DE2636537A1

DE2636537A1 - Herstellverfahren eines ausricht- films fuer fluessigkristall-anzeigezellen

Info

Publication number: DE2636537A1
Application number: DE19762636537
Authority: DE
Inventors: Osamu Asai; Kishiro Iwasaki; Hideaki Kawakami; Michio Oue
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1975-08-15
Filing date: 1976-08-13
Publication date: 1977-03-10
Also published as: US4043647A; JPS5223358A

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Bildung eines Ausricht-Pilms für eine Flüssigkristall-Anzeigezelle, die Flüssigkristalle ζ. B. der smektischen und nematischen Phasen verwendet und eine Anzeige abhängig von einer Änderung der Ausrichtung oder Orientierung ihrer Moleküle bewirkt.

Ein die Orientierung steuernder oder Ausricht-Film ist mit den Molekülen eines Plüssigkristalls in Berührung und dient dazu, die Anordnung der Flüssigkristall-Molekül& in einer vorgegebenen Richtung auszurichten. Dazu wird herkömmlich ein Film verwendet, der an seiner Oberfläche mit

81-(A 1766-02)-MaE

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mehreren in einer vorgegebenen Richtung angeordneten Rillen oder Vertiefungen versehen ist. Dessen besonderes Herstellverfahren ist erläutert in: "SID International Symposium Digest of Technical Papers" (1972), S. 100. Die Vertiefungen können zunächst durch Bilden eines Substrats mit einem organischen Oberflächenbehandlungsmittel auf der Oberfläche und dann durch Reiben oder Schaben der Oberfläche des Oberflächenbehandlungsmittels geschaffen werden. Bei der Herstellung eines Ausricht-Pilms mittels Schaben wird durch dessen Berührung mit einem Flussigkristall-Material für längere Zeit eine Struktur an seiner Zwischenfläche hervorgerufen, die allmählich geändert wird, wodurch sich nachteilig eine unregelmäßige Orientierung des Flüssigkristalls ergibt, weil der Ausricht-Film das organische Oberflächenbehandlungsmittel verwendet.

Bei einem bekannten Ausricht-Film für eine Flüssigkristall-Anzeigezelle wird der die Orientierung steuernde Film unter Verwendung eines anorganischen Aufdampfungsfilms anstelle eines organischen Oberflächenbehandlungsmittels gebildet (vgl. US-PS 3 834 792). Bei diesem Verfahren wird das Substrat so in einem Vakuumaufdampfungs-Behälter angeordnet, daß seine Oberfläche unter niedrigem Winkel gegenüber einer Verdampfungsgut-Quelle angeordnet werden kann, damit aus einer vorgegebenen schrägen Richtung nach unten fliegende Teilchen an der Substrat-Oberfläche niedergeschlagen werden. Der durch den Schräg-Vakuumniederschlag gebildete Ausricht-Film sieht eine einachsige Anisotropie gegenüber der Richtung der Verdampfungsgut-Quelle vor und richtet dadurch die Flüssigkristall-Moleküle aus.

Bei diesem Verfahren muß die Verdampfungsgut-Quelle

mit einer sehr begrenzten räumlichen Beziehung gegenüber dem Substrat angeordnet werden, um eine gleichförmige Ausrichtung oder Orientierung sicherzustellen. Wenn beispielsweise der Abstand von der als punktförmig angenommenen Verdampfungsgut-Quelle zum Substrat 50 cm beträgt und wenn ein Aufdampfungswinkel für den Sehrägaufdampfungs-Film im tolerierbaren Bereich von 68 +_ 2° bei der S ehr ägauf dämpfung eingestellt werden .soll, muß das Substrat weniger als etwa 4ö mm Durchmesser in Richtung der Verdampfungsgut-Quelle sein. Wenn das Substrat über 40 mm Durchmesser besitzt, steigt der Aufdampf ungswinkel an seinen beiden Enden über 4° an, was die Bildung einer nicht gleichförmigen Orientierung und eine fehlerhafte Anzeige ergibt.

Der mittels Schräg-Vakuumaufdampfung gebildete Ausricht-Pilm erzeugt eine einachsige Anisotropie lediglich in der Richtung der Verdampfungsgut-Quelle, so daß er kein ausreichend großes Ausricht-Steuervermögen für den Flüssigkristall zeigt. Bei z. B. einem Flüssigkristall mit Schiff'scher Base (R-O-^^-CHsN-^^-R¹), der an seiner

Grenzfläche hervorragende Ausrichtung zeigt, besitzt der Film gutes Steuervermögen, jedoch bei einem Flüssigkristall mit Azoxy-Base (R-0-^J^-N=

der bei Verwendung als Anzeigezelle großes Ansprechvermö-. gen besitzt, besitzt der Film keine die Orientierung steuern den Eigenschaften. Bei den chemischen Strukturformeln bedeuten R und R' Alkylgruppen.

Es ist Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren zur Bildung eines Ausrieht-FiIms, der mit einem Flüssigkristall

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in Berührung kommt und die Moleküle des Flüssigkristalls dauerhaft in eine vorgegebene Richtung orientiert, anzugeben.

Zur Lösung der Aufgabe wird der die Orientierung steuernde oder Ausricht-Pilm erfindungsgemäß in folgender Weise gebildet: Ein Substrat, an dessen Oberfläche der Ausricht-Film gebildet werden soll, wird in einem Vakuum-Behälter zusammen mit einer ihr gegenüberliegenden Verdampfungsgut-Quelle angeordnet. Eine mehrere Lamellen mit vorgegebenem Neigungswinkel aufweisende jalousieartige Anordnung wird zwischen dem Substrat und dem Verdampfungsgut so angeordnet, daß verdampfte Teilchen durch die Spalten oder Schlitze der jalousieartigen Anordnung zum Substrat treten. Die Bestimmung des Musters der jalousieartigen Anordnung und das Einstellen eines Vakuums oder Unterdrücke auf einen vorgegebenen Wert ermöglicht die Bildung eines Ausricht-Films für einen Flüssigkristall mit^ZWei/^ChsILSe3Anisotropie. Durch das erfindungsgemäße Verfahren ist ein mit sehr feinen Vorsprüngen bedeckter niedergeschlagener Film er-

zweiachsige reichbar, dessen Oberfläche zumindest / /Vnisotropie besitzt.

Der durch das erfindungsgemäße Herstellverfahren geschaffene Ausricht-Film zeigt eine gleichförmige Orientierung über einen großen Bereich mit hoher Ausbeute. Weiter ist durch die Erfindung ein Ausricht-Film für einen verdrillten Flüssigkristall bildbar.

Eine Flüssigkristall-Anzeigezelle, die zur Anzeige mit in einer vorgegebenen Richtung ausgerichteten Flüssig-

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mm CZ m»

kristall-Molekülen geeignet ist, besitzt eine Anzeigecharakteristik, die sehr von den Eigenschaften eines mit den Molekülen des Flüssigkristalls in Berührung kommenden Ausricht-Pilms abhängig ist. Gemäß der Erfindung wird eine jalousieartige Anordnung mit vorgegebenem Winkel zwischen dem Substrat, auf dem der Ausricht-Film zu bilden · ist und einer Quelle für Verdampfungsgut angeordnet, damit von dem Verdampfungsgut verdampftes Gut zum Niederschlag auf dem Substrat hindurchtritt. Der so gebildete Film

• *. · ,_*. ·· .,zweiachsiger .

zeigt sehr großes Ausrichtvermogen mit / Anisotropie. Dieses Verfahren zur Bildung des Ausricht-Films ermöglicht auch eine einfache Bildung des Ausricht-Films auf einem großen Substrat.

Die Erfindung wird anhand der in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispiele näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 die Teilchen-Verteilung abhängig vom Stoßabstand der verdampften Teilchen;

Fig. 2a, 2b schematische Ansichten eines gemäß

der Erfindung bzw. mittels Schräg-Vakuumaufdampfung niedergeschlagenen dünnen Films;

Fig. 3 schematisch im Schnitt die Grundbeziehung

zwischen einem Substrat und einer jalousieartigen Anordnung;

Fig. h die Beziehung eines durch die jalousieartige Anordnung definierten Sehwinkels;

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Fig. 5 die Beziehung zwischen dem Muster eines Quergitters und dem Ausrichtwinkel;

Pig. 6 perspektivisch die Lagebeziehung zwischen Substrat, jalousieartiger Anordnung, Quergitter und Verdampfungsgut-Quelle;

Fig. 7 perspektivisch ein Ausführungsbeispiel des Quergitters;

Fig. 8 im Schnitt eine erste Vorrichtung zur

Bildung eines Ausricht-Films;

Fig. 9 perspektivisch die Lagebeziehung zwischen Substrat und Verdampfungsgut-Quelle;

Fig. 10 die Beziehung zwischen der an einer Flüssigkristall-Anzeigezelle gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung anliegenden Spannung und der Intensität des hindurchgelassenen Lichts;

Fig. 11 die Beziehung zwischen Vakuum-Druck und Film-Niederschlag- oder rAufwachsgeschwindigkeit;

Fig. 12a, 12b Fotografien, die den Ausricht-Zustand einer gemäß einem Ausführungsbeispiel hergestellten Anzeigezelle wiedergeben;

Fig. 13 im Schnitt ein Ausführungsbeispiel einer Vorrichtung zur Bildung eines dünnen Ausricht-Films, unter Verwendung von Ionen-Plattierung.

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Ein Substratj auf dem ein Ausricht-Film gebildet wird, besteht aus lichtdurchlässigem Glas, Kunststoff od. dgl. und besitzt eine nach Bedarf auf einer Oberfläche angeordnete Elektrode, um die Flüssigkristall-Moleküle mit einem Signal zu beaufschlagen. Wenn die Elektrode vorgesehen ist, wird sie an ihrer Oberfläche mit einem weiteren Ausricht-Film bedeckt. Es ist andererseits auch möglich, daß die Elektrode selbst als Ausricht-Film dient.

Das Substrat wird in einem Vakuum-Behälter derart angeordnet, daß dessen eine Oberfläche, auf der der Ausricht-Film zu bilden ist, einer Quelle für Verdampfungsgut gegenüberliegt. Der Druck im Behälter wird so vermindert, daß die von der Verdampfungsgut-Quelle verdampften Teilchen die Substrat-Oberfläche erreichen. Das Ausmaß der Druckabsenkung ist so gewählt, daß die verdampften Teilchen eine geeignete mittlere freie Weglänge besitzen. Insbesondere wird die

— ρ —c

Verdampfung bei Vakuumdrücken von 1,3 · 10 bis 6,7 * 10 mbar (1 · 10 bis 5 · 10 ^ mmHg) durchgeführt. Bei unter 6,7 " 10 ■* mbar liegendem Druck wird der lineare oder kürzeste Flugweg der verdampften Teilchen zu groß, wodurch lediglich eine erheblich herabgesetzte Teilchenzahl die Substrat-Oberfläche erreichen kann, wegen der Behinderung durch die Anwesenheit der jalousieartigen Anordnung. Bei über 1,3 * 10 mbar liegendem Druck wird andererseits die Adhäsion des niedergeschlagenen Films unerwünscht herabgesetzt. In Fig. 1 ist der Stoßabstand der verdampften Teilchen bei Drücken im D^ckbereich von 10 bis 10 ^J mbar dargestellt. In der Darstellung

_2 wurde der Kurvenverlauf c bei 1,3 * 10 mbar, der Kurvenverlauf d bei 1,3 * 10 ^J mbar, der Kurvenverlauf e bei 1,3 * 10 mbar und der Kurvenverlauf f bei 1,3 · 10 ^ mbar erhalten.In Fig. bedeutet die mittlere freie Weglänge einen Stoßabstand der verdampften Teilchen,der 60 % erreicht. Der zur Bildung eines Ausricht-Films mit / Anisotropie geeignete Luftdruck

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ist ein Druck, bei dem die mittlere freie Weglänge 2 bis 50 cm beträgt. Der Druck, bei dem die mittlere freie Weglänge 5 bis 20 cm erreicht, ist insbesondere wegen des Betriebes und wegen der Qualitätsstabilität des Films geeignet. Eine mittlere freie Weglänge über 100 cm ergibt die Bildung eines Flüssigkristalls mit lediglich einachsiger Anisotropie bei erheblich herabgesetztem Ausrichtvermögen der Moleküle, so daß kein gemäß der Erfindung beabsichtigter Ausricht-Film gebildet würde. Dabei muß der Abstand zwischen der Verdampfungsgut-Quelle und der Substrat-Oberfläche größer als die mittlere freie Weglänge sein. Das Heizen der Verdampfungsgut-Quelle mittels eines Heizers oder das Emittieren eines Elektronen- oder Ionen-Strahls zum Verdampfen des Guts der Verdampfungsgut-Quelle kann zum Abgeben der Teilchen, von der Verdampfungsgut-Quelle in das Vakuum verwendet werden. Ein Merkmal der Erfindung liegt darin, daß der Ausricht-Film durch chemischen Dampfniederschlag gebildet werden kann.

Bei der Erfindung werden diese Möglichkeiten zum Abgeben von Teilchen in beliebige, zufällige Richtungen unter herabgesetztem Druck im Vakuumbehälter verwendet, wobei einige Teilchen, die einen gewünschten Einfallswinkel gegenüber dem Substrat besitzen, zur Einstrahlung auf das Substrat ausgewählt oder selektiert werden.

Bei der Erfindung ist der Einfallswinkel der Teilchen ein Winkel, der von einer Normalen (senkrechten Ebene) auf der Substrat-Oberfläche gemessen ist.

Die Substanzen der Verdampfungsgut-Quelle, von denen der Ausricht-Film gebildet wird, sind nichtmetallische Verbindungen, wie Siliziummonoxid, Siliziumdioxid, Kalziumfluorid,

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Magnesiumfluorid, Lithiumfluorid, Ceriumfluorid, Bornitrid oder Metalle und Metallverbindungen, wie Gold, Chrom, Titan, "Titanoxid, Aluminiumoxid, Indiumoxid, Zinnoxid, Wolframoxid, Ceriumoxid, Bleifluorid, Cadmiumsulfid, Bleisulfid, Zinksulfid, Antimonsulfid usw. Es besteht die Gefahr, daß eine unerwünschte Reaktion abhängig von der Verschiebung von Verunreinigungen im Flüssigkristall zur Zwischenfläche oder Grenzfläche der Elektrode dann hervorgerufen wird, wenn die Flüssigkristall-Anzeigezelle lange Zeit verwendet wird. Wenn diese Gefahr besteht, wird vorteilhaft ein isolierender Ausricht-Film ausgewählt. Für einen Ausricht-Film, der gleichzeitig als Elektrode dient, wird Indiumoxid, Zinnoxid od. dgl. verwendet.

Die Feinstruktur des gemäß der Erfindung gebildeten Ausricht-Films ist als Mbdellvorstellung in Fig. 2a dargestellt. D.h., daß die Teilchen in Pfeilrichtung so niedergeschlagen werden, daß sie eine leicht geneigte Oberfläche bilden, die sich mit zwei Flächen mit großem Neigungswinkel schneidet, wobei zwei Ränder definiert sind. Die Anisotropie des Films wird in Richtung dieser Ränder oder Kanten erzeugt. Andererseits wird angenommen, daß der durch Schräg-Vakuumaufdampfung erzeugte Film stufenförmig wie in Fig. 2b dargestellt ausgebildet ist und Anisotropie längs einer unter rechtem Winkel die Einfallsrichtung der verdampften Teilchen schneidenden Kante zeigt. Dabei sind die Moleküle des Flüssigkristalls in Richtung des resultierenden Vektors der Anisotropien des Films ausgerichtet.

Die Bedingungen, unter denen der in Fig. 2a dargestellte gemäß der Erfindung gebildete Niederschlag erreicht wird, sind so, daß der größte Teil der fliegenden Teilchen Einfalls- oder Neigungswinkel zwischen 45 und 75° besitzt, und daß mit diesen einige fliegende Teilchen vorhanden sind,

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die Neigungs- oder Einfallswinkel besitzen, die um 10 bis 60° abweichen, einschließlich eines Primär-Neigungswinkels.

Eine jalousieartige Anordnung,um die verdampften Teilchen mit einem wie erwähnt vorgegebenem Einfallswinkel auf der Substrat-Oberfläche niederzuschlagen, besitzt im wesentlichen ein Muster und eine Lagebeziehung gegenüber der Substrat-Oberfläche, wie sie in Fig. 3 dargestellt ist. Dabei bedeuten:

d = Abstand des Substrats 33 von den die jalousieartige Anordnung bildenden Lamellen 34,

1 = Lamellen-Breite,
t = Lamellen-Dicke,

θ = Lamellen-Neigungswinkel gegenüber der Substrat-Oberfläche,

Ot = geringster, durch zwei benachbarte Lamellen 34 definierter Einfallswinkel,

j3 = größter, durch zwei benachbarte Lamellen 34 definierter Einfallswinkel,

d₁ = Lamellen-Abstand.

Die Werte können experimentell für optimale Bedingungen aufgrund der folgenden Lehren bestimmt werden.

Die von der Verdampfungsgut-Quelle austretenden verdampften Teilchen kollidieren oder stoßen zusammen mit Dampfmolekülen oder miteinander, wodurch sich verschieden gerichtete Teilchen-Gruppen bilden, die den Eintritt in

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die jalousieartige Anordnung erreichen. Die verdampften Teilchen in bestimmter Komponenten-Richtung treffen auf die Oberfläche der Lamellen auf und werden beim Durchtritt durch die jalousieartige Anordnung unterbrochen. Dadurch wird Teilchen mit bestimmten Komponenten ermöglicht, die Substrat-Oberfläche zu erreichen. Das Streuen der Teilchen während ihres Durchtritts durch die jalousieartige Anordnung ergibt geschwächte Anisotropie des Films. Wie sich aus Fig. 3 ergibt, haben diejenigen Teilchen, die zum Substrat 33 unter einem Winkel (X

von den Enden der Lamellen 34 an der Seite der Verdampfungskommen, gut-Quelle im Querschnitt der jalousieartigen Anordnung/den längsten oder größten Flugweg oder Abstand, der als kürzer als die mittlere freie Weglänge definiert ist. D.h., der kürzeste oder kleinste (lineare) Abstand im freien Raum vom Eintritt der jalousieartigen Anordnung zur Substrat-Oberfläche ist stets kürzer oder kleiner als die mittlere freie Weglänge der verdampften Teilchen. Zwischen der mittleren freien Weglänge mfp und der jalousieartigen Anordnung besteht folgende Beziehung:

mfp ^ ■ (1).

sin OC

Zu kurzer Abstand d zwischen Substrat-Oberfläche und

jalousieartiger Anordnung hat zur Folge, daß der Schatten der einzelnen Lamellen auf die Substrat-Oberfläche projektiert wird, wodurch sich auf dem Substrat 33 kein Aufdampfungs-Film an einigen Stellen seiner Oberfläche bildet. Für den Abstand d besteht daher folgende Beziehung:

?0981Ö/07Si

t · 1 ^do> — Z — . (2).

2 f d. - _r

sin θ

Bei Annahme eines Einfallswinkels S der verdampften Teilchen gegenüber dem Substrat 33 beträgt die Beziehung zwischen Einfallswinkel S und den Winkeln <* , β : CX < (90- £ ) = θ < £> , wobei sich Of und jS ergeben zu:

1 sin θ
tan Oi =

d — + 1 cos θ

¹ sinö

1 sin θ
tan β = : (H),

1 cos θ - (d —)

¹ sin©

D.h., daß ein Verkleinern des Lamellen-Abstands auf (d. - t/sin0) gegen Null oder ein Vergrößern der Lamellen-Breite auf 1 y> (d^ - t/sinö) zur Folge hat, daß sowohl der Winkel Oi als auch der Winkel (3 sich dem Winkel θ so annähern, daß die Differenz zwischen dem größten und dem kleinsten Einfallswinkel der Teilchen klein wird. Diese / %md in der Pig. ¹I dargestellt. Die Winkel Oi und (2> sind der kleinste bzw. der größte Einfallswinkel, bei einer Lamellen-Dicke t = 0,3 mm, einem Lamellen-Abstand d^ = 15 mm und einer Lamellen-Breite 1 = 20 mm. Eine auf 40 mm verbreiterte Lamellen-Breite

ermöglicht Teilchen mit einem Einfallswinkel zwischen den Kurven οι und p> „, daß sie die Substrat-Oberfläche erreichen.

Je mehr Teilchen auf die Substrat-Oberfläche unter rechtem Winkel dazu auftreffen, umso geringere zweiachsige Anisotropie tritt im gebildeten Ausricht-Film auf. Das Muster bzw. der Aufbau der jalpusieartigen Anordnung ist daher so bestimmt, daß der Winkel fi> unter 90° liegt.

Bei einer Differenz zwischen den Winkeln C und β , d.h. einem Sehwinkel, unter 10° bildet sich ein Film aus, dessen Eigenschaften im wesentlichen dem entsprechen, der durch die Schräg-Vakuumaufdampfung gebildet ist, mit ungenügendem Ausrichtvermögen. Bei einem Sehwinkel über 60° werden andererseits fleck- oder punktförmige diskontinuierliche Orientierungslinien, sog. Domänen, gebildet, wenn der Film auf der Flüssigkristall-Anzeigezelle befestigt ist." Aus diesem Grund ist die Differenz zwischen dem kleinsten und dem größten Einfallswinkel OC bzw. β , der durch zwei benachbarte Lamellen 34 definiert ist, vorteilhaft zwischen 10 und 60°. Derartige Domänen treten ebenfalls leicht auf, wenn die Verdampfungsgut-Quelle an einer Senkrechten zur Substrat-Oberfläche angeordnet ist, verschwinden jedoch, wenn die Verdampfungsgut-Quelle einige Grad von der Normalen oder Senkrechten entfernt ist. Der geringste Abstand d. zwischen benachbarten Lamellen ist für die Bildung des Films zweckmäßigerweise in der Größenordnung von 0,5 mm zuzüglich zum Lamellen-Querschnitt (t/sine).

Der Einfallswinkel cf der Teilchen gegenüber dem Substrat

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- l4 -

hängt wesentlich vom Lamellen-Neigungswinkel θ ab. Wenn wie erwähnt der Einfallswinkel 45 bis 75° beträgt, liegt der Lamellen-Neigungswinkel θ im wesentlichen zwischen 45 und 15°.

Es besteht keine besondere Begrenzung der die jalousieartige Anordnung bildenden Werkstoffe, beispielsweise können Werkstoffe, wie Metall, Kunststoff, Papier, Keramik od. dgl., verwendet werden, die kein schädliches Gas während der Verdampfung erzeugen und die bei einer herrschenden Temperatur beständig sind.

Der gebildete Ausricht-Pilm ist 50 bis 600 2 dick. Ein dünnerer Film ergibt eine Belichtung eines Substrat-

Teils mit schlechterer Orientierung des Flüssigkristalls, em

während/dickerer Film ebenso die Orientierung verschlechtert, da die ausgerichteten Vorsprünge des Ausricht-Films zerstört sind. Vorzugsweise ist der Film 200 — 50 8 dick.

Eine detaillierte Prüfung entlang einer Linie parallel zur Lamelle 34 von Eigenschaften der zweiachsigen Anisotropie im gemäß der Erfindung gebildeten Film zeigt, daß ein Unterschied besteht zwischen Orientierungs-Winkeln, bei denen der Flüssigkristall ausgerichtet ist an einem Abschnitt nahe der Normalen oder Senkrechten von der Verdampfungsgut-Quelle und an einem Abschnitt mit Abstand davon. Weiter ergibt sich, daß der niedergeschlagene Film umso dünner ist, je weiter er von der Verdampfungsgut-Quelle entfernt ist.

Der Orientierungswinkel des Flüssigkristalls ändert sich längs der Linie parallel zur Lamelle 34 im wesentlichen linear, wie in Fig. 5 dargestellt. In Fig. 5 ist der Orien-

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tierungswinkel ")f dargestellt _s wobei er von der Achse y'-y in einer Ebene (x-x')-(y-y') gemäß Pig. 6 gemessen wird.

Eine derartige Orientierungswinkel-Änderung längs der Achse y-y' des Ausricht-Films kann vorteilhaft bei einer Flüssigkristall-Anzeigezelle in Verbindung mit einem Satz von Ausricht-Filmen mit gleichen Eigenschaften beseitigt werden. Es gibt bereits eine Flüssigkristall-Anzeigezelle, bei der eine große Ausricht-Film-Schicht in kleine Einheiten geteilt ist, die zur Anzeige paarweise vorgesehen sind. Bei einer derartigen Anzeigezelle werden Einheiten, deren Orientierungswinkel y voneinander sehr verschieden ist, mitunter miteinander gepaart und erzeugen ungleichmäßige Charakteristiken. .

Aus diesem Grund werden Schirmplatten, im folgenden als Quergitter 66 bezeichnet, verwendet, die jede Lamelle 6h der jalousieartigen Anordnung unter rechtem Winkel schneiden, wie in Fig. 6 dargestellt. Dadurch wird es möglich, die oben erwähnte Orientierungswinkel-Ä'nderung längs der Achse y-y^f zu verringern. Das Quergitter 66 kann zwischen der jalousieartigen Anordnung und der Verdampfungsgut-Quelle 65, zwischen der jalousieartigen Anordnung und der Substrat-Oberfläche oder innerhalb der jalousieartigen Anordnung vorgesehen werden.j Insbesondere die Kombination der jalousieartigen Anordnung und des damit einstückigen Quergitters 66 ergibt ein Schräg-Gitter oder -Raster oder eine wabenförmige jalousieartige Anordnung und verbessert' die mechanische Festigkeit. Fig. 5 zeigt durch Messung des Orientierungswinkels längs der Achse y'-y erhaltene Kurven abhängig vom Verhältnis w /1 der Gitter-Breite w

a a a

und des Gitter-Abstands 1_& des Quergitters 66. in Fig. 5 ist bei der Kurve I₀ kein Quergitter vorhanden, besitzt das

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Quergitter bei der Kurve l_o ein Verhältnis w /l =2, bei der Kurve 1, ein Verhältnis w /1 = 3 und bei der Kurve I₂. das Verhältnis w /1 =4. Ein Quergitter mit einem Verhält-

a a

nis w/1 von 1 bis 5 ist wirksam vorsehbar.

Ein Erweitern des Gitter-Abstands in Lagen, die von der Verdampfungsgut-Quelle 65 weit entfernt sind, oder ein Vergrößern der Gitter-Breite in Lagen, die der Verdampfungsgut-Quelle 65 näher sind, führt zu einem gleichförmigen Niederschlag längs der Achse y'-y. In Fig. 7 ist schematisch ein Niederschlagungs-Verfahren dargestellt, das ein derartiges Quergitter für gleichförmigen Niederschlag längs der Achse y'-y enthält. In Fig. 7 treten verdampfte Teilchen, die von der Verdampfungsgut-Quelle 75 stammen, durch das Quergitter 76 und die jalousieartige Anordnung 74 zum Substrat 73. In Fig. 7 sind die verdampften Teilchen als sich geradlinig ausbreitend dargestellt, um konstante Aufdampfung darzustellen.. In praxi weicht die Flugbahn der Teilchen so ab, daß sie durch das Quergitter nicht unterbrochen sein kann. Folglich ist der Film keinesfalls diskontinuierlich.

Beispiel 1

Ein Glas-Substrat 83 (2,5 mm dick, 50 mm lang und 40 mm breit) mit darauf durchAuf dampfung ausgebildetem lichtdurchlässigen leitfähigen Film aus In„0 wurde an der Oberfläche mit Trichloräthylen und Aceton zur Entfernung und Entstaubung gewaschen und dann in einem Vakuumaufdampfungs-Behälter 82 (Glasglocke) angeordnet (vgl. Fig. 8) und SiO wurde bei einem

-4 -4

Luftdruck von 6,7 · 10 mbar (5 · 10 Torr) verdampft.

SiO-Pulver 85 war in einem Tantal-Tiegel enthalten und wurde durch eine Heizspirale aus Wolfram zur Verdampfung beheizt. Der Abstand zwischen Verdampfungsgut-Quelle 85 und einer jalousieartigen Anordnung 84 betrug 40 cm und der Abstand d zwischen der jalousieartigen Anordnung 84 und dem Glas-Substrat 83 betrug 12 mm. Die jalousieartige Anordnung 84 bildende Lamellen bestanden aus rostfreien Stahlplatten mit jeweils 0,5 mm Dicke und 20 mm Breite bei einem Lamellen-Neigungswinkel θ von 15° und einem Lamellen-Abstand von 15 mm. Bei diesem Beispiel sind OC = 9° und /2> = 42°. Detailliert ist die Anordnung des Substrats aus Fig. 8 in Fig. 9 dargestellt, die ein Substrat 93, eine jalousieartige Anordnung 94 und eine Verdampfungsgut-Quelle 95 zeigt.

Zwei mittels des genannten Verfahrens mit SiO bedampfte Glas-Substrate wurden mit denjenigen Oberflächen nach innen angeordnet, an denen der, SiO-Aufdampfungsfilm gebildet worden war, und mit einer rechtwinkligen Aufdampfungsrichtung (Richtung χ^!-x), . in Fig.9 mit Pfeilen dargestellt, um eine Flüssigkristall-Zelle zusammen mit einem 9 ,um dicken Abstandshalter aus Polyäthylenterephthalat-Film vorzusehen. Die Zelle wurde am Umfang mit einem Klebstoff abgedichtet (Epoxyharz, z. B. Epotic, Warenbezeichnung der Epoxy Technology Incorporated). Der in die Zelle eingeführte Flüssigkristall bestand aus Verbindungen von Schiff'scher Base aus Propylbenzylidencyanoanilin und Hexylbenzylidencyanoanilin. Die Einführung oder Einspritzung wurde innerhalb des Vakuum-Behälters 82 so durchgeführt, daß der Flüssigkristall bis auf isotropen Zustand mittels einer Infrarotlampe aufgeheizt war. Nach der Einführung wurde der Flüssigkristall allmählich zum Flüssigkristall-Zustand rückgekühlt.

Zur Beobachtung des optischen oder Lichtzustands dieser

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Flüssigkristall-Zelle wurden ein Polarisator und ein Analysator vor bzw. hinter der Flüssigkristall-Zelle angeordnet. Der Polarisator besaß eine Polarisationsrichtung, die im wesentlichen senkrecht zu der des Analysators war und die im wesentlichen mit der Aufdampfungs-Richtung auf das Substrat der Flüssigkristall-Zelle auf der Seite des Polarisators ausgerichtet war. Bei diesem Aufbau wurde beobachtet, daß die Flüssigkristall-Zelle auf der Analysatorseite bei einem Licht einer parallelen weißen Lichtquelle auf der Polarisatorseite gleichförmig hell war. Andererseits wurde beobachtet, daß die Flüssigkristall-Zelle gleichmäßig dunkel war bei gleichem Aufbau, jedoch mit einer Polarisationsrichtung des Analysators, die im wesentlichen parallel zur Polarisationsrichtung des Polarisators war. Dies erfolgt, weil das emittierte Licht durch den Polarisator polarisiert wird, und durch den Flüssigkristall beim Durchtritt durch ihn um 90° in der Polarisationsebene gedreht wird, wobei das Licht hindurchtreten kann, wenn dessen Polarisationswinkel mit der Polarisationsrichtung des Analysators zusammenfällt und wobei das Licht unterbrochen wird, wenn diese sich kreuzen.

Anschließend wurde eine Rechteckspannung mit Frequenz 1 kHz an die beiden lichtdurchlässigen leitfähigen Filme angelegt, die jeweils an den beiden Substrat-Scheiben der Flüssigkristall-Zelle gebildet sind, um die Durchlässigkeit weißen Lichts von einer Wolframlampe bei einer Temperatur von 25 ⁰C mittels einer Fotovervielfacherröhre und eines X-Y-Schreibers zu messen bzw. zu erfassen. Die Ergebnisse sind in Fig. 10 dargestellt. Wie sich aus Fig. 10 ergibt, zeigt die Flüssigkristall-Zelle ausgezeichnete Eigenschaften mit einer Schwellenspannung von etwa 3 V,einer Spannung von etwa 5 V, bei der die Lichtdurchlässigkeit ge-

sättigt ist und der Kontrast 18O beträgt.

Beispiel 2

Ein mit einer lichtdurchlässigen Elektrode versehenes Glas-Substrat wurde im Vakuumaufdampfungs-Behälter in

gleicher Weise wie beim Beispiel 1 angeordnet und SiO wurde

—? —fi

unter einem Stickstoffdruck von 1,3 · 10 bis 1,3 · 10 mbar

-2 -fi
(10 bis 10 Torr) 5 bis 10 min lang aufgedampft. Die Dicke des niedergeschlagenen Films wurde mit einem Oberflächenrauhigkeitsmesser gemessen, um die Aufwachsgeschwindigkeit oder Aufdampfgeschwindigkeit des Films zu erfassen. Das Ergebnis ist in Fig. 11 dargestellt. Wie sich aus Fig. 11 ergibt, ist der Ausricht-Film wegen der Störung durch die jalousieartige Anordnung bei Vakuumdrücken unter 1,3 ♦ 10 ^ mbar (10 Torr) so langsam aufgewachsen, daß er nicht gebildet werden kann* Der 10 bis 1000 8 dicke SiO-Orientierungs- oder Ausricht-Film wurde gemäß dem erläuterten Verfahren gebildet und eine Flüssigkristall-Zelle wurde mit zwei Filmen
aufgebaut, derenAuiüampfungsrichtung im wesentlichen senkrecht zueinander war, in ähnlicher Weise wie im Beispiel 1 erläutert. Der gleiche Flüssigkristall wie beim Beispiel 1 wurde in gleicher Weise eingefüllt.

Die Flüssigkristall-Zelle wurde zwischen dem Polarisator und Analysator in gleicher Weise wie beim Beispiel 1 angeordnet, um die Lichtdurchlässigkeit mit dem Fotovervielfacher zu messen, wenn die Polarisationsrichtung des
Analysators im wesentlichen senkrecht bzw. parallel zu der des Polarisators ist und um dadurch ein Lichttransmissionsverhältnis oder einen Lichtdurchlässigkeitsgrad zu erhalten. Der Flüssigkristall wurde weiter mittels eines Orthogonal-

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Nicol-Prismas unter einem Polarisations-Mikroskop beobachtet. Die Ergebnisse sind in Tabelle 1 dargestellt.

Tabelle 1

Nr	Vakuum- £mbarj	■Druck [Torr]	Film-Dicke	Lichtdurch lässigkeits verhältnis	Orientie- rungs- Zustand
1	i,3-io-⁶	₁₀-⁶	< 10	«J.20 .	zufällig
2	1,3 ΊΟ"⁵	ίο"⁵	< 10	« 20	II
3	6,7-10~⁵	5·ιο~⁵	60	80
4	1,3·1Ο-⁴	ΙΟ""	80	100	*
5	6,7-κΓ⁴	5·10~⁴	80	100
6	6,7-1U-¹¹	5-ίο"⁴	100	l80	*
7	6,7·ιο"⁴	5·1θ"⁴	200	190	*
8	6,7·ιο"⁴	5·1Ο~⁴	400	180
9	6,7-1O^-4	5·1θ"	600	80	*
10	6,7·1θ"⁴	5-ΙΟ"⁴	1000	O	**
11	1,3'1O^-3	10~³	200	190	*
12	1,3·ΙΟ"³	ίο"⁵	1000	0
13	2,7-ΙΟ"²	2·10~²	100	180
14	1,3·1θ"²	ΙΟ"²	50	80	*
15	1,3·1Ο~²	ΙΟ"²	100	100

• = verdrillt-nematisch
#»= Längsorientierung

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Beispiel 3

Eine mit einer lichtdurchlässigen Elektrode versehene Glasplatte wurde in einem Vakuumaufdampfungs-Behälter ähnlich wie im Beispiel 1 angeordnet und SiO wurde bei Vakuumdrücken unter 6,7 · 10 mbar (5 * 10 Torr) 10 min lang aufgedampft. Ein 400 α dicker SiO-Ausricht-Film wurde gemäß dem beschriebenen Verfahren gebildet und eine Flüssigkristall-Zelle wurde in ähnlicher Weise wie beim Beispiel 1 so aufgebaut, daß die Aufdampfungsrichtungen im wesentlichen senkrecht zueinander waren. Der verwendete Flüssigkristall enthält eine Mischung mit beliebiger Zusammensetzung einer Azoxy-Base (A) und einer Schiff'sehen Base (B), zusammen mit 5 bis 10 Gew.Si eines p-Zusatzes oder -Additivs (C) (Tabelle 2).

Die Flüssigkristall-Zelle wurde dann in gleicher Weise wie beim Beispiel 1 zwischen Polarisator und Analysator angeordnet, um die Lichtdurchlässigkeit mit dem Fotovervielfacher zu messen, wenn die Polarisationsrichtung des Analysators im wesentlichen senkrecht bzw. parallel zu der des Polarisators ist und um davon ein Verhältnis der Lichtdurchlässigkeit abzuleiten. Der Flüssigkristall wurde weiter mittels eines Orthogonal-Nicol-Prismas unter einem polarisierenden Mikroskop betrachtet. Die Ergebnisse sind in Tabelle 3 dargestellt.

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Tabelle

Flüssigkristall

Bestandteile Zusammensetzung

A
(Azoxy-Base)

60 %

(Schiffsche Base)

'2 33,4

33,3 33,4

(p-Additiv)

^C4^H9°

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- 23 Tabelle 3

Nr.	Komponenten-Verhältnis	B	C	Lichtdurch lässigkeits	Orientierungs- Zustand
16	A	0	5	verhältnis
17	100	10	10	# 100	verdrillt-nematisch
18	100	20	10	130	«t
19	100	30	10	180	ti
20	100	40	10	210	Jt
21	100	50	10	210	ti
22	100	60	10	210	It
23	10.0	70	10	210	It
100	210	tt

Tabelle

Schrägauf dampf ungs- winkei	Komponenten-Verhältnis	B	C	Lichtdurch lässigkeits verhältnis	Orientierungs- Zustand
60°	A	30	10	O	Längsorientie
	100				rung
65°		30	10	O	ti
70°	100	30	10	O	Il
82°	100	30	10	O	tt
100

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Tabelle 4 zeigt als Beispiel das Meßergebnis, bei dem ein gemischter Flüssigkristall mit 100 Anteilen aus Azoxy-Base und 30 Anteile aus Schiff'scher Base abgedichtet war, unter Verwendung eines Ausricht-Films, der unter Aufdampfungswinkeln von 60 bis 82° mittels herkömmlicher Schräg-Vakuum-Aufdampfung gebildet war. Die Orientierungsrichtung war in Längsrichtung, wobei keine Anzeigesignale erhalten wurden.

Beispiel 4

Ein Indiumoxid-Elektrodenfilm wurde auf einer 16 mm langen und 16 mm breiten Quarzplatte mittels Elektronenstrahl·· Aufäampfung gebildet. 64 derart gebildete Substrate wurden im Vakuumbehälter angeordnet. Nahe dem Substrat wurde eine jalousieartige Anordnung und ein Quergitter angeordnet, dessen Richtung senkrecht zu der der jalousieartigen Anordnung war. Jede der die jalousieartige Anordnung bildenden Lamellen wies einen Winkel von 30°, einen Abstand von 10 mm und eine Breite von 20 mm auf und das Quergitter besaß eine Gitter-Breite von 20 mm und einen Gitter-Abstand von 10 mm. Magnesiumfluorid wurde auf das Substrat bei einem Vakuumdruck von 6,7 · 10 mbar (5-10 mmHg) 5 min lang aufgedampft. 64 so gebildete Schichten aus Ausricht-Film waren im Durchschnitt 200 - 70 2 dick.

Je zwei Substrat-Scheiben wurden 9 bzw. 6 bzw. 3 /Um voneinander beabstandet angeordnet, wobei zwischen ihnen ein gemischter Flüssigkristall von Schiff'scher Base aus Propylbenzylidencyanoanilin und Hexylbenzylideneyanoanilin eingefüllt wurde, um eine Flüssigkristall-Anzeigezelle vorzusehen. Ein vorgegebenes optisches System und Signalschaltungen wurden angeordnet, um die Eigenschaften der Anzeigezelle zu messen bzw. zu erfassen. Die Ansprechzeit bis zum

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Betrieb der Anzeigezelle nach Anregen elektrischer Signale betrug bei 9 /Um Abstand zwischen den Substraten etwa 200 ms, bei 6 ,um Abstand etwa 120 ms und bei 3 /Um Abstand etwa 40 ms.

Bei einem durch herkömmliches Schräg-Vakuumaufdampfen geformten Ausricht-Pilm betrug der kürzeste Abstand zwischen den Substraten 9 /Um und die kürzeste Ansprechzeit etwa 200 ms.

Beispiel 5

Zwei Scheiben aus im Handel erhältlichem 2,5 mm dicken, 230 mm langen und 38 mm breiten Nesa-Glas wurden in einer Aufdampfungsvorrichtung so angeordnet, daß die Ausricht-Richtung der Lamellen parallel zur Längsrichtung der Nesa-Glas-Scheiben war. Eine Wolfram-Heizspirale war so angeordnet, daß der Oberteil des Heizers geringfügig oberhalb SiO-Puder in einem Molybdän-Schiffchen mit 34 mm Durchmesser war. Der Abstand zwischen der Verdampfungsgut-Quelle und der jalousieartigen Anordnung betrug 4l cm und der Abstand d zwischen der jalousieartigen Anordnung und der Nesa-Glas-Scheibe betrug 12 mm.

Die Lamellen bestanden aus 0,4 mm dicken Nickelplatten mit Lamellen-Breite von 20 mm, Lamellen-Winkel von 15° und Lamellen-Abstand von 10 mm. Der Wolfram-Heizer wurde so betrieben, daß er bei einer Temperatur von etwa 1000 ⁰C heizt und SiO bei einem Druck von 6,7 » 10 mbar (5 · 10 Torr) in der Glasglocke verdampft. Die beiden bedampften Substrat-Scheiben oder -Schichten wurden geteilt und so angeordnet, daß die obere Nesa-Glas-Scheibe in einer Längsrichtung orthogonal zur unteren Nesa-Glas-Scheibe war, um

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eine leere Zelle zusammen mit einem 9 /Um dicken Abstandshalter aus organischem makromolekularen Film zwischen den Glas-Scheiben vorzusehen. Die Glas-Platten oder -Scheiben wurden an ihren Randabschnitten mit einem Epoxyharz zusammengeklebt. Ein nematischer Flüssigkristall (z. B. TN-200 der Firma Hoffmann la Roche) wurde in die leere Zelle zur Bildung einer Anzeigezelle mit verdrilltem Flüssigkristall eingefüllt.

Die Zelle wurde zwischen zwei Polarisatorschichten eingefügt oder zwischengeschichtet, um die Orientierungs-Zustände zu untersuchen. Fig. 12a zeigt die Orientierungs-Zustände einer herkömmlichen Flüssigkristall-Anzeigezelle und Fig. 12b zeigt diejenigen einer erfindungsgemäß hergestellten Anzeigezelle. Wie sich aus den Fotografien ergibt, zeigt die erfindungsgemäß gebildete Flüssigkristall-Anzeigezelle gleichförmige Orientierbarkeit mit besonders guten Anzeigecharakteristiken. Der Vergrößerungsfaktor beträgt jeweils 72.

Beispiel 6

Bei diesem Ausführungsbeispiel wird ein Ionenplattierung verwendendes Verfahren zum Bilden eines auch als Elektrode dienenden Ausricht-Films erläutert. Die Vorrichtung ist schematisch in Fig. 13 dargestellt. In Fig. 13 ist innerhalb eines Vakuumbehälters 132 ein negativ-aufladbarer Substrat-Halter 130, ein Glas-Substrat 133 ₄ eine jalousieartige Anordnung 134 auf Erdpotential und ein Verdampfungsgut 135 aus Indium vorgesehen. An der Basis 137 des Vakuumbehälters 132 ist eine Luftdruck-Einstelleinrichtung 138 angekoppelt, um den Vakuumbehälter 132 auf einen Sauerstoff gas-Druck von 6,7 · 10"^ mbar (5 · 10 mmHg) einzu-

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stellen. Anlegen einer Spannung von -2,0 kV an den Substrat-Halter 131 verursacht die Bildung eines Glimmentladungs-Bereiches 139 nahe dem Substrat 133. Durch Aufheizen der Verdampfungsgut-Quelle 135 treten Indium-Teilchen durch die jalousieartige Anordnung 13¹Ij wobei ein Teil der Teilchen im Glimmentladungs-Bereich 139 ionisiert wird und auf dem Substrat 130 in Form von Indiumoxid niedergeschlagen wird. 15 min langes Niederschlagen ergab die Bildung einer etwa 1000 Ä dicken Oberflächenschicht bzw. eines Filmes aus Indiumoxid. Zwischen die Substrate wurde ein Flüssigkristall gefüllt, ein elektrisches Signal wurde mittels elektrischer Schaltungen angelegt, zusammen mit einem optischen System. Das stellt den Betrieb als Anzeigeeinrichtung sicher. Der Ausricht-Film des Flüssigkristalls dient auch als Elektrode. Das Einbringen von ionisierten Teilchen in die Substrat-Oberfläche im Glimmentladungs-Bereich verbesserte die Adhäsion des Films auf dem Substrat.

Beispiel 7

Ein 70 mm langes und 220 mm breites Sodaglas-Substrat wurde mit Trichloräthylen und Aceton zur Entfettung und Entstaubung gewaschen und i_m Aufdampfungs-Behälter 88 (Glasglocke) wie in Fig. 8 dargestellt angeordnet. Eine jalousieartige Anordnung und ein Quergitter, dessen Richtung orthogonal zur jalousieartigen Anordnung ist, wurden neben dem Substrat angeordnet. Die die jalousieartige Anordnung bildenden Lamellen hatten einen Winkel von 30°, waren 5 mm beabstandet und 10 mm breit und das Quergitter besaß eine Gitter-Breite von 20 mm und einen Gitter-Abstand von 5 mm. Nach Druckabsenkung des Vakuumaufdampfungs-Behälters 88 auf einen Vakuumdruck von 2,7 ♦ 10~-> mbar (2 ·. ίο""-⁵ Torr) wurde Sauerstoffgas zum Ein-

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stellen des Vakuumdrucks auf 6,7 · 10 ^ mbar (5 ° 10~^ Torr) eingeführt. Indiumoxidpulver (In₀O ) mit 5 Gew.% Zinnoxidpulver (SnO ) wurde bei einem Druck von 50,5 bar (50 kp/cm ) zu einer Zylinder-Tablette mit 15 mm Durchmesser und 10 mm Dicke gepreßt, die etwa 7 min durch Elektronenstrahlung erhitzt wurde, zur Aufdampfung auf das Substrat. Der gebildete dünne Film aus Indiumoxid und Zinnoxid war 300 — 50 S dick. Der elektrische Widerstand des dünnen Films wurde dann mittels des Vier-Anschluß-Verfahrens gemessen und betrug 0,05 Sl./ Q Der dünne Film zeigte daher sehr gute Leitfähigkeit.

Diese beiden Substrate wurden in gleicher Weise wie beim Beispiel 1 miteinander kombiniert, um eine Flüssigkristall-Zelle vorzusehen, in die ein gemischter Flüssigkristall von Schiff'scher Base aus Propylbenzylidencyanoanilin und Hexylbenzylidencyanoanilin in gleichen Gewichts-

wurde ί
mengen eingefüllte Ein Rechteckspannungssignal mit Frequenz 1 kHz wurde in gleicher Weise wie beim Beispiel 1 an den dünnen Film aus Indiumoxid und Zinnoxid angelegt, die jeweils an den beiden Substraten der Flüssigkristall-Zelle gebildet sind, um die Spannungs-Helligkeits-Kennlinie der Flüssigkristall-Zelle zu erfassen, wobei sich hervorragende Eigenschaften ergaben sowie eine Schwellenwertspannung von etwa 3 Vj eine Spannung von etwa 5 V, bei der die Lichtdurchlässigkeit gesättigt ist, und ein Kontrast von 200.

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Claims

- 29 Ansprüche

Ij Verfahren zur Bildung eines Ausricht-Films zweiachsiger Anisotropie, der zur Ausrichtung von Flüssigkristall-Molekülen mit diesen in Berührung gebracht wird, dadurch gekennzeichnet, daß die Teilchen eines Verdampfungsguts durch parallel zueinander und mit Abstand von der Oberfläche eines Substrats (33, 63, 73, 83, 93, 133) angeordnete, gegen diese unter einem Winkel (Θ) geneigte Lamellen (34, 64, 74, 94) einer jalousieartigen Anordnung (84, 134) hindurch bei Vakuum zur Bildung des Ausricht-Films auf der Substrat-Oberfläche unter einem Einfallswinkel von 45 - 75° niedergeschlagen werden.
2. Verfahren nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch senkrecht die Lamellen (64, 74) schneidende, aus Platten bestehende Quergitter (66, 76) mit zur Substrat-Oberfläche senkrechter Ebene, wobei die Teilchen des Verdampfungsguts (65, 75) durch Quergitter (66, 76) und jalousieartige Anordnung hindurch niedergeschlagen werden.
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Teilchen des Verdampfungsguts (135) bei Anwesenheit eines Glimmentladungs-Bereichs (139) nahe der Substrat-Oberfläche niedergeschlagen werden (Fig. 13)·
4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1-3, dadurch gekennzeichnet, daß die Lamellen (34, 64, 74, 94) unter einem Winkel von 15-45° gegen die Substrat-Oberfläche geneigt werden.
5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1-4, dadurch gekennzeichnet, daß die Teilchen des Verdampfungsguts (65, 75, 85,

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95s 135) unter einem Druck von 1,3 ·. 10 bis 6,7 · 10 ³ mbar niedergeschlagen werden.
6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1-5, dadurch gekennzeichnet, daß der kürzeste Abstand zwischen der Verdampfungsgut-Quelle und der Substrat-Oberfläche größer und der kürzeste

Freiraum-Abstand zwischen dem Eintritt der jalousieartigen Anordnung und der Substrat-Oberfläche kleiner als die mittlere freie Weglänge der Teilchen des Verdampfungsgutes ist.
7. Verfahren nach Anspruch 2 und 6, dadurch gekennzeichnet, daß der kürzeste Abstand zwischen der freien Querschnittsebene der jalousieartigen Anordnung und der Substrat-Oberfläche kleiner als die mittlere freie Weglänge der Verdampfungsgut-Teilchen ist.
8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1-7» gekennzeichnet durch eine mittlere freie Weglänge der Verdampfungsgut-Teilchen von 2 bis 50 cm.
9. Verfahren nach einem der Ansprüche 4-8, dadurch gekennzeichnet, daß die Lamellen unter Sehfeld-Winkeln von 10 60° geneigt werden, die durch die benachbarten Lamellen bei Schnitt durch eine jalousieartige Anordnung gebildet werden.
10. Verfahren nach einem der Ansprüche 1-9» dadurch gekennzeichnet, daß der Ausricht-Pilm auf der Substrat-Oberfläche 50 bis 600 8 dick ausgebildet wird.
11. Verfahren nach einem der Ansprüche 1-10, gekennzeichnet durch einen Ausricht-Film auf der Substrat-Oberfläche aus elektrischem Isolierstoff.
12. Verfahren nach einem der Ansprüche 1-11, dadurch gekenn-

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zeichnet, daß der auf dem Substrat niedergeschlagene Ausricht-Film aus Indiumoxid oder Zinnoxid besteht.

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