DE2332020A1 - Verfahren und vorrichtung zum aufbringen von schutzschichten auf ein substrat - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zum aufbringen von schutzschichten auf ein substrat

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DE2332020A1
DE2332020A1 DE19732332020 DE2332020A DE2332020A1 DE 2332020 A1 DE2332020 A1 DE 2332020A1 DE 19732332020 DE19732332020 DE 19732332020 DE 2332020 A DE2332020 A DE 2332020A DE 2332020 A1 DE2332020 A1 DE 2332020A1
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crucible
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coating
crucibles
cathode wire
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Application number
DE19732332020
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German (de)
English (en)
Inventor
Harry Henry Becker
Hansjuergen Christian Blume
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National Aeronautics and Space Administration NASA
Original Assignee
National Aeronautics and Space Administration NASA
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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/24—Vacuum evaporation

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
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