DE2329208A1 - Photolack - Google Patents

Photolack

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DE2329208A1
DE2329208A1 DE19732329208 DE2329208A DE2329208A1 DE 2329208 A1 DE2329208 A1 DE 2329208A1 DE 19732329208 DE19732329208 DE 19732329208 DE 2329208 A DE2329208 A DE 2329208A DE 2329208 A1 DE2329208 A1 DE 2329208A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
resin
photoresist
photosensitive
weight
acrylic resin
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DE19732329208
Other languages
German (de)
English (en)
Inventor
Carl W Christensen
Calvin M Isaacson
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shipley Co Inc
Original Assignee
Shipley Co Inc
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Filing date
Publication date
Application filed by Shipley Co Inc filed Critical Shipley Co Inc
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Pending legal-status Critical Current

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    • G—PHYSICS
    • G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
    • G03F7/004—Photosensitive materials
    • G03F7/022—Quinonediazides
    • G03F7/023—Macromolecular quinonediazides; Macromolecular additives, e.g. binders
    • G03F7/0233—Macromolecular quinonediazides; Macromolecular additives, e.g. binders characterised by the polymeric binders or the macromolecular additives other than the macromolecular quinonediazides

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  • Physics & Mathematics (AREA)
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NL7307936A (enExample) 1973-12-14
GB1440244A (en) 1976-06-23
BE800708A (fr) 1973-10-01
FR2188193A1 (enExample) 1974-01-18
JPS4957055A (enExample) 1974-06-03
JPS5114042B2 (enExample) 1976-05-06

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