DE2502688A1 - Strahlenmischer fuer gepulste strahlung - Google Patents
Strahlenmischer fuer gepulste strahlungInfo
- Publication number
- DE2502688A1 DE2502688A1 DE19752502688 DE2502688A DE2502688A1 DE 2502688 A1 DE2502688 A1 DE 2502688A1 DE 19752502688 DE19752502688 DE 19752502688 DE 2502688 A DE2502688 A DE 2502688A DE 2502688 A1 DE2502688 A1 DE 2502688A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- radiation
- path
- mixer according
- along
- common
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/10—Beam splitting or combining systems
- G02B27/14—Beam splitting or combining systems operating by reflection only
- G02B27/143—Beam splitting or combining systems operating by reflection only using macroscopically faceted or segmented reflective surfaces
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01D—SEPARATION
- B01D59/00—Separation of different isotopes of the same chemical element
- B01D59/34—Separation by photochemical methods
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/10—Beam splitting or combining systems
- G02B27/14—Beam splitting or combining systems operating by reflection only
- G02B27/147—Beam splitting or combining systems operating by reflection only using averaging effects by spatially variable reflectivity on a microscopic level, e.g. polka dots, chequered or discontinuous patterns, or rapidly moving surfaces
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/64—Imaging systems using optical elements for stabilisation of the lateral and angular position of the image
- G02B27/642—Optical derotators, i.e. systems for compensating for image rotation, e.g. using rotating prisms, mirrors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/11—Mode locking; Q-switching; Other giant-pulse techniques, e.g. cavity dumping
- H01S3/1123—Q-switching
- H01S3/121—Q-switching using intracavity mechanical devices
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/23—Arrangements of two or more lasers not provided for in groups H01S3/02 - H01S3/22, e.g. tandem arrangements of separate active media
- H01S3/2383—Parallel arrangements
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/005—Optical devices external to the laser cavity, specially adapted for lasers, e.g. for homogenisation of the beam or for manipulating laser pulses, e.g. pulse shaping
- H01S3/0071—Beam steering, e.g. whereby a mirror outside the cavity is present to change the beam direction
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Biophysics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Lasers (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Description
8 München 22, Steinsdorfstr. 1O
Tel. (089)22 7201/227244/298910
Telegr. Allpatent München Telex 522Ο48
052-23.699p
23. 1. 1975
Adressen Exxon Nuclear Company,
Bellevue (Washington) V. St
Strahlenmischer für gepulste Strahlung
Die Erfindung bezieht sich auf einen Strahlenmischer zum
Vereinigen gepulster optischer Strahlen, um eine erhöhte Impulsfrequenz zu erhalten, und insbesondere auf einen Strahlenmischer, der
einen winkelförmigen Strahlenweg oder eine Ablenkung kompensiert, solange die Impulse vereinigt werden.
Bei mit gepulster Laserstrahlung arbeitenden Vorrichtungen soll oft eine höhere Impulsfrequenz für die gepulste Laserstrahlung
052-(JNA 24/25)-Ko-r (7)
509831/0807
26Ü2688
vorgesehen werden, als diese gewöhnlich aus einem einzigen Laser erhalten
wird- Es sind Möglichkeiten bekannt, die oft eine Dreh-Optik verwenden, um gepulste Laserstrahlen nacheinander zu einem einzigen
Strahl mit gemeinsamer Achse zu vereinigen (vgl. US-PS 3 543 183, 3 310 753, 3 541468, 3 568 087).
Bei einer Anwendung einer Hochimpulsfrequenz auf die Laserstrahlung
wird eine Isotopentrennung mittels einer isotopenselektiven Laser-Fotoionisation in einem Bereich hoher Durchfluß menge aus mehreren
Isotopenarten durchgeführt (vgl. US-PS 3 772519). Für eine derartige
Anwendung einer Laseranreicherung werden insbesondere Laserstrahlenwege verwendet, die sich über beträchtliche Entfernungen erstrecken
und trotzdem eine genaue und konstante Winkelausrichtung und Überlagerung einiger Laserstrahlen verschiedener Frequenz erfordern.
Die Laserimpulsdauern können insbesondere für diese Anwendung im Bereich eines Bruchteiles von 1 us, liegen. Wenn eine. Dreh-Optik zum Empfang
aller sequentieller Impulse (Folgeimpulse) von mehreren Lasern verwendet wird, um diese auf einen Weg zu vereinigen, so führt die
Drehbewegung dieser Optik zu einer Drehbewegung der vereinigten Laserstrahlen. Diese Bewegung kann als Strahlablenkung sowie als Drehung
der Ablenkungsebene von Impuls zu Impuls auftreten. Mit einer
Laseranreicherung, die eine konsistente Beleuchtung eines vorbestimmten Kanals durch den Bereich der zu trennenden Isotopen erfordert, ist
eine derartige Winkelbewegung der Strahlung η icht verträglich.
Die Erfindung sieht eine Vorrichtung vor, die die in einem aus gepulster Laserstrahlung vereinigten Strahl auftretende Winkelablenkung
korrigiert, die auf einer aufeinanderfolgenden Überlagerung mehrerer, sequentiell gepulster Laserstrahlen auf einen einzigen Weg beruht.
509831 /0807
Insbesondere wird eine sich kontinuierlich drehende Optik verwendet,
um die gepulsten Ausgangssignale mehrerer Laserquellen zu vereinigen- Bei einem Ausführungsbeispiel werden mehrere Kompensier-Optiken
hinzugefügt, um eine auf der endlichen Dauer jedes Laserimpulses und entsprechend der Bewegung der Dreh-Optiken beruhende
Winkeländerung oder Ablenkung auszuschließen. Bei einem
weiteren Ausführungsbeispiel verhindert ein besonderer Strahlenmischer selbst die auf der Drehbewegung der Mischglieder beruhende
Winkeländerung.
weiteren Ausführungsbeispiel verhindert ein besonderer Strahlenmischer selbst die auf der Drehbewegung der Mischglieder beruhende
Winkeländerung.
In jedem Fall führt der Mischer (Vereinigungsvorrichtung) zu
einem kleinen und oft vernachlässigbaren Betrag der seitlichen Strahlverschiebung ohne Winkeländeruhg. Eine zusätzliche Optik kann, gegebenenfalls zur Korrektur dieser Verschiebung verwendet werden.
einem kleinen und oft vernachlässigbaren Betrag der seitlichen Strahlverschiebung ohne Winkeländeruhg. Eine zusätzliche Optik kann, gegebenenfalls zur Korrektur dieser Verschiebung verwendet werden.
Weiterhin wird eine Anordnung beschrieben, die mehrere Stufen
von Strahlenmischern der oben erläuterten Art verwendet, um die
Laser-Impulsfrequenz um mehrere Größenordnungen zu erhöhen, wobei entweder Niederimpulsfrequenz-Laser oder Einschalt-Hochimpulsfrequenz-Laser vorgesehen sind. .
Laser-Impulsfrequenz um mehrere Größenordnungen zu erhöhen, wobei entweder Niederimpulsfrequenz-Laser oder Einschalt-Hochimpulsfrequenz-Laser vorgesehen sind. .
Die Erfindung sieht also ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Vereinigen einer Folge von Strahlungsimpulsen in mehreren Strahlen
vor, um einen Ausgangsstrahl mit erhöhter Impulsfrequenz auf einer
gemeinsamen Achse zu erzeugen. Ein Optik-Korrekturglied wird verwendet, um die dynamische Winkelbewegung des Ausgangsstrahles während
der Zeitdauer jedes Impulses zu kompensieren.
509831/0B07
Nachfolgend wird die Erfindung anhand der Zeichnung näher erläutert-
Es zeigen:
Fig. lein Ausführungsbeispiel eines Mischers für gepulste Laserstrahlen
ohne Kompensation der winkelförmigen Strahlbewegung ,
Fig. 2 ein weiteres Ausführungsbeispiel eines Mischers für gepulste
Laserstrahlen ohne Kompensation der winkelförmigen Strahlbewegung,
Fig. 3 A und 3 B die winkelförmige Bewegung, die auf nichtkompensierten
Laserstrahl-Mischern beruht,
Fig. 4 ein erstes Ausführungsbeispiel eines Mischers für gepulste Laserstrahlen, der erfindungsgemäß in bezug auf die winkelförmige
Bewegung kompensiert ist,
Fig. 5 ein weiteres Ausführungsbeispiel eines Mischers für gepulste
Laserstrahlen, die erfindungsgemäß in bezug auf die winkelförmige Bewegung kompensiert ist,
Fig. 6 eine Abwandlung des in der Fig. 5 gezeigten Mischers,
Fig. 7 eine Möglichkeit zum Vereinigen oder Mischen zahlreicher
Laser-Ausgangssignale in mehreren Stufen, um in dem sich ergebenden, vereinigten Ausgangs strahl eine stark
erhöhte Impulsfrequenz zu erzeugen,
609831/08
Fig. 8 ein weiteres Ausführungsbeispiel mit vielen Stufen, um
mehrere gepulste Laserstrahlen für eine erhöhte Ausgangsfrequenz zusammenzufassen, und
Fig. 9 eine Optik für die in den Fig. 4 und 5 dargestellten Mischer,
um eine Verschiebung des Strahls der vereinigten Laserimpulse zu kompensieren.
Bei einem bevorzugten Ausführungsbeispiel der Erfindung wird ein Mischer zur Erhöhung der effektiven Impulsfrequenz eines gepulsten
Lasergeräts betrachtet, wobei nacheinander die Ausgangs signale mehrerer
gepulster Laser zu einem gemeinsamen Strahl einer Impulsfrequenz vereinigt werden, die um die Anzahl der im Mischer vorgesehenen Laser
erhöht ist. Bei der Erfindung wird ein Kompensier glied verwendet, um dynamische Änderungen im Winkel des Ausgangsstrahles zu korrigieren,
die auf der Bewegung der Misch-Optiken während jedes Impulses der Laserstrahlung beruhen. Die Erfindung ist besonders für ein
Lasergerät geeignet. Sie kann jedoch auch zum Vereinigen oder Mischen
aller gepulster Strahlen verwendet werden.
In den Fig. 1 und 2 ist ein Mischer dargestellt, der die Ausgangssignale
mehrerer nacheinander (sequentiell) gepulster Laser zu einem einzigen gepulsten Strahl mit einer Impulsfrequenz vereinigt,
die um die im Mischer verwendete Anzahl der Laser erhöht ist. Insbesondere sind in der Fig. 1 Laser 12 so angeordnet, daß sie radial
ihre Ausgangsstrahlung auf einen zentralen Punkt zur Einwirkung auf eine Drehreflex-Oberfläche 14, insbesondere ein Prisma, richten» Die
Strahlungsimpulse der Laser 12 werden in bezug auf ein Antriebsglied
509831/0-807
16 für den Reflektor 14 durch ein Synchronisier- oder Verteilerglied
18 so synchronisiert, daß ein Ausgangsstrahl 20 auf einer gemeinsamen Achse entsteht. Demgemäß ist die Reflex-Fläche so gerichtet, daß
sie jeden Strahl der Strahlung von einem jeweiligen Laser 12 genau dann empfängt, wenn dieser Strahl entlang des Weges 20 reflektiert
wird.
In der Fig. 2 ist ein ähnlich arbeitender Mischer mit einem Drehzylinder
22 dargestellt, der mehrere Spiegel 24 versetzt auf seinem Umfang und axial verschoben aufweist, die so ausgerichtet sind, daß
sie eine Laserstrahlung von einer Reihe paralleler Laser 26 auf einen gemeinsamen Ausgangsweg 28 leiten. Ein Synchronisierglied 30 wirkt
mit einem Antriebsglied 32 für den Zylinder 22 so zusammen, daß jeder Laser 26 dann gezündet wird, wenn der entsprechende Spiegel 24
so ausgerichtet ist, daß er die Strahlung auf den Weg 28 mit gemeinsamer Achse reflektiert.
Die Fig. 3A und 3B zeigen die Art der dynamischen Winkeländerung
der Strahlen 20 oder 28, die auf der endlichen Bewegung der Reflex-Oberflächen 14 oder 24 während des Impulses der Strahlung in
den Lasern 12 oder 26 beruht. In der Fig. 3A ist diese Wirkung für
den Mischer der Fig. 1 gezeigt. Die Strahlung, die z. B. in einem Punkt 34 beginnt' und in einem Punkt 36 während der Impulsdauer eines
bestimmten Lasers 12 endet, durchquert nicht nur einen Winkel Θ, sondern die Ausrichtung des Winkels θ ändert sich, wie dargestellt,
mit der Lage des bestimmten Lasers 12, der z. B., wie in der Fig. 1 dargestellt ist, unter den Stellungen 38, 40 und 42 gezündet wird.
609831/080 7
Bei zur isotopenselekti ven Fotoionisation verwendeten !Lasern kann die Zeitdauer der Ausgangs strahlung in jedem Laserimpuls einen merklichen Bruchteil einer ^s erreichen, was während der Impulsdauer zu einem merklichen und beträchtlich großen Winkel θ führt.
Derartige Winkel können einen wesentlichen Bruchteil eines Grades erreichen und die Ausrichtung der Laserstrahlung in einer Isotopentrennkammer
(vgl. US-PS 3 772 519) merklich ändern. In der Fig. β Β ist
ebenfalls der sich ändernde Winkel entsprechend dem Mischer der Fig. 2 dargestellt, wobei jedoch die zahlreichen Änderungen der Ausrichtung
des Winkels θ nicht gezeigt sind.
Ein Mischer, der die Winkelablenkung und Änderung in der Ausrichtung (vgl. Fig. 3 A und 3B) kompensiert, ist in der Fig. 4 gezeigt.
Radial angeordnete Laserquellen 44 (oder andere gepulste Strahlungsquellen)
richten ihre jeweiligen Aus gangs strahlen in gepulster
Folge gegen eine Drehreflex-Fläche 46. Die Oberfläche 46, insbesondere
ein Prisma, dreht sich mit einer Winkelgeschwindigkeit co. Die Reflex-Fläche 46 wird durch ein Antriebsglied 48 gedreht, das mit einem
Synchronisierglied 50 zusammenwirkt, um jeden Laser 44 so im
geeigneten Zeitpunkt zu erregen, daß dessen Strahlungsimpuls durch die Oberfläche 46 auf einen gemeinsamen senkrechten Weg 52 reflektiert
wird, wie dies oben beschrieben wurde. Die Laserstrahlung im
Weg 52 ist auf eine Optik 56 mit einer ungeraden Anzahl von 'Reflex-Flächen
gerichtet, für die vorzugsweise ein K-Spiegel vorgesehen ist. Der K-Spiegel 56 läuft zusammen mit der Reflex-Fläche 46 bei der
halben Winkelgeschwindigkeit mit co/2 um. Die Drehung des K-Spiegels
56 ist mit der Drehung des Reflex-Prismas 46 durch ein weiteres Antriebsglied 54 synchronisiert. Der mitrotierende K-Spiegel 56
509831 /0807
kompensiert die Auswirkungen der Drehung der Ausrichtung des Ablenkwinkels
in der Ausgangsstrahlung, wie dies in der Fig. 3A gezeigt
ist. Die den K-Spiegel 56 verlassende, teilweise korrigierte Strahlung fällt entlang eines Strahlungsweges 58 mit gemeinsamer
Achse auf ein entgegengesetzt umlaufendes Glied 60 aus Reflex-Flächen, das von einem Antriebsglied 62 mit der Frequenz co/2 in der
zur Drehung der Reflex-Flächen 64 entgegengesetzten Richtung angetrieben
wird, wobei die Flächen zur einfallenden Strahlung vorzugsweise einen Winkel von 45 bilden und in ihrer Anzahl doppelt so
groß wie die Anzahl der Laser 44 sind. Dieses entgegengesetzt umlaufende Glied reflektiert jeden Impuls der Laserstrahlung auf einen
gemeinsamen Ausgangsstrahl weg 66. Es wirkt auf alle Strahlen ein und schließt eine Winkelablenkung im Ausgangsstrahl aus, wie diese
in den Fig. 3A und 3 B gezeigt ist. Der auf dem Weg 66 vereinigte
Ausgangs strahl ist dann nahezu frei von dynamischen Ablenkungen
und weist lediglich eine kleine Verschiebung auf. Diese Restablenkung ist oder kann für die vorgesehene Anwendung insbesondere unbedeutend
gehalten werden. Anstelle des K-Spiegels 56 kann ein "Schwalbenschwanz"(Dove-)-, Umkehr- oder Pechan-Prisma oder
eine andere geeignete Optik verwendet werden.
Zur Verringerung der dynamischen Änderung bei dem Mischer der Fig. 2 muß lediglich das Glied 60 verwendet werden. Der in der
Fig. 2 dargestellte Mischer ist insbesondere geeignet, um eine begrenzte Anzahl von Laserstrahlen mit mehreren Spiegeln pro Strahl
zu mischen, die am Umfang um den Zylinder vorgesehen sind.
Ein anderes Ausführungsbeispiel ist in der Fig. 5 gezeigt, bei
509831/0807
dem eine ähnliche radiale Anordnung von Lasern 68 vorgesehen ist,
deren Strahlung auf einen zentralen Punkt gerichtet ist. Diesen zentralen
Punkt umgibt eine Anordnung 74 aus stationären Spiegeln 70, die einen Winkel von 45 bilden, um jeden aufeinanderfolgenden Impuls
der Strahlung von den Lasern 68 auf mehrere Wege 75 koaxial zu einer Mittelachse 72 der Spiegelanordnung 74 zu reflektieren. Jeder
Weg ist gleich von der Achse 72 und gleich auf einem imaginären Zylinder um die Achse beabstandet. Die Anordnung 74 ist für Laser
geeignet. Selbstverständlich kann jede andere Einrichtung verwendet werden, die eine Zylinder- oder Kegelsymmetrie im Laserstrahlweg
erzeugt.
Die Strahlung auf dem Weg 75 wird zu einem Dreh-Festkörper-Rauten-Prisma
(Rhombus-Prisma) 76 geführt, das auf entgegengesetzten Seiten eine erste und eine zweite parallele Reflex-Fläche 78 bzw.
80 hat. Die erste Reflex-Fläche 78 ist so ausgerichtet, daß sie jeden
Strahlung s im puls von den Reflex-Flächen 70 aufnimmt. Die Drehachse des Rhombus 76 fällt mit der Achse 72 zusammen und verläuft durch
die zweite Reflex-Fläche 80. Nach Reflexion des Eingangsstrahles an den Flächen 78 und 80 wird ein Ausgangsstrahlweg 82 mit gemeinsamer
Achse erhalten. Der vereinigte Strahlweg 82 ist frei von der in den Fig. 3A und 3B dargestellten Winkelablenkung. Ein Antriebsglied
84 für das Rhombus-Prisma 76 wirkt mit einem Synchronisierglied so zusammen, daß jeder Laser 68 derart angeregt wird, daß die
Strahlung von jeder Reflex-Fläche 70 zeitlich geeignet eingestellt ist, um auf die erste Reflex-Fläche 78 im Rhombus-Prisma 76 zentriert zu
werden.
509831 /0807
Ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der Fig. 5 dargestellt. Dabei sind parallele Reflex-Flächen 78 und 80 in
einem Rhombus-Prisma 76 vorgesehen. Es ist jedoch möglich, nichtparallele Reflex-Flächen zu verwenden, wie dies in der Fig. 6 dargestellt
ist. Der Vorteil von nichtparallelen Reflex-Flächen (Fig7 6)
liegt in einer möglichst kleinen rotierenden Masse des Rhombus-Prismas . Wie in der Fig. 6 dargestellt ist , trifft die entlang Wegen
90 von jedem der zahlreichen radial angeordneten Laser einfallende Strahlung einen entsprechenden Spiegel 92 in einer Anordnung 94, die
der Anordnung 74 gleicht. Die Spiegel 92 sind schräger zur einfallenden Strahlung gewinkelt, um die reflektierte Strahlung nicht entlang
eines koaxialen Weges, sondern nach innen im allgemeinen in kegelförmiger Symmetrie zu einem Dreh-Prisma 96 und eine Reflex-Fläche
98 auf dem Prisma 96 zu leiten. Die von der Oberfläche 98 reflektierte Strahlung wird unter einem Winkel weiter zu einer Reflex-Fläche
100 über das Prisma 96 geleitet, das seinerseits den Laserimpuls auf eine gemeinsame zentrale Achse 102 reflektiert. Die
Winkel der Spiegel sind so ausgewählt, daß sie einen gemeinsamen Weg erzeugen, obwohl eine dynamische Änderung nicht vollständig
ausschließbar ist. Ähnliche Drehantriebs- und Lasersynchronisierglieder wie in der Fig. 5 werden beim Ausführungsbeispiel der Fig.
verwendet.
Wenn jeder einzelne für den Einschalt-Laserimpuls verwendete einzelne Laser insbesondere eine maximale Impulsfrequenz von 500
Impulsen/s aufweist, und wenn schließlich eine wirksame Impulsfrequenz erhalten werden soll, die sich 50 kHz nähert, dann müssen
Laser synchron vereinigt werden. Zu diesem Zweck kann es günstig
509831/0807
sein, mehrere Stufen zum Vereinigen oder Mischen zu verwenden, wie dies in der Fig. 7 gezeigt ist. Wie in dieser Figur dargestellt ist,
sind mehrere Laser 104 in Gruppen von beispielsweise 10 Lasern eingeteilt, mit möglichen 10 Gruppen, um eine Summe von 100 Lasern
zu bilden. Jede Gruppe der 10 Laser führt nacheinander ihre gepulste Strahlung in ein Optik-Mischglied 106, das ähnlich oder gleich wie die
Mischer der Fig. 4 und 5 aufgebaut sein kann. Jedes Mischglied 106 erzeugt ein einziges Ausgangssignal mit gemeinsamer Adise, das seinerseits
zu einem weiteren Mischglied 108 geführt wird, das ebenfalls ähnlich wie die Mischer in den Fig. 4 und 5 aufgebaut sein kanu- Ein
Synchronisierglied 110 steuert jeden Laser 104 zusammen mit Antriebsgliedern 112 und 114 für jedes Mischglied 106 und 108. Insbesondere
ist jeder Strahlungsimpuls von einem Glied 106 zeitlich so abgestimmt, daß er einmal pro Umdrehung beim Umlauf des Mischspiegels im Mischglied 108 auftritt. Als Ergebnis arbeitet das Mischglied 108 mijt einer
zehnmal größeren Drehzahl als die Drehzahlen für die Mischglieder 106.
Als Grundsatz gilt dann, daß die Drehzahl für die Mischglieder in jedem der Mischer der Fig. 4, 5, 6 oder 7 der Impulsfrequenz auf jedem
einzelnen Laser-Eingangsweg entspricht.
Es ist auch möglich, jeden Laser im Mischglied 106 der ersten
Stufe nacheinander vor einem Laser im Mischglied 106 der nächsten ersten Stufe zu betätigen.
Wenn extreme Hochfrequenz-Ausgangsimpulse mit Impulsfrequenzen in der Größenordnung von über 50 kHz erforderlich sind, so kann es
wünschenswert oder zweckmäßig sein, anstelle einer Vielstufen-Mischanordnung
(vgl. Fig. 7) eine einzige Mischanordnung mit bis zu 100 ein-
S09831 /0807
fallenden Laserstrahlungen aber einer relativ niedrigen Impulsfrequenz
in jedem einfallenden Laserstrahl und demgemäß eine niedrige Winkelgeschwindigkeit
für den Mischspiegel vorzusehen.
Bei Hochimpulsfrequenz-Lasern wie z. B. Lasern mit Frequenzen in der Größenordnung von 4 000 kHz kann die in der Fig. 8 gezeigte
Anordnung verwendet werden. Wie in dieser Figur dargestellt ist, sind Hochimpulsfrequenz-Laser 116 so vorgesehen, daß sie ihre Ausgangsstrahlung
in zeitlich abgestimmter Folge zu Entmischgliedern 126 leiten. Die Entmischglieder 126 entsprechen den Mischgliedern in den
Fig. 4 und 5, wobei jedoch die Eingangs- und Ausgangsstrahlen vertauscht sind. Die Entmischglieder 126 verteilen die Hochimpulsfrequenz-Impulse
von den Lasern 116 auf mehrere, z. B. 10, unabhängige Strahlungswege 120, jeden mit einer niedrigeren Impulsfrequenz,
und zwar in diesem Fall um einen Faktor 10. Diese zahlreichen Strahlungswege werden dann in einem einzigen Mischglied 122 vereinigt,
das eine Drehspiegel-Drehzahl aufweist, die wesentlich niedriger ist als eine Drehzahl, die zum getrennten Vereinigen der Ausgangssignale
der Laser 116 erforderlich sein würde. Ein Synchronisierglied 124 wirkt mit Antriebsgliedern 126 und 128 für jeweils die Entmisch-
und Mischglieder zusammen, um eine zeitlich geeignet abgestimmte Anregung der Laser 116 in der beschriebenen Art sicherzustellen.
Bei allen Ausführungsbeispielen der Fig. 1, 2, 4, 5, 6, 7 und kann die Beziehung zwischen den verschiedenen Antriebsgliedern elektronisch
oder mechanisch, wie beispielsweise über Getriebe, hergestellt sein. Auf ähnliche Weise können die erwähnten Reflex-Flächen
entweder versilberte Spiegel-Außenflächen oder Prisma-Reflex-Innenflächen
sein.
0 9831/08 0
Schließlich können die vereinigten Impuls-Ausgangsstrahlen der
Fig. 4 und 5 mit erhöhter Impulsfrequenz bei vollständig oder teilweise erfolgter Korrektur der dynamischen Winkelablenkungen und
Richtungsdrehungen während jedes Strahlungsimpulses eine geringe Translationsverschiebung oder -Verlagerung abhängig vom Abstand
zwischen den Reflex-Flächen 46 und 64 (in Fig. 4) oder 78 und 80 (in Fig. 5) erfahren. Obwohl diese Verschiebung insbesondere bis
zu einem vernachlässigbaren Punkt verringert werden kann, ist in der Fig. 9 eine Optik dargestellt, die diese Verschiebung kompensiert.
In der Fig. 9 ist eine ebene parallele Brechungsplatte 130 synchron durch ein Ansteuerglied 134 mit der Drehung der Misch-Optik
bei einer Frequenz und Größe gewobbelt, die im wesentlichen den Einfallsstrahl auf einen parallelen Ausgangsweg überträgt, der den
Betrag der Verschiebung der einfallenden Strahlung während der Dauer
jedes Laserimpulses überwindet. Um die genaue Ausrichtung der Platte 130 zu gewährleisten, läuft sie in einem Zylinder 132 um, so
daß die tatsächliche Drehachse oder das Wobbein des Glases 130 senkrecht zur Ebene der Eingangsstrahlungs-Verschiebung ist. Es soll noch
erwähnt werden, daß synchron angesteuerte andere optische Bauteile zur Kompensation der gleichen Verschiebung verwendet werden können.
Der erfindungsgemäße Mischer zur Kompensation der Winkeländerungen
während jedes Impulses der Strahlung wurde oben anhand eines Mischgliedes insbesondere für mehrere gepulste Laser erläutert.
Claims (39)
- Patentansprüche'1 .j Strahlenmischer für gepulste Strahlung, gekennzeichnet durchmehrere gepulste Strahlungsquellen (12, 26, 44, 68), die eine Folge räumlich getrennter Strahlen (38, 40, 42) von Strahlungsimpulsen erzeugen,eine Einrichtung (14, 22, 46, 74), die die Folge der räumlich getrennten Strahlen (38, 40, 42) der Strahlung s im pulse empfängt und auf einen im wesentlichen gemeinsamen Weg (20, 28, 52, 82) leitet, derart, daß im wesentlichen keine dynamische Winkeländerung in den gepulsten Strahlen auftritt.
- 2. Strahlenmischer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Strahlen (38, 40, 42) um eine Achse (z. B. 72) verteilt sind, und daß die Einrichtung (14, 22, 46, 74) mehrere Reflex-Flächen (78, 80; 98, 100) aufweist, von denen wenigstens eine (z. B. 80) im wesentlichen im gemeinsamen Weg (20, 28, 52, 82) liegt.
- 3. Strahlenmischer nach Anspruch 2, gekennzeichnet durch ein Antriebsglied (16, 32, 48, 84) zur Drehung der Reflex-Flächen (z. B. 24; 78, 80; 98, 100) im wesentlichen um den gemeinsamen Weg (20, 28, 52, 82).5 0 98 3 1/0807
- 4. Strahlenmischer nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Reflex-Flächen (z. B. 78, 80) eine erste und eine zweite Reflex-Fläche sind, die sich im wesentlichen gegenüberliegen, und daß ein Antriebsglied (84) die erste und zweite Reflex-Fläche um eine Achse (72) dreht, die durch die.zweite Reflex-Fläche (80) verläuft, wobei das Antriebsglied (84) ein Glied hat, das die erste Reflex-Fläche (78) in den Weg jedes Strahls der gepulsten Strahlung während des Impulses der Strahlung im Strahl bringt, und wobei die erste Reflex-Fläche (78) so ausgerichtet ist, daß sie den Strahl zur zweiten Reflex-Fläche (80) für eine weitere Reflexion auf den gemeinsamen Weg (82) reflektiert.
- 5. Strahlenmischer nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die erste und die zweite Reflex-Fläche (78, 80) parallele Ebenen sind (Fig. 5).
- 6. Strahlenmischer nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Strahlen kegelförmig um die Achse verteilt sind, und daß die erste und die zweite Reflex-Fläche (98, 100) zueinander in einem bestimmten Winkel geneigte Ebenen sind (Fig. 6). . .
- 7. Strahlenmischer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Strahlungsquellen (12, 26, 44, 68) gepulste Laser sind.
- 8. Strahlenmischer nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Einrichtung (14, 22, 46, 74) aufweist:·509831 /08O7eine Optik (46) rotierender Optik-Bauelemente, die die Folge der räumlich getrennten Strahlen (38, 40, 42) auf einen im wesentlichen gemeinsamen Weg (52) vereinigen und eine Winkeländerung der Strahlung entlang des gemeinsamen Weges (52) während jedes Impulses der Strahlung entlang des gemeinsamen Weges erzeugen, undeine Dreh-Optik (56), die auf die Impulse der Strahlung entlang des gemeinsamen Weges (52) anspricht, um im wesentlichen die Winkeländerüng der Strahlungsimpulse entlang des gemeinsamen Weges zu verringern.
- 9. Strahlenmischer nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Winkeländerung in den Strahlungsimpulsen entlang des gemeinsamen Weges (52) eine Winkelablenkung aufweist, und daß die Dreh-Optik (56) eine Dreh-Reflex-Fläche zur Verringerung der Winkelablenkung hat.
- 10. Strahlenmischer nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Winkeländerung im Strahl der Strahlunosimpulse entlang des gemeinsamen Weges (52) eine dynamische Winkelablenkung und eine Drehung von Impuls zu Impuls in der Ebene der Winkelablenkung umfaßt, und. daß die Dreh-Optik (56) aufweist: ein Glied, das auf die Strahlung entlang des im wesentlichen gemeinsamen Weges (52) anspricht, um die Drehung in der Ebene der Winkelablenkung zu verringern, und ein Glied (60) zur Verringerung der Winkelablenkung in den Impulsen der Strahlung entlang des gemeinsamen Weges (52, 58).
- 11. Strahlenmischer nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet,509831 /08O7daß das Glied (56) zur Verringerung der Drehung in der Ebene der Winkelablenkung eine Optik mit einer ungeraden Anzahl von Reflex-Flächen im Weg der Strahlungsimpulse entlang des gern einsamen Weges (52, 58) hat, wobei diese Optik eine erste Eigenschaft aufweist, und daß das Glied (60) zur Verringerung der Winkelablenkung wenigstens eine Reflex-Fläche hat, die mit einer zweiten Eigenschaft im Weg der Strahlung entlang des gemeinsamen Weges (52, 58) umläuft.
- 12. Strahlenmischer nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch eine Einrichtung zur Trennung von Material unterschiedlichen Absorptionslinien, das auf die Strahlung im gemeinsamen Weg (20, 28, 52, 82) anspricht.
- 13. Strahlenmischer in einer Anlage mit mehreren gepulsten Strahlungsquellen, die betätigt werden, um eine Folge räumlich getrennter Strahlungsimpulsen aus den sich drehenden Strahlungsquellen zu erzeugen, und mit einer EinrichtungT um die Folge der räumlich getrennten Impulse auf einen im wesentlichen gemeinsamen Weg mit einer dynamischen Winkeländerung zu richten, die im Strahl jedes gerichteten Impulses auftritt, gekennzeichnet durch eine Einrichtung (56, 60) zur Verringerung der Winkeländerung in jedem gerichteten Impuls, um einen sich im wesentlichen im Winkel nicht ändernden Strahl (66) aus den gerichteten Strahlungsimpulsen (52) zu erzeugen·
- 14. Strahlenmischer für gepulste Strahlung, gekennzeichnet durch509831/0807 ,mehrere gepulste Strahlungsquellen (12, 26, 44, 68), die nacheinander angeregt werden, um Strahlungsimpulse zu erzeugen,eine erste Einrichtung (14, 22, 46, 74), die auf die Folge der gepulsten Strahlung von den Strahlungsquellen (12, 26, 44, 68) anspricht und die folgenden Strahlungsimpulse von den Strahlungsquellen (12, 26, 44, 68) auf einen im wesentlichen gemeinsamen Weg (20, 28, 52, 82) leitet, undeine zweite Einrichtung (60), die mit der ersten Einrichtung (14, 22, 46, 74) zusammenwirkt, um die dynamische Winkeländerung in der Strahlung entlang des im wesentlichen gemeinsamen Weges (52, 58) während jedes Strahlungsimpulses zu verringern.
- 15. Strahlenmischer nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Einrichtung (14, 22, 46, 74) eine geneigte Dreh-Reflex-Fläche hat, die jeden Strahlungsimpuls von den Strahlungsquellen (12, 26, 44, 68) empfängt.
- 16. Strahlenmischer nach Anspruch 15, gekennzeichnet durch eine mitrotierende Optik (56), die in dem im wesentlichen gemeinsamen Weg (52) vorgesehen ist und eine ungerade Anzahl von Reflex-Flächen für die Strahlungsimpulse auf dem gemeinsamen Weg (52) hat.
- 17. Strahlenmischer nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß die mitrotierende Optik (56) einen K-Spiegel hat.S0983 1/0807
- 18. Strahlenmischer nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß die mitrotierende Optik (56) ein Schwalbenschwanz-Prisma hat.
- 19. Strahlenmischer nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß die mitrotierende Optik (56) ein Umkehr-Prisma hat.
- 20. Strahlenmischer nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß die Drehzahl (oj/2) der Optik (56) die Hälfte der Drehzahl (cp) der Reflex-Fläche ist.
- 21. Strahlenmischer nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite Einrichtung (60) einen gegenrotierenden Reflektor hat, der die Strahlungsimpulse entlang des gemeinsamen Weges (58) empfängt und eine vorbestimmte Winkelablenkung der Strahlungsimpulse erzeugt, um die Winkeländerung zu verringern.
- 22. Strahlenmischer nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, daß der Ablenkungswinkel des Reflektors ein rechter Winkel ist.
- 23. Strahlenmischer nach Anspruch 21, dadurch gekennzeichnet, daß die Drehzahl (co/2) der Gegenrotation die Hälfte der Drehzahl (<x>) der Reflex-Fläche ist.
- 24. Strahlenmischer nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß die erste Einrichtung (z. B. 22) mehrere Spiegel (24) aufweist, die zur Drehung um eine gemeinsame Achse und winkelmäßig um die5Q9831/G8G7Achse beabstandet sind, und daß die Strahlungsquellen (z. B. 26) so angeordnet sind, daß sie die Strahlungsimpulse auf einen entsprechenden Spiegel richten (Fig. 2).
- 25. Strahlenmischer nach Anspruch 24, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite Einrichtung (60) eine Gegenrotation einer oder mehrerer Reflex-Flächen entsprechend der Strahlung entlang des gemeinsamen Weges (58) vorsieht.
- 26. Strahlenmischer nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Strahlungsquellen (68) radial angeordnete Laser sind, daß Reflex-Einrichtungen (74) vorgesehen sind, die die Strahlung von den Lasern empfangen und entlang mehreren Wegen (75) versetzt um die Linie der gemeinsamen Achse (72) leiten, und daß vorgesehen sind: Vielreflex-Einrichtungen (76) mit einem ersten Reflektor (78), der um den gemeinsamen Weg (72) rotiert, um die einfallende Strahlung von jedem der Wege (75) zu empfangen und sie zu einem zweiten Reflektor (80) zu leiten, der ebenfalls um den gemeinsamen Weg (72) rotiert, um die Impulse der Laserstrahlung auf den gemeinsamen Weg (82) zurückzuleiten (Fig. 5).
- ■ 27 . Strahlenmischer nach Anspruch 26, dadurch gekennzeichnet, daß die vom zweiten Reflektor (80) reflektierte Strahlung entlang der gleichen Achse für jeden der mehreren Wege (75) gerichtet ist (Fig. 5).
- 28. Strahlenmischer nach Anspruch 26, dadurch gekennzeichnet, daß der erste und der zweite Reflektor (78 bzw. 80) im allgemeinen parallel sind (Fig. 5).60983 1/080?
- 29. Strahlenmischer nach Anspruch 26, dadurch gekennzeichnet, daß der erste und der zweite Reflektor (98, 100) einen vorbestimmten, von Null verschiedenen Winkel einschließen (Fig. 6).
- 30. Strahlenmischer nach Anspruch 14, gekennzeichnet durch eine Einrichtung (130), die auf die Strahlung entlang des gemeinsamen Weges (66, 82) anspricht, um Verschiebungen jedes Strahlüngsimpulses im vereinigten Ausgangssignal entlang des gemeinsamen Weges (66, 82) zu korrigieren.
- 31. Strahlenmischer nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Strahlungsquellen (12, 26, 44, 68} Laser sind.
- 32. Strahlenmischer nach Anspruch 14, gekennzeichnet durch eine Einrichtung zur Trennung von Material mit unterschiedlichen Absorptionslinien, das auf die Strahlung im gemeinsamen Weg (20, 28, 52, 82) anspricht.
- 33. Strahlenmischer für gepulste Strahlung, gekennzeichnet durchmehrere Impulsstrahlungsquellen (12, 26, 44, 68), die jeweils eine Folge räumlich getrennter Strahlen (38, 40, 42) von Strahlungsim pulsen erzeugen,eine Optik (14, 46) mit mehreren Reflex-Flächen einschließlich wenigstens einer ersten Reflex-Fläche zum Empfang der Eingagsstrahlung und wenigstens einer zweiten Reflex-Fläche zum Erzeugen der Ausgangsstrahlung abhängig von der empfangenen Eingangsstrahlung,509831/0807eine Einrichtung (16, 48), die eine kontinuierliche Rotation wenigstens einiger der Reflex-Flächen der Optik (14, 46) einschließlich der ersten und der zweiten Reflex-Fläche bewirkt und die erste Reflex-Fläche zum Empfang jedes Strahlung s im puls es in der Folge der räumlich getrennten Strahlen dreht, um diese durch die Optik (14, 46) zu wenigstens der zweiten Reflex-Fläche zu leiten,wobei die Optik (14, 46) die empfangene Eingangsstrahlung nach Reflexion durch die zweite Reflex-Fläche auf einen gemeinsamen Ausgangsweg im wesentlichen ohne Änderung im Strahlenwinkel der Ausgangsstrahlung entlang des gemeinsamen Ausgangsweges richtet.
- 34. Vielstrahlenmischer für gepulste Strahlung, um eine erhöhte Impulsfrequenz zu erzeugen, gekennzeichnet durchmehrere Strahlenmischer (106) nach Anspruch 1, die auf entsprechenden gemeinsamen Wegen mehrere vereinigte A us gangs signale erzeugen, die den gemeinsamen Wegen entsprechend einem vorbestimmten Schema folgen, undeine Einrichtung (108), die auf die vereinigten Laserstrahlungsimpulse entlang der gemeinsamen Wege anspricht, um die entsprechenden Strahlungsimpulse nacheinander entlang eines einzigen gemeinsamen Weges zu richten (Fig. 7).
- 35. Strahlenmischer für gepulste Ausgangsstrahlung mehrerer Hochimpulsfrequenz-Strahlungsquellen zur Erzeugung eines gemeinsamen Ausgangssignals erhöhter Frequenz,509831 /080?gekennzeichnet durcheine Einrichtung (126), die nacheinander Strahlungsimpulse von den Hochimpulsfrequenz-Strahlungsquellen (116) entlang getrennten Strahlungswegen (120) leitet, undeine Einrichtung (122), die auf die Strahlung entlang den getrennten Strahlungswegen (120) anspricht und diese auf einen einzigen gemeinsamen Weg für Hochimpulsfrequenz-Strahlungsimpulse vereinigt (Fig. 8).
- 36. Strahlenmischer für gepulste Ausgangsstrahlung mehrerer gepulster Laserstrahlungsquellen, um einen einzigen Ausgangsweg einer Hochimpulsfrequenz-Laserstrahlung zu erzeugen,gekennzeichnet durch
mehrere Laserstrahlungsquellen (44),eine Einrichtung (50), die nacheinander die Laserstrahlungsquellen (44) anregt, um eine Folge von Strahlungsimpulsen von den Laserstrahlung squellen (44) in Rotation zu erzeugen,eine Dreh-Reflex-Einrichtung (46), die'mit der Folge der Strahlungsimpulse synchronisiert ist, um jeden Strahlungsimpuls von einer entsprechenden Laserstrahlungsquelle (44) zu empfangen und diesen entlang eines im wesentlichen gemeinsamen Weges (52) zu reflektieren,eine Reflex-Einrichtung (56) mit einer ungeraden Anzahl von Reflex-Flächen im Weg (52) der einfallenden Strahlung, die so angeordnet ist, daß sie das Ausgangssignal von der Dreh-Reflex-Einrichtung (46) entlang des gemeinsamen Weges (52) empfängt,509 831/§80ein Antriebsglied (48) für die Reflex-Einrichtung (56) um den gemeinsamen "Weg (52) in einer zur Drehung der Dreh-Reflex-Einrichtung (46) entgegengesetzten Richtung und mit der halben Frequenz ( /2) von dieser,eine Anordnung (60) mehrerer Reflex-Flächen (64),eine Einrichtung (62), die die Anordnung (60) im wesentlichen synchron zur Reflex-Einrichtung (56) dreht, um nacheinander jede Reflex-Fläche (64) der entsprechenden Strahlung von der Reflex-Einrichtung (56) für jeden nacheinander folgenden Impuls der Laserstrahlung vorzulegen, wobei die Reflex-Flächen (64) der Anordnung (60) so gewinkelt sind, daß sie die Strahlung von der Reflex-Einrichtung (56) auf einen weiteren gemeinsamen Weg (66) unter Kompensation der Winkeländerung der Strahlung reflektieren (Fig. 4). - 37. Strahlenmischer für gepulste Ausgangsstrahlung mehrerer gepulster Laserstrahlungsquellen, um einen gemeinsamen Ausgangsweg mit erhöhter. Impulsfrequenz zu erzeugen,gekennzeichnet durchmehrere gepulste Laserstrahlungsquellen (12, 44, 68), die im allgemeinen um eine Achse (72) angeordnet sind, um die Strahlung auf die Achse (72) zu richten,mehrere Reflex-Flächen (70) um die Achse (72), die die Strahlung von jeder entsprechenden Laserquelle (68) empfangen und symmetrisch um die gemeinsame Achse (72) bei im wesentlichen gleichen radialen Abständen zurückleiten,9831/0807eine erste und eine zweite Reflex-Fläche (78, 80), die gegenüber zueinander angeordnet sind, undeine Einrichtung (84), die die erste und die zweite Reflex-Fläche (78, 80) um eine Achse dreht, die durch eine der Reflex-Flächen (80) verläuft, wobei die andere Reflex-Fläche (78) um die Achse rotiert, um jeden Impuls der Laserstrahlung von den mehreren Reflex-Flächen (70) zu empfangen und auf die erste Reflex-Fläche (80) zu richten, so daß die Strahlung dadurch entlang des gemeinsamen Ausgangsweges (82) zurückgeleitet wird.
- 38. Vorrichtung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch eine Einrichtung (l30), die auf Strahlung entlang des gemeinsamen Weges (20, 28, 52, 82) anspricht, um eine Verschiebung in der Strahlung entlang des im wesentlichen gemeinsamen Weges (20, 28, 52, 82) zu verringern.
- 39. Vorrichtung nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß die mitrotierende Optik (56) ein Pechan-Prisma hat.509831 /0307Leerseite
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US438029*A US3924937A (en) | 1974-01-30 | 1974-01-30 | Method and apparatus for sequentially combining pulsed beams of radiation |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2502688A1 true DE2502688A1 (de) | 1975-07-31 |
Family
ID=23738911
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19752502688 Withdrawn DE2502688A1 (de) | 1974-01-30 | 1975-01-23 | Strahlenmischer fuer gepulste strahlung |
Country Status (12)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US3924937A (de) |
JP (1) | JPS50115792A (de) |
BE (1) | BE824931A (de) |
CA (1) | CA1019606A (de) |
CH (1) | CH604194A5 (de) |
DE (1) | DE2502688A1 (de) |
FR (1) | FR2259375A1 (de) |
GB (1) | GB1502801A (de) |
IL (1) | IL46335A (de) |
IT (1) | IT1026423B (de) |
NL (1) | NL7501113A (de) |
SE (1) | SE407874B (de) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2810791A1 (de) * | 1978-03-13 | 1979-09-20 | Kraftwerk Union Ag | Verfahren zur isotopentrennung durch isotopenselektive anregung |
DE4009859A1 (de) * | 1990-03-28 | 1991-10-02 | Fraunhofer Ges Forschung | Verfahren und vorrichtung zur erzeugung von laserstrahlung hoher leistung und guter qualitaet |
Families Citing this family (36)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4073572A (en) * | 1976-02-23 | 1978-02-14 | Jersey Nuclear-Avco Isotopes, Inc. | System for increasing laser pulse rate with beam splitters |
IL54319A (en) * | 1977-04-22 | 1980-07-31 | Jersey Nuclear Avco Isotopes | Systems for combining and for separating beams of electromagnetic radiation |
US4419582A (en) * | 1977-12-19 | 1983-12-06 | Jersey Nuclear-Avco Isotopes, Inc. | Use of autoionization transition absorption peaks in isotopically selective photoexcitation |
JPS55116331A (en) * | 1979-03-02 | 1980-09-06 | Olympus Optical Co | Strobo photographic apparatus |
US4311360A (en) * | 1980-04-07 | 1982-01-19 | Rockwell International Corporation | Laser beam power multiplication |
US4453182A (en) * | 1981-10-21 | 1984-06-05 | The Johns Hopkins University | High speed imaging television system |
JPS5985657A (ja) * | 1982-11-06 | 1984-05-17 | 日本赤外線工業株式会社 | レ−ザ照射装置 |
US4486662A (en) * | 1982-12-27 | 1984-12-04 | Honeywell Inc. | Switch-while-scan optical system |
EP0229194B1 (de) * | 1985-11-18 | 1990-08-01 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Laserstrahlbearbeitungsgerät |
US4732460A (en) * | 1986-07-01 | 1988-03-22 | Coherent, Inc. | Beam selector for a photocoagulator |
US4823357A (en) * | 1986-11-10 | 1989-04-18 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | Diffraction limited dichroic combiner diode laser |
US4837451A (en) * | 1987-08-26 | 1989-06-06 | The Boeing Company | Ring array imaging system |
US4998259A (en) * | 1990-03-29 | 1991-03-05 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Gatling gun laser pulse amplifier using rotating mirrors |
US5018163A (en) * | 1990-04-26 | 1991-05-21 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Gatling gun laser pulse amplifier using an optical diode |
US5214528A (en) * | 1990-09-14 | 1993-05-25 | Konica Corporation | Optical beam scanning apparatus |
US5173603A (en) * | 1991-09-25 | 1992-12-22 | Ncr Corporation | Focus changing apparatus and method for optical scanners |
US5233624A (en) * | 1992-09-30 | 1993-08-03 | International Business Machines Corporation | Method and apparatus for an increased output for a pumped laser using a moving aperture |
US5387211B1 (en) * | 1993-03-10 | 1996-12-31 | Trimedyne Inc | Multi-head laser assembly |
US5375132A (en) * | 1993-05-05 | 1994-12-20 | Coherent, Inc. | Solid state laser with interleaved output |
US5568366A (en) * | 1994-10-11 | 1996-10-22 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Compact solar simulator with a small subtense angle and controlled magnification optics |
US5646791A (en) * | 1995-01-04 | 1997-07-08 | Visx Incorporated | Method and apparatus for temporal and spatial beam integration |
EP0914626A4 (de) * | 1996-07-25 | 2002-02-20 | Anvik Corp | Rand- und maskenlaser lithographiesystem mit räumlichem lichtmodulator |
US6312134B1 (en) * | 1996-07-25 | 2001-11-06 | Anvik Corporation | Seamless, maskless lithography system using spatial light modulator |
AU2002245062A1 (en) * | 2000-10-30 | 2002-07-30 | Santur Corporation | Laser thermal tuning |
JP2004513385A (ja) * | 2000-10-30 | 2004-04-30 | サンター コーポレイション | レーザ/ファイバ結合の制御 |
WO2002037621A2 (en) * | 2000-10-30 | 2002-05-10 | Santur Corporation | Tunable controlled laser array |
WO2003010568A1 (en) * | 2001-07-24 | 2003-02-06 | Santur Corporation | Tunable controlled laser array |
WO2003015226A2 (en) * | 2001-08-08 | 2003-02-20 | Santur Corporation | Method and system for selecting an output of a vcsel array |
US6910780B2 (en) * | 2002-04-01 | 2005-06-28 | Santur Corporation | Laser and laser signal combiner |
DE102004045912B4 (de) * | 2004-09-20 | 2007-08-23 | My Optical Systems Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Überlagerung von Strahlenbündeln |
CN101414053B (zh) * | 2007-10-16 | 2012-02-01 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 多路组束光纤激光器 |
US8610986B2 (en) | 2009-04-06 | 2013-12-17 | The Board Of Trustees Of The University Of Illinois | Mirror arrays for maskless photolithography and image display |
CN103064157A (zh) * | 2013-01-05 | 2013-04-24 | 中国科学院合肥物质科学研究院 | 多路激光光纤耦合装置 |
US20150016479A1 (en) * | 2013-07-12 | 2015-01-15 | Coherent Kaiserslautern GmbH | Laser apparatus with beam translation |
CN109212743B (zh) * | 2018-09-17 | 2020-08-14 | 西北核技术研究所 | 转轴反射式脉冲激光合束器及脉冲合束激光系统 |
EP3778071B1 (de) * | 2019-08-13 | 2023-04-26 | Volvo Car Corporation | System und verfahren zur grossskaligen generativen fertigung |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3310753A (en) * | 1963-02-07 | 1967-03-21 | Martin Marietta Corp | Sequentially firing array of laser units |
US3428812A (en) * | 1965-10-22 | 1969-02-18 | Nasa | Optical spin compensator |
US3602572A (en) * | 1968-12-03 | 1971-08-31 | Westinghouse Electric Corp | Two-dimensional optical beam scanner |
-
1974
- 1974-01-30 US US438029*A patent/US3924937A/en not_active Expired - Lifetime
- 1974-12-25 IL IL46335A patent/IL46335A/en unknown
-
1975
- 1975-01-22 IT IT47792/75A patent/IT1026423B/it active
- 1975-01-23 JP JP50010113A patent/JPS50115792A/ja active Pending
- 1975-01-23 DE DE19752502688 patent/DE2502688A1/de not_active Withdrawn
- 1975-01-29 SE SE7500927A patent/SE407874B/xx unknown
- 1975-01-29 BE BE152837A patent/BE824931A/xx unknown
- 1975-01-29 CH CH103275A patent/CH604194A5/xx not_active IP Right Cessation
- 1975-01-29 CA CA218,984A patent/CA1019606A/en not_active Expired
- 1975-01-30 FR FR7502962A patent/FR2259375A1/fr not_active Withdrawn
- 1975-01-30 GB GB4121/75A patent/GB1502801A/en not_active Expired
- 1975-01-30 NL NL7501113A patent/NL7501113A/xx not_active Application Discontinuation
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2810791A1 (de) * | 1978-03-13 | 1979-09-20 | Kraftwerk Union Ag | Verfahren zur isotopentrennung durch isotopenselektive anregung |
DE4009859A1 (de) * | 1990-03-28 | 1991-10-02 | Fraunhofer Ges Forschung | Verfahren und vorrichtung zur erzeugung von laserstrahlung hoher leistung und guter qualitaet |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CA1019606A (en) | 1977-10-25 |
CH604194A5 (de) | 1978-08-31 |
NL7501113A (nl) | 1975-08-01 |
US3924937A (en) | 1975-12-09 |
IL46335A (en) | 1977-02-28 |
AU7740375A (en) | 1976-07-22 |
JPS50115792A (de) | 1975-09-10 |
IL46335A0 (en) | 1975-04-25 |
GB1502801A (en) | 1978-03-01 |
IT1026423B (it) | 1978-09-20 |
SE407874B (sv) | 1979-04-23 |
SE7500927L (de) | 1975-07-31 |
BE824931A (fr) | 1975-05-15 |
FR2259375A1 (de) | 1975-08-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE2502688A1 (de) | Strahlenmischer fuer gepulste strahlung | |
EP3673291B1 (de) | Sendeeinrichtung mit einem durch ein kollimierendes abdeckelement überdeckten scanspiegel | |
DE69112320T2 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur optischen Abtastung. | |
DE68915974T2 (de) | Laser-Anzeigevorrichtung. | |
EP1145390B1 (de) | Laserverstärkersystem | |
DE2727256A1 (de) | Vorrichtung zur ultraschallortung | |
WO2019197423A1 (de) | Vorrichtung, laserbearbeitungsmaschine und verfahren zum bearbeiten eines werkstücks | |
DE2636926A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur bestimmung von quer zu einem strahl elektromagnetischer energie gelegenen orten | |
DE3804079A1 (de) | Messvorrichtung | |
DE2557949A1 (de) | Laser-impuls-verstaerker | |
DE2648224A1 (de) | Vorrichtung zum erhoehen der laser- impulsfrequenz | |
DE10225387B4 (de) | Vorrichtung zur Substratbehandlung mittels Laserstrahlung | |
DE3935239A1 (de) | Abtastgeraet | |
DE3242867A1 (de) | Optisch-mechanischer abtaster | |
DE1623512B1 (de) | Laser entfernungsmesseinrichtung | |
DE2932421A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zum perforieren von flaechenhaftem material durch laser | |
DE2209337C3 (de) | Ortsfeste optische Ableseanlage, insbesondere zum Ablesen von an Eisenbahnfahrzeugen angebrachten Schildern | |
DE1298210B (de) | Optische Spiegelanordnung zum Zusammenfassen der kohaerenten monochromatischen Strahlung zweier oder mehrerer optischer Sender | |
DE3923335C2 (de) | Optische Abtastvorrichtung mit einer Einrichtung zur Erfassung der Position des Abtastlichtstrahls | |
DE1272468B (de) | Elektronenbeschleuniger, bei dem die Beschleunigung durch eine optische Laser-Strahlung erfolgt | |
DE4225946C2 (de) | Vorrichtung zur Laser-Belichtung eines Druckformträgers | |
DE3446354A1 (de) | Optoelektronische vergleichsvorrichtung fuer strukturen auf ebenen oberflaechen oder fuer flaechige strukturen | |
DE102004063832A1 (de) | Anordnung zur Erzeugung eines gepulsten Laserstrahls hoher Durchschnittsleistung | |
DE2817573A1 (de) | Vorrichtung zum mischen gepulster strahlung | |
DE682925C (de) | Verfahren zum fernsehmaessigen Zerlegen und zum Wiederaufbau von Bildern |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
8141 | Disposal/no request for examination |