NL163623C - Werkwijze voor het bepalen van de deeltjesstroom in een inrichting voor het in vacuo aanbrengen van lagen. - Google Patents

Werkwijze voor het bepalen van de deeltjesstroom in een inrichting voor het in vacuo aanbrengen van lagen.

Info

Publication number
NL163623C
NL163623C NL7417049.A NL7417049A NL163623C NL 163623 C NL163623 C NL 163623C NL 7417049 A NL7417049 A NL 7417049A NL 163623 C NL163623 C NL 163623C
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
vacuo
determining
application device
particular flow
flow
Prior art date
Application number
NL7417049.A
Other languages
English (en)
Other versions
NL163623B (nl
NL7417049A (nl
Original Assignee
Balzers Hochvakuum
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Balzers Hochvakuum filed Critical Balzers Hochvakuum
Publication of NL7417049A publication Critical patent/NL7417049A/nl
Publication of NL163623B publication Critical patent/NL163623B/nl
Application granted granted Critical
Publication of NL163623C publication Critical patent/NL163623C/nl

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/54—Controlling or regulating the coating process
    • C23C14/542—Controlling the film thickness or evaporation rate
    • C23C14/544—Controlling the film thickness or evaporation rate using measurement in the gas phase
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/54—Controlling or regulating the coating process
    • C23C14/548—Controlling the composition
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/66—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by measuring frequency, phase shift or propagation time of electromagnetic or other waves, e.g. using ultrasonic flowmeters
    • G01F1/661—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by measuring frequency, phase shift or propagation time of electromagnetic or other waves, e.g. using ultrasonic flowmeters using light
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/76—Devices for measuring mass flow of a fluid or a fluent solid material
    • G01F1/86—Indirect mass flowmeters, e.g. measuring volume flow and density, temperature or pressure

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
NL7417049.A 1974-10-09 1974-12-31 Werkwijze voor het bepalen van de deeltjesstroom in een inrichting voor het in vacuo aanbrengen van lagen. NL163623C (nl)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CH1366874A CH584886A5 (nl) 1974-10-09 1974-10-09

Publications (3)

Publication Number Publication Date
NL7417049A NL7417049A (nl) 1976-04-13
NL163623B NL163623B (nl) 1980-04-15
NL163623C true NL163623C (nl) 1980-09-15

Family

ID=4394335

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL7417049.A NL163623C (nl) 1974-10-09 1974-12-31 Werkwijze voor het bepalen van de deeltjesstroom in een inrichting voor het in vacuo aanbrengen van lagen.

Country Status (6)

Country Link
US (1) US4049352A (nl)
CH (1) CH584886A5 (nl)
DE (1) DE2540911C3 (nl)
FR (1) FR2287687A1 (nl)
GB (1) GB1525945A (nl)
NL (1) NL163623C (nl)

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4837044A (en) * 1987-01-23 1989-06-06 Itt Research Institute Rugate optical filter systems
JPH0816265B2 (ja) * 1987-03-27 1996-02-21 双葉電子工業株式会社 クラスタ検出装置
DE3721875A1 (de) * 1987-07-02 1989-01-12 Gema Ransburg Ag Verfahren und einrichtung fuer eine pulverspruehbeschichtungsanlage
DE3806109A1 (de) * 1987-12-16 1989-07-06 Klaus Prof Dr Ing Baukhage Verfahren zur feststellung wenigstens der oberflaechenstruktur von bewegten sphaerischen partikeln
JPH0781958B2 (ja) * 1989-06-23 1995-09-06 三菱電機株式会社 微細粒子測定装置
US5534066A (en) * 1993-10-29 1996-07-09 International Business Machines Corporation Fluid delivery apparatus having an infrared feedline sensor
EP0665577A1 (en) * 1994-01-28 1995-08-02 Applied Materials, Inc. Method and apparatus for monitoring the deposition rate of films during physical vapour deposition
US5472505A (en) * 1994-12-19 1995-12-05 Electronics & Telecommunications Research Institute Apparatus for monitoring films during MOCVD
FR2816714B1 (fr) * 2000-11-16 2003-10-10 Shakticom Procede et dispositif de depot de couches minces
JP4728644B2 (ja) * 2002-10-15 2011-07-20 エリコン・トレーディング・アクチェンゲゼルシャフト，トリュープバッハ マグネトロンスパッタ成膜基板の製造方法およびその装置
US7824730B2 (en) * 2007-08-31 2010-11-02 United Technologies Corporation Method and apparatus for measuring coating thickness with a laser
NZ741377A (en) 2015-10-09 2022-02-25 Deka Products Lp Fluid pumping and bioreactor system
US11299705B2 (en) 2016-11-07 2022-04-12 Deka Products Limited Partnership System and method for creating tissue
CN107164724B (zh) * 2017-05-11 2019-04-23 合肥京东方显示技术有限公司 镀膜机及靶材微粒的数量确定方法
CN113295666B (zh) * 2020-09-28 2023-08-22 成都理工大学 利用矿物拉曼参数对黄铁矿中As元素的定量分析方法

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3654109A (en) * 1968-04-25 1972-04-04 Ibm Apparatus and method for measuring rate in flow processes
US3734620A (en) * 1971-04-01 1973-05-22 Ibm Multiple band atomic absorption apparatus for simultaneously measuring different physical parameters of a material
US3817622A (en) * 1972-12-26 1974-06-18 Nasa Measurement of plasma temperature and density using radiation absorption

Also Published As

Publication number Publication date
NL163623B (nl) 1980-04-15
DE2540911C3 (de) 1979-10-04
DE2540911B2 (de) 1979-02-08
GB1525945A (en) 1978-09-27
FR2287687B1 (nl) 1980-06-06
FR2287687A1 (fr) 1976-05-07
DE2540911A1 (de) 1976-04-29
NL7417049A (nl) 1976-04-13
CH584886A5 (nl) 1977-02-15
US4049352A (en) 1977-09-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NL7505703A (nl) Werkwijze voor het samenstellen van een was- middel-combinatie, alsmede afgifte-inrichting daarvoor.
NL7504698A (nl) Werkwijze voor het polymeriseren van een (alpha)-ole- fine.
NL7502690A (nl) Werkwijze en inrichting voor het detecteren van een gas.
NL7508604A (nl) Inrichting voor het controleren van een buislei- ding.
NL7403468A (nl) Inrichting voor het bepalen van de verplaat- sing van een onderdeel van een werktuig.
NL158600B (nl) Verstelinrichting, in het bijzonder voor een afsluiter.
NL163623C (nl) Werkwijze voor het bepalen van de deeltjesstroom in een inrichting voor het in vacuo aanbrengen van lagen.
NL176756C (nl) Inrichting voor het sorteren van langwerpige voorwerpen.
NL7410478A (nl) Werkwijze en inrichting voor het constateren van de stand van een versnellingsbak.
NL7500029A (nl) Inrichting voor het schoonhouden van een sol- out.
NL7509464A (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een half- geleiderinrichting.
NL7502734A (nl) Inrichting voor het besturen van een fluidum.
NL7500629A (nl) Inrichting voor het afdichten van een as.
NL188961C (nl) Inrichting voor het bepalen van de hardheid van een materiaal.
NL7503921A (nl) Werkwijze voor het bepalen van acute giftigheid in een waterige vloeistof, alsmede inrichting voor het uitvoeren van de werkwijze.
NL182982C (nl) Verplaatsbare inrichting voor het bepalen van een vloeistofniveau in een houder.
NL7508380A (nl) Machine voor het monteren van een schuif en het aanbrengen van een aanslag.
NL7415445A (nl) Inrichting voor het vormen van een voorwerp.
NL7512874A (nl) Inrichting voor het automatisch corrigeren van de drift in een meetapparaat.
NL7502518A (nl) Werkwijze en inrichting voor het besturen van een weefgetouw.
NL7509360A (nl) Werkwijze voor het vormen van een vaste-fazein- richting.
NL177897C (nl) Inrichting voor het in een vloeistof brengen van een gas.
NL7514849A (nl) Werkwijze en inrichting voor het afdichten van een asdoorgang.
NL7503029A (nl) Werkwijze en inrichting voor het detekteren van een lek in een reservoir.
NL7513933A (nl) Werkwijze en inrichting voor het vervaardigen van een kunststofbuis.

Legal Events

Date Code Title Description
V1 Lapsed because of non-payment of the annual fee