DE2507864A1

DE2507864A1 - Verfahren zur herstellung von silan

Info

Publication number: DE2507864A1
Application number: DE19752507864
Authority: DE
Inventors: Carl James Bakay
Original assignee: Union Carbide Corp
Current assignee: Union Carbide Corp
Priority date: 1974-02-25
Filing date: 1975-02-24
Publication date: 1975-08-28
Also published as: GB1499137A; JPS50119798A; FR2261977B1; FR2261977A1; BE825872A; US3968199A

Description

betreffend
Verfahren zur Herstellung von Silan

Nach einer älteren Anmeldung erfolgt eine Disproportionierung von ChlorsilanaijWie SiHCl,, in Berührung mit einem anionenaustauschenden Harz, enthaltend ternäre Amino- oder quaternäre Ammoniumgruppen in einem mehrstufigen Verfahren zur Bildung von Dichlorsilan, Trichlorsilan und Monosilan SiH..

Dichlorsilan, Monochlorsilan und Silan erlangen zunehmende Bedeutung. So wird Dichlorsilan in immer größeren Mengen zur Herstellung von Silicium angewandt, welches für epitaxiale Siliciumschichten bei Halbleiterbauteilen angewandt wird. Silan hat eine Menge von Anwendungsgebieten, u.a. Gewinnung des reinen Siliciums als poly k.ristallines oder ein kristallines Material sowie im Rahmen der Herstellung von epitaxialen Siliciumschichten. Theoretisch ist Silan für die Herstellung von Silicium den anderen Verbindungen überlegen, da die einzigen Zersetzungsprodukte von Silan Wasserstoff und Silicium sind. Bei der Zersetzung von Trichlorsilan zur Abscheidung von Silicium, wie dies bisher in großem:Umfang geschieht, oder von Dichlorsilan ist das hauptsächliche Nebenprodukt Chlorwasserstoff. Chlorwasserstoff ist ein schwer*zu handhabendes Material, welches mit dem abgeschiedenen

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Silicium wieder unter Bildung von Trichlorsilan und/oder Silieiumtetrachlorid reagieren kann, wodurch, die Wirksamkeit der Umsetzungsreaktion und die M et al lausbeute verschlechtert werden. Monochlorsilan ist in den erforderlichen Mengen nicht leicht verfügbar und seine Zersetzung führt ebenfalls zur Bildung von HOl, jedoch in geringererem Ausmaß.

Die Erfindung betrifft nun ein einstufiges Verfahren für die Herstellung von Silan SiH. aus der am leichtesten verfügbaren Siliciumverbindung, nämlich dem Trichlorsilan SiHOl^. Das erfindungsgemäße Verfahren betrifft die Disproportionierung von SiHGl-, in einem Bett aus Anionenaustauscherharz bei einer Temperatur, die ein Verdampfen der niedersiedenden Produkte der Reaktion aus der Eeaktionszone gestattet, wobei das höchstsiedende flüssige Reaktionsprodukt, nämlich Siliciumtetrachlorid SiCl., kondensiert und aus der Reaktionszone abgezogen werden kann. Wenn sich die niedersiedenden Produkte aus dem Anionenaustauscherbett verflüchtigen, sinkt zunehmend die Temperatur des Bettes ab bis unter den Siedepunkt von Trichlorsilan und über den Siedepunkt von Silan. Auf diese W^eise reichern, sich nur die Silandämpfe am oberen Teil des Bettg^ während die verschiedenen Chlorsilane kontinuierlich innerhalb des Bettes im Rücklauf geführt werden, möglicherweise in fortschreitender Weise, so daß, ausgehend von Trichlorsilan in der Zone der anfänglichen Disproportionierung sich dann die Zone mit Dichlorsilan und schließlich mit Monochlorsilan anschließt. Es ist jedoch klar, daß eine Abgrenzung der Zonen gegeneinander in der Kolonne nicht besteht. Am Kolonnenkopf entweicht Silan.

Die Umsetzung läuft offensichtlich über folgenden Mechanismus: ϊ

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(A) 2SiHCl₃

(B) 2SiH₂Cl₂ SiHCl₃ I^ + SiH₃Cl I

(C) 2SiH₃Cl SiH₄ I^ + SiH₂Cl₂ I

Die Summengleichung:

4SiHCl SiH

j + 3SiCl₄ j

wird nach rechts verschoben durch Abziehen der Silandämpfe aus der Reaktionszone. Das Gleichgewicht der Summengleichung läßt sich auch nach rechts verschieben durch Abziehen von Siliciumtetrachlorid oder eines anderen rückfließenden Produkts aus der Reaktion.

Aus obigem geht hervor, daß eine wesentliche physikalische Eigenschaft zur Bestimmung der Arbeitsbedingungen des erfindungsgemäßen Verfahrens die Siedepunkte von Silan (Kp -111,9°C), Monochlorsilan (Kp -30,4⁰C), Dichlorsilan (Kp 8,3⁰C)₁ Trichlorsilan (Kp 31,5⁰C) und Siliciumtetrachlorid (Kp 57,6⁰C) sind.

Bei der Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens erfolgt ein rückfließendes Sieden von Trichlorsilan in dem Bett des Anionenaustauscherharzes an einer Stelle, die vom oberen Teil des Betts entfernt ist. Die Temperatur des Bettes, dem Trichlorsilan zugeführt wird, muß derart sein, daß ein Verdampfen von Trichlorsilan stattfindet. Die Temperatur am oberen Teil des Betts muß unter dem Siedepunkt des Monochlorsilans liegen. Der Temperaturgradient zwischen diesen beiden Punkten muß ausreichen zur Bildung von flüssigem Trichlorsilan etwas über dem Punkt, wo Trichlorsilan eingespeist wird,

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von gasförmigem/

^/Dichlorsilan "bei und/oder um den Rückfluß von Trichlorsilan, von

und/oder um den

dampfförmigem Monoohlorsilan beim/Eückfluß von Dichlorsilan und

und/oαer um den von Siliciumtetrachlorid beim/Rückfluß von Monoohlorsilan. Man braucht aber nicht nennenswerte Mengen an rückfließendem Dichlorsilan oder Monochlorsilan feststellen, wenn das gesamte Bett auf der Eückflußtemperatur von Trichlorsilan gehalten wird.

Ist nun das Bett nieder und wird Trichlorsilan unten zugeführt, so wird eine wesentlich größere Wärmeabfuhr ermöglicht als bei einer höheren Kolonne. Das Anionenaustauscherharzbett kann sich in einer Kolonne befinden, der Trichlorsilan oben als Flüssigkeit oder unten als Dampf zugeführt wird. Man kann es in einem inerten Gas oder einer Flüssigkeit suspendieren oder auflösen,und zwar in der Dampfphase oder flüssigen Phase. Man kann es von der Seite in das Bett in jeder Höhe einführen als Dampf oder Flüssigkeit. Wird Trichlorsilan in das Bett flüssig eingebracht, so muß das Bett (von außen oder von"innen) erwärmt werden, um eine Verdampfung zu gewährleisten. In jedem Fall muß jedoch das Bett gekühlt werden, um die gewünschte Trennung der rückfließenden disproportionierten Produkte aus den aufsteigenden Dämpfen zu erreichen.

Da Siliciumtetrachlorid nicht weiter disproportioniert werden kann zur Verbesserung der Ausbeute an Silanen, gibt es keine wirtschaftlichen Gründe, daß im Bett Siliciumtetrachlorid verbleibt« Da man Dichlorsilandämpfe am wirkungsvollsten unten in das Bett einbringt, ergibt sich dessen Größe aus den wiederholten Disproportionierungsgleiohgewichten (A) bis (C).

Das zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens geeignete aminogruppenenthaltende ionenaustauschende Harz ist ein polymeres Material, welches unlöslich in Silan, Monochlorsilan, Dichlorsilan, Trichlorsilan und Siliciumtetrachlorid ist.

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Bei linearen thermoplastischen Ionenaustauscherharzen erreicht man eine solche Unlö'slichkeit, indem man ein Harz ausreichend hohen Molekulargewichts anwendet, wie ü"ber etwa 10 000, oder ein vernetztes Ionenaustauscherharz, welches auch unschmelzbar ist. Die Vernetzung "braucht für das erfindungsgemäße Verfahren jedoch nur die erforderliche Unlöslichkeit erbringen.

Die Aminofunktionalität in dem Harz ist vorzugsweise eine tertiäre Amino- oder quaternäre Ammoniumgruppe, die an einem Kohlenstoffatom des Harzes hängt. Vorzugsweise enthält das Harz außer Kohlenstoff und Wasserstoff neben den Stickstoffatomen oder den Halogenionen der Aminofunktionalität keine weiteren Elemente, nicht inbegriffen die Verunreinigungen, die noch Sauerstoff, Phosphor, Eisen, Bor oder dergl. enthalten können. Diese Verunreinigungen werden während der Heaktion zu einem wesentlichen Ausmaß von den Chlorsilanen mitgenommen, so daß man ein praktisch reines Harz erhält oder ein Harz, dessen Verunreinigungen zu keiner Verunreinigung des eingespeisten Produkts oder der Reaktionsprodukte führt.

Besonders bevorzugte Ionenaustauscherharze sind Mischpolymere von monoolefinisch ungesättigten (gegebenenfalls halogenierten) Kohlenwasserstoffen oder monoolefinisch ungesättigten Heteroaminen und polyolefinisch ungesättigten Kohlenwasserstoffen oder Heteroaminen. Beispiele für monoolefinisch ungesättigte Verbindungen sind Styrol, 4-Chlo.rstyrol, 3-Chlorstyrol, Vinyltoluol, 4-Ohlormethylstyrol, Vinylnaphthalin, Vinylpyridin, 2-Methyl-5-vinyl-pyridin, 2,3-Dimethyl-5-vinylpyridin, 2-Methyl-3-äthyl-5-vinylpyridin, 2-Methyl-5-vinylchinolin, 4-Methyl-4-vinylchinolin, 1-Methyl- oder 3-Methyl-5-vinylisochinolin.

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Polyolefinisch ungesättigte Verbindungen sind beispielsweise 1,4-Divinylbenzol, Divinylpyridin, Divinyltoluole, Divinylnaphthaline, Trivinylbenzol, Trivinylnaphthaline und Polyvinylanthracene.

Derartige Mischpolymere sind bekannt und in großer Anzahl am Markt erhältlich, die auch Aminofunktionalität besitzen. Sie können vernetzt werden in üblicher Weise durch freie Radikale bildende Katalysatoren wie Peroxide. Wenn ihre Monomeren tertiäre Aminogruppen enthalten, wie bei obigen Pyridiny!verbindungen, so muß man den Mischpolymeren keine Aminofunktiοnalität mehr einführen. Enthält das Polymer jedochkeine Aminogruppen sondern Chloratome, so setzt man das Mischpolymere z.B. mit Ammoniak, primären oder sekundären Alkyl- und/oder Arylaminen um, um durch Kondensation die Amingruppe zu bilden, wobei als Nebenprodukt Chlorwasserstoff entsteht. Bevorzugt wird jedoch die Aminfunktionalität durch Reaktion mit einem sekundären Amin, wie Dialkylamin, einem Diarylamin und/oder einem Alkylarylamin eines chlorierten Harzes vorgenommen.

Die Quaternisierung von tertiäre Aminogruppen enthaltendem Harz erfolgt durch Umsetzung mit einem Kohlenwasserstoffhalogenid wie Alkyl- oder Arylhalogenid unter Bildung des entsprechenden quaternären Aminhalogenids.

Aminanionenaustauscherharze gibt es in zwei Formen. Die eine ist ein Gelharz und die Standardsorte des Austauschers. Die andere Form ist die sogenannte makroretikulare oder makronetzförmige Form. Sie besitzt innerhalb der Teilchen größere Porosität für den Durchgang von Molekülen. Die Gelharze besitzen zusammengefallene Gelstrukturen, wohingegen die makroretikularen Harze eine Nicht-Gelstruktur haben, die nicht zusammengefallen ist (J.A.C.S., Bd. 84, Jan. 20, 1962, S. 305 und 306; I & E.C. Product Research and Development, Bd. 1, Nr. 2, Juni 1962, S. 140-144; Polymer

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Letters (1964), Bd. 2, S. 587-591; US-PS 3 037 052, 3 367 889) Aus der US-PS 3 367 889 geht insbesondere ein Verfahren zur Herstellung von makroretikularen tertiäre Aminionöi enthaltende! Austausche rharze nach Beispiel IV hervor.

Es gibt im Handel verschiedene makroretikulare tertiäre Aminionai enthaltende Austauscherharze, wie "Amberlyst A-21", in Form von harten kugeligen Teilchen, die hellbraun und wassergesättigt sind. Die ionische Form ist die freie Base. Für dieses Handelsprodukt werden folgende Eigenschaften angegeben:

Gelwassergehalt 45 - 53 ^

Austauscherkapazität (bezogen auf trockenes Harz): inÄq./g..,

mÄq./cm

Dichte (lbs./cu. ft.) kg/cnr wirksame Größe mm Gleichmäßigkeit Unterkam bei Naßsiebanalyse <£0,3 mm Hydraulische Expansion bei 2,0 gpm/cu.ft.. 3O⁰C

Gesamtgehalt Porosität mittlerer Porendurchmesser spez. Oberfläche Feststoffe

Quellen von Trocken bis Lösungsmittel — gesättigt

Hexan Toluol Diäthyläther

Aceton '

Absbluter Äthanol Wasser

4,7	- 5,0	- 0,55
1,5	- 1,7	2,0
(38-42) 610-673	ι io
0,40	120 io
max.
max.	45 io
max.	120 nm
100 '	30 m²/g
35 -	55 io
70 -
20 -
47 -
20 io
25 io
22 io
OO of
30 io
25 io

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Diese Daten wurden von dem freien basischen Harz erhalten, welches vorher für irreversibles Quellen durch eine zweimalige abwechselnde Behandlung mit Säure und Base konditioniert worden ist. Ein solches Quellen kann 10 bis 15 i° ausmachen.

Bei dem Handelsprodukt "Amberlyst A-26" handelt es sich um ein hartes, kugeliges, leicht bräunliches, wassergesättigtes Material, dessen funktionellen Gruppen quaternäre Ammoniumgruppen sind und welches als Chlorid in der ionischen Form vorliegt. Es besitzt folgende Eigenschaften:

Gelwassergehalt, fo 61-65

Ionenaustauscherkapazität (bezogen auf
trockenes Harz):^

mAq./g , 4,1-4,4

mAq./cKr 0,95 - 1,1

Dichte (lbs./ft.³) kg/cm³ (39-43) 622-690

wirksame Größe, mm 0,45 - 0,55

Gleichmäßigkeit max. 1,8

Gesamtgehalt, f» 100

mittlerer Porendurchmesser, nm 40-70

spez. Oberfläche, m /g 25-3Om

Bei dem Handeisprodukt "Amberlite IRA-400" mit quaternären Ammoniumgruppen als Ionenaustauscherfunktion handelt es sich um ein hartes, kugeliges, dunkelbräunliches, mit Wasser gesättigtes Material, dessen ionische Form quaternäres Amin - Hydrochlorid ist.

Gelwassergehalt, ^σ/< > 42-48

Austauscherkapazität (bezogen auf
trockenes Harz}.

mÄq./g 3,8

·· mAq./cnr 1,4

Dichte (lbs/cu.ft.) kg/cm³ (38-4 5) 607 -

wirksame Größe, mm 0 38 - 0 45

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Gleichmäßigkeit max. 1,75

Unt erkcrn bei Naßsie "banalyse < 0,3 mm, $> max. 2 Gesamtgehalt, °/o 100

mittlerer Porendurohmesser -

Quellen durch Umwandlung Chlorid in Hydroxid, fo 18-22

Obige Harze beruhen möglicherweise auf Styrol-Divinylbenzol-Mischpolymeren, die zuerst am Styrolring chlormethyliert werden und anschließend eine Aminierung stattfindet, um die angestrebte Aminfunktionalität aufzubauen. Es kann sich dann noch, wie oben erwähnt, eine Alkylierung anschließen, um zu den entsprechenden quaternären Ammoniumderivaten zu kommen.

Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren bevorzugt man als tertiäre Amin- oder quaternäre Ammoniumgruppen Dialkylamino-, Alkylphenyl-, Diphenyl-, Dicycloalkyl- oder Alkylcycloalkyl- oder auch weiter alkylierte Derivate obiger quaternärer Verbindungen, in denen die Alkylgruppen 1 bis etwa 18 Kohlenstoffatome und die Cycloalkylgruppen etwa 4 bis 8 Kohlenstoffatome aufweisen. Besonders bevorzugt werden tertiäre Amino- und quaternäre ammoniumfunktionelle Gruppen in Torrn von Alkylamino- oder Alkylammonium— derivaten, deren Alkylgruppen 1 bis 8 Kohlenstoffatome aufweisen.

Die obigen Harze liegen in zerkleinerter Form vor und lassen sich so zur Disproportionierung von Trichlorsilan anwenden, indem dieses als Flüssigkeit oder Dampf durch ein Bett dieser Austauscherharze geleitet wird.

Die Disproportionierung wird durchgeführt bei Temperaturen von etwa 0 bis 35O⁰C, vorzugsweise etwa 20 bis 200⁰C.

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Das erfindungsgemäße Verfahren kann in flüssiger oder Dampfphase durchgeführt werden. Überraschenderweise stellt sich.das maximale Gleichgewicht, das "bei dieser Disproportionierungsreaktion erreichbar ist, viel schneller in der Dampfphase ein als in der flüssigen Phase. Für großtechnische D-urchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens wird man also ein Dampfphasenverfahren ■bevorzugen.

Das erfindungsgemäße Verfahren läßt sich "bei Normaldruck, Unter- oder Überdruck durchführen. Der Druck spielt nur insofern eine Rolle "bei dem erfindungsgemäßen Verfahren, als damit der Aggregatzustand des eingespeisten Materials und der Reaktionsprodukte während der Reaktion "beeinflußt werden kann. Er ist für die Arbeitsfähigkeit des erfindungsgemäßen Verfahrens kein kritischer Faktor. Will man z.B. bei 60⁰C und einem anfänglichen Rückfluß in der flüssigen Phase und nicht in der Gas- oder Dampfphase arbeiten, so sind folgende Überlegungen anzustellen. Bei 6O⁰G sind Silan, Monochiorsilan, Dichlorsilan, Trichlorsilan und Siliciumtetrachlorid gasförmig unter Normaldruck; man muß also für ein Flüssigphasenverfahren unter Druck arbeiten. Unter dem Begriff "Flüssigphasenverfahren" soll jedoch nicht verstanden werden, daß alle Reaktionsprodukte und das eingespeiste Material in der flüssigen Phase vorliegen müssen. Für ein Flüssigphasenverfahren ist nur erforderlich, daß zumindest eines der Produkte unter den Arbeitsbedingungen flüssig ist.

Ein weiterer Faktor des erfindungsgemäßen Verfahrens ist die Kontaktzeit zwischen Harz und eingespeistem Silan. Für ,jede Temperatur besteht eine unabhängige Zeit, während der das eingespeiste monomere Silan in Berührung mit dem Anionenaustauscherharz stehen soll, um den Gleichgewichtszustand zu erreichen. Der Molanteil des angestrebten disproportionierten Produkts ist abhängig «»von der Temperatur. Je höher die Temperatur ist, umso höher sind im allgemeinen die Molanteile an diesem Produkt und

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darüberhinaus von der Kontaktzeit. Strebt man jedoch eine Teildisproportionierung an und erhält damit natürlich weniger als die Gleichgewichtsbedingungen, so können kürzere Kontaktzeiten vorgezogen werden.

Beispiel

Eine mit einem Vakuummantel versehene Destillationskolonne mit einer Länge von 609 mm und einem Innendurchmesser von 38 mm wurde gefüllt mit einem Gemisch von Borsilicatspiralen 3,175 mm und 13 g wasserfreies "Amberlyst A-21-Harz" einer Körnung>0,7 mm, eingebracht als Aufschlämmung in Toluol. Das Harz wurde dann über Nacht im Stickstoffstrom getrocknet. Die ganze Kolonne wurde . einen 1-Liter-Dreihalsrundkolben, versehen mit einem Thermometer 0 bis 52⁰C und einer Stickstoffspülung und oben einem Kondensator mit Trockeneis-Acetonkühlung, aufgesetzt. Die Kormalschliffe wurden mit Polytetrafluoräthylen-Hülsen, wenn irgendmöglich, umgeben. Der Kondensat ο rausgang führte in die Produktleitung, in der sich ein Quecksilbermanometer, eine Probenahmevorrichtung und eine Vorlage mit 33,1 g Aktivkohle (1 bis 1,68 mm 12/28 mesh-) bei Eaumtemperatur, noch ein Probennehmer und eine Abblasleitung für Stickstoff befanden.

Nun wurden 820 g 99,9 $iges Trichlorsilan zusammen mit Siedest einchen in den Kolben eingebracht und alles 1 h mit Stickstoff ausgespült. Dann wurde die Kolonne auf rückfließendes Sieden gebracht und knapp unter den Überflutungsbedingungen während der ganzen Zeit gehalten. Die Geschwindigkeit der Silanbildung wurde überwacht durch Abklemmen der Austragleitung hinter der Kohlenstoffvorlage, Abziehen von 10 cnr Dampf mit Hilfe einer Injektionsspritze und Bestimmung der Zeit, die erforderlich ist, bis das Manometer wieder auf 0 mm zurückkehrt (2 bis 2,5 min). Die Proben von vor und nach der Kohlenstoffvorlage wurden periodisch

^Λ 3
mit einer 2,5 cnr Glasinjektionsspritze gezogen und unmittelbar in einen Gaschromatographen (F&M 700) eingebracht, der mit einer

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4,57 m χ 6,35 mm "SE-30 on Chromosorb ¥ 80/100^M-Kolonne versehen war mad bei -10 + 5°C gehalten wurde. Dadurch gelang die Trennung von N₂, SiH., SiH₅Cl und SiH₂Cl₂, während die höhersiedenden Stoffe in der Kolonne blieben.

Es wurde festgestellt, daß, wenn man die Aktivkohlevorlage auf —72 C kühlt, kein Silan durchgeht. Nach 10 h bei Raumtemperatur (25⁰C) geht Silan durch, jedoch alle Chlorsilane werden zurückgehalt en.

Der Versuch lief 68 h während 9 Tagen, wobei neunmal abgeschaltet wurde und mqn eine Zusammensetzung des Sumpfes von 76 $ SiCl₄, 22 % SiHCl₅ und 1 fo SiH₂Cl₂ ermittelte.

Tabelle

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Tabelle

	Silan	Temp, der Vorlage	vor der SiH₄	Gas Mo	1-*	der Vorlage SiH₅Gl
h	0,3	-80⁰G	96,3	Vorlage SiH₃Gl	nach SiH₄
1	0,6	-8O⁰C	96,2	3,7
2	0,9	-80⁰G	97,2	3,8		P (erwärmte Vorlage)
3	1,2	-24⁰G	97,6	2,8	rein N
4	1,5	-21⁰C	97,9	2,4		2
5	1,8	-21⁰G	98,1	2,1	rein N
6	2,4	-21⁰G	98,4	1,9		P (erwärmte Vorlage)
8	3,0	0	98,4	1,6	rein K
10	7,0	22°C	97,7	1,6		0,1
23	7,3	22°C	97,7	2,3	99,9	0,5:
24	9,4	22°C	97,8	2,3	99,5	0,2 höhere
31	20,0	22⁰G	97,7	2,0	99,8	0,3 + 0,7 höhere
67			2,3	99,0

20,3

22⁰C

Ende

Die Silanzufuhr beruht auf einer mittleren Produktionsgeschwindigkeit von 300 cm /h.

Patentanspräche

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Claims

Patentansprüche

Verfahren zur Herstellung von Silan, dadurch gekennzeichnet, daß man in ein Bett eines unlöslichen Anionenaustauscherharzes, enthaltend tertiäre Amino- oder quaternäre Ammoniumgruppen an einem Kohlenstoffatom, Trichlorsilan einführt, die Temperatur des Bettes so hält, daß Trichlorsilan dispropr.otionier au Produkten, das

/die im Bett aufsteigen und Silioiumtetrachlorid/konden-. siert man die Temperatur am oberen Teil des Betts über dem Siedepunkt von Silan und unter dem Siedepunkt von Monochlorsilan hält und das von Ghlorsilanen praktisch freie Silan aus dem Bett gewinnt.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß man ein makroretikulares Harz, enthaltend tertiäre Aminogruppen, anwendet.
3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß man ein Harz anwendet, welches ein Reaktionsprodukt von einem Styrol mit Diviny!benzol ist.

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