DE2317404A1 - Bauelementplaettchen fuer eine vielschichtige elektrische schaltungsanordnung - Google Patents

Bauelementplaettchen fuer eine vielschichtige elektrische schaltungsanordnung

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DE2317404A1
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cavity
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Howard Lee Parks
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Bunker Ramo Corp
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Description

(Zusatz zum Patent 2 129 132)
Die Erfindung bezieht sich auf ein Bauelementplättchen für eine vielschichtige elektrische Schaltungsanordnung, die aus vielen aufeinandergestapelten Plättchen gebildet ist, wie dieses im Hauptpatent 2 129 132 angegeben ist.
In den letzten Jahren haben sich bedeutende Port schritte beim Versuch einer Optimierung der Packungsdichte von Komplexen, sehr schnellen elektronischen Schaltungen ergeben, die verschiedene aktive Halbleiterschaltungs-Chips umfassen.
309846/0778
2 - ■ '
Bei der Erhöhung der Packungsdichte solcher Schaltungen wurde neben verschiedenen anderen Dingen hauptsächlich versucht, die Raumausnutzung maximal zu ma-chen, eine hohe Zuverlässigkeit zu erreichen, elektrische Verbindungen vorzusehen, die bei hohen Frequenzen eine hohe Bandbreite aufweisen, das H"eb en sprechen so klein wie möglich zu machen und eine geeignete Wärmeabfuhr sicherzustellen, während gleichzeitig.diese Schaltungen möglichst wirtschaftlieh herzustellen sein müssen.
Eines der schwierigsten Probleme bei der Herstellung aufeinander ge stapelt er leitender Plättchen ist durch das Vorsehen zuverlässiger elektrischer Verbindungen in der Z-Achse gegeben, die nicht nur innerhalb eines Plättchens, sondern vielmehr durch elektrische Verbindungen in Eich- tung der Z-Achse über .viele dieser Plättchen vorgenommen werden müssen.
Aufgabe der Erfindung ist es, ein neues Bauelementplättchen der eingangs genannten Art zu schaffen, mit dem derartige Verbindungen möglichst einfach und sehr zuverlässig herzustellen sind und die außerdem eine möglichst vielseitige ' und eine hohe Packungsdichte erzielende Herstellung von aus einer Vielzahl dieser Bauelementplättchen gebildeten elektrischen Schaltungsanordnungen ermöglichen*
Bei einem Bauelementplättchen der genannten Art ist diese Aufgabe gemäß der Erfindung gelöst durch ein Blatt Isoliermaterial mit einer ein Bauelement aufnehmenden Aushöhlung mit das Bauelement vollständig aufnehmenden Abmessungen,
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durch eine das mit Anschlüssen versehene Bauelement in der Aushöhlung hermetisch einschließende Abdichtung, durch eine Vielzahl mit Abstand zueinander angeordneter fester leitender Durchschüsse, die in dem Blatt in einem bestimmten gleichmäßigen Easter angeordnet sich zwischen dessen Oberflächen erstrecken und elektrische Durchführungsverbindungen bilden, und durch leitende Verbindungsanschlüsse, die vollständig innerhalb des Blatts und von beiden Oberflächen aus eingebettet parallel zu diesen verlaufen, um die Anschlüsse des Bauelements mit bestimmten einzelnen Durchschüssen zu verbinden.
Vorzugsweise ist ein solches erfindungsgemäßes Bauelementplättchen aus einem Keramikmaterial gefertigt, um damit die hermetische Abdichtung der mit dem Bauelementplättchen verbundenen Bauelemente zu erleichtern, während diese gleichzeitig kompatibel mit anderen Bauelementplättchen eines Stapels sind, zu dem die einzelnen Bauelementplättchen aufgestapelt und untereinander elektrisch verbunden werden.
In einer Ausführungsform der Erfindung sind unterschiedliche Typen von Bauelementplättchen in einem gleichen Stapel vorgesehen. So kann z.B. ein solcher typischer Stapel aus Bauelementplättchen, Zwi schenverbindung spl ättchen und Anschlußplättchen bestehen. Die Bauelementplättchen tragen aktive Bauelemente, wie z.B. integrierte Schaltungschips, und bilden Verbindungen zu diesen. Die Zwischenverbindungsplättchen bilden gewöhnlich sowohl in X-, Y- und Z-Richtung verlaufende Zwischenverbindungen, während die Anschlußplättchen sich in Z-Richtung erstreckende Durchschüsse für
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die Verbindungen zwischen den Plättchen vorsehen.
Nach einem weiteren Merkmal der Erfindung sind in den Plättchen an vorbestimmter Stelle und in Z-Bichtung verlaufende Durchschüsse mit einem dehnbaren, leitenden Material, nämlich Kontakten, an ihren Enden versehen, so daß zuverlässige Z-Achsen-Verbindungen erhalten werden, wenn · die Plättchen unter Druck in Z-Eichtung zu einem Stapel zusammengefaßt werden. -
Wie aus der nachfolgenden Beispielsbeschreibung noch besser zu erkennen sein wird, bilden die erfindungsgemäßen elektrischen Schaltungsanordnungen, wenn sie endgültig zu einem Stapel zusammengepackt sind, eine im wesentlichen kompakte mit parallel zueinander verlaufenden Verbindungen versehene Anordnung,die zumindest die nachfolgenden Vorteile hat: Eine sehr wirkungsvolle Baumausnutzung, eine auch bei hohen Frequenzen ausnutzbare große Bandbreite der elektrischen Verbindungen, minimale Interferenzen oder Nebensprechen zwischen den einzelnen Schaltungen, eine sehr wirkungsvolle Wärmeabfuhr, hohe Zuverlässigkeit und eine Anpassungsfähigkeit an eine Vielzahl von aktiven Bauelementtypen.
Weitere Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben.
Die Erfindung wird an Hand in der Zeichnung dargestellter Ausführungsbeispiele näher erläutert. Im einzelnen zeigen:
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3?ig. 1 eine perspektivische Ansicht einer auseinandergenommenen, mehrschichtigen elektrischen Schaltungs anordnung,
I1Xg. 2 eine Schnittdarstellung einer mehrschichtigen Schaltungsanordnung nach der."Erfindung, die in einem geeigneten Gehäuse eingeschlossen ist,
I1Xg. 3 eine Draufsicht auf einen Teil eines erfindungsgemäßen Verbindungsplättchens,
Fig. 4 eine Schnittdarstellung im wesentliehen längs der Ebene 4-4 der Pig. 3,
I1Ig. 5 eine Draufsicht auf einen Teil eines erfindungsgemäßen Bauelementplättchens und
Fig. 6 eine Schnittdarstellung des Bauelementplättchens nach 3?ig. 5·
In I1Xg. 2 ist eine teilweise au seinander genommene erfindungs gemäße Schaltungsanordnung gezeigt. Die elektrische Schaltungsanordnung wird durch Aufeinanderstapeln einer Vielzahl von Plättchen erreicht, die so hergestellt sind, daß sie miteinander zusammenwirken können, um die jeweils gewünschten koaxialen Verbindungen in X-, T- und Z-Eichtung zu bilden. Der in I1Xg. Λ gezeigte Plättchenstapel 10 ist aus einer Vielzahl unterschiedlicher Plättchen gebildet, die im wesent lichen in die drei folgenden Klassen fallen, nämlich Bauelementplättchen 12, Zwischenverbindungsplättchen 14 und Verbindungsplattchen 16. Wie später noch zu erkennen ist,
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wird ein Bauelementplättchen zum physikalischen Tragen und zur Herstellung elektrischer Verbindungen eines aktiven Bauelementes, wie z.B. eines integrierten Schaltungschips, eines LSI-Chips, benutzt. Jedes Bauelementplättchen weist Einrichtungen zur Verbindung der Anr Schlüsse des Bauelements mit sich in Z-Richtung erstreckenden Leitern oder Durchschüssen für die Zwisehenverbindungen zu benachbarten Plättchen auf.
Die Zwischenverbindungsplättchen .14- sind so hergestellt, daß sie soxtfohl sich in Z-Richtung erstreckende Durchschüsse als auch in X- und Y-Richtung erstreckende Leiter in der Ebene des Plättchens aufxveisen. Die Verbindungsplättchen 16 haben eine gleichmäßige Matrix von sich in Z-Richtung erstreckenden Durchschüssen, die Durchführungsverbindungen bilden, um damit elektrische Zwischenverbindungen von Plättchen zu Plättchen herzustellen. Wie später noch zu erkennen ist, wird die neue elektrische Schaltungsanordnung durch Aufeinanderstapeln. geeignet ausgebildeter Plättchen unter Druck gebildet, so daß die sich in Z-Richtung er- . streckenden Durchschüsse der yerbindungsplättchen sich mit jeweils fluchtenden Durchschüssen in benachbarten Plättchen verbinden können. Auf diese Weise x^erden elektrische. Zwi- . selenverbindungen von. Plättchen zu Plättchen gebildet, so daß damit gewünschte Schaltungspunkte in dem Stapel nach außen zu deren weiterer Verbindung geführt werden..
Wie im einzelnen noch später erläutert wird, werden die in der Schaltungsanordnung gebildeten koaxialen X-, Y- und Z-Zwiselenverbindungen durch Bearbeitung von leitenden Plättchen, z.B. Kupferplättchen, hergestellt, um innerhalb des
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Profils der Plättchen X-, Y- und Z-Verbindungen durch Isolation ausgewählter Teile gegenüber den Inseln des übriggebliebenen Plättchenmaterials zu bilden. Im einzelnen v/erden auf diese Weise sich in X-, T- und Z-Richtung erstreckende Leiter durch Entfernung ausreichenden Materials von dem Plättchen zum physikalischen und elektrischen Isolieren eines leitenden Teiles von diesem gegenüber dem übrigen Teil des Plättchens gebildet. Die isolierten Teile oder Inseln werden physikalisch von dem Plättchen getragen und sind elektrisch von diesem durch dielektrisches Material isoliert, das eingeführt wird, um das entfernte Plättchenmaterial zu ersetzen.
Bevor die inneren Einzelheiten der Plattchenanordnung beschrieben werden, wird an Hand der Fig. 2 eine bevorzugte Ausführungsform der Erfindung erläutert, die innerhalb eines geeigneten metallischen Gehäuses 20 angeordnet ist. Pig. 2 zeigt einen Plättchenstapel 10, der in dem Gehäuse 20 zwischen einem Anschlußblock 24 und einer Abdeck-Druckplatte 26 befestigt ist. Der Anschlußblock weist gegeneinander isolierte Durchführungs-Anschlußstecker 24a auf, die elektrisch mit dem Stapel 10 durch ein Ausgangs- Verbxndungsplattchen 16a verbunden sind, um damit eine geeignete elektrische Verbindung des Stapels und Gehäuses mit einer äußeren elektrischen Schaltung zu bewirken. Der Stapel wird unter Druck in Z-Richtung durch ein elastisches Druckpolster 28 gehalten, das an der Platte 26 anliegt. Das Druckpolster 28 wird von einer Abdeckplatte 30 zusammengepreßt, die mit Bolzen 32 befestigt ist. Die Abdeckplatte 30 und die Gehäusewände 34 sind mit
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zueinander mit Abstand angeordneten verlängerten Rippen 36 versehen, die sich senkrecht nach außen erstrecken. Die Hippen J6 dienen zur Vergrößerung der Wärmeübertragung vom Gehäuse 20 an ein das Gehäuse umgebendes Kühlmedium. Um eine gute Wärmeübertragung vom,Stapel 10 der Fig. 1 an die Gehäusewände zu erreichen, sind mehrere der Plättchen, wie z.B. die Verbindungsplättehen, mit elastischen Fingern 37 versehen, die vorzugsweise integrale Bestandteile der Plättchen sind und sich nach außen vom Umfang des Plättchens aus erstrecken. Beim Einbringen des Stapels in das Gehäuse berühren die Finger die Innenflächen der Gehäusewände, wie dieses in Fig» 2 gezeigt ist, um damit einen guten Wärmeübergang zu diesem zu erhalten. Zur seitlichen Ausrichtung des Stapels 10 in dem Gehäuse 20 sind die Plättchen mit nutartigen Ausnehmungen
38 (Fig. 1) versehen, die mit entsprechenden Vorsprüngen
39 zusammenwirken.
Wie zuvor erwähnt, können die Plättchen als unter drei Typengruppen fallende Plättchen angesehen ΐ^βΓάβη, nämlich die Bauelementplättchen 12, die Zwischenverbindungsplättchen 14 und die Verbindungsplättchen 16. Bei dem Ausfükrungsbeispiel der Fig. 1 sind die Zwischenverbindungsplättchen 14 und die Verbindungsplättchen 16 prinzipiell gleich ausgebildet, da die Plättchen im wesentlichen alle aus einem leitenden Material, wie z.B. Kupfer, gebildetsind, wobei Teile innerhalb des Plättchenprofils elektrisch isoliert von dem übrigen Teil der Plättchen sind. Das Bauelementplättchen 12 jedoch wird aus einem Isoliermaterial an Stelle eines leitenden Materials gefertigt, wie dieses später in Verbindung mit den Fig. 5 und 6 noch näher er-
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läutert wird.
In den S1Ig. 3 und 4 ist ein Verbindungsplättchen 16 dargestellt, das eine Vielzahl von sich in Z-Richtung erstreckenden Durchschüssen 86 aufweist, die vorzugsweise in einer gleichmäßigen rechteckigen Matrix angeordnet sind. Jeder Durchschuß 86 ist vollständig von einem dielektrischen Material 88 umgeben, das den Durchschuß trägt und ihn elektrisch vom übrigen Teil des Plättchenmaterials 90 isoliert. Jeder Durchschuß 86 liegt an den Oberseiten 92 und Unterseiten 9^ des Plättchens frei. Vorzugsweise werden dehnungsfähige Kontakte 96 an beiden Enden eines jeden Durchschusses 86 vorgesehen, d.h. sowohl an der Oberseite 92 als auch der Unterseite 94-· Wie später noch zu erkennen ist, bilden wechselnde Schichten des Stapels Verbindungsplättchen, um die sich in Z-Richtung erstreckenden Zwischenverbindungen zu den Plättchen darüber und darunter herzustellen, die sowohl Zwischenverbindungs- oder Bauelementplättchen sein können. Die dehnungsfähigen Eontakte 96 sind aus einem duktileren Material hergestellt als die Kupferdurehschüsse selbst, so daß sie bei einem Zusammenstapeln unter Druck innerhalb des Gehäuses 20 der Pig. 2 zu einer Deformierung der Kontakte 96 und einer Verbindung mit fluchtenden Durchschüssen in benachbarten Plättchen führen und damit gute Zwischenverbindungen zwisehen den Plättchen bilden.
Zusätzlich zu den Kontakten 96 auf beiden Oberflächen des Verbindungsplättchens 16 sind gleichartig dehnungsfähige Kontakte 98 am übrigen Teil 90 des Plättchens 16 vorgesehen, um eine gute Erdverbindung zwischen den einzelnen
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Plättchen sicherzustellen.
In den Pig. 5 und 6 ist ein Teil eines Ausführungsbeispiels eines Bauelementplättehens 12' dargestellt, das mit Vorteil in dem Stapel 10 der Fig. 1 benutzt werden kann, wenn eine hochgradige hermetische Abdichtung für ein von dem Plättchen getragenes Bauelement 40* gexränscht wird. Das Plättchen 12' weist ein relativ dickes Blatt 200 aus einem keramischen oder anderen geeigneten isolierenden Material auf, das so ausgewählt wird, daß es einen vollständigen Einschluß und eine hermetische Abdichtung des Bauelements 40' in einer geeignet dimensionierten Aushöhlung 205 für das Bauelement bewirkt. Das Blatt 200 ist außerdem so ausgewählt, daß es geeignete elektrische Eigenschaften für die elektrische Zwischenverbindungsschaltung aufweist, um es mit den anderen Plättchen eines Stapels zu verbinden und mit diesen kompatibel zu machen.
Wie in den Fig. 5 und 6 gezeigt, ist die in dem Blatt 200 vorgesehene und das Bauelement aufnehmende Aushöhlung 205 vorzugsweise rechteckig mit einer flachen Bodenfläche 205a und Umfangsabsätzen 205b un 205c. Wie am besten aus Fig. zu erkennen ist, sind die Abmessungen des Blatts 200 und der Aushöhlung 205 so gewählt, daß ein befestigtes Bauelement 40' auf der Bodenfläche 205a der Aushöhlung 205 aufliegt, wobei die obere Fläche des Bauelementes 40' sich eine kurze Entfernung unterhalb des unteren Absatzes 205b befindet. Eine Vielzahl mit Abstand zueinander angeordneter Anschlußstücke 40a1, die in herkömmlicher Weise um den Umfang der oberen Fläche des Bauelementes 40' angeordnet sind,
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können daher leicht elektrisch durch jeweils zugeordnete Verbindungsdrähte 206 verbunden werden, die zu entsprechenden Anschlußstücken 207 am unteren Absatz 205b der Aushöhlung 205 führen. Es ist darauf hinzuweisen, daß diese elektrischen Verbindungen der entsprechenden Anschlußstücke 40a1 und 207 in herkömmlicher Weise vorge- ■ nommen werden können, z.B. durch Verwendung von bekannten Druckverbindungst echniken.
Nachdem das Bauteil 40' in der Aushöhlung 205 befestigt und die Zwischenverbindungsleitungen 206 in geeigneter Weise mit ihren zugeordneten Anschlußstücken 40a1 und 207 verbunden sind, wird eine Dichtungskappe 210 (Fig. 6) zur Abdichtung der Aushöhlung 205 benutzt. Dieses kann in einem typischen Ausführungsbeispiel durch Anlöten der Kappe.210 an dem oberen Absatz 205c vorgenommen werden, wodurch eine hermetische Abdichtung des Bauteils 40· innerhalb der Aushöhlung 205 erreicht wird. Die Tiefe des Absatzes 205c und die Dicke der Abdichtkappe 210 sind vorzugsweise so gewählt, daß die Außenfläche der Abdeckkappe 210 mit der Oberfläche des Blattes 200 fluchtet.
Jetzt werden die zusätzlichen Konstruktionsmerkmale des in den !Fig. 5 und 6 gezeigten Bauelenfentplättchens 12* betrachtet, die ein Aufstapeln und eine elektrische Verbindung mit anderen Plättchen des Stapels in einem typischen Stapel 10 der 3?ig. 1 ermöglichen. In diesem Zusammenhang ist darauf hinzuweisen, daß, da die Bauelemente 40' in den Bauelement plättchen 12' vollständig in diesen eingeschlossen sind, keine zusätzlichen Verbindungs- oder Ausfül!plättchen erforderlich sind. Das Bauelementplättchen 12' kann daher
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in den Stapel 10 eingebracht werden, indem lediglich Zwischenverbindungsplättchen 16 der in den Fig. 3 und 4 gezeigten Art neben jeder Seite angeordnet werden. Um kompatible, sich in Z-Eichtung erstreckende Verbindungen mit diesen Zwischenverbindungsplättchen 16 zu bewirken, ist das Bauelementplättchen 12· mit einer ersten Vielzahl von sich in Z-Eichtung erstreckenden Durchschüssen 285 versehen^ die sich zwischen den Oberflächen des Blattes 200 erstrecken und mit diesen Oberflächen fluchtend abschliessen und mit den Durchschüssen 86 (Pig. 3 und 4) der benachbarten Verbindungsplättchen 16 fluchten. Das Bauelementplättchen 12' der Fig. 5 und 6 ist außerdem mit einer zweiten Vielzahl von sich in Z-Richtung erstreckenden Durchschüssen 298 versehen, die" mit den dehnungsfähigen Kontakten 98 (Fig. 3 und 4) der benachbarten Verbindungsplättchen 16 fluchten, die zur Herstellung der elektrischen Durchführungsverbindungen der einzelnen Erdverbindungen dienen, um dadurch die Kontinuität der von Plättchen zu Plättchen vorgenommenen Erdverbindungen innerhalb des Stapels aufrechtzuerhalten. Obwohl sich in Z-Eichtung erstreckende Durchschüsse 286 und 289 runden Querschnitts in den Fig. 5 und 6 gezeigt sind, können selbstverständlich auch andere Querschnittsformen benutzt werden«
Wie ebenfalls in den Fig. 5 und 6 gezeigt, sind zur Herstellung der elektrischen Verbindung des Bauelementes 40' mit einzelnen der sich in Z-Eichtung erstreckenden Durchschüsse 286 X-Y-Leiter, wie z»B. der Leiter 254, vorgesehen, die sich vollständig innerhalb des Blatts 200 befinden und sich zwischen entsprechenden Anschlußstücken 20? und Durchschüssen 286 erstrecken, die mit einander
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elektrisch zu verbinden sind.
Es ist darauf hinzuweisen, daß es eine Anzahl bekannter Herstellungstechniken gibt, die zur Herstellung des vorstehend beschriebenen Bauelementplättchens 12', wie es in den S1Ig. 5 und 6 gezeigt ist, benutzt werden können. So kann z.B. das Bauelementplättchen 12' unter Benutzung der handelsüblich von der American Lava Corporation, eine Tochter der 3M-Company, angebotenen Dienstleistungen hergestellt werden. In diesem Fall ist das Bauelementplättchen 12' als ein zusammengesetztes, mehrschichtiges Keramikblatt ausgebildet, das aus einer Vielzahl zusammengeschmolzener Keramikschichten besteht, die eine innere, elektrisch leitende Schicht mit einem der erforderlichen X-Y-Zwischenverbindungen 254- entsprechenden Easter aufweist und die den Durchschüssen 286 und 298 entsprechende leitende Steigleitungen besitzt.
Aus der vorstehenden Beschreibung wird klar,- daß sich eine sehr wirkungsvolle elektrische Schaltungsanordnung ergibt, in der eine sehr kompakte und hochdichte Anordnung beson- ' ders vorteilhafte Punktionseigenschaften bedingt, einschließlich von Zwischenverbindungen großer Bandbreite, minimalen Uebensprechens, wirkungsvoller Wärmeabfuhr und großer Zuverlässigkeit.
Bei einem typischen Ausführungsbeispiel der Erfindung kann das in Pig. 2 gezeigte Gehäuse 20 vertikale Abmessungen in der Größenordnung von 4- cm mit Breiten- und Tiefenabmessungen des Gehäuses von jeweils etwa 6,85 cm aufweisen. Der Stapel 10 kann dann eine Höhe von 2,3 cm und eine Breite
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und Tiefe von jeweils 4,8 cm haben- Ein typisches aktives Bauelementchip kann Abmessungen in der Größenordnung von 1,5 cm haben, so daß ungefähr vier Chips von einem Bauelementplättchen getragen werden können. Um den Pl.ättchenbereich, d.h. die Zellengröße, die für ein Schaltungschip erforderlich ist, bestimmen zu können, muß festgestellt werden, wieviele freie, d.h. nicht verbundene, sich in Z-Eichtung erstreckende Durchschüsse zur Zwischenverbindung der Plättchenlogik oberhalb und unterhalb der Zelle erforderlich sind.Gewöhnlich sind etwa 1,5 freie -Durchschüsse für jeden Chip-Anschluß erforderlich. Ein beispielhafter Schaltungsstreifen mit 44 Leitungen benötigt daher z.B. 44 χ 2,5 = 110 Durchschüsse für die -."'--Systemverbindungen. Bei einer typischen Matrix von 12 χ 12 Durchschüssen können z.B. 25 Durchschüsse mit den Chips •fluchten und daher nicht benutzbar sein. Die verbleibenden. 119 Durchschüsse sind für Schaltungs- und Systemverbindungen zu benutzen. Die erforderliche Zellengröße ist daher durch die standardisierte 0,15 cm-Matrix von Durchschüssen und den Faktor 2,5 x der Anzahl der Schaltungsleitungen bestimmt. Es wird angenommen, daß eine Chipzelle mit 44 Leitungen 1,5 χ 1,5 cm = 2,25 cm in der Ebene des Bauelementplättchens und eine Höhe von 0,1,2 cm hat. Da jedem Chip im Durchschnitt zwei Zwischenverbindungsplättchen zugeordnet sind, die eine Gesamtdicke von 0,048 cm einschließlich der Yerbindungsplattchen und die gleiche Zellenfläche von
2
2,25 cm haben, kann das Zellenvolumen durch Multiplikation der Zellenfläche mit der Summe der Dicken von einem Zwischenverbindungsplättchen von 0,048 cm, einem Verbindungsplättchen von 0,12 cm und zwei Verbindungsnetzen von 0,0013 cm errechnet werden zu 0,9 χ (0,048 + 0,12 + 0,025) = 0,45 cur5,
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was etwa-36 Chips auf jedes Kubikinch, d.h. etwa 2,2
7,
Chips pro cnr entspricht.
Da ein mit 44 Leitungen ausgestattetes MOS-lET-Chip etwa 100 Gatterschaltungen aufweisen kann, ist die Schaltungsdichte in dem Plättchenstapel durch etwa 100/0,45 *= 22 Gatterschaltungen/cnr gegeben.
Obwohl die Erfindung vorstehend an Hand von Ausführungsbeispielen erläutert wurde, können selbstverständlich ver-.schiedene Modifikationen sowohl in der Konstruktion, der Anordnung und/oder der Anwendung vorgenommen werden, ohne daß dadurch der Erfindungsgedanke verlassen wird.
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Claims (1)

  1. Patentansprüche
    Bauelementplättchen für eine vielschichtige elektrische Schaltungsanordnung nach Patent 2 129 132, die aus vielen aufeinander
    gestapelten Plättchen gebildet ist, gekennzeichnet durch ein Blatt (200) aus Isoliermaterial mit einer ein Bauelement (40' ) aufnehmenden..._ Aushöhlung (205) mit das Bauelement vollständig aufnehmenden Abmessungen, durch eine das mit Anschlüssen (40!a) versehene Bauelement in der Aushöhlung hermetisch einschließende Abdichtung (210), durch eine Vielzahl mit Abstand zueinander angeordneter fester leitender Durchschüsse (286, 298), die in dem Blatt in einem bestimmten gleichmäßigen Easter angeordnet sich zwischen dessen Oberfläche erstrecken und elektrische Durchführungsverbindungen bilden, und durch leitende Verbindungsanschlüsse (254), die vollständig innerhalb des Blatts und von beiden Oberflächen aus eingebettet parallel zu diesen verlaufen, um die An-Bchlüßse des Bauelements mit bestimmten einzelnen Durchschüssen zu verbinden.
    Bauelementplättchen nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet , daß das Blatt (200) aus einem Keramikmaterial besteht, daß die Abdichtung (210) eine mit der Aushöhlung (205) befestigbare Abdichtkappe ißt, so daß diese im wesentlichen mit der Oberfläche des Blatts fluchtet, und daß die Enden der
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    Durchschüsse (286, 298) ebenfalls im wesentliehen fluchtend mit den Oberflächen des Blatts angeordnet sind.
    3. Bauelementplättchen nach Anspruch 1 oder .2, dadurch gekennzeichnet , daß die Aushöhlung (205) einen Absatz (205b) aufweist und daß die Zwischenverbindungen eine Vielzahl von mit Abstand zueinander angeordneten Anschlußstücken (207) auf diesem Absatz zur elektrischen Verbindung der Bauelement-Anschluß stücke (40*a) mit vorbestimmten einzelnen dieser Vielzahl von Anschlußstücken haben.
    4. Bauelementplättchen nach Anspruch 35 dadurch gekennzeichnet , daß die Bauelement-Anschlußstücke (40'a) eine Vielzahl von mit Abstand zueinander angeordneter Anschlußstücke umfassen und daß die Zwischenverbindungen eine Vielzahl von Leitern (206) aufweisen, die zwischen vorbestimmten einzelnen der Bauelement-Anschlußstücke und der auf dem Absatz (205b) vorgesehenen Anschlußstücke (207) liegen.
    5. Bauelementplättchen nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet , daß die Aushöhlung (205) einen zweiten Absatz (205c) für die Abdichtkappe (210) aufweist, die mit diesem derart verbindbar ist, daß die Abdichtkappe im wesentlichen mit der Oberfläche des Blattes (200) fluchtet.
    6. Bauelementplättchen nach einem der Ansprüche 1 bis 5* dadurch gek.ennz eichnet , daß ein Verbin-
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    dungsplättchen (16) neben dem Bauelementplättchen (12) gestapelt angeordnet ist, daß das -Verbindungsplättchen ein elektrisch leitendes Blatt (90) mit einer Vielzahl von im Abstand zueinander angeordneten festen, leitenden Durchschüssen (86) aufweist, die zwischen den "Oberflächen (92, 94-) des Blattes sich, erstrecken und gegenüber diesen elektrisch isoliert sind und mit zugeordneten Durchschüssen (286) des Bauelementplättchens (12) fluchtend angeordnet sind,, daß elektrisch leitende dehnungsfähige Eontakte (96); zwischen jedem Paar fluchtender Durchschüsse der Plättchen zur Herstellung einer elektrischen Verbindung zwischen diesen vorgesehen sind und daß druckausübende Einrichtungen die Plättchen zusammenzwingen, so daß die dehriungsf ähigen Kontakte deformiert werden.
    7. Bauelementplättchen nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet , daß das Bauelementplättchen (12) eine zusätzliche Vielzahl von mit Abstand zueinander angeordneter, fester leitender Durchschüsse aufweist, die sich zwischen beiden Oberflächen erstrecken und neben leitenden Öberflächenteilen (98) des Verbindungsplättchens (16) angeordnd; sind; das jedoch keine Durchschüsse aufweist, und daß dehnungsfähige Kontakte ebenfalls zwischen jedem zusätzlichen Durchschuß und der benachbarten Fläche des Verbindungsplättchens vorgesehen sind, die in ähnlicher Weise durch die druckausübenden Einrichtungen deformiert werden können«. .
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