DE2452215A1 - Verfahren zur herstellung eines einkristalls grossen querschnittes, vorrichtung zum durchfuehren dieses verfahrens und durch dieses verfahren erhaltene einkristalle - Google Patents
Verfahren zur herstellung eines einkristalls grossen querschnittes, vorrichtung zum durchfuehren dieses verfahrens und durch dieses verfahren erhaltene einkristalleInfo
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Description
FTlIW. 739 i. Va/EVH.
Oip!-in" 'ί
PHN- 7391
vom.
,: PHN 7391
1. NOV. 1974 2452215
Verfahren zur Herstellung eines Ej.nkrista.lls grossen Querschnittes,
Vorrichtung zum Durchführen dieses Verfahrens und durch dieses" Verfahren erhaltene Einkristalle
Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Herstellung eines Einkristalls aus einem polykristallinen
Stab, bei dem entlang des genannten Stabes eine geschmolzene
Lösungszone verschoben wird, die in Form eines Scheibchens
zwischen dem polykristallinen Stab und einem einkristallinen
Keim angebracht ist und mit Hilfe eines Metallbandes erhitzt
wird, das der Einwirkung eines von zwei an den beiden Enden des genannten Bandes befestigten Elektroden zugeführten
Stromes unterworfen ist.
Die vorliegende Erfindung bezieht sich weiterhin auf
eine Vorrichtung zum Durchführen.dieses Verfahrens,
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- 2 - 25.7.72U
Auch, bezieht sich, die Erfindung auf die durch.- - - :
Anwendung dieses Verfahrens erhaltenen Einkristalle,
Nach einem bekannten Verfahren zur Züchtung in einer Lösung (siehe insbesondere die französische Patentschrift
2 138 232) wird ein Stab aus polykristallinem
Material gegen mindestens ein Scheibchen eines Lösungsmittels in Kontakt mit einem einkristallxnen Keim gesetzt und wird
dann sichergestellt, dass ein Temperaturgradient längs der Achse des Stabes auf dem Pegel des genannten Scheibchens
erhalten wird, derart, dass eine Lösungszone mit zu der Achse des Stabes senkrechten flachen Grenzflächen ge.bild.et
wird. Dann wird die genannte Zone entlang des Stabes von
dem -Keim an verschoben« Der Temperaturgradient wird durch
Erhitzung eines Metallbandes durch den Joule-Effekt erhalten, wobei in der Mitte dieses Bandes eine Anzahl von
Löchern innerhalb eines Kreises mit einem Durchmesser in der gleichen Grössenordnung wie dem des Stabes angebracht
sind, tind wobei dieser Kreis in der Lösungszone senkrecht
zu der Achse des Stabes und genau in der Mitte der Höhe
der genannten Zone angeordnet ist« Diese Anzahl von Löchern
ermöglicht den Transport von Material von dem polykristallinen Stab zu dem einkristallinen Keim,
Eine derartige Erhitzungsvorrichtung in Form eines
Bandes, in dessen Mitte nun nicht eine Anzahl von Löchern,
sondern ein einziges Loch, angebracht ist, dessen Durchmesser
viel kleiner als der des polykristallinen Stabes ist, ist
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- 3 - · 25.7.7V
ebenfalls bekannt und in der französischen Patentschrift
1 412 210 beschrieben.
Dieses Verfahren, wenn auch interessant, weist bei der Herstellung von Einkristallen grossen Querschnittes
(Durchmesser >10 mm) eine gewisse Anzahl Nachteile auf.
Es stellt sich nämlich heraus, dass zwischen der Mitte und den beiden Enden des Bandes ein sehr grosser Temperaturgradient
erhalten wird. Obgleich der Kristall eine derartige Drehbewegung vollführt, dass auf dem Pegel der Wachstums,-grenzflache
die Temperatur homogenisiert wird, sind die Temperattirunt er schiede, die bis zu 100 bis 1500C betragen
können, su gross, um keine wesentlichen Aenderungen der Wachsttunsgeschwindigkeit herbeizuführen, welche Aenderungen
sich in einer Aenderung der kristallinen Güte Kussern.
Dieser thermische Gradient ist im wesentlichen auf die grossen thermischen Verluste zurückzuführen, die durch
Leitung in dem Band selber herbeigeführt werden»
Die vorliegende Erfindung bezweckt u.a., ein Verfahren
zu schaffen, bei dem rings um den polykristallinen Stab eine konstante Temperatur aufrechterhalten wird.
Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Herstellung eines Einkristalls aus einem polykristallinen
Stab, bei dem entlang des genannten Stabes eine geschmolzene Lösungszone verschoben wird, die in Form eines Scheibchens
zwischen dem polykristallinen Stab und einem einkristallinen Kοim angebracht ist und durch ein Metallband erhitzt wird,
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~ k - 25.7.7*l·.
das der Einwirkung eines von zwei an den Enden des genannten
Bandes befestigten Elektroden zugeführten Stromes ausgesetzt wird, welches Verfahren dadurch gekennzeichnet ist, dass,
durch Vergrösserung des Widerstandes in zwei lateralen Zonen "d" des Bandes eine Zunahme der Temperatur herbeigeführt
wird, wobei die genannten Zonen, die sich über die ganze
Breite des genannten Bandes erstrecken, in bezug auf die Achse des polykristallinen Stabes zueinander symmetrisch
sind, in einem Abstand "1" voneinander liegen und je zwischen dem genannten Stab und einer der beiden Elektroden angeordnet
sind.
Die Grosse "1" wird durch die Formel 1 = D2 + A
definiert, in der D„ den Durchmesser der Lösungszone und
A eine Sicherheitsmarge darstellt, wobei der Durchmesser D2
der Lbsungszone eine Funktion des Durchmessers D.. des
polykristallinen Stabes und der Durchmesser D- seinerseits
eine Funktion des Durchmessers D„ des einkristallinen Keimes
und der respektiven Dichten der beiden Materialien ist. Die Sicherheitsmarge A muss mindestens gleich 4 mm sein.
Tatsächlich wird eine Marge von 2 mm zu beiden Seiten der Lösungszone zwischen der genannten geschmolzenen
Lösungszone und jeder lateralen Zone "d" mit erhöhtem
Widerstand eingehalten.
Durch diese Marge kann vermieden werden, dass die geschmolzene Lösungszone einen ungünstigen Einfluss auf die
lateralen Zonen "d" ausübt, deren Widerstand von dieser Zone
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- j; - 25.7.74.
auf unlcontrollxerbare Weise geändert werden würde; ausserdem
würden die genannten Zonen "d" mit einer erhöhten Temperatur
die Neigung aufweisen, die genannte Lösungszone anzuziehen.
Die vorliegende Erfindung bezieht sich weiterhin auf eine Vorrichtung zum Durchführen dieses Verfahrens.
Diese Vorrichtung ist ein metallenes Erhitzungsband, an
dessen Enden Elektroden befestigt sind, deren Breite gleich der des Bandes ist, wobei in der mittleren Zone dieses Bandes
eine Anzahl von Löchern in einem Kreis angebracht ist, dessen Durchmesser in der gleichen Grössenordnung wie der des zu
behandelnden Stabes liegt, welche Vorrichtung dadurch gekennzeichnet ist, dass sie in zwei lateralen Zonen "d" über
die ganze Breite zu beiden Seiten der mittleren Zone zwischen der genannten mittleren Zone und jeder Elektrode und senkrecht
zu der Stromrichtung eine Verjüngung des Querschnittes aufweist. Infolge dieser Verjüngung des Querschnittes wird die
von den beiden lateralen Zonen begrenzte Oberfläche des Bandes auf eine gleichniässige Temperatur gebracht.
Tatsächlich gründet sich die Erfindung darauf, dass es gemäss dem Jouleschen Gesetz bekannt ist, dass die Menge
während einer Zeitdauer t abgegebener Wärme durch die Formel
1 2
Q = *R I t bestimmt wird; weil die Zeitdauer t sowie
die Intensität I festliegen, ergibt sich daraus, dass Q eine Punktion des Widerstandes R ist, so dass es zur Vergrösserung
der abgegebenen Wärmemenge Q genügt, den Widerstand R zu vergrössern und damit den Querschnitt des genannten Widerstandes
: zu verringern.
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Um die Temperatur an den beiden. Enden des Metallbandes
zu erhöhen und eine Oberfläche zu erhalten, auf der die Temperatur an jedem Punkt dieselbe ist, wird daher der
Querschnitt des Bandes an seinen beiden Enden verringert. /
Damit die Verjüngung zweckmässig sein soll, muss sie
mindestens 80$ des Querschnittes betragen.
Es ist möglich, den Querschnitt des Bandes dadurch zu verringern, dass eine Anzahl von Oeffnungen über die
ganze Breite des Bandes gemäss mindestens einer Reihe auf
jeder Seite der mittleren Zone zwischen der genannten mittleren Zone und der betreffenden Elektrode und senkrecht zu
der Stromrichtung angebracht wird. Die Oeffnungen können vorzugsweise gemäss mehreren zueinander parallelen Reihen
angebracht sein, wobei sie dann gegeneinander versetzt sind
und eine Kreisform (Löcher) oder eine langgestreckte Form (Spalte) aufweisen können, ■ '·'·
Diese Verjüngung kann auch dadurch erhalten werden, dass eine Anzahl von Nuten, in dem Metallband angebracht wird.
Diese Nuten müssen zu der Stromrichtung senkrecht verlaufen;, sie werden zugleich auf der oberen und der unteren Fläche
des Bandes einander gegenüber angebracht? zwischen der
mittleren mit Löchern versehenen Zone und jeder Elektrode
sind mindestens zwei einander gegenüberliegende Nuten erforderlich.
Neben der Verjüngung des Querschnittes beabsichtigt das Vorhandensein von Hindernissen, wie Löchern oder Nuten,
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In dem normalen Stromweg, den genannten Weg zu vergrSssern
und damit die Erhitzung des Bandes in der Nähe der genannten
Hindernisse zu fördern*
Durch die auf jeder Seite der mittleren Zone zwischen der genannten mittleren Zone und jeder Elektrode erhaltene
zusätzliche Erhitzung wird die in dem Metallband und in den Stromzuführungselektroden auftretende thermische Leitung
kompensiert.
Dies hat insbesondere zur Folge, dass die örtliche Verkleinerung des Querschnittes des Bandes umso stärker sein
muss, desto grosser die Wärmeverluste durch die Elektroden s ind ·
Das Band muss derartig sein, dass es in bezug auf die Lösungsmittel und auf die Atmosphäre gut chemisch
resistent ist, dass es einen spezifischen Widerstand besitzt,
der mit der verfügbaren Leistung vereinbar ist, und dass es
genügend starr ist, damit es bei der Betriebstemperatxir
nicht verflüssigt. Aus diesen Gründen wird als Material für dieses Band vorzugsweise Platin gewählt.
Um die Verformung infolge der Ausdehnung zu vermeiden, v/eist das Metallband an jedem Ende eine Faltlinie auf, die
zu der betreffenden ElektxOde parallel ist und sich zwischen
der Verjüngung des Querschnittes und der genannten Elektrode befindet.
Die Erfindung wird nachstehend beispielsweise an Hand der Zeichnung näher":erläutert. Es zeigen:
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Fig. 1 perspektivisch eine Draufsicht auf ein Metallband nach der Erfindung,
Fig. 2 die Wärmeverteilungskurve auf dem Pegel des Metallbandes,
Fig. 3 ebenfalls ein Metallband nach der Erfindung, aber in weiterer Ausarbeitung,
Fig. ^a1 und 4a2, 4b.j und ^b2, ^c1 und hc^ im Detail
drei Möglichkeiten zur Verringerung des Querschnittes des Metallbandes,
Fig. 5a und 5b schematisch den Stromweg in einem
Teil eines nicht erfindungsgemässen Metallbandes bzw. in
einem Teil eines erfindungsgemässen Bandes, und
Fig. 6 eine Seitenansicht einer Anlage, die mit der Vorrichtung zum Durchführen des erfindungsgemässen
Verfahrens versehen ist.
Der Einfachheit und der Deiitlichkeit halber sind
entsprechende Teile in den verschiedenen Figuren mit den gleichen Ziffern und Bezugszeichen bezeichnet, aber die
Figuren sind in bezug aufeinander nicht masstäblich gezeichnet. Tatsächlich zeigen gewisse Figuren nur Teile der Vorrichtung,
die vollständig in anderen Figuren dargestellt sind#
In Fig, 1 liegt zwischen zwei Elektroden 1 und 2 ein Metallband 3» das in der mittleren Zone 4 mit einer
Anzahl von Löchern versehen ist und auf jeder Seite der mittleren Zone zwischen der genannten Zone und jeder Elektrode,
eine mit "d" bezeichnete Zone aufweist, die zu jeder Elektrode
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parallel und somit zu der Stromrichtung senkrecht ist und sich über die ganze Breite des genannten Bandes erstreckt
und mit Oeffnungen 5 gemäss z,B, zwei Reihen versehen ist.
Fig. 2 zeigt die Wärmeverteilungskurve auf dem Pegel des Metallbandes, die sehr einfach schematisch mit einer die
beiden Elektroden 1 und 2 miteinander' verbindenden Geraden angedeutet ist. Auf dem Band ist mit 4 die mittlere Zone
bezeichnet, die mit Löchern versehen ist, wobei auf jeder Seite dieser Zone die Zonen "d" liegen, in denen der Querschnitt
des Bandes verringert wird, welche Zonen "d" in einem Abstand "1" voneinander liegen. In diesem Schema ist
mit vollen Linien die Kurve A der Temperatur auf einem Band angegeben, das nur in der mittleren Zone h mit Löchern
versehen ist. Es stellt sich heraus, dass ein sehr grosser Temperaturgradient zwischen der Mitte und den beiden Enden
des Bandes erhalten wird. Mit punktierten Linien ist die
Kurve B der Temperaturverteilung über das Band angegeben, wenn letzteres eine Verjüngung des Querschnittes in den
Zonen "d" aufweist; aus der Betrachtung dieser Kurve ergibt
sich, dass die Tempex-atur nun über das ganze Band homogen ist,
Fig, 3 zeigt dieselbe Vorrichtung wie Fig. 1, aber
um zu vermeiden, dass das Metall durch Ausdehnung unter dem Einfluss der Temperatur, auf die es dtirch Stromdurchgang
gebracht wird, verformt wird, wird das Band 3 gemäss zwei
zu den Elektroden parallelen Faltlinien gefaltet, wobei die FaItlinie 31 nahe bei der Elektrode 1 und die FaItlinie 32
nahe bei der Elektrode 2 liegt,
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Die Figuren 4 zeigen verschiedene Möglichkeiten der
Verringerung des Querschnittes des Erhitzungsbandes. Der Einfachheit halber ist nur eine Reihe von Oeffimngen darge-.
stellt, aber es ist möglich, verschiedene (zueinander parallele) Reihen von Oeffnungen zu verwenden, unter der Bedingung,
dass die Oeffnungen gegeneinander versetzt angebracht sind, Fig. 4a.. zeigt einen Teil des Bandes 3 mit einer Dicke "e"
und die mit "d" bezeichnete Zone, in der Oeffnungen mit 5
bezeichnet sind« Fig. 4a? zeigt einen Schnitt längs XX1 der
Fig. 4a... Die Oeffnungen 5, die hier kreisförmig sind, sind
in der Dicke "e" des Bandes 3 angebracht} die Teile 6 sind
schraffiert und bezeichnen den-verbleibenden Teil des Querschnittes
des genannten Bandes 3»
In Fig. 4b- ist auf obenbeschriebene Weise der Querschnitt
des genannten Bandes 3 mit einer Dicke "e" mit Hilfe
rechteckiger Oeffnungen 5 gemäss einer Reihe in der Zone "dr
verringert. Fig, 4b2, die einen Schnitt längs XX' der Fig. 4b..
zeigt, stellt in der Dicke "e" die Oeffnungen 5 und die
schraffierten Zonen 6 dar, die die verbleibenden Teile des
Querschnittes des Bandes sind.
In Fig. 4c. wird die Verjüngung des Querschnittes des Bandes 3 mit Hilfe von 2 Nuten 7 und 8 erhalten, die
in der Dicke "e" des genannten Bandes einander gegenüber
angebracht sind. Weitere Nuten können parallel zu den genannten Nuten 7 und 8 angebracht werden; dies ist der Einfachheit
halber in diesem Schema nicht dargestellt. Fig. 4c„
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zeigt schraffiert den verbleibenden Teil 6 des Querschnittes zwischen den beiden Nuten 7 und 8.
Fig. 5a und 5b zeigen schematisch den Stromweg in
einem Teil eines Bandes ohne Verjüngung des Querschnittes bzw. in einem Teil eines Bandes mit Oeffnungen 5 in der
Zone "d". Es wird im letzteren Falle gefunden, dass der
Strom nicht direkt hindurchgehen kann, aber die Oeffnungen umgehen muss; daher ist der Stromweg länger, was eine Erhitzung
zur Folge hat; dies ist gerade der beabsichtigte Zweck.
Schliesslich zeigt Fig. 6 das Erhitzungsband 3 zwischen den beiden Elektroden 1 und 2, In seiner mittleren
Zone k sind Oeffnungen angebracht, während es zu beiden Seiten dieser Zone die Zonen "d" mit verjüngtem Querschnitt
aufweist 0
Das Metallband 3 sorgt dafür, dass ein Scheibchen eines Lösungsmittels zum Schmelzen gebracht wird, das im
geschmolzenen Zustand die Lösungszone 10 mit einem Durchmesser Dp ergibt. Durch Aufziehen des festen Gebildes aus dem
polykristallinen Stab 9 mit einem Durchmesser D1 und aus
einem einkristallinen Keim 11■mit einem Durchmesser D„ werden
ein fortschreitender Vorgang zum Lösen des polykristallinen Stabes 9» ein Transport in der Lösungszone 10 und ein
Niederschlag in einkristalliner Form auf dem Keim 11 erhalten.
Es hat sich herausgestellt, dass die mit "d" bezeichneten
Zonen, um eine zweckmässige Wirkung aufweisen zu können, vorzugsweise möglichst nahe bei dem von der
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-■12 - 25.7.7'u
Lösungszone beanspruchten Gebiet liegen müssen»
Ausserdem hat sich gezeigt, dass die Breite des Bandes nicht als wesentlicher Parameter in Betracht kommt»
Dem Band werden genau die Abmessungen der zu wachsenden Kristalle gegeben; gegebenenfalls können die Abmessungen
vergrössert werden? es genügt, dass die Stromzuführungselektroden
die gleiche Breite -wie das Band aufweisen.
Ausserdem sei bemerkt, dass' es umso leichter ist,
eine Oberfläche mit gleich-massiger Temperatur zu erhalten,
desto kleiner die Abmessungen der Kristalle sind. Je dichter man sich der mittleren Zone nähert, desto geringer ist die
Steilheit des Temperaturgradienten und desto leichter kann er somit gleichmässig gemacht werden» Dies hat zur Folge,
dass eine geringere Anzahl von Löchern oder Spalten vorgesehen zu werden braucht,
■V-,
Zur Erläuterung der vorliegenden Erfindung werden nachstehend einige Beispiele gegeben, wobei ein Platinband
mit einer Dicke von 0,5 min verwendet wird.
Herstellung eines Kristalls mit einem Durchmesser D. von
- Polykristalliner Stab mit einem Durchmesser D- =17 nun}
- Aussendurchmesser D2 der Lösungszone = 20 mm.
Diese Abmessung D2 wird mit Hilfe einer bekannten Formel
berechnet, die eine Aenderung des Durchmessers D. des polykristallinen
Stabes herbeiführt, welcher Durchmesser eine
Funktion des Durchmessers D~ des zu erhaltenden Einkristalls
sowie der Dichten der vorhandenen Materialien ist. Diese
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- 13 - 25.7.7^.
Formel wird in der vorliegenden Beschreibung nicht genannt,
denn sie ist für die Erfindung nicht wesentlich und kann von einem Fachmann leicht berechnet werden.
- Mindestbreite des Bandes 2k mm; tatsächlich wird zu beiden ■'
Seiten der mittleren Zone in der Breitenrichtung eine Marge von 2 mm eingehalten, damit die Randeffekte herabgesetzt
werden und verhindert wird, dass die Lösungszone den Widerstand des Bandes beeinträchtigt.
Wenn nur eine einzige Reihe von Löchern oder Spalten verwendet wird, d.h., wenn lediglich'.der Querschnitt des
Leiters geändert wird, muss die Verjüngung des Querschnittes in der Grössenordnung von 85 bis 90/° liegen.
Wenn mehrere Reihen von Löchern oder Spalten verwendet werden, die gegeneinander versetzt sind, d.h., wenn sowohl
der Querschnitt des Bandes als auch seine örtliche Leitfähigkeit geändert v/erden, ist eine Verjüngung des Querschnittes
in der Gröss enordnung von 80 bis 85/° genügend.
Herstellung eines Kristalls mit einem Durchmesser D„ von 25 mmj
Die bei dem vorangehenden Beispiel gemachten Bemerkungen in bezug auf den Durchmesser D2 der Lösungszone
und auf den Wert der zwischen dem mittleren Scheibchen und den lateralen Zonen eingehaltenen Marge treffen auch hier zu;
daher ist der Kristall mit dem Durchmesser D„ von 25 mm
in den folgenden Abmessungen erhalten?
in den folgenden Abmessungen erhalten?
- Polylcrxstalliner Stab mit dem Durchmesser D1 = 28 mm;
- Aussendurchmesser Dg der Lösungszone = 31 mm;
- Mindestbreite des Bandes = 35 mm; wie oben ist tatsächlich
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zu beiden Seiten der mittleren Zone in der Breit enx'ichtung
eine Sicherheitsmarge von 2 mm eingehalten.
Wenn nur eine einzige Reihe von Löchern verwendet wird, muss die Verjüngung des Querschnittes in der Grossenordnung
von 90 bis 95f* liegen.
Wenn mehrere Reihen von Löchern verwendet werden, kann die Verjüngung des Querschnittes auf 85 oder 9O/o verringert
werden.
Es dürfte einleuchten, dass sich die Erfindung nicht auf die obenbeschriebenen Ausführungsformen beschränkt,
sondern dass im Rahmen der Erfindung für den Fachmann viele Abwandlungen möglich sind. Insbesondere kann in den lateralen
Zonen, deren Widerstand vergrössert werden soll, ein geeignetes Material in Form z.B, eines oder mehrerer Bänder
mit der gleichen Breite wie das metallene Erhitzungsband angebracht werden.
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Claims (1)
- 25.7.74.PATENTANSPRUBC JIE t1· Verfahren zur Herstellung eines Einkristalls aus einem polykristallinen Stab, bei dem längs des genannten Stabes eine geschmolzene Lösungszone verschoben wird, die in Form eines Scheibchens zwischen dem polykristallinen Stab und einem einkristallinen Keim angebracht wird, wobei das genannte Scheibchen mittels eines Metallbandes erhitzt wird, das der Einwirkung eines von zwei an den Enden des genannten Bandes befestigten Elektroden zugeführten Stromes ausgesetzt wird, dadurch gekennzeichnet, dass eine örtliche Zunahme der Temperatur durch Vergi-Össerung des Widerstandes in zwei lateralen Zonen "d" des Bandes herbeigeführt wird, welche Zonen sich über die ganze Breite des genannten Bandes erstrecken, in bezug auf die Achse des polykristallinen Sta:bes zueinander symmetrisch sind, in einem Abstand "1" voneinander liegen und je zwischon dem genannten Stab und einer der beiden Elektroden angeordnet sind, 2. Verfahren zur Herstellung eines Einkristalls nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Abstand "1" durch die Formel 1 = D, + A definiert ist, in der D2 den Durchmesser der Lösungszone und A eine Sicherheitsmarge darstellt, wobei der Durchmesser D^ der Lösungszone eine Funktion des Durchmessers D1 des polykristallinen Stabes ist, und wobei der Durchmesser D- seinerseits eine Funktion des Durchmessers D, des einkristallinen Keimes und dor respektiven Dichten der beiden vorhandenen Materialien ist, während A mindestens gleich h mm ist,509821/0932- 16 - 25.7.74·-'3» Vorrichtung rum Durchführen des Verfahrens nach Anspruch 1, die aus einem metallenen Erhitzungsband besteht, an dessen Enden Elektroden der gleichen Breite wie das genannte Band befestigt sind, welches Band in seiner mittleren Zone eine Anzahl von Löchern aufweist, die in einem Kreis angeordnet sind, dessen Durchmesser in der gleichen Grössenordnung wie der des zu behandelnden polykristallinen Stabes liegt, dadurch gekennzeichnet, dass sie in zwei lateralen Zonen "d" über ihre ganze Breite eine Verjüngung des Querschnittes zu beiden Seiten der Mittleren Zone zwischen der genannten mittleren Zone und jeder Elektrode und senkrecht zu der Stromrichtung aufweist,k, Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Verjüngung des Querschnittes mindesten· 8θ£ des genannten Querschnittes betragen muss* ■·. ' 5» Vorrichtung nach Anspruch "y.t dadurch gekennzeichnet, dass die Verjüngung des Querschnittes mit Hilfe iron Oeffnungen erhalten wird, die im wesentlichen in de« Metallband senkrecht zu der Stromrichtung vorgesehen werden» 6. Vorrichtung nach Anspruch 5» dadurch gekennzeichnet, dass die Oeffnungen in dem Metallband vorgesehen und in mindestens einer Reihe senkrecht zu der Stromrichtung angeordnet werden«7* Vorrichtung nach Anspruoh $t dadurch gekennzeichnet, dass die Oeffnungen Nuten sind, die in dem Band augleich auf der oberen und auf der unteren FIKche einander gegenüber angebracht sind«509821/0932 -. -17-8. Vorrichtung nach. Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass das Metallband an jedem Ende eine FaItlinie aufweist, die zu der betreffenden Elektrode parallel ist und sich zwischen der Verjüngung des Querschnittes und dieser Elektrode befindet.9. Durch Anwendung des Verfahrens nach Anspruch 1 hergestellte Einkristalle, .509821/0932Leerseite
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FR7340668A FR2251368A1 (en) | 1973-11-15 | 1973-11-15 | Monocrystal prodn. from poly-crystalline rod - by soln. zone melting using heating strip with constricted side zones for constant temp |
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DE2452215A1 true DE2452215A1 (de) | 1975-05-22 |
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Cited By (2)
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US4323418A (en) * | 1978-11-10 | 1982-04-06 | Hitachi, Ltd. | Method for growing a pipe-shaped single crystal |
CN1109777C (zh) * | 1999-11-24 | 2003-05-28 | 中国科学院物理研究所 | 异型加热片区熔生长晶体的方法 |
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---|---|---|---|---|
FR2552292B1 (fr) * | 1983-09-20 | 1985-10-25 | Commissariat Energie Atomique | Dispositif de mise en tension d'une plaque mince |
KR101878465B1 (ko) * | 2016-07-12 | 2018-07-13 | 기초과학연구원 | 단결정 금속포일, 및 이의 제조방법 |
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1974
- 1974-11-04 DE DE19742452215 patent/DE2452215A1/de active Pending
- 1974-11-12 JP JP12962874A patent/JPS5080281A/ja active Pending
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
FR2251368A1 (en) | 1975-06-13 |
JPS5080281A (de) | 1975-06-30 |
FR2251368B1 (de) | 1976-10-01 |
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