DE2352025A1 - Vakuumdichte metall-keramik-loetverbindung - Google Patents
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Vakuumdichte .Metall-Ker.amik-Löt verbindung
Die vorliegende Erfindung betrifft eine vakuumdichte Metall-Keramik-Lötverbindung,
sowie ein Verfahren zu deren Herstellung.
Bei der Herstellung vakuumdichter Metall-Keramik-Lötverbindungen wird üblicherweise die zu verlötende Oberfläche
des Keramikteiles mit einer geeigneten, vorzugsweise eingebrannten Metallisierung, versehen, auf welche das Metallteil
mittels Weich- oder Hartlot aufgelötet werden kann. Hartlote werden beispielsweise überall dort zur Anwendung
kommen müssen, wo von der Verbindung eine hohe mechanische Festigkeit und thermische Belastbarkeit gefordert wird.
Bedingt durch die Tatsache, dass beispielsweise die verwendeten Metalle einen zur Keramik stark verschiedenen
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Ausdehnungskoeffizienten aufweisen, ergeben sich bei dieser Verbindung Probleme, insbesondere hohe Wärmespannungen,
die aus der Temperaturdifferenz zwischen Löttemperatur und einer bei Zimmertemperatur liegenden Anwendungstemperatur
resultieren und zum Bruch der Lötstelle führen können.
Diese Probleme wurden bislang dadurch gelöst, dass Materialien mit möglichst gleichen Ausdehnungskoeffizienten für
die zu verlötenden Metallpartner und der damit in Verbindung stehenden Keramikstelle gewählt wurden, sowie durch
geeignete konstruktive Auslegungen der einzelnen Verbindungsstellen.
Weiterhin wurden Metall-Legierungen mit angepasstem Ausdehnungskoeffizient
verwendet, sowie eine konstruktive Auslegung der Lotspalte, welche naturgemäss nur einen möglichst
kleinen Durchmesser aufweisen durften. Neben einer zufriedenstellenden Benetzung der gesamten Lotstelle mit dem Lot
durch Kapillarwirkung bewirken diese Massnahmen eine geringe mechanische Beanspruchung beim Auftreten von thermischen
Ausdehnungen aufgrund der höheren Ausdehnungskoeffizienten des Hartlotes.
Es ist Aufgabe der Erfindung, eine vakuumdichte Metall-Keramik-Lötverbindung
zu schaffen, bei welcher eine metallische
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Durchführung mit möglichst rechteckigem Querschnitt mit
einer Keramikplatte verlötet werden soll und wobei das Material der Durchführung, vorzugsweise ein Federmaterial,
durch höhere Temperaturen nicht verändert werden darf, da dann seine Eigenschaften irreversibel verändert würden.
Gleichzeitig darf aber aus Festigkeitsgründen kein tiefschmelzendes Weichlot verwendet werden. Da die Durchführung
in einer, zentrisch in einer Keramikplatte angeordneten Oeffnung mit dieser Platte verlötet werden soll,
wobei die Lötung vakuumdicht sein muss, ist es erforderlich, eine vom'Bekannten abweichende Anordnung zu schaffen
und ein neues Verfahren zur Herstellung derselben zu entwickeln.
Die vorgenannte Aufgabe wird dadurch gelöst, dass in einer
keramischen DurchführungsÖffnung mit metallisierten Innenwänden
zur Fixierung einer elektrischen und mechanischen Durchführung ein aus einem Metallpulver gebildeter, lötbarer
und eine Oeffnung aufweisender Stopfen angeordnet ist.
Der Vorteil der Erfindung besteht insbesondere darin, dass
der lötbare Stopfen aus einem Material besteht, dessen thermischer Ausdehnungskoeffizient so gewählt wird, dass
der Gesamtausdehnungskoeffizient des Stopfens mit dem Lot dem der Keramik in etwa gleich ist. Gleichzeitig kann für
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den Stopfen ein Material gewählt werden, welches vom zu verwendeten Lot benetzbar ist, oder durch eine entsprechende
Behandlung, beispielsweise Metallisierung, benetzbar gemacht wird. Dazu wird als Keramikmasse ein Material verwendet,
welches beispielsweise aus reinem Aluminiumoxyd, Magnesiumoxyd, Berylliumoxyd oder Zirkonoxyd, oder auch
aus Legierungen der genannten Reinoxydkeramiken, bzw. aus einer Silikatkeramik besteht. Für den Stopfen verwendet
man ein oberflächlich besser benetzbares, veredeltes Metallpulver, oder ein metallisiertes Keramikpulver, bei
welchem als Metalle verwendet werden können Wolfram, Molybdän, Tantal, Chrom, sowie Legierungen aus Nickel-Eisen,
Nickel-Chrom-Eisen, Nickel-Kobalt-Eisen und Molybdän-Kobalt-Eisen. Die Korngrössen dieser für den Stopfen verwendeten
Pulver können zwischen 10 /u und 100 Ai liegen.
Eine Oberflächenveredelung kann mittels galvanischer Auftragung von Gold, Silber, Nickel oder Kupfer in sehr kleiner
Schichtdicke erfolgen.
Gemäss einer weiteren Ausbildung der Erfindung kann der
lötbare Stopfen aus einem veredelten Keramikpulver bestehen.
Dabei können.ebenfalls die vorgenannten Materialien verwendet
werden, wodurch sich der Vorteil ergibt, dass
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entsprechend dem Material der keramischen Durchführungsöffnung
das entsprechende Pulver, bzw. die PulVermischung
für den die Oeffnung ausfüllenden Stopfen gewählt werden
kann.
Gemäss einer weiteren Ausgestaltungsform der Erfindung ist
über dem lötbaren Stopfen ein als Lot dienendes Lotplättchen angeordnet j oder der Stopfen besteht aus einer Mischung
aus Lotpulver und Keramikpulvers bzw. veredeltem Metallpulver»
Die zur Anwendung kommenden Lotplättchen bestehen aus einer
niedrig schmelzenden Silberlegierung, oder aus Legierungen aus Cadmium-Zinkj wobei die Schmelzpunkte entsprechend der Lotwahl zwischen 300 und 700° C liegen..
Die Verwendung von Mischungen aus Lotpulver und Keramikpulver j bzw. aus Lotpulver und veredeltem Metallpulver
für den Stopfen werden überall dort vorteilhafterweise angewendet werden, wo die Löttemperatur auf keinen Fall
so hoch sein darf, dass die beispielsweise federnden Eigenschaften des Durchführungsmaterials verloren gehen
dürfen. .
Das Verfahren zur Herstellung einer vakuumdichten
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Metall-Keramik-Lötverbindung ist weiterhin durch folgende Verfahrensschritte gekennzeichnet:
a) Die Innenwände der keramischen Durchführungsöffnung werden durch Sintern metallisiert,
b) in die Durchführungsöffnung wird der für die Durchführung mit einer Oeffnung versehene, aus einem Metallpulver
oder veredelten Keramikpulver bestehende,
lötbare Stopfen eingesetzt,
c) die Durchführung wird in die im Stopfen vorgesehene Oeffnung eingeführt»
d) der Stopfen wird mit einem Lotplättchen abgedeckt,
und
und
e) die vorbehandelte Durchführungsöffnung wird auf Fliesstemperatur
des Lotes erwärmt.
Gemäss einer weiteren Ausbildung kann anstelle der Abdeckung
des Stopfens mit einem Lotplättchen als Lot ein Lotpulver verwendet werden, welches dem Material des
Stopfens beigemischt wird.
Stopfens beigemischt wird.
In der Zeichnung ist ein Ausführungsbeispiels des Erfindungsgegenstandes
schematisch dargestellt.
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Es zeigt;
Figo 1 einen Querschnitt durch eine Keramikplatte mit Durchführungsoffnung und Durchführung9 sowie
eine Draufsicht dieser Anordnung,
Fig. 2 einen Querschnitt durch dieselbe Keramikplatte mit eingebrachtem Stopfen und aufgelegtem Lotplättchen,
und eine Draufsicht derselben,
Fig. 3 eine fertig verlötete vakuumdichte Lötverbindung,
Gemäss Fig. 1 ist mit 1 eine Keramikplatte bezeichnet, in
welcher eine Durchführungsoffnung 2 angeordnet ist, deren Innenwände 3 mit einer Metallisierungsschicht ^ versehen
sind. In der Durchführungsöffnung 2 ist eine Durchführung
5 mit beispielsweise rechteckigem Querschnitt angebracht.
In der Fig. 2 ist wiederum die Keramikplatte 1 mit der Durchführungsöffnung 2 dargestellt, wobei in die Durchführungsoffnung
2 ein Stopfen 6, welcher aus einem veredeltem Keramikpulver oder einem Metallpulver besteht,
eingesetzt ist und welcher die Durchführung 5 eng umschliesst. Die Oberfläche des Stopfens 6 ist durch ein
Lotplättchen 7 abgedeckt.
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Die Fig. 3 zeigt die fertig verlötete, vakuumdichte Lötverbindung
, wobei der Stopfen 6 aus einer Mischung eines Keramikpulvers mit Lotpulver, oder einer Mischung aus
veredeltem Metallpulver und Lotpulver besteht, so dass das Auflegen eines Lotplättchens 7 vor der Wärmebehandlung
nicht erforderlich wird. Sowohl an der Metallisierungsschicht 4s als auch an der Durchführung 5 haben sich
durch die Wärmebehandlung Lotkehlen 8 gebildet.
Das Verfahren zur Herstellung einer vakuumdichten Metall-Keramik-Lötverbindung
sei anhand der Figuren 1 bis 3 näher erläutert:
Die Innenwände 3 der in der Keramikplatte 1 angeordneten Durchführungsöffnung 2 werden in bekannter Weise, beispielsweise
durch Sintern, metallisiert, so dass sich eine die Innenoberfläche der Durchführungsöffnung vollständig
überdeckende Metallisierungsschicht 4 bildet, welche sich
mit dem Lot verbinden kann. In die Durchführungsöffnung 2 wird der für die Aufnahme der elektrischen und mechanischen
Durchführung 5 mit einer Oeffnung versehene Stopfen 6 eingesetzt, welcher aus einem Metallpulver, einem veredelten
Keramikpulver, einer Mischung aus Lotpulver mit veredeltem Metallpulver, oder einer Mischung aus Lotpulver mit einem
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es Q α
Keramikpulver besteht. Die Durchführung 5 wird in die vorgesehene
Oeffnung des Stopfens 6 eingesetzt und, falls der Stopfen 6 nicht aus einer Mischung aus Lotpulver mit Metalloder
Keramikpulver besteht, wird dieser mit einem Lotplättchen
7 abgedeckt. Nunmehr wird die so vorbehandelte Durchführungsöffnung auf Fliesstemperatur des Lotes erwärmt9 wobei
sich das Material des Stopfens 6 mit dem Material des Lotplättchens 7 verbindet und gleichzeitig die Durchführung
5 sowie die Innenwände der Metallisierungsschicht k fest mit dem Stopfen 6 verlötet werden, so dass eine vakuumdichte
Verbindung entsteht8 welche auch mechanischen Beanspruchungen standhält.
Bei der Verwendung von Mischungen aus Lotpulver und veredeltem
Metallpulver, bzw» Lotpulver und Keramikpulver für den Stopfen 6 braucht kein besonderes Lotplättchen 7 vor
der Wärmebehandlung auf den Stopfen 6 aufgelegt werden, da diese Materialien unter Wärmeeinwirkung eine innige Verbindung
sowohl mit der Durchführung 5, als auch mit der
Metallisierungsschicht H eingehen, und somit eine einwandfreie Lötstelle gewährleistet ist.
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Claims (7)
1. Vakuumdichte Metall-Keramik-Lötverbindung, dadurch gekennzeichnet
j dass in einer keramischen Durchfuhrungsöffnung
(2) mit metallisierten Innenwänden (U) zur Fixierung einer elektrischen und mechanischen Durchführung
(5) ein aus einem Metallpulver gebildeter, lötbarer und eine Oeffnung aufweisender Stopfen (6) angeordnet ist.
2. Vakuumdichte Lötverbindung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
dass der lötbare Stopfen (6) aus einem veredelten Keramikpulver besteht.
3. Vakuumdichte Lötverbindung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
dass über dem Stopfen (6) ein als Lot dienendes Lotplättchen (7) angeordnet ist.
. Vakuumdichte Lötverbindung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
dass der Stopfen (6) aus einer Mischung aus Lotpulver und Keramikpulver besteht.
5. Vakuumdichte Lötverbindung nach Anspruch 1, dadurch ge-
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kennzeichnetj dass der Stopfen (6) aus einer Mischung aus
Lotpulver und veredeltem Metallpulver besteht.
6. Verfahren zur Herstellung einer vakuumdiehten Metall-Keramik- Lötverbindung nach Anspruch ls gekennzeichnet durch
folgende Verfahrensschritte:
a) Die Innenwände (3) der keramischen Durchführungsöffnung
(2) werden durch Sintern metallisiert9
b) in die DurchführungsÖffnung (2) wird der für die Durchführung
(5) mit einer Oeffnung versehene, aus einem Metallpulver
oder veredelten Keramikpulver bestehende, lötbare Stopfen (6) eingesetzt,
• c) die Durchführung (5) wird in die im Stopfen (6) vorgesehene
Oeffnung eingeführt,
d) der Stopfen (6) wird mit einem Lotplättchen (7) abgedeckt,
und
e) die vorbehandelte Durchführungsöffnung (2) wird auf Fliesstemperatur des Lotes erwärmt.
7. Verfahren nach Anspruch 69 dadurch gekennzeichnet, dass
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als Lot ein Lotpulver verwendet wird, welches dem Material des Stopfens (6) beigemischt wird.
BBC Aktiengesellschaft Brown, Boveri & Cie.
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Families Citing this family (30)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4352714A (en) * | 1980-09-29 | 1982-10-05 | Union Carbide Corporation | Method for making a metal-to-ceramic insulator seal for electrochemical cells |
JPS62217536A (ja) * | 1986-03-19 | 1987-09-25 | Hitachi Ltd | マグネトロン陰極構体 |
US5173354A (en) * | 1990-12-13 | 1992-12-22 | Cornell Research Foundation, Inc. | Non-beading, thin-film, metal-coated ceramic substrate |
US5308925A (en) * | 1992-06-26 | 1994-05-03 | Emerson Electric Co. | Conductive pin assembly for a machine housing |
DE69619898T2 (de) * | 1995-07-14 | 2002-11-07 | Ngk Insulators, Ltd. | Verfahren zum Verbinden von Keramik |
US6111198A (en) * | 1998-06-15 | 2000-08-29 | Olin Aegis | Duplex feedthrough and method therefor |
JP3792440B2 (ja) * | 1999-06-25 | 2006-07-05 | 日本碍子株式会社 | 異種部材の接合方法、および同接合方法により接合された複合部材 |
US6844502B2 (en) * | 2002-05-16 | 2005-01-18 | Emerson Electric Co. | Hermetically sealed current conducting terminal assembly |
US20070251938A1 (en) * | 2006-04-26 | 2007-11-01 | Watlow Electric Manufacturing Company | Ceramic heater and method of securing a thermocouple thereto |
DE102011009859B4 (de) | 2011-01-31 | 2012-09-20 | Heraeus Precious Metals Gmbh & Co. Kg | Keramikdurchführung mit Filter |
DE102011009856B8 (de) | 2011-01-31 | 2012-12-27 | W.C. Heraeus Gmbh | Elektrische Durchführung und Verfahren zur Herstellung einer cermethaltigen Durchführung für eine medizinisch implantierbare Vorrichtung |
DE102011009862B4 (de) | 2011-01-31 | 2012-11-08 | Heraeus Precious Metals Gmbh & Co. Kg | Cermethaltige Durchführung mit Halteelement für eine medizinisch implantierbare Vorrichtung |
DE102011009858B8 (de) | 2011-01-31 | 2013-11-07 | Heraeus Precious Metals Gmbh & Co. Kg | Cermethaltige Durchführung für eine medizinisch inplantierbare Vorrichtung mit Verbindungsschicht |
DE102011009867B4 (de) | 2011-01-31 | 2013-09-05 | Heraeus Precious Metals Gmbh & Co. Kg | Keramikdurchführung für eine medizinisch implantierbare Vorrichtung |
DE102011009855B8 (de) | 2011-01-31 | 2013-01-03 | Heraeus Precious Metals Gmbh & Co. Kg | Keramikdurchführung mit induktivem Filter |
DE102011009860B4 (de) * | 2011-01-31 | 2013-03-07 | Heraeus Precious Metals Gmbh & Co. Kg | Implantierbare Vorrichtung mit integrierter Keramikdurchführung |
DE102011009861B4 (de) | 2011-01-31 | 2012-09-20 | Heraeus Precious Metals Gmbh & Co. Kg | Verfahren zur Herstellung einer cermethaltigen Durchführung |
DE102011009865B4 (de) | 2011-01-31 | 2012-09-20 | Heraeus Precious Metals Gmbh & Co. Kg | Kopfteil für eine medizinisch implantierbare Vorrichtung |
DE102011009857B8 (de) | 2011-01-31 | 2013-01-17 | Heraeus Precious Metals Gmbh & Co. Kg | Elektrische Durchführung mit cermethaltigem Verbindungselement für eine aktive, implantierbare, medizinische Vorrichtung |
EP2574807B1 (de) * | 2011-09-30 | 2014-11-12 | Maxon Motor AG | Verbindung zwischen einer Welle und einem Nabenbauteil sowie Verfahren zum Herstellen der Verbindung |
DE102011119125B4 (de) | 2011-11-23 | 2014-01-23 | Heraeus Precious Metals Gmbh & Co. Kg | Kontaktierungsanordnung mit Durchführung und Filterstruktur |
US9478959B2 (en) | 2013-03-14 | 2016-10-25 | Heraeus Deutschland GmbH & Co. KG | Laser welding a feedthrough |
US9431801B2 (en) | 2013-05-24 | 2016-08-30 | Heraeus Deutschland GmbH & Co. KG | Method of coupling a feedthrough assembly for an implantable medical device |
US9403023B2 (en) | 2013-08-07 | 2016-08-02 | Heraeus Deutschland GmbH & Co. KG | Method of forming feedthrough with integrated brazeless ferrule |
US9610452B2 (en) | 2013-12-12 | 2017-04-04 | Heraeus Deutschland GmbH & Co. KG | Direct integration of feedthrough to implantable medical device housing by sintering |
US9504841B2 (en) | 2013-12-12 | 2016-11-29 | Heraeus Deutschland GmbH & Co. KG | Direct integration of feedthrough to implantable medical device housing with ultrasonic welding |
US9610451B2 (en) | 2013-12-12 | 2017-04-04 | Heraeus Deutschland GmbH & Co. KG | Direct integration of feedthrough to implantable medical device housing using a gold alloy |
DE102014208729A1 (de) * | 2014-05-09 | 2015-11-12 | Incoatec Gmbh | Zweiteilige Hochspannungs-Vakuumdurchführung für eine Elektronenröhre |
EP4230258A1 (de) | 2020-02-21 | 2023-08-23 | Heraeus Medical Components, LLC | Hülse mit zugentlastendem abstandshalter für implantierbare medizinische vorrichtung |
EP4226968A1 (de) | 2020-02-21 | 2023-08-16 | Heraeus Medical Components, LLC | Hülse für ein nicht-planares gehäuse einer medizinischen vorrichtung |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2163407A (en) * | 1936-10-10 | 1939-06-20 | Gen Electric | Ceramic-to-metal seal |
US2163410A (en) * | 1937-02-12 | 1939-06-20 | Gen Electric | Ceramic-to-metal seal |
US2917140A (en) * | 1955-11-02 | 1959-12-15 | Herbert A Omley | Metal-to-ceramic seal |
US3137545A (en) * | 1962-03-22 | 1964-06-16 | Gen Electric | Alloy for bonding metals to ceramics |
US3340025A (en) * | 1964-05-04 | 1967-09-05 | Philips Corp | Refractory metal-to-ceramic seal |
US3324543A (en) * | 1965-03-26 | 1967-06-13 | Charles I Mcvey | Pressure bonded ceramic-to-metal gradient seals |
US3418423A (en) * | 1966-12-23 | 1968-12-24 | Philips Corp | Fluorine-resistant electrical terminal |
US3666429A (en) * | 1969-09-29 | 1972-05-30 | Xerox Corp | Metallized and brazed ceramics |
US3700420A (en) * | 1971-04-01 | 1972-10-24 | Gen Electric | Ceramic-to-metal seal |
-
1973
- 1973-10-01 CH CH1404373A patent/CH563320A5/xx not_active IP Right Cessation
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-
1974
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- 1974-09-27 NL NL7412852A patent/NL7412852A/xx not_active Application Discontinuation
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- 1974-09-27 IT IT27801/74A patent/IT1022387B/it active
- 1974-09-27 GB GB4208174A patent/GB1477521A/en not_active Expired
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CH563320A5 (de) | 1975-06-30 |
DE7337346U (de) | 1976-02-12 |
FR2245580A1 (de) | 1975-04-25 |
NL7412852A (nl) | 1975-04-03 |
IT1022387B (it) | 1978-03-20 |
US3979187A (en) | 1976-09-07 |
ATA666874A (de) | 1979-09-15 |
JPS5062215A (de) | 1975-05-28 |
GB1477521A (en) | 1977-06-22 |
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