DE2448793C3

DE2448793C3 - Elektronische Bildverstärker- oder Bildwandlerröhre und Verfahren zu ihrer Herstellung

Info

Publication number: DE2448793C3
Application number: DE2448793A
Authority: DE
Inventors: Valere Dominique Louis Duchenois; Gilbert Eschard
Original assignee: Philips Gloeilampenfabrieken NV
Current assignee: Koninklijke Philips NV
Priority date: 1973-10-17
Filing date: 1974-10-12
Publication date: 1980-09-18
Also published as: DE2448793B; US3987522A; JPS5068465A; FR2248608A1; GB1464030A; FR2248608B1; DE2448793A1

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine elektronische Bildverstärker- oder Bildwandlerröhre mit einer auf einem Substrat angeordneten Fotokathode, mit einer Mikrokanalplaltc und mit einem Leuchtschirm, bei der die elektronenoptische Abbildung der Fotokathode auf den in geringem Abstand von der Fotokathode angeordneten Eingang der Mikrokanalplalte durch Nafokussierung mittels einer zwischen der Fotokathode und dem Eingang der Mikrokanalplalte angelegten Spannung erfolgt.

Bekanntlich haben in/'iner Fotokathode eine Vielzahl von Elektronen, die aus einem Element mit einer lichtempfindlichen Oberfläche heraustreten, eine transversale Geschwindigkeitskomponente. die eine nicht senkrecht auf der Oberfläche gerichtete Bahn bestimmt. Die Bahnen der erwähnten Elektronen sind dabei parabolisch und erzeugen am Schirm oder am Eingang der Mikrokanalplatte einen Kreis, der größer isl als das Element mit der lichtempfindlichen Oberfläche selbst, je größer der Absland /wischen der Fotokathode und dem Schirm oder dem Eingang der l'lat;e. desto großer isl dabei der erwähnte Kreis, was eine proportionale Verringerung der Röhrenauflösung ergiot.

Faktisch isl die Auflösung bei einer Nahfokussicrung der Quadratwurzel der Beschleunigungsspannung proportional und dem Abstand /wischen den Elektroden umgekehrt proportional. Bei hoher Auflösung begrenzen das Spannungsverhalleii der Elektroden, die elektrischen Diirchlai'sspannungen /wischen den Lick Iroden. die Feldemission und die technologischen .Schwierigkeilen die Möglichkeilen /um Verwirklichen äußerst kleiner Abstände /wischen den Elektroden.

Aus der DE-OS 17 645HJ Fig. I und zugehörige Erläuterungen isl eine Bildverstärker- oder Bildwand lerröhre der eingangs genannten Art bekannt. Bei derartigen Röhren hai die durch Nahfokussicrung bewirkte Abbildung der Fotokathode auf den Eingang der Mikrokanalplalte eine begrenzte Auflösung.

Aus der USCS J7I2 4H6 isl es bekannt, die Fotokathode an ihrer Oberfläche mit Ausnehmungen zu versehen. Aus der I K-I'S I "5 74 Ob¹J isl ein Vorschlag zum Beseitigen der Beschränkungen in einer eine Fotokathode und einen Leuchtschirm enthaltenden Röhre bekannt. Die Fotokathode dieser bekannten Röhre enthüll eine Λη/ahl nebeneinander anjienrdni· ler. ungefähr bcckcnförmigcr Ausnehmungen mn geringem Querschnitt. Der Schirm befindet sich in einem geeigneten Absland von der Fotokathode, damn das elektronische Bild jeder Bodenfläche der erwähnten Ausnehmungen am Schirm unter dem Einfluß der /wischen der Fotokathode und dem Schirm angelegten

elektrischen Spannung gebildet wird. Pie Folge davon ist, daß der Abstand zwischen der Fotokathode und dem Schirm dabei verhältnismäßig groß sein kann und hohe elektrische Spannungen zwischen den Elektroden zulässig sind.

Die Aufgabe der Erfindung bestand darin, die Auflösung bei einer Bildwandler- oder Bildverstärkerröhre zu verbessern.

Zur Lösung dieser Aufgabe weist bei einer elektronischen Bildverstärker- oder Bildwandlerröhre der eingangs genannten Art nach der Erfindung die Oberfläche der Fotokathode beckenförmige Ausnehmungen auf. jedem Kanal der Mikrokanalplatte liegt eine derartige Ausnehmung gegenüber und die Fotokathode und der Eingang der Mikrokanalplatte haben einen solchen Abstand, daß das elektronenoptische Bild jeder einzelnen Ausnehmung -im Eingang des dieser Ausnehmung gegenüberliegenden Kanals der Mikrokanalplatte entsteht. Durch diese Maßnahmen der Erfindung werden also diese Ausnehmungen auf die Kanäle dieser Mikrokanalplatten ausgerichtet.

Dadurch wird die elektronische Emission in einer Reihe an der Eingangsoberflüche der Mikrokana'platte befindlicher Punkte konzentriert, wobei die Verteilung dieser Punkte an die Verteilung der Mikrokanäle im Plattenmaterial angepaßt ist. Um eine bessere Wirkung der Anordnung, insbesondere hinsichtlich der Auflösung und der Empfindlichkeit, zu erzielen, ist eine zweigliedrige Übereinstimmung zwischen den emittierenden Elementen und der Fotokathode einerseits und den Mikrokanalen der Platte andererseits verwirklicht. Die Anzahl emittierender Kiemente entspricht der Anzahl Mikrokanälc und jedes Element belindet sich dem Eingang eines Mikrokanals gegenüber, wobei die Konzentration der elektronischen Emission jedes Elemenles am Eingang des gegenüber diesem Element befindlichen Mikrokanals auftritt.

Auf diese Weise vergrößert sich der Absland zwischen der Fotokathode und der Mikrokanalplatle, ähnlich wie in der I R-PS 15 74 065. hinsichtlich des Abslandes zwischen der Fotokathode und dem Schirm. Die Übereinstimmung zwischen der beekenförmigen Ausnehmung und dem Mikrokanal bezieht sich auf Abstände, die dennoch äußerst klein sind, und zwar in der Größenordnung von einigen zehn Mikron. Andererseils muß mit einer gewissen Unregelmäßigkeit in der Positionierung der Mikrokaiiäle in d-.τ Kaualplaite gerechnet werden. Dies erschwert die Verwirklichung der beckenformigen Ausnehmungen und die Übereinstimmung zwischen den Ausnehmungen und ilen Kanälen. Die Erfindung /ei;>t diese I Ibereinsiimmung mit hoher Präzision.

E.in Verfahr"!) zur llcrslcll'ing einer elektronischen Bildverstärker- oder Bildwandlerröhre der eingangs genannten ArI ist durch Maßnahmen gekennzeichnet. wie in den Kennzeichen der Patentansprüche 2. J. 4. 5 und b näher beschrieben.

Die Erfindung wird nachstehend an Hand einiger in di.π Zeichnungen dargestellter bevorzugter Atisführungsformen näher erläutert. Es zeigt

F"ig. I ein Teilschema, das schcmaiisch einen Querschnitt durch die erfindungsgemiiBc Hiltlvcrstärkcrröhrc darsielll.

I i g. 2 eine erste Ausführungsform des erfindungsge· maßen Verfahrens.

Fig. 3 eine /weite und drille Ausführungsform des erlindungsgemaßen Veriahrens. und

I 1 g. 4 eine vierte Ausfjhningsform des erfindungsgemäßen Verfahrens.

Fig. I zeigt schemalisch in vergrößertem Maßstab einen Querschnitt durch einen Teil einer Fotokathode I, einer Mikrok»nalplatte 2 mit Sekundärelektronenemission und eines Ueuehtschirmes 3,

Die Fotokathode 1 enthält eine Anzahl beckenförmiger Ausnehmungen 4, 5, 6 und 7, deren nach innen gewölbte Seite auf die Mikrokanalplatte gerichtet isi und welche Ausnehmungen sich in der erwähnten

in Reihenfolge gegenüber den Mikrokanalen 8, 9, 10 und 11 befinden.

Linter dem Einfluß geeigneter Potentiale (in der Figur nicht dargestellt, sondern aus der Technik bekannt), die der Fotokathode, den Eingangs- und Ausgangsflächen

Ii der Mikrokanalplaite und dem Schirm zugeführt werden, laufen die Bahnen der von jeder der Ausnehmungen der Fotokathode ausgesandten Elektronen nahezu in einem Punkt 12 am Eingang des entsprechenden Mikrokanals zusammen. In Fig. 1 sind die erwähnten Bahnen mil 4n.4b und 4t·bezeichnet. Die Folge davon ist. daß jeder Mikrokanal nur diejenigen Elektronen empfängt und vervielfacht, die vom gegenüber diesem Mikrokanal befindlichen Totokalhodenoberflächenelemeni erzeugt werden, was unter

2t übrigens gleichbleibenden Umständen selbstverständlich die Auflösung des Systems verbessert.

In den Fig. 2. 3 und 4 sind schematisch drei Ausführungsformen des erfindungsgemäßen Verfahrens zum Eirhalt dei Übereinstimmung zwischen jeder

jo beckenformigen Ausnehmung und dem Mikrokanal und des Zusammenfallens dieser beiden Elemente dargestellt.

Das Verfahrensprinzip besteht in einem Beitrag der Mikrokanalplatle beim Anbringen der beckenformigen

ι-, Ausnehmungen. Die erwähnte Plane und das Foiokaihodensubstrat werden einander in unmittelbarer Nähe gegenübergestellt. Die Mikrokaiiäle haben eine Riehlungsfunklion beim Einwirken des Ätzmittels auf das l'otokathodensubsirai zur Bildung der erwähnten

4» beckenformigen Ausnehmungen.

Bei einer in I" i g. 2 dargestellten Ausführungsform des Verfahrens wird von einer durchsichtigen Glasplatte 21 ausgegangen, die als Fotokathodcnsubstrat dienl und gegenüber der Mikrokanalplatle 22 und in ihrer

4^r. unmittelbaren Nähe entsprechend der Positionierung in einer Bildverstärkerröhre angeordnet wird, die mil der herzustellenden Folokathode und der erwähnten Platte 22 aufgebaut werden wird. Die Glasplatte 21 und die Platte 22 werden mit Hilfe nicht dargestellter Mittel in

,(ι einer richtigen Lage gehalten, t Im zu erreichen, daß in den verschiedenen Durchführimgsphasen des Verfahrens die Glasplatte auf die gleiche Weise in bezug auf der Mikrokanalplatte positioniert werden könnte, weisen diese beiden Teile einige Markierungen auf. die

·,-, in z'i'saii.iiienarbcil mit anderen mechanischen Mitteln benutzt werden.

Die von der Glasplatte und der Mikrokanalplatle gebildete Gan/heil wird in einem Vakuumraum 23 angeordnet. In diesem Raum ist ein Verbindungsstück

,ο 24 vorgesehen, das durch einen Dichtungshahn 26 abgeschlossen wird, der die Verwirklichung in dem erwähnten Raum entweder des erforderlichen Vakuums oder einer geeigneten Atmosphäre mil bestimmtem Unterdruck gewährt. Zur Bildung der »Zellen« an der

,-, Oberfläche des Substrats 21 wird in der Röhre eine Gasaimosphäre erzeug¹ z. B. Argon. Unter dem Einfluß des elektrischen Potentials, das über die Klemmen 24 und 25 /wischen den Oberflächen der Mikrokanalplatle

angelegt wird und mehrere kV beträgl. bilden sich in den Mikrokanälcn Ionen, die in der Richtung der Glasplatte 21 beschleunigt werden und dort aufireffen. Daraus ergibt sich eine Glas/crstüubung an der Oberfläche der Glasplatte 21 gegenüber jedem ■'· Mikrokanal und gleichfalls die Bildung der erwähnten beckenförmigen Ausnehmungen. Wenn die Glas/erstäubung zum Erhall der für die Ausnehmungen gewünschten Tiefe ausreicht, wird das Substrat von der Mikrokanalplattc getrennt. Durch einen bekannten ι» Vorgang erhüll diese Platte ihre fotoeniissiven Eigenschaften auf der Fläche mit den durch Zerstäubung erziehen Ausnehmungen. Am Ende dieses Vorgangs wird die Glasplatte abermals gegenüber der Mikrokanalplattc angeordnet. Nach der in Vakuum durchzufüh- '"> renden Bildung der Fotokathode darf dieses Vakuum beim Anordnen der Fotokathode in der Röhre nicht verloren gehen. Es ist somit klar, daß bei dem erfindungsgcmaßen Verfahren wahrend der oben beschriebenen Vorgänge bekannte Einrichtungen ver- 2» wendet werden, die keine Bestandteile der Erfindung sind. Einige davon sind z. B. in den US-Patentschriften Nr. 32 43 627 und 30 26 163 beschrieben und erlauben in einer gleichen Vakuumanordnung. die gleichen Vorgänge an unterschiedlichen Elementen einer sehen -> elektronischen Röhre durchzuführen und die erwähnten Elemente zusammenzustellen, ohne daß zwischen den aufeinanderfolgenden Vorgängen das Vakuum verloren geht.

Im vorliegenden Falle isl eine derartige Anordnung w außerdem mit Mitteln versehen, die es beim Zusammenbauen der Elemente der elektronischen Röhre erlauben, die Fotokathode in be/ug auf die Mikrokanalplatte derart anzuordnen, daß jede Ausnehmung oder Zelle mil dem entsprechenden Kanal der Mikrokanalplatte ü zusammenfällt, und wobei es gleichfalls möglich ist. die erforderlichen Kontrollen vorzunehmen, bei denen die erforderliche Genauigkeit z. B. einige Mikron beträgl.

Es ist z. B. möglich, die Mikrokanalplatte an der richtigen Stelle in der elektronischen Röhre anzuordnen. während die als Substrat dienende Glasplatte, die das Eingangsfenster der erwähnten Röhre bildet, mit

gen und Anschlagnocken auf der Glasplatte und auf dem Röhrenkörper an einem der Enden des Röhrenkörpers »*> in bezug auf die Mikrokanalplattc erst positioniert wird. Nach der Bildung der beckenförmigen Ausnehmungen im Glas kann auf diese Weise die Glasplatte nach dem Entfernen, um den erwähnten Ausnehmungen die gewünschte fotoelektrische Empfindlichkeit zu geben, w auf die geeignete Weise in die ursprüngliche Stellung in bezug auf die Mikrokanalplatte zurückgebracht werden.

Eine andere Methode zum Positionieren des Fotokathodensubstrats (Glasplatte) in bezug auf die Mikrokanalplatte besteht in der Befestigung des erwähnten Substrats auf einem der Enden des Röhrenkörpers, wobei das erwähnte Ende verformbar isl und danach die Glasplatte in ihrer eigenen Ebene in bezug auf die Mikrokanalplatte geradlinig bewegt werden kann: das Positionieren der Platte erfolgt durch die Verschiebungen mikrometrischer Schrauben und durch eine gleichzeitig ausgeführte Kontrolle mit Hilfe eines Mikroskops, wobei dem erwähnten verformbaren Ende nach dem Abgleich die erforderliche Steifheit gegeben wird.

Eine andere Lösung ist die Verwendung eines Verschlusses der Röhre mit Hilfe einer flüssigen Dichtung, z. B. mit Gallium zwischen dem Röhrenkörper und dem Fotokathodenglas. In diesem Falle kann dem Glas auf dem Röhrenstück eine geeignete geradlinige Bewegung erteilt werden, ohne damit die Verschlußgüte des Raumes zu beeinträchtigen; dieser Vorgang kann in der umgebenden Atmosphäre erfolgen. Nach dem Abgleich mil Hilfe eines Mikroskops wird das G las auf dem Röhren kör per mit IeIs eines härtenden Harzes oder eines Zements mechanisch blockiert.

Nach einer in Fig. J dargestellten erfindungsgemäßen zweiten Ausführungsform bildet ein durchsichtiges Glas das Ioiokalhodensubsiral. welches Glas in einem bestimmten Spektrumband lichtempfindlich ist. l'.in derartiges Glas isl z. B. dasjenige, was unter dem Namen »Fotoform« verfügbar ist. Dieses Glas ist empfindlich für Ultraviolettstrahlung. Wie im Falle nach F i g. 2 wird eine Platte 31 aus Foloformglas gegenüber und parallel zu einer Mikrokanalplatte 32 angeordnet, wobei die auf diese Weise erzielte Positionierung gemäß der ersten Ausfuhrungsform des Vcrialueiis icsigcii-i:i »irü. Die Mikrokanäle dienen dabei /um Zuführen des ultravioletten Lichtes an das Fotoformglas. Dazu wird cmc Ultraviolettlichlqucllc 33 an einem der Brennpunkte eines Hohlspiegels 34 angeordnet, der die Lichtstrahlen in einer Richtung zurückstrahlt, die /ur Achse der Mikrokanäle parallel verläuft, wie es beispielsweise mn den Strahlen 35 und 36 in der Figur der I all ist.

Das die Mikrokanäle durchfließende und \on diesen Kanäle» geführte Licht beeinflußi das l'otoforniglas das sich gegenüber den Enden der Mikrokanäle befindet, wodurch ein genaues Bild der Mikrokar,,il struktur der Platte 32 erzeugt wird.

Durch fotographisches Umwickeln der Subsiiaiobcr fläche, die der Lichtstrahlung ausgesetzt war. und durch Ätzen ist es möglich, das Glas teilweise an den Stellen die der Strahlung ausgesetzt waren, /ti losen, um aiii diese Weise die beckenförmigen Ausnehmungen odei Zellen zu erhallen. Die auf diese Weise gcbildcu Glasoberfläche wird danach auf die im vorigen Bcispie angebene Weise foiocmiltierend gemacht. Die Glas platte wird darauf in bezug auf die Mikrokanalplatte au die bereits beschriebene Weise und unter den gleichet nhyiikalisrhen Bedingungen zurückgestellt.

Nach einer dritten Ausführungsform, die von dei zweiten hergeleitet ist. ist das Fotokalhodensubslra nicht aus Fotoformglas.sondern aus gewöhnlichem GIa' gebildet, auf dem ein Harz oder ein fotocmpfindlichei Lack angebracht ist. Es wird dabei eine Quellt verwendet, die normales Licht aussendet. Nach den Entwickeln der Schicht, ist das Harz oder der Lack ar den mit Licht bestrahlten Stellen gegenüber der Mikrokanälen verschwunden. Das Glas wird cL/auf ar den erwähnten Stellen z. B. mit fluorierten Verbindun gen gelöst.

Nach einer weiteren Ausfuhrungsform des Verfah rens wird das Fotokathodensubstrat durch einen flachet dünnen Glasstreifen gebildet, der aus dem gleichei Faserbündel geschnitten ist. aus dem auch dit Mikrokanalplatte erhalten wird. Ursprünglich enthaltet die Mikrokanäle des Faserbündels eine Menge Kern glas. Dieses Kernglas hat sowohl geeignete Lösungsei genschaften als auch den geeigneten optischen lnde> der dem Index des elektrisch leitenden Glases angepaß ist, das den Mantel der Mikrokanäle für eine gun Übertragung des durch die Kanäle geführten Lichte bildet. Aus einem derartigen Bündel werden zwe aufeinanderfolgende Stücke ausgeschnitten. Diese Stük ke werden mit den erforderlichen Markierungei

versehen, um diese Stücke auf der gleichen Längsachse bringen zu können und auf diese Weise die beiden Mikrokanalhälften zusammenfallen zu lassen. Ein Stück 41 in Fig. 4 wird behandelt und auf die klassische Weise durchbohrt, um eint Mikrokanalplatte für Elektionenvervielfachung zu erhalten: ein anderes Stück 42, von dem eine der Flächen die getreue Wiedergabe einer der Flächen des Stückes 41 ist, wird durch optische Fasern gebildet *-,ine der Flächen 43 des erwähnten Stückes 42 ist poliert, wonach nur das Kernglas jedes Mikrokanals chemisch leicht angegriffen wird, um Ausnehmungen oder Zellen zu erhalten, wie die Ausnehmung oder Zelle 44 am Ende jedes Kanals. Die auf diese Weise bearbeitete Oberfläche wird empfindlich gemacht, um dieser Oberfläche die gewünschten fotoemissiven

Eigenschaften zu erteilen.

Das Stück 42 wird danach erneut auf genaue Weise und unter Zuhilfenahme der auf den Stücken 41 und 42 angebrachten Markierungen vorder Platte 41 angeordnet, um auf diese Weise jede ausgehöhlte Faser mit dem entsprechenden durchbohrten Mikrokanal der Mikrokanalplatte zusammenfallen zu lassen; das Empfindlichmachen des Substrats und das Zusammenbauen der Elemente der Röhre erfolgt auf eine Weise und unter Bedingungen, die der bereits zuvor gegebenen Beschreibung entsprechen.

Das Stück 42 erfüllt dabei in der Bildverstärkerröhre die Funktion einer optischen Faser, durch die das vom wiederzugebenden Bild ausgesandte Licht bis zur Fotokathode mit den Ausnehmungen 44 geführt wird.

Hierzu 2 Blatt Zeichnungen

Claims

Patentansprüche;

1. Elektronische Bildverstärker- oder Bildwandlerröhre mil einer auf einem Substrat angeordneten Fotokathode, mit einer Mikrokanalplatte und mit ■> einem Leuchtschirm, bei der die elektronenoptische Abbildung der Fotokathode auf den in geringem Abstand von der Fotokathode angeordneten Eingang der Mikrokanalplatte durch Nahfokussierung mittels einer zwischen der Fotokathode und dem tu Eingang der Mikrokanalplatte angelegten Spannung erfolgt, dadurch gekennzeichnet, daß die Oberfläche der Fotokathode beckenförmige Ausnehmungen aufweist, daß jedem Kanal der Mikrokanalplatte eine derartige Ausnehmung gegenüber- π liegt und daß die Fotokathode und der Eingang der Mikrokanalplatte einen solchen Abstand haben, daß das elektronenoptische Bild jeder einzelnen Ausnehmung am Eingang des dieser Ausnehmung gegenüberliegenden Kanals der Mikrokanalplatte en<steht. c.

2. Verfahr«; zur Herstellung einer elektronischen Bildverstärker- oder Bildwandlerröhre nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein Fotokathodensubstrat aus Glas zur Bearbeitung seiner Oberfläche in unmittelbarer Nähe der Mikrokimalplattc angeordnet wird, daß durch die Kanäle der Mikrokanulplattc hindurch auf dre Oberfläche des Substrats eingewirkt wird, so daß die beckenförmigen Ausnehmungen selbst oder Oberflächenstruktu- jo ren, die diese Ausnehmungen festlegen, erzeugt werden, daß nach Fertigstellung der Ausnehmungen auf das von der rvlikrokanalplatte entfernte Substrat eine fotoempfindliche Schicht air gebracht wird und daß beim Zusammenbau det Röhre die Fotokathode J^r> und die Mikrokanalplatte so ausj -richtet werden, daß jedem Kanal diejenige Ausnehmung gegenüberliegt, die ihm bei der Bearbeitung der Oberfläche des Fotokaihodcnsubstrats gegenüberlag.

J. Verfahren nach Anspruch 2. dadurch gekennzeichnet, daß das Substrat und die in unmittelbarer Nähe angeordnete Mikrokanalplalte in einen Kaum mit einer geeigneten Gasatmosphäre gebracht werden und daß eine elektrische Spannung von mehreren Kilovolt /wischen den !lachen der v, Mii-r::!-.;:r· ilplattc angelegt wird, so daß durch den Aufprall von Gasionen, die aus den Kanälen austreten, an der Oberfläche des Substrats die beckcriförmigcn Ausnehmungen gebildet werden.

4. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekenn· Vi zeichnet, daß ein Substrat verwendet wird, das in einem bestimmten Spektralgebiel foloempfindlich ist. oder daß das Substrat vor der Bearbeitung mit einer fotoempfindlichen Substanz beschichtet wird, daß von der dem Substrat abgewandten Oberfläche v, der Mikrokanalplatte her zu den Kanälen paralleles Licht geeigneter spektraler Zusammensetzung eingestrahlt wird, daß dann das Substrat fotografisch entwickelt und die belichteten Subslratsicllen dem Einfluß eines chemischen Ätzmittels ausgesetzt wi werden.

5. Verfahren nach Anspruch 4. dadurch gekennzeichnet, daß das Substrat aus einem für Ultraviolettstrahlung empfindlichen Glas besieht und daß das eingestrahlte Licht Ultraviolettlicht isl. μ

b. Verfahren zur Herstellung einer elektronischen Bildverstärker· oder Bildwandlerröhre nach Anspruch I. dadurch gekennzeichnet, daß aus einem optischen Glasfaserbündel, dessen Fasern ein leicht ätzbares Kernglas aufweisen, zwei aufeinanderfolgende Teile geschnitten werden, daß an dem einen Teil zur Bildung der Fotokathode das Kernglas der Fasern leicht angeätzt und anschließend eine fotoempfindliche Schicht aufgebracht wird, daß am anderen Teil das Kernglas der Fasern zur Bildung der Mikrokanalplatte entfernt wird und daß beim Zusammenbau der Röhre die beiden Teile so ausgerichtet werden, daß der aus einer Faser des Faserbündels gebildete Kanal der Mikrokanalplatte und die aus derselben Faser gebildete Ausnehmung der Fotokathode einander gegenüberliegen.