DE2447280A1

DE2447280A1 - Wassergekuehltes, mit elektrischer hochspannung betriebenes geraet

Info

Publication number: DE2447280A1
Application number: DE19742447280
Authority: DE
Inventors: Auf Nichtnennung Antrag
Original assignee: Triplex Safety Glass Co
Current assignee: Pilkington Automotive Ltd
Priority date: 1973-10-11
Filing date: 1974-10-01
Publication date: 1975-04-17
Also published as: FR2247814B1; US3962530A; NL7413324A; SE7412362L; CA1030487A; JPS5078577A; ZA746246B; GB1478464A; FR2247814A1

Description

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W/Vh-3O7O

TRIPLEX SAFETY GLASS COMPANY LIMITED, 1 Albemarle Street,

Piccadilly, London W1X 4ET /England

Wassergekühltes, mit elektrischer Hochspannung betriebenes Gerät

Die Erfindung bezieht sich auf ein wassergekühltes, mit elektrischer Hochspannung betriebenes Gerät, bei dem mindestens ein Bauteil sowohl mit einer Hochspannungsquelle als auch mit einer Kuhlflussigkeitsquelle verbunden ist. Die Erfindung ist besonders, aber nicht ausschliesslich, für Vakuumaufsprühgeräte gedacht.

Bei derartigen Geräten kann während des Betriebes dadurch eine Schwierigkeit auftreten, dass ein elektrischer Durchschlag an den Hochspannungsleitern auftritt. Diese Gefahr ist besonders dann gegeben, wenn die Hochspannungsleiter während des Betriebes hohen Temperaturen und niedrigem Druck ausgesetzt sind.

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Dies ist bei reaktiven Kathodenzerstäübungsgeräten der Fall, wie sie beispielsweise in der DT-OS 2 204 652 beschrieben sind. Es wird dort ein Film aus einem Metalloxid auf die Oberfläche eines Substrats, beispielsweise einer Glasscheibe, aufgebracht. Das Gerät enthält einen Vakuumkessel, in dem ein Träger für ein Substrat vorgesehen ist, auf das der Film aus Metalloxid aufgesprüht werden soll. In dem Vakuumkessel ist in der Nähe des Substrats eine Kathodeneinheit vorgesehen, die aus einerReihe von parallel zueinander in Abstand voneinander liegenden Kathodenstreifen gebildet ist. Die Oberflächen der Kathodenstreifen, die dem Substrat gegenüberliegen, bestehen hierbei aus dem Metall, dessen Oxid aufgesprüht werden soll. Jeder Kathodenstreifen weist einen elektrostatischen Schirm auf, der ihn mit Ausnahme der der zu besprühenden Oberfläche gegenüberliegenden Fläche umgibt. Ferner sind in dem Vakuumkessel Strahlungsheizer vorgesehen, um das Substrat auf einer vorgegebenen erhöhten Temperatur während des Aufspieühvorganges zu halten.

Die Kathodenstreifen sind hohl, um sie mit Wasser kühlen zu können. Dem ersten Kathodenstreifen wird Wasser durch ein biegsames Zuleitungsrohr zugeführt, das durch die Wandung des Vakuumkessels hindurchgeführt ist. Die Kühlräume der einzelnen Kathodenstreifen sind durch weitere biegsame 'Rohre in Reihe geschaltet miteinander verbunden. Das Kühlwasser verlässt

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den letzten Kathodenstreifen durch ein biegsames Auslassrohr, das durch die Wand des Vakuumkessels nach aussen geführt ist. Bei einer abgewandelten Ausbildung, die besonders bei grösseren j Geräten in Betracht kommt, ist jeder Kathodenstreifen mit eigenen Zu- und Ableitungen für das Kühlwasser versehen. Die Kühlwasserleitungsrohre bestehen aus Kunststoff, beispielsweise Polytetrafluoräthylen oder Nylon und sind mit den Kathodenstreifen durch aus Messing bestehende Anschlußstücke verbunden. In dem Vakuumkessel wird eine Atmosphäre aus Sauerstoff und einem anderen Gas, beispielsweise Argon, unter Vakuum aufrechterhalten. Das Aufsprühen des Oxides des Kathodenmetalls auf die Oberfläche des Substrats wird durch das Aufdrücken einer hohen negativen Spannung an den Kathodenstreifen bewirkt. Die elektrische Verbindung zu den Kathodenstreifen wurde bisher durch koaxiale Hochspannungsleiter bewirkt. Jeder Hochspannungsleiter kann mit dem zugeordneten,Kathodenstreifen durch eine koaxiale Steckerverbindung verbunden werden. Der mittlere Leiter, der die hohe negative Spannung führt, ist mit dem zentralen Sockel des Anschlußstückes verbunden, in den ein Stift am Kathodenstreifen eingreift. Der äussere Leiter liegt an Masse und ist mit der Hülle des AnschlußStückes verbunden, die in den ungekühlten elektrostatischen Schirm des Kathodenstreifens eingeschraubt ist.

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Üblicherweise bereiten die Wasseranschlüsse an die Kathodenstreifen nur geringe Schwierigkeiten während des Betriebes, während dies bei den Anschlußstücken für die Hochspannungsleiter der Fall ist. Dies ist aus den folgenden drei Gründen der Fall.

1) Da das Substrat auf einer erhöhten Temperatur, beispielsweise von 300 bis 350 ⁰C,zu halten ist, wenn der Aufsprühvorgang erfolgt, werden alle Teile, die nicht wassergekühlt sind, heiss. Insbesondere ist dies für den elektrostatischen Schirm der Kathodenstreifen der Fall und da die Hochspanhungsleiter mit dem elektrostatischen Schirm verbunden sind, werden sie stark erhitzt. Bei den gegebenen hohen Temperaturen besteht die Qefahr, dass die Isolation zwischen dem an Masse liegenden Schirm und dem Hochspannungsleiter durchschlagen wird.

2) Da die elektrische Verbindung durch einen Steckkontakt erfolgt, ist die Verbindung bei den erhöhten Temperaturen nicht sehr zuverlässig und es besteht ferner die Gefahr der Oxidation, durch die die elektrische Verbindung weiterhin verschlechtert wird.

3) Der Druck in dem Vakuumkessel ist so eingestellt, dass ein Versprühen des Kathodenstreifens erfolgt. Hierdurch ist natürlich auch eine entsprechende Entladung zwischen Hochspannung führenden Teilen und naheliegenden an Masse liegenden Teilen

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raöglich. Es treten solche Entladungen also auch im Bereich der Hochspannungsanschlußstücke auf. Dem isolierenden Werkstoff wird damit leitfähiges Material zugeleitet, das ausserdem durch die Wärme karbonisieren kann.

AHß diese Faktoren können einen Durchschlag der Isolation der Hochspannungsleiter bewirken, indem die Isolation zunächst beschichtet, sodann karbonisiert wird und schliesslich elektrisch leitend wird, wonach das Karbonisieren noch beschleunigt wird, um den vollständigen Zusammenbruch zu bewirken. Die gleichen Schwierigkeiten können auch bei anderen wassergekühlten, mit elektrischer Hochspannung arbeitenden Geräten auftreten.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, diese Schwierigkeiten bei Geräten der eingangs erwähnten Art zu ^: überwinden.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäss dadurch gelöst, ; dass der die Hochspannung führende Leiter innerhalb eines | Kühlflüssigkeitszuleitungsrohres aus elektrisch isoliertem Werkstoff angeordnet ist.

Vorzugsweise ist · der Querschnitt des elektrischen Leiters wesentlich kleiner als der lichte Querschnitt des \ Kühlflüssigkeitszuleitungsrohres, um den Kühlmittelstrom nicht i ungebührlich zu drosseln.

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Der die Hochspannung führende Leiter kann als Metalldraht oder als Metallitze ausgebildet lose in dem Kühlflüssigkeitszuleitungsrohr liegen. Hierbei kann der elektrische

Leiter nackt oder mit einer Isolation versehen sein. j

In abgewandelter Weise kann der die Hochspannung führende Leiter ein Metallrohr sein, das abgedichtet in einer elektrisch isolierenden Schicht des Kühlflüssigkeitszuleitungsrohres sitzt.

Bei einer bevorzugten Ausführungsform der Erfindung ist vorgesehen, dass das eine Ende des Kühlflüssigkeitszuleitungsrohres mit dem Bauteil durch ein metallisches Anschlußstück verbunden ist und der Leiter über den elektrisch j

isolierenden Teil des Kühlflüssigkeitszuleitungsrohres ragt ^; und mit einem metallischen Teil des Anschlußstückes verbunden ist. Bei Verwendung eines Leiters aus Draht oder Litze ist in weiterer Ausgestaltung der Erfindung vorgesehen, dass das ■ Anschlußstück eine metallische Dichtung enthält, die das eine ; Ende des Kühlflüssigkeitszuleitungsrohres aufnimmt und zwischen ·,

i Spannflächen an einem Schaft des Anschlußstückes und an einer auf den Schaft aufgeschraubfen Überwurfmutter festgespannt ist, und mit der Dichtung der die Hochspannung führende Leiter verbunden ist.

In abgewandelter Weise kann bei Verwendung eines elektrischen Leiters in Form eines Metallrohres das Anschlußstück einen metallischen konvex gewölbten, beispielsweise teil-

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kugelförmigen Ring enthalten, der zwischen Spannflächen an
einem Schaft des Anschlußstückes und an einer auf den Schaft
aufgeschraubten Überwurfmutter festgespannt ist und abgedichtet ; gegen den rohrförmigen, die Hochspannung führenden Leiter
ausserhalb des Bereiches der elektrischen Isolierung des Kühl- j flüssigkeltszuleitungsrohres anliegt. Hierbei ist es vor- ' teilhaft, wenn eine Schicht des Kühlfüssigkeitszuleitungs- | rohres aus elektrisch isolierendem Werkstoff abgedichtet in j eine ringförmige Aussparung der Überwurfmutter unter Zwischen- \ schaltung einer O-Ringdichtung eingreift.

Bei einer weiteren Ausführungsform der Erfindung
ist vorgesehen, dass das dem Bauteil des Geräts abgewandte Ende
des Kühlflüssigkeitszuleitungsrohres mit dem einen Ende eines
zweistutzigen Anschlußstückes verbunden ist, an dessen anderem
Ende eine Zuleitung von einer KühlflUssigkeitshauptleitung
angeschlossen ist, und dass der die Hochspannung führende
Leiter ausserhalb des elektrisch isolierenden Teils der mit dem Bauteil verbundenen Kühlflüssigkeitszuleitung mit dem metallischen Teil des AnschlußStückes verbunden ist, das seinerseits
mit der Hochspannungsquelle verbunden ist.

In den Zeichnungen sind Ausführungsformen der
Erfindung dargestellt. In den Zeichnungen zeigen

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ί Pig. 1 eine perspektivische Teilansicht eines reak-|

tiven Kathodenzerstäubungsgeräts,

Fig. 2 einen Teilschnitt durch einen Kathodenstrei4 fen des Geräts nach Fig. 1,

Fig. 3 eine zum Teil geschnittene Seitenansicht'

eines Anschlusses an Hauptversoigingsquellen,i Fig. 4 einen Teilschnitt einer Verbindung zweier :

benachbarter Kathodenstreifen, '·.

ι Fig. 5 einen Teilschnitt durch eine abgewandelte '

Ausführungsform der Anschlüsse für Hochspannung und Kühlwasser und ; Fig. 6 einen Teilschnitt durch eine weitere abgewandelte Ausführungsform der Anschlüsse für Hochspannung und Kühlwasser.

In Fig. 1 ist ein reaktives Kathodenzerstäubungsgerät dargestellt, das einen zylindrischen Vakuumkessel 40 ; aufweist, der durch nicht dargestellte vakuumdichte Deckel verschliessbar ist. Eine in dem Vakuumkessel untergebrahhte Kathodeneinheit 27 besteht aus mehreren parallel zueinander in Abstand voneinander liegenden Streifen 271, deren obere Flächen aus einer Indium-Zinnlegierung bestehen. Jedem Streifen 271 ist ein an Masse liegender elektrostatischer Schirm 28 zugeordnet. In der Fig. 3 sind nur drei Kathodenstreifen 271

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' dargestellt; in der Praxis richtet sich die Anzahl der Streifen nach der Länge des zu behandelnden Substrates. Die Elektrodeneinheit führt eine hin- und hergehende Bewegung aus, wobei der Hub und die Abstände der Mittellinien der Elektrodenstreifen so gewählt sind, dass bei dieser Bewegung die gesamte Oberfläche des Substrats bestrichen und damit gleichmässig besprüht wird. Die Kathodenstreifen 271 sind auf zwei Rollen gelagert, die auf horizontalen Führungsschienen 42 an einander gegenüberliegenden Seiten des Vakuumkessels 40 abgestützt sind. Die Kathodenstreifen 271 sind miteinander durch einstellbare Lenker 43 verbunden, durch die sie parallel geführt in ein-

; stellbarem Abstand voneinander gehalten werden und längs der Führungsschienen senkrecht zu ihrer Längenausdehnung bewegt werden.

An den Stirnseiten des Vakuumkessels 40 sind auf querliegenden Wellen 47 sitzende Seilscheiben 46 vorgesehen, über die Zugseile 48 laufen, um die Bewegung der Kathodenstreifen zu bewirken. Hierzu ist eine der Wellen 47 abgedichtet nach aussen geführt und über ein Getriebe 49, das das Einstellen· des Hubes gestattet, mit einem Elektromotor 50 verbunden.

Jeder Kathodenstreifen 271 ist hohl ausgebildet, um mit Kühlwasser gekühlt zu werden. Dem ersten Kathodenstreifeii

! 271 wird Kühlwasser durch ein biegsames Einlassrohr 52 zuge-

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-ιοί leitet, das durch die Wandung des Vakuumkessels 40 hindurch- ; geführt ist und an der Unterseite nahe dem stirnseitigen Ende ; des ersten KATHODENstreifens 271 befestigt ist (Fig. 2 oder 5).

Ein biegsames Rohr 51 verbindet das andere Ende des ersten

■ Kathodenstreifens 271 mit dem benachbarten Ende des danebenliegenden Kathodenstreifens 271. Ein gleiches biegsames Rohr 51 verbindet dessen anderes Ende wiederum mit dem benacnarten Ende des nächsten Kathodenstreifens 271. Von dem letzten Kathodenstreifen 271 führt ein Auslassrohr 511 durch die Wand des Vakuumkessels 40 nach aussen. Die einzelnen Kathodenstreifen werden also vom Kühlwasser der Reihe nach durchströmt. ,

Oberhalb der horizontalen Führungsschienen 42 j sind zwei horizontale Tragschienen 53 vorgesehen, die an einander gegenüberliegenden Seitsn des Vakuumkessels 40 befestigt sind und ein Substrat 31 tragen, das mit einem elektrisch leitenden durchsichtigen Film versehen werden soll.

Oberhalb des Substrats 31 ist ein Strahlungsheizer 54 vorgesehen, der durch Niederspannungsleiter 55 und Anschluss-· leisten 56 Strom von einer Nierspannungsquelle 57 erhält. Der Strahlungsheizer 54 erstreckt sich über die gesamte Fläche des Substrates 31.

An der oberen Fläche des Substrats 31 1st ein Thermoelement 53 vorgesehen und über Leiter 59 mit einem Anzeigegerät 60 verbunden, um die Temperatur des Substrats anzuzeigen.

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Eine nicht dargestellte Vakuumpumpe ist mit j dem Innenraum des Vakuumkessels 40 über eine Absaugleitung 61 j verbunden. Ferner ist eine Gaszuleitung 62 für eine ausge-

wählte Atmosphäre über einen Strömungsmesser 63 und ein Nadel- j

ventil 64 an eine Einlassöffnung 65 des Vakuumkessels 40 ange- ; schlossen. Die Einlassöffnung 65 liegt an dem gegenüberliegenden¹ Ende des Vakuumkessels 40, so dass ein Gasstrom von der Einlass-! öffnung zur Absaugöffnung fliesst, der durch den Arbeitsraum

zwischen der Kathodeneinheit und dem Substrat strömt. Hierdurch ;

wird das Aufrechterhalten einer gleichmässigen Sauerstoff- j

i konzentration im Arbeitsraum unterstützt.

Wie Fig. 2 zeigt, ist das nachgiebige Wasserzuleitungsrohr 52, das aus elektrisch isolierendem Werkstoff,
beispielsweise Polytetrafluoräthylen oder Nylon, besteht,
mit dem ersten Kathodenstreifen 271 durch ein Anschlußstück 66
aus Messing verbunden. Dieses besteht aus einem rohrförmigen
Schaft 67 mit einem stirnseitigen Bund 68, der mit der Bodenplatte 70 des Kathodenstreifens 271 ausgerichtet zu einer Öffnung 69 verschweisst ist. Eine in dem Anschlußstück 66 sitzende
Dichtung 71 aus Messing hat eine konische Fläche 72, die gegen
eine konische Sitzfläche 73 in der Bohrung des Schaftes 67
anliegt. Das Ende des Kühlwasserzuleitungsrohres 52 greift in
eine koaxiale ringförmige Aussparung 74 der Dichtung 71, die

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durch eine Überwurfmutter 75 festgehalten ist, die auf den Schaft 67 aufgeschraubt ist. Die Überwurfmutter 75 hat innen eine konische Fläche 76, die gegen eine äussere konische Fläche 77 an der Dichtung 71 anliegt, so dass das Ende des Kühlwasserzuleitungsrohres 52 in der ringförmigen Aussparung 74 der Dichtung 71 festgespannt ist.

Eine Kappe 66a aus Polytetrafluoräthylto übergreift das Anschlußstück 66 und bildet eine Dichtung zwischen dem elektrostatischen Schirm 28 und dem Kühlwasserzuleitungsrohr Die Kappe 66a verhindert ein Aufsprühen von Werkstoff des Anschlußstückes 66 in die Arbeitsatmosphäre des Geräts.

Ein Hochspannungsleiter in Form einer Litze aus Kupferdraht 78 ist durch das Kühlwasserzuleitungsrohr 52 geführt und sein Ende ist mit dem innenliegenden Ende der Dichtung 71 verlötet.

Wie Fig. 3 zeigt, tritt das Kühlwasserzuleitungsrohr 52 durch eine Dichtung 79 aus Polytetrafluoräthylen, die in der Wandung des Vakuumkessels 40 gehalten ist und tritt dann in einen Anschlusskasten 80 durch eine Büchse 81, die in der einen Fläche des Kastens festgelegt ist. Innerhalb des AnschlusJ3 kastens 80 sitzt auf dem Ende des Kühlwasserzuleitungsrohres 52 ein Nippel 82, der dem Anschlußstück 66 gemäss Fig. 2 ähnlich ist, aber zweistutzig ausgebildet ist. Ein ebenfalls aus POLY-tetrafluoräthylen oder Nylon bestehendes Wasserrohr 83 führt

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von einer Hauptwasserleitung durch eine andere Büchse 84 in ; einer anderen Fläche des Anschlusskastens 80 in diesen und ist i

mit dem zweiten Stutzen des Nippels 82 verbunden.

Der durch das Kühlwasserzuleitungsrohr 52 geführte elektrische Leiter 78 ist mit einer Dichtung 85 aus Messing
verlötet, die das Ende des Kühlwasserzuleitungsrohres 52
am Nippel 82 abdichtet, wobei diese Dichtung 85 nicht wie
die Dichtung 71 im Anschlußstück 66 ausgebildet ist.

Ein biegsamer Hochspannungsleiter 44 führt von

der negativen Klemme einer Hochspannungsquelle 45 zum Anschluss, kasten 80. Er ist als koaxiales Kabel ausgebildet, wobei der
äussere Leiter an Masse liegt und durch die äussere Hülle

eines koaxialen Verbinders 86 verbunden ist. Der zentrale ι

j Leiter ist mit dem Körper des Nippels 82 durch die Stifte I des Verbinders 86 und einen Kupferdraht 88 verbunden, der mit j dem Körper 87 des Nippels 82 verlötet ist.

Fig. 6 zeigt eine abgewandelte Ausführungsform
der Dichtung 79 aus Polytetrafluoräthylen, um den Hochspannungsleiter 78 durch die Wandung des Vakuumkessels 40 hindurchzuführen. In diesem Falle sind zwei Anschlußstücke 66 aus Messing beiderseits einer Öffnung in der Wandung des Vakuumkessels 40
angeschweisst. Der von dem Anschlußkasten 80 kommende Teil
des Kühlwasserzuleitungsrohres 52 ist mit dem Anschlußstück 66

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an der Aussenseite des Vakuumkessels 40 verbunden, während der innerhalb des Vakuumkessels 40 liegende Teil des Kühlwasserzuleitungsrohres von dem Armchlußstück 66 auf der Innenseite des Vakuumkessels 40 abgeht. Der durch das KühlwasserzuleitungSfrohr 52 geführte Hochspannungsleiter 78 ist von einer Hülle aus Kunststoff umgeben, durch die er von den Anschlußstücken 66 I und der Wandung des Vakuumkessels 40 isoliert ist. Kappen 66a sind, wie bei der Ausführungsform gemäss Fig. 2, vorgesehen. Gegebenenfalls kann der Anschlusskasten 80 gemäss Fig. 3 durch einen nicht dargestellten Kasten ersetzt werden, der an einer Seite offen ist, mit der er an der Aussenseite des Vakuumkessels!

40 befestigt ist, um das äussere Anschluß-Stück 66 gemäss Fig. 6 zu umschliessen, an das der Hochspannungsleiter 88 angelötet wird.

Die Rohre 51, die benachbarte Kathodenstreifen 271 der Kathodeneinheit miteinander verbinden, bestehen ebenfalls aus Polytetrafluoräthylen oder Nylon. Wie Fig. 4 zeigt, sind die beiden Enden dieser Rohre 51 mit den zugeordneten Kathodenstreifen 271 über Anschlußstücke 66 verbunden, die denen gemäss Fig. 2 gleich ausgebildet sind. Ein elektrischer Leiter 78, der sich innerhalb des Rohres 51 befindet, ist mit seinen Enden über Dichtungen 71 mit den beiden Anschlußstücken 66 verbunden. Hierdurch sind die einzelnen Kathodenstreifen in Reihe geschaltet an die Hochspannungsquelle angeschlossen.

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Nachdem das Substrat 31 auf den Tragschienen 53 j

aufruht und die Deckel des Vakuumkessels 40 abgedichtet verschlossen sind, wird dieser über die Absaugverbindung 61 evakuiert und über die Einlassöffnung 65 die ausgewählte Sprühatmosphäre zugeleitet, während das Substrat auf die vorgegebene Temperatur durch den Strahlungsheizer 54 erhitzt wird. Die Kathodeneinheit 27 führt längs der Führungsschienen 42 durch den Elektromotor 50 angetrieben eine hin- und hergehende Bewegung aus und die dem Kathodenstreifen 271 zugeführte hohe negative Spannung von der Hochspannungsquelle 45 bewirkt den AufspxrUhvorgang. Der Vakuumkessel 40 wie auch die Führungsund Tragschienen und auch die elektrostatischen Schirme 28 liegen an Masse. Ein Film -von Indium-Zinnoxid wird auf die untere Fläche des Substrats 31 aufgesprüht. Die Heizwirkung des Plasmas im Arbeitsraum auf das Substrat ist genügend gross, dass der Heizstrom der Niederspannungsquelle verringert werden kann, um die Temperatur des Substrats mit einer Genauigkeit von - 1O⁰C einzuhalten. Eine nicht dargestellte automatische Steuerung der Temperatur kann vorgesehen sein.

Da die benachbarten Kathodenstreifen 271 durch die Lenker 43 verbunden sind, bewegen sie sich gemeinsam, so dass eine übertrieben grosse Nachgiebigkeit der Rohre 51, die die einzelnen Kathodenstreifen miteinander verbinden, nicht erforderlich ist. Bei Geräten dieser Art, bei denen die

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einzelnen Bauteile keine Relativbewegungen zur Umgebung ausführen oder nur geringe, können die Wasserzuleitungsrohre und die elektrischen Leiter auch starr ausgebildet sein bzw. nur eine geringe Nachgiebigkeit aufweisen. In solchen Fällen ist eine Ausbildung gemäss Fig. 5 verwendbar.

Gemäss Fig. 5 sind die benachbarte: Kathodenstreifen 271 miteinander verbindenden Rohre 51 als Kupferrohre 89 ausgebildet, die also eine innere elektrisch leitende Schicht aufweisen, die durch eine elektrisch isolierende Hülle 90 aus Polyvinylchlorid umschlossen ist. Die Enden der Rohre 51 sind mit den zugeordneten Kathodenstreifen 271 durch doppelt dichtende Metallanschlußstücke 91 verbunden. Jedes Anschlußstück 91 besteht aus einem rohrförmigen Schaft 92 mit einem stirnseitigen Bund 93, der mit der Unterseite des zugeordneten Kathodenstreifens 271 verschweisst ist. Eine doppelt wirkende Überwurfmutter 94 ist auf den Zapfen 92 aufgeschraubt. Am Ende des Rohres 51 ist die elektrische Isolierung 90 abgeschnitten und ein Kupplungsring 95 aus Kupfer, der konvexe, beispielsweise teilkugelförmige Gestalt hat, wird zwischen einer inneren teilkugelförmigen Fläche 96 der Überwurfmutter 94 und einer teilkugelförmigen Sitzfläche 97 in der Bohrung des Schaftes 92 festgeklemmt, so dass der Kupplungsring 95 gegen das nackte Ende des Kupferrohres 89 abdichtend anliegt. Ein O-Ring 98 aus

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Gummi, der in einer Ringnut 99 in der Bohrung der Überwurfmutter 9k sitzt, unterstützt die Abdichtung zwischen der Hülle 90 und dem Rohr 51. Die elektrische Verbindung erfolgt hier also durch die Kupferrohre 89, die Teile der Rohre 51 sind.

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Claims

Patentansprüche

( 1 .J Wassergekühltes, mit elektrischer Hochspannung betriebenes Gerät, bei dem mindestens ein Bauteil sowohl mit einer Hochspannungsquelle als auch mit einer KUhIflüssigkeitsquelle verbunden ist, dadurch gekennzeichnet, dass der die Hochspannung führende Leiter innerhalb eines Kühlflüssigkeitszuleitungsrohres aus elektrisch isolierendem Werkstoff angeordnet ist.
2. Gerät nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der Querschnitt des die Hochspannung führenden Leiters wesentlich geringer als der lichte Querschnitt des Kühlflüssigkeitszuleitungsrohres ist.
3. Gerät nach Anspruch 1 oder 2, dadurch

gekennzeichnet, dass der die Hochspannung führende Leiter als Metalldraht oder als Metallitze ausgebildet lose in dem Kühlflüssigkeitszuleitungsrohr liegt.
4. Gerät nach Anspruch 1 oder 2, dadurch

gekennzeichnet, dass der die Hochspannung führende Leiter ein Metallrohr ist, das abgedichtet in einer elektrisch isolierenden Schicht des Kühlflüssigkeitszuleitungsrohres sitzt.

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5. Gerät nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass das eine Ende des Kühlflüssigkeitszuleitungsrohres mit dem Bauteil durch ein metallisches Anschluss stück verbunden ist und der Leiter über den elektrisch isolierenden Teil des Kühlflüssigkeitszuleitungsrohres ragt und mit einem metallischen Teil des Anschlußstückes verbunden ist
6. Gerät nach Anspruch 3 und 5, dadurch gekennzeichnet, dass das Anschlußstück eine metallische Dichtung enthält, die das eine Ende des KühlflUssigkeitszuleitungsrohres aufnimmt und zwischen Spannflächen an einem Schaft des Anschlußstückes und an einer auf den Schaft aufschraubbaren Überwurfmutter festgespannt ist, und mit der Dichtung der die Hochspannung führende Leiter verbunden ist.
7. Gerät nach Anspruch 4 und 5, dadurch gekennzeichnet, dass das Anschlußstück einen metallischen konvex gewölbten, beispielsweise teilkugelförmigen Ring enthält, der zwischen Spannflächen an einem Schaft des Anschlußstückes und an einer auf den Schaft aufgeschraubten Überwurfmutter festgespannt ist und abgedichtet gegen den rohrförmigen, die Hochspannung führenden Leiter ausserhalb des Bereiches der elektrischen Isolierung des Kühlflüssigkeitszuleitungsrohres anliegt.

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8. Gerät nach Anspruch 7, dadurch gekenn- ''

zeichnet, dass eine Schicht des KühlflUssigkeitszuleitungs- ; rohres aus elektrisch isolierendem Werkstoff abgedichtet in I eine ringförmige Aussparung der Überwurfmutter unter Zwischen- j schaltung einer O-Ringdichtung eingreift. I
9. Gerät nach einem der Ansprüche 5 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass das dem Bauteil des Geräts abgewandte Ende des Kühlflüssigkeitszuleitungsrohres mit dem einen Ende eines zweistutzigen Anschlußstuckes verbunden ist, an dessen anderem Ende eine Zuleitung von einer Kühlflüssigkeitshauptleitung angeschlossen ist, und dass der die Hochspannung führende Leiter ausserhalb des elektrisch isolierenden Teils dec mit dem Bauteil verbundenen Kühlflüssigkeitszuleitungsrohres mit dem metallischen Teil des Anschlussstückes verbunden ist, das seinerseits mit der Hochspannungsquelle verbunden ist.

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