NL7417049A - Werkwijze voor het bepalen van de specifieke deeltjesstroom in een inrichting voor het in vacuo aanbrengen van lagen, en een inrichting voor het uitvoeren van deze werkwijze. - Google Patents

Werkwijze voor het bepalen van de specifieke deeltjesstroom in een inrichting voor het in vacuo aanbrengen van lagen, en een inrichting voor het uitvoeren van deze werkwijze.

Info

Publication number
NL7417049A
NL7417049A NL7417049A NL7417049A NL7417049A NL 7417049 A NL7417049 A NL 7417049A NL 7417049 A NL7417049 A NL 7417049A NL 7417049 A NL7417049 A NL 7417049A NL 7417049 A NL7417049 A NL 7417049A
Authority
NL
Netherlands
Prior art keywords
procedure
vacuo
determining
particle flow
specific particle
Prior art date
Application number
NL7417049A
Other languages
English (en)
Other versions
NL163623C (nl
NL163623B (nl
Original Assignee
Balzers Patent Beteilig Ag
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Balzers Patent Beteilig Ag filed Critical Balzers Patent Beteilig Ag
Publication of NL7417049A publication Critical patent/NL7417049A/nl
Publication of NL163623B publication Critical patent/NL163623B/nl
Application granted granted Critical
Publication of NL163623C publication Critical patent/NL163623C/nl

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/54—Controlling or regulating the coating process
    • C23C14/542—Controlling the film thickness or evaporation rate
    • C23C14/544—Controlling the film thickness or evaporation rate using measurement in the gas phase
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/54—Controlling or regulating the coating process
    • C23C14/548—Controlling the composition
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/66—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by measuring frequency, phase shift or propagation time of electromagnetic or other waves, e.g. using ultrasonic flowmeters
    • G01F1/661—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by measuring frequency, phase shift or propagation time of electromagnetic or other waves, e.g. using ultrasonic flowmeters using light
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
    • G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
    • G01F1/76—Devices for measuring mass flow of a fluid or a fluent solid material
    • G01F1/86—Indirect mass flowmeters, e.g. measuring volume flow and density, temperature or pressure

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
NL7417049.A 1974-10-09 1974-12-31 Werkwijze voor het bepalen van de deeltjesstroom in een inrichting voor het in vacuo aanbrengen van lagen. NL163623C (nl)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CH1366874A CH584886A5 (nl) 1974-10-09 1974-10-09

Publications (3)

Publication Number Publication Date
NL7417049A true NL7417049A (nl) 1976-04-13
NL163623B NL163623B (nl) 1980-04-15
NL163623C NL163623C (nl) 1980-09-15

Family

ID=4394335

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
NL7417049.A NL163623C (nl) 1974-10-09 1974-12-31 Werkwijze voor het bepalen van de deeltjesstroom in een inrichting voor het in vacuo aanbrengen van lagen.

Country Status (6)

Country Link
US (1) US4049352A (nl)
CH (1) CH584886A5 (nl)
DE (1) DE2540911C3 (nl)
FR (1) FR2287687A1 (nl)
GB (1) GB1525945A (nl)
NL (1) NL163623C (nl)

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4837044A (en) * 1987-01-23 1989-06-06 Itt Research Institute Rugate optical filter systems
JPH0816265B2 (ja) * 1987-03-27 1996-02-21 双葉電子工業株式会社 クラスタ検出装置
DE3721875A1 (de) * 1987-07-02 1989-01-12 Gema Ransburg Ag Verfahren und einrichtung fuer eine pulverspruehbeschichtungsanlage
DE3806109A1 (de) * 1987-12-16 1989-07-06 Klaus Prof Dr Ing Baukhage Verfahren zur feststellung wenigstens der oberflaechenstruktur von bewegten sphaerischen partikeln
JPH0781958B2 (ja) * 1989-06-23 1995-09-06 三菱電機株式会社 微細粒子測定装置
US5534066A (en) * 1993-10-29 1996-07-09 International Business Machines Corporation Fluid delivery apparatus having an infrared feedline sensor
KR950034499A (ko) * 1994-01-28 1995-12-28 제임스 조셉 드롱 물리적인 증기증착 과정동안 필름들의 증착속도를 모니터하기 위한 방법 및 장치
US5472505A (en) * 1994-12-19 1995-12-05 Electronics & Telecommunications Research Institute Apparatus for monitoring films during MOCVD
FR2816714B1 (fr) * 2000-11-16 2003-10-10 Shakticom Procede et dispositif de depot de couches minces
CN1714422B (zh) * 2002-10-15 2010-09-01 奥尔利康贸易股份公司（特吕巴赫） 用于加工磁控管溅射涂层基底的方法和用于此的设备
US7824730B2 (en) * 2007-08-31 2010-11-02 United Technologies Corporation Method and apparatus for measuring coating thickness with a laser
EP3640321B1 (en) 2015-10-09 2022-04-06 DEKA Products Limited Partnership Method for generating a tissue for transplant
US11299705B2 (en) 2016-11-07 2022-04-12 Deka Products Limited Partnership System and method for creating tissue
CN107164724B (zh) * 2017-05-11 2019-04-23 合肥京东方显示技术有限公司 镀膜机及靶材微粒的数量确定方法
CN113295666B (zh) * 2020-09-28 2023-08-22 成都理工大学 利用矿物拉曼参数对黄铁矿中As元素的定量分析方法

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3654109A (en) * 1968-04-25 1972-04-04 Ibm Apparatus and method for measuring rate in flow processes
US3734620A (en) * 1971-04-01 1973-05-22 Ibm Multiple band atomic absorption apparatus for simultaneously measuring different physical parameters of a material
US3817622A (en) * 1972-12-26 1974-06-18 Nasa Measurement of plasma temperature and density using radiation absorption

Also Published As

Publication number Publication date
US4049352A (en) 1977-09-20
DE2540911A1 (de) 1976-04-29
DE2540911C3 (de) 1979-10-04
NL163623C (nl) 1980-09-15
NL163623B (nl) 1980-04-15
CH584886A5 (nl) 1977-02-15
FR2287687A1 (fr) 1976-05-07
FR2287687B1 (nl) 1980-06-06
GB1525945A (en) 1978-09-27
DE2540911B2 (de) 1979-02-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
NL7600501A (nl) Inrichting voor het stoppen van een stroombare massamateriaal in buigzame buizen, alsmede in- richting voor het uitvoeren van de werkwijze.
NL7505703A (nl) Werkwijze voor het samenstellen van een was- middel-combinatie, alsmede afgifte-inrichting daarvoor.
NL188354C (nl) Werkwijze voor de bereiding van een substraat voor de kwantitatieve bepaling van plasmakallikreine en werkwijze voor het kwantitatief bepalen van plasmakallikreine.
NL7510299A (nl) Werkwijze voor het bepalen van sporen kwik in vloeistoffen, alsmede een hiervoor geschikte inrichting.
NL7512093A (nl) Controletoestel voor het controleren van de ener- gie in een fluidum.
NL7417049A (nl) Werkwijze voor het bepalen van de specifieke deeltjesstroom in een inrichting voor het in vacuo aanbrengen van lagen, en een inrichting voor het uitvoeren van deze werkwijze.
NL7507947A (nl) Werkwijze en inrichting voor het vervaardigen van een samengesteld profiel of dergelijke.
NL158600B (nl) Verstelinrichting, in het bijzonder voor een afsluiter.
NL146983B (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een bimorfe piezo-elektrische inrichting en aldus vervaardigde inrichting.
NL7413289A (nl) Inrichting voor het aanbrengen van lagen in de van een vloeistof op voorwerpen.
NL165583C (nl) Inrichting voor het stabiliseren van een, in een cardanframe opgehangen platform.
NL7603785A (nl) Werkwijze voor het bepalen van een oppervlakteaf- meting in een vlak en inrichting voor het toepas- sen van deze werkwijze.
NL7502668A (nl) Werkwijze voor het bevochtigen en verwarmen van een gas en inrichting voor het toepassen van deze werkwijze.
NL7505076A (nl) Werkwijze en inrichting voor het vervaardigen van buizen met een schroeflijnvormige naad, en zodoende vervaardigde buizen.
NL7606206A (nl) Werkwijze voor het vervaardigen van een trilin- richting, alsmede een trilinrichting.
NL7413574A (nl) Werkwijze en inrichting voor het voorzien in een eerste correctie op het samenvallen geduren- de een deeltjesanalyse waarbij wordt gebruik gemaakt van tijdsverlengingstechnieken.
NL7502734A (nl) Inrichting voor het besturen van een fluidum.
NL7505681A (nl) Werkwijze en inrichting voor het vervaardigen van een geweven treksluiting.
NL7502738A (nl) Werkwijze voor het uitvoeren van elektrolyse alsmede inrichting voor het toepassen van deze werkwijze.
NL7508380A (nl) Machine voor het monteren van een schuif en het aanbrengen van een aanslag.
NL7710476A (nl) Schroef-rotor-inrichting, in het bijzonder voor het komprimeren van een medium.
NL177897C (nl) Inrichting voor het in een vloeistof brengen van een gas.
NL7514849A (nl) Werkwijze en inrichting voor het afdichten van een asdoorgang.
NL157506B (nl) Val-amortisatie-inrichting, in het bijzonder voor de vanglijn van een veiligheidsgordel.
NL161406C (nl) Inrichting voor het evacueren en afdichten van zakken.

Legal Events

Date Code Title Description
V1 Lapsed because of non-payment of the annual fee