»)
infolge der durch die Geschwindigkeitskomponente des Teilchenstromes in Richtung von der Quelle zum
Substrat auf Grund des Dopplereffektes ergebenden Verschiebung der Absorptionswellenlänge die Geschwindigkeit
ν des Teilchenstromes in der genannten -r>
Richtung bestimmt wird, so daß der Teilchenfluß als Produkt aus den Größen Teilchenstromdichte ρ und
Geschwindigkeit vermittelt werden kann.
Eine Vakuumbeschichtungsanlage zur Durchführung dieses Verfahrens besteht aus einem evakuierbaren r>o
Rezipienten mit Einrichtungen zur Erzeugung eines Teilchenstromes durch Verdampfung und/oder Zerstäubung
von Stoffen, Haltevorrichtungen für Substrate, auf denen dünne Schichten niedergeschlagen werden sollen,
einer Laser-Strahlungsquelle und mindestens einem w Empfänger zur Messung der Absorption und ist
erfindungsgemäß dadurch gekennzeichnet, daß Einrichtungen vorgesehen sind, um den Laserstrahl in zwei
verschiedenen Richtungen durch den Teilchenstrom zu führen, und zwar in je einer Richtung ohne bzw. mit w>
Dopplereffekt, und daß jeder der beiden Richtungen ein Strahlungsempfänger zugeordnet ist, welcher die
Intensität des Laserstrahles nach Durchlaufen des Teilchenstromes zu messen ermöglicht.
Nachfolgend wird die Erfindung an Hand eines μ Beispiels einer für die Durchführung der Erfindung
geeigneten Vakuumbeschichtungsanlage näher erläutert.
Die anliegende Zeichnung neigt in schematischer Darstellung die Vakuumkammer V mit zwei Quellen Q.
und Qb. die einen Teilchenstrom erzeugen und mit deren Hilfe zwei verschiedene Stoffe nacheinander oder
gleichzeitig auf den Substraten Su niedergeschlagen werden können. Die Substrate sind auf einem drehbaren
Trägerteller, der über eine vakuumdichte Drehdurchführung mittels eines Motors M angetrieben wird,
befestigt Zur genauen Festlegung der Bedampfungsi:eiten sind schwenkbare Abdeckblenden Ba und Bb
vorgesehen. Eine Heizeinrichtung H ermöglicht es, die Substrate während der Beschichtung auf einer für den
jeweiligen Beschichtungsvorgang optimalen Temperatur zu halten.
Die Anordnung weist ferner eine Laser-Strahlungsquelle auf, wofür im Beispielsfall ein Farbstofflaser FL
verwendet wird, der mittels eines Stickstofflasers N gepumpt wird. Farbstofflaser haben für den erfindungsgemäßen
Zweck den Vorteil, daß sie in einem bestimmten Wellenlängenbereich kontinuierlich durchstimmbar
sind.
Der durch den Farbstofflaser erzeugte Strahl wird durch ein Fenster Fin die Vakuumbeschichtungsanlage
eingeführt, durchquert den durch die Einrichtungen QA
und/oder Qb zur Verdampfung oder Kathodenzerstäubung erzeugten Teilchenstrom und tritt durch ein
gegenüberliegendes Fenster F wieder aus der Vakuumkammer aus. Er trifft dann auf einen Detektor D1 auf,
der die Messung der optischen Transmission Π des Teilchenstromes bei der jeweiligen Laserwellenlänge
ermöglicht.
Um die Fenster F vor Beschichtung durch gestreute Teilchen zu schützen, sind auf der Vakuumseite mehrere
Lochblenden vorgeschaltet, welche den Laserstrahl ungehindert hindurchtreten lassen, die gestreuten
Teilchen jedoch größtenteils daran hindern, zum Fenster zu gelangen.
Für die Durchführung der Erfindung ist ein weiterer Laserstrahl erforderlich, der den Teilchenstroni in einer
zweiten Richtung, vorzugsweise parallel zu seiner Hauptbewegungsrichtung durchquert. Um jedoch einen
zweiten Laser einzusparen, kann aus dem ersten Laserstrahl mit Hilfe eines teildurchlässigen Spiegels Sp
ein Tcilstrahl abgespalten und über weitere Spiegel R so umgelenkt werden, daß dieser Teilstrahl in der
gewünschten, der Bewegung des Teilchenstromes parallelen Richtung als zweiter Laserstrahl zur Verfügung
steht. Dieser zweite Laserstrahl wird wiederum über durch Lochblenden geschützte Fenster in die
Vakuumkammer ein- und ausgeschleust, wie die Zeichnung zeigt. Dem zweiten Strahl ist ein zweiter
Detektor Eh zugeordnet, der die Transmission Ti des
Teilchenstromes parallel zur Hauptbewegungsrichtung anzeigt.
Unter Transmission des Teilchenstromes wird das Verhältnis der Intensität / des Laserstrahls nach
Durchgang durch den Teilchenstrom zur Intensität /0 des Laserstrahls vor Eintritt in den Teilchenstrom
verstanden. /0 ist entweder (bei einem hinreichend stabilen Laser) bekannt oder kann bei Abwesenheit des
Teilchenstromes mit den erwähnten Detektoren gemessen werden. Eine andere vorteilhafte Möglichkeit zur
Bestimmung von I0 bestehr, darin, daß die Intensität der
ÜJrchgelassenen Strahlung abwechselnd bei zwei eng benachbarten Wellenlängen, von denen nur eine
absorbiert wird, gemessen wird, und daraus das Verhältnis von / (bei der absorbierenden Wellenlänge
zu /0 (bei der nicht absorbierenden Wellenlänge)
errechnet wird.
Hinsichtlich der theoretischen Grundlagen des erfindungsgemäßen Verfahrens sei bemerkt, daß der
Teilchenstrom für die gegebene Laserwellenlänge in den beiden Richtungen einen unterschiedlichen optischen Absorptionskoeffizienten besitzt.
Diese Erscheinung beruht auf den in den beiden Meßrichtungen verschieden großen Dopplereffekten
infolge der Bewegung der Teilchen; je nach Bewegungsrichtung erscheinen die Absorptionslinien der Teilchen
(z. B. eines Dampfes in einer Vakuumaufdampfanlage) gegenüber der Lage dieser Linien für ruhende Teilchen
verschoben. Im einfachsten Falle mißt man die Absorption unter einem rechten Winkel zur Bewegungsrichtung der Teilchen (wobei sie keine nennenswerte Geschwindigkeitskomponente in Richtung des
Meßlichtstrahles besitzen) ohne Dopplereffekt, dagegen mit dem zweiten Meßlichtstrahl parallel zur Bewegungsrichtung, wofür sich ein maximaler Dopplereffekt
ergibt.
Wird die Transmission des Teilchenstromes in zwei Richtungen für eine Laserwellenlänge, bei welcher die
Teilchen absorbieren, gemessen, dann kann der Teilchenfluß ermittelt werden nach der Formel
wobei 71 und Ti die Transmission des Teilchenstromes
für den Laserstrahl in den beiden genannten Richtungen und ei, es und c% von der geometrischen Anordnung und
vom Adsorptionskoeffizienten der zu bestimmenden Teilchen abhängige Konstanten bedeuten; letztere
können durch vorgängige Testmessungen bestimmt werden.
Man kann die beschriebene Messung nicht nur an der Stelle des Maximums einer Absorptionslinie durchführen, sondern auch bei einer etwas davon abweichenden
Wellenlänge an der Flanke der Absorptionslinie und erhält damit zwei Vorteile. Man erreicht eine erhöhte
Empfindlichkeit, da die Änderungsgeschwindigkeit der Absorption bei Verschiebung der Lage der Absorptionslinie infolge Dopplereffekts wegen der größeren
Steilheit der Flanke größer ist als beim oder in der Nähe des Absorptionsmaximums. Weiterhin bietet die Messung an der Flanke den Vorteil, daß die Änderung des
Meß-Signals der Geschwindigkeit des Teilchenstromes annähernd proportional ist
In einem Beispiel wurde in der Vakuumkammer Titanmetall thermisch verdampft, mit dem Ziel, eine
reine Titanschicht herzustellen. Das Ausgangsmetall Titan kann Verunreinigungen, z. B. TiO enthalten; bzw.
kann TiO auch durch chemische Reaktion mit dem Tiegel oder mit der Restgasatmosphäre gebildet
werden. Der fast ausschließlich aus Titanatomen bestehende Teilchenstrom weist also einen gewissen
Anteil an TiO-Mo!ekülen auf. Das erfindungsgemäße
Verfahren ermöglicht nun die getrennte Messung der beiden Teilchenflüsse während der Aufdampfung. Für
die Messung des Titanteilchenflusses wurde mit der Wellenlänge λ = 629,7 nm eingestrahlt und hierfür eine
Transmission Ti = 0,643 in der zur Hauptbewegungsrichtung des Dampfstromes senkrechten Richtung
ermittelt; dies bedeutet also, daß der Titan-Dampfstrom bei der genannten Wellenlänge und unter den
gegebenen geometrischen Bedingungen eine Absorption von 35,7% aufwies. Für die Transmission parallel
zur Richtung des Dampfstromes ergab sich der Wert T2
= 0337.
wurden die Konstanten zuvor mit ei = -1,95 χ ΙΟ12
cm~3, Ci = 1,64 χ 105 cm see-', Cj = 1,35 bestimmt.
Durch Einsetzen der gemessenen Transmissionen Ti und T2 in die obenerwähnte Formel errechnet sich
daraus ein Teilchenfluß von 1,75 χ ΙΟ16 Teilchen pro
cm2 und see.
Für die analoge Messung des TiO-Teilchenflusses
wurde die Wellenlänge λ = 615,9 nm, bei welcher Wellenlänge TiO eine Absorptionsbande besitzt, ver
wendet In diesem Falle ergab sich Ti = 0,942, T2 =
0,968 und daraus der TiO-Teilchenfluß zu 2,13 χ ΙΟ13
TiO-Moleküle pro cm2 und see.
Bei der Verdampfung von Nickel konnte der Ni-Teilchenfluß durch die Absorption bei 388,2 nm und
der gleichzeitig auftretende Fluß von NiO-Moleküler mittels der Wellenlänge λ = 517,5 nm auf die
vorbeschriebene Weise bestimmt werden.
In ähnlicher Weise kann der Fluß aller irr Teilchenstrom vorhandenen Teilchen einzeln bestimmt
werden, wenn eine geeignete Absorptionslinie zui Verfügung steht Dies gilt nicht nur für neutrale Atome
und Moleküle sondern auch für Ionen, deren Absorptionsspektrum sich von demjenigen der neutraler
Teilchen wesentlich unterscheidet Die Erfindung
ermöglicht auf diese Weise eine vollständige Überwachung der Stärke und Zusammensetzung des Teilchen
stromes in einer Vakuumbeschichtungsanlage. Beson ders vorteilhaft ist die Anwendung des erfindungsgemä
Ben Verfahrens bei der Verdampfung von Gemischen
jo z. B. von Legierungen, wobei es eine genaue Überwachung des Mischungsverhältnisses der einzelnen Korn
ponenten ermöglicht und die erhaltenen Meßgrößen zui Regelung des Aufdampfprozesses ausgenutzt werder
können.
In einer anderen Variante des erfindungsgemäßer Verfahrens wird zuerst Ti an einer vorgewählten, einen·
Absorptionsmaximum der nachzuweisenden Teilchen sorte entsprechenden Stelle des Spektrums gemesser
und anschließend die Laserwellenlänge um Δ λ derart
verändert, daß man für T2 ein Minimum erhält; es liegt
dann ein Absorptionsmaximum in der Ti-Richtung füi die veränderte Wellenlänge vor. Der TeilchenfiuB ergibt
sich dann nach der Formel
= ci(log Ti)&.Δ λ
wobei α eine von der geometrischen Anordnung unc
dem Absorptionskoeffizienten der zu messender Teilchen abhängige Konstante bedeutet
bei 385,990 nm eine Absorptionslinie (Lage des Maximums), wenn in der Richtung quer zum Dampfstrom (se
daß also kein Dopplereffekt auftritt) gemessen wird. Ir Bewegungsrichtung des Dampfstromes dagegen erhält
man bei der genannten Wellenlänge eine größere
Transmission, weil die Absorptionslinie infolge de;
Dopplereffektes nach längeren Wellenlängen verscho ben erscheint Im vorliegenden Beispiel erreichte mar
durch Vergrößerung der Wellenlänge um Δ λ = 1,2 χ
10-3nm, also bei Einstellung des Laserlichtes aul
3853912 nm ein Minimum der Transmission, was nach
den vorstehenden Ausführungen bedeutet, daß ir Bewegungsrichtung der Eisendampf bei dieser Wellen
länge ein Absorptionsmaximum aufwies. Einsetzen dei gemessenen Größen Ti und Δ λ in die zuletzt erwähnte
Formel ergibt dann für den Fe-Teilchenfluß den Wert 1,73 χ 1016. Hierbei wurde c» wiederum vorgängig
durch eine Testmessung ermittelt
Die Aufstellung der vorerwähnten Formeln erfolgt«
auf Grund der bekannten Therie des Dopplereffektes und der Messung von Dampfdichten auf Grund ihrer
optischen Absorption. Die Theorie dieser beiden Erscheinungen ist an sich bekannt und brauchte daher
nicht näher erläutert zu werden.
In einer weiteren Ausführungsform des erfindungsgemäßen
Verfahrens wird die Verschiebung der Absorptionswellenlänge infolge Dopplereffektes auf Grund der
zur Erregung der Fluoreszenz erforderlichen geänderten Wellenlänge des eingestrahlten Lichtes ermittelt, ι ο
Bei dieser Variante des Verfahrens ist nicht unbedingt ein zweiter Laserstrahl erforderlich; es kann dann auf
eine besondere Spiegelanordnung zur Gewinnung eines zweiten Laserstrahls verzichtet werden. Wird der
einzige verwendete Strahl parallel zur Bewegungsrichtung des Teiichenstromes eingestrahlt, ermöglicht dies
zunächst eine Absorption, woraus die Dichte des Teilchenstromes ermittelt werden kann. Die weitere
Messung der infolge Dopplereffekt gegenüber der Fluoreszenzanregung bei ruhendem Gas erforderlichen
Wellenlängenverschiebung des eingestrahlten Lichtes zur Fluoreszenzanregung der Teilchen ermöglicht dann
die Bestimmung der Geschwindigkeit der Teilchen; daraus erhält man den Teilchenfluß als Produkt von
Dichte χ Geschwindigkeit.
In abgeänderter Weise kann man das zuletzt beschriebene Verfahren auch in der Weise ausüben, daß
mit einer festen Laserwellenlänge, bei der die Teilchen absorbieren, eingestrahlt wird und die bei Vorliegen
eines Dopplereffektes auf Grund der Verschiebung des Absorptionsmaximums sich ergebende Änderung der
Emissionsintensität der Fluoreszenzstrahlung gemessen wird. Beispielsweise wurde für einen durch Kathodenzerstäubung
erzeugten Teilchenstrom aus Al-Teilchen mit einer eingestrahlten Wellenlänge von 394,401
nm Fluoreszenz angeregt und auf Grund der Absorption die Teilchenstromdichte bestimmt. Die Durchstrahlung
erfolgte in diesem Falle entgegen der Richtung des Teilchenstromes, so daß wegen des Dopplereffektes die
für eine Fluoreszenzanregung einzustrahlende Wellenlänge langer war als die für die Anregung von ruhendem
Gas erforderlichen Wellenlänge. Es wurde Δ λ = 6,1 χ lß-3nm gemessen. Daraus errechnet sich eine Teilchenstromgeschwindigkeit
von 4,6 χ 105cm/sec und somit der Teilchenfluß zu
1,81 χ 1017cm-2sec-'
Es sei noch erwähnt, daß es für die Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens vorteilhaft ist. Laser zu
verwenden, die eine auf eine Absorptionslinie der zu messenden Teilchen abstimmbare Emissionslinie mit
einer Halbwertsbreite liefern, die wesentlich geringer ist, als die Halbwertsbreite der betreffenden durch
Dopplereffekt verbreiteten Linie. Dies ist mit bekannten Lasern ohne weiteres zu erfüllen. Im gezeichneten
Beispiel wurde die Abstimmung durch ein drehbares Gitter G erreicht, dessen Neigung gegenüber dem
Laserstrahl durch eine elektromagnetische Steuerung EM eingestellt wurde.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
Claims (3)
1. Verfahren zur Bestimmung des Teilchenflusses
in einer Vakuumbeschichtungsanlage zur Herstcl- r>
lung dünner Schichten auf Substraten, bei dem der Teilchenstrom von einem Laserstrahl durchstrahlt,
die Schwächung der Intensität des Strahls infolge Absorption gemessen und daraus die Dichte ρ des
Teilchenstromes ermittelt wird, dadurch ge- u> kennzeichnet, daß außerdem aus der sich
infolge der durch die Geschwindigkeiiskomponente des Teilchenstromes in Richtung von der Quelle zum
Substrat auf Grund des Dopplereffektes ergebenen Verschiebung der Absorptionswellenlänge die Ge- 1^
schwindigkeit ν des Teilchenstromes in der genannten Richtung bestimmt wird, so daß der Teilchenfluß
als Produkt aus den Größen Teilchenstromdichte g und Geschwindigkeit vermittelt werden kann.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Teilchenstrom auf je einer
Absorptionsstrecke mit und ohne Dopplereffekt, vorzugsweise in zwei aufeinander senkrecht stehenden Richtungen von einem Laserstrahl durchstrahlt
und aus der unterschiedlichen Absorption in den -'">
beiden Meßstrecken der Teilchenfluß ermittelt wird.
3. Verfahren nach Anspruch t, dadurch gekennzeichnet, daß der Teilchenstrom in den beiden
Richtungen mit einem Laserstrahl gleicher Wellenlänge durchstrahlt wird und die in diesen beiden )<·
Richtungen auftretende verschiedene Transmission infolge verschieden starker Absorption durch die
Teilchen gemessen wird, so daß der Teilchenfluß nach der Formel
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