DE2264070B2 - Gasentladungs-anzeigefeld - Google Patents

Description

(a) Es wird das Material auf der Oberfläche dei dielektrischen Schichten abgelöst und in der Zusammensetzung verändert, und

(b) das Entladungsgas enthält Unreinheiten, odei einige Komponenten des Entladungsgases werden nach einer kurzen Betriebsdauer von dei Oberfläche der dielektrischen Schichten absorbiert. ·

Der Grund (a) ist im Hinblick auf den Einfluß aui die Lebensdauer von größerer Bedeutung als dei Grund (b). Die Verschlechterung und Änderung dei Qualität des Oberflächenmaterials der dielektrischen Schichten wird bei dem genannten Grund (a) verursacht durch: Ionen-Bombardement (Aufschlag eines Ions) und Elektronen-Bombardement bei der Entladung und eine hohe Temperatur der dielektrischen Schichten auf Grund des genannten Bombardements. Das Ionen-Bombardement beeinflußt die Lebens-

Das Ion

der Oberfläche, löst das Oberflächenmaterial und zerstäubt es. Auf Grund dessen ändert sich der Wert des

Koeffizienten

der sekundären Elektronenmission für die dielektrischen Schichten. Hierbei sind y_a, y_b und y_m die Sekundärelektronen-Emissionskoeffizienten für Ionen,

Die Erfindung betrifft ein Gasentladungs-Anzeigefeld mit zwei Trägerplatten, von denen wenigstens
eine lichtdurchlässig ist, und mit einer Anzahl von
auf der Innenfläche der beiden Trägerplatten angeordneten Elektrodenpaaren, die auf der dem Gasent- 25 dauer des Gasentladungs-Anzeigefeldes am meisten, ladungsraum zugewandten Seite mit einer dielek- Das Ionen-Bombardement entfernt den Gasfilm an trischen Schicht bedeckt sind, ferner mit einer Schutzschicht aus einem Metalloxid auf der Innenfläche wenigstens einer der dielektrischen Schichten.

Im allgemeinen sind bei einer Anzeigeanordnung 30
mit Gasentladung zwei Elektroden, die mit dielektrischen Schichten bedeckt sind, einander gegenüber
angeordnet. Zwischen ihnen befindet sich ein Zwischenraum, der mit ionisationsfähigem Gas gefüllt
ist. Ein die Entladung aufrechterhaltendes Wechsel- 35 Lichteinstrahlung bzw. semistabile Atome. Die Anstromsignal wird zwischen die Elektioden, die ein- derung des Wertes γ verursacht eine Änderung im

Leitfähigkeitswert des Oberflächenmaterials der dielektrischen Schichten. Dies wiederum verursacht eine Änderung der Zündspannung V₁ und des Speicherfügt werden. Es werden dann der Polarität der ange- 40 koeffizienten α; darüber hinaus ändert sich der Durchlegten Spannung entsprechende Wandladungen gebil- messer der Entladungsstellen, und die Durchsichtigkeit der Trägerschichten wird infolge von Schwärzungsvorgängen an der Oberfläche der dielektrischen Schichten beeinflußt. Diese Änderungen sind größer

wiederum Entladungsstellen erzeugt, und die PoIa- 45 für die Entladungszellen, die öfter gezündet wurden, rität der Wandspannung kehrt sich um. Wenn also Daher wird die Gleichmäßigkeit der elektrischen einmal die Zündung ausgelöst ist, kann eine die Ent- Charakteristiken der Entladungszellen durch den ladung aufrechterhaltende Spannung, die niedriger ist Unterschied in der Zahl der Entladungen bei den einals die Zündspannung, fortlaufend die Entladungs- zelnen Entladungszellen eines Gasentladungs-Anstelle erzeugen. Das heißt, die Schreibinformation 50 zeigefeldes zerstört, und die fehlende Gleichmäßigwird als Wandspannung gespeichert, und die Anzeige keit begrenzt die Dauer einer gleichmäßigen Betriebskann ausgeführt werden.

Es sind bereits einige Anordnungen und Formen des genannten Gasentladungs-Anzeigefeldes bekanntgeworden. Zum Beispiel werden gemäß US-PS 36 14 511 zwei Trägerplatten, die jeweils eine Anzahl paralleler, linearer Leiter aufweisen, die ihrerseits mit dielektrischem Material bedeckt sind, einander gegenüber angeordnet, derart, daß die linearen Leiter

der einen Trägerplatte senkrecht zu den linearen Lei- 60 bedeutet der Wert «₀ tern der anderen Trägerplatte verlaufen, und es wird

ein geeignetes Gas zwischen die zwei Trägerplatten _Λ =

eingefüllt. Bei einem anderen bereits vorgeschlagenen
Beispiel sind zwei Elektroden, deren Form der Form
einiger alphanumerischer Zeichen entspricht, einander 65 wobei A V₁ der Unterschied zwischen der maximalen gegenüber angeordnet, und der Zwischenraum zwi- und minimalen Zündspannung aller Zeilen des ganzen sehen diesen Elektroden ist mit einem geeigneten Feldes ist und A V_sm die Differenz zwischen dem ma-Entladungsgas gefüllt. ximalen Wert der die Entladung unterhaltenden Span-

ander gegenüberliegen, angelegt, und es treten Entladungsstelle.n auf, wenn Impulse, die größer sind als die Zündspannung, dem Erhaltungs-Signal hinzuge-

det. Wenn der Potentialunterschied zwischen den Wandladungen und der nachfolgenden Erhaltungs-Spannung größer als die Zündspannung wird, werden

weise des Gasentladungs-Anzeigefeldes.

In der obigen Erläuterung bedeutet der Wertet:

wobei V₁ die Zündspannung und V_sm die kleinste, die Entladung aufrechterhaltende Spannung ist. Ferner

AV,+ Λ ■

nunger. aller Zellen des ganzen Feldes. Der Wert a₀ sollte so klein wie möglich sein.

Im allgemeinen besteht das Material der dielektrischen Schichten aus einem Glas mit niederem Schmelzpunkt, das viel Blei enthält, d. 1.., das genannte Glas enthält 60 bis 80% Bleioxid (PbO).

Dieses Glas weist Vorzüge auf, die in den elektrischen Charakteristiken, wie bei der Zündspannung V₁ und dem Speicherkoeffizienten λ, liegen, und ist auch hinsichtlich eines einfachen Zusammenbackens (Sinterns) mit der Trägerplatte und hinsichtlich einer einfachen Hersteilung der Behälter bevorzugt. Darüber hinaus ist das genannte Glas besonders gut geeignet im Hinblick auf kleine Unterschiede des Ausdehnungskoeffizienten zwischen Glas und Trägerplatte hinsichtlich der Benetzbarkeit, der Viskosität, der Transparenz und der Erweichungstemperatur. Dieses Glas für die dielektrischen Schichten eines Gasentladungs-Anzeigefeldes hat jedoch den Nachteil, daß die Verbindung zwischen dem Blei und dem Sauerstoff des Bleioxids nicht stark ist. Daher zerstört das auf Grund der Entladung auftretende Ionen-Bombardement die genannte Verbindung zwischen Blei und Sauerstoff, wodurch die Qualität der Oberfläche verändert wird und Sauerstoffatome in das Entladungsgas, das aus einer seltenen Erde besteht, austreten. Dies ist der Grund dafür, daß die Lebensdauer der genannten Gasentladungs-Anzeigeanordnungen kurz ist.

In den deutschen Offenlegungsschriften 21 35 889 und 22 47 670 ist deshalb vorgeschlagen worden, auf der Innenfläche der die Elektroden bedeckenden dielektrischen Schichten eine Schutzschicht aus einem Metalloxid aufzubringen. Während in der erstgenannten Offenlegungsschrift eine Schutzschicht aus einem Oxid der Elemente Aluminium, Titan, Zirkon, Hafnium oder Silizium vorgeschlagen wird, soll die Schutzschicht bei der zweitgenannten Offenlegungsschrift aus einem Oxid eines Erdalkalimetalls, aus Magnesiumoxid oder aus Aluminiumoxid bestehen.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Gasentladungs-Anzeigefeld der eingangs genannten Art verfügbar zu machen, das eine lange Lebensdauer und Werte für V₁, <x und λ₀ aufweist, die sich über einen langen Betriebszeitraum hinweg nicht ändern.

Dies wird bei einem Gasentladungs-Anzeigefeld der eingangs genannten Art dadurch erreicht, daß die Schutzschicht als Hauptkomponente CeO₂ und/oder La₂O₃ enthält.

Die Erfindung wird durch Ausführungsbeispiele an Hand vcn sieben Figuren näher erläutert. Es zeigt

F i g. 1 eine perspektivische Darstellung, die den Aufbau eines typischen Anzeigefeldes für Gasentladungen darstellt,

F i g. 2 eine Querschnittsdarstellung des Anzeigefeldes nach Fig. 1,

F i g. 3 (A) bis 3 (D) eine weitere Ausführungsform eines typischen Anzeigefeldes, bei der eine Gasentladung ausgenutzt wird,

F i g. 4 (A) und 4 (B) Lebensdauer-Charakteristiken von bekannten Plasma-Anzeigefeldern,

F i g. 5 eine Ausfuhrungsfor.ro der Erfindung in einem vergrößerten Querschnitt, die den Aufbau eines typischen Anzeigefeldes für eine Gasentladung darstellt,

F i g. 6 die Lebensdauer-Charakteristiken eines derartigen GasentJadyngs-Anzeigefeldes,

F i e. 7 eine weitere Ausführungsform der Erfindung in einer vergrößerten Querschnittsdarstellung.

In Fig. 1 ist eine Anzeige-Anordnung 1 dargestellt,

die mittels einer Gasentladung betrieben wird und

ein Paar Eiektroden-Trägerplatten 2 und la auf-

weist. Die Elektroden-Trägerplatte 2 weist eine Gruppe von Elektroden 3 auf, die in Spalten parallel zur vertikalen Achse angeordnet sind; die dielektrische Schicht 4 bedeckt die Gruppe der Elektroden 3. Die Elektroden-Trägerplatte 2 a weist eine

ίο Gruppe von Elektroden 3 a auf, die in Reihen parallel zur horizontalen Achse angeordnet sind; die dielektrische Schicht 4 α bedeckt die Gruppe der Elektroden 3 α. Die Elektroden-Trägerplatten 2 und 2 a sind parallel zu den Gruppen der Elektroden 2 bzw. 2 a

angeordnet und eingeteilt. Wie F i g. 2 zeigt, werden diese parallel zueinander angeordneten Reihen und Spalten voneinander durch einen Zwischenraum 5 getrennt. Dieser Zwischenraum S ist mit einem Gas der seltenen Erden angefüllt, das einen geeigneten

Druck aufweist und ionisationsfähig ist. Wenn die Anordnung 1 für Anzeigezwecke benutzt wird, ist es

nötig, daß wenigstens einer der Träger 2, la und eine

der dielektrischen Schichten 4,4 a durchsichtig ist.

In der in den F i g. 1 und 2 dargestellten genannten

Gasentladungs-Anzeigeanordnung 1 findet eine Gasentladung an einem Kreuzungspunkt der Reihen- und Spaltenelektroden in dem Zwischenraum 5, der mit einem ionisierbaren Gas gefüllt ist, dann statt, wenn eine elektrische Spannung, die höher als die Zünd-

spannung V₁ ist, selektiv zwischen den Gruppen der Elektroden in den Spalten 3 und Reihen 3 a angelegt wird. Zum Zeitpunkt dieser Entladung wird in der Nähe des genannten Kreuzungspunktes in den dielektrischen Schichten 4 und 4 a eine Wandladung gebildet. Auf Grund dieser Wandladung wird die Entladung, die einmal erzeugt ist, durch eine gepulste Erhaltungsspannung V_s, die kleiner als die Zündspannung V₁- ist, aufrechterhalten und bleibt auf diese Weise bestehen. Das bedeutet, daß die Information, die als eine die Zündspannung V₁ übersteigende Spannung angelegt wird, durch die genannte Wandladung gespeichert wird.

F i g. 3 (A) zeigt eine andere bekannte Ausführungsform eines Gasentladungs-Anzeigefeldes. In

F i g. 3 (A) sind die gemeinsame Elektrode 6 und die Segmentelektroden Ta bis 7 g, die in sieben Abschnitte eingeteilt sind, gegenüberliegend angeordnet, und ein Gas der seltenen Erden ist zwischen die gemeinsame Elektrode 6 und die Segmentelektroden Tc bis 7 g eingebracht. Die Oberfläche der Elektroden ( und 7 a bis 7 g ist mit dielektrischen Schichten (in dei Zeichnung nicht dargestellt) wie beim Ausführungs beispiel nach F i g. 1 und F i g. 2 bedeckt. Die An zeigeanordnung, die einen Aufbau wie in F i g. 3 (A

aufweist, kann dazu verwendet werden, Ziffern zi zeigen. Das heißt, die selektive Entladung zwischei der gemeinsamen Elektrode 6 und den Segmentelek troden 7a bis 7g erlaubt die Anzeige von Ziffern, wi es die F i g. 3 (B) bis 3 (D) zeigen, wobei F i g. 3 (B die Ziffer »4«, Fig. 3(C) die Fig. »6« um F i g. 3 (D) die Ziffer »8« darstellt. Beispielsweise wir in Fi g. 3 (B) die Ziffer »4« durch die Entladung zwi sehen der gemeinsamen Elektrode 6 und den Seg mentelektrode 7b, Tc, Td und 7/ angezeigt.

Es ist weiterhin möglich, eine andere Struktur de Gasentladungs-Anzeigefeldes zu wählen, ais es in de F i g. 1 bis 3 dargestellt ist. Beispielsweise ist ei Gasentladungs-Anzeigefeld vom Einflächen-Entk

dungstyp oder vom Lateral-Entladungstyp möglich, bei dem eine Anzahl von Elektrodenpaaren auf der gleichen Seite des Entladungsgases angeordnet ist (das Gasentladungs-Anzeigefeld von Fig. 1 und 2 wird Kreuzungspunkt-Entladungstyp oder Vertikal-Entladungstyp genannt, da eine Anzahl von Elektroden auf beiden Seiten des Entladungsgases angeordnet ist). Weiterhin ist ein Gasentladungs-Anzeigefeld vom Selbstverschiebungstypus möglich, das einen sogenannten Kettenreaktions-Effekt oder Verschmelzungs-Effekt aufweist, der durch ionisiertes Gas in der Nähe der Entladungsstellen verursacht wird. Im Selbstverschiebungstypus ist die Zündspannung an Stellen, die in der Nähe der Entladungsstellen liegen, wegen der Anwesenheit von ionisiertem Gas niedriger als an den sonstigen Stellen. Durch Ausnützen dieses Effektes verschieben sich die Entladungsstellen bei einem Selbstverschiebungs-Feld automatisch in einer vorbestimmten Richtung weiter, wenn an die Elektroden eine mehrphasige Spannung angelegt wird.

Die F i g. 4 (A) und 4 (B) zeigen charakteristische Kurven der Zündspannung V₁, des Speicherkoeffizienten α und des Wertes a₀, die über der Arbeitszeit der genannten Anzeigefelder aufgetragen sind. In F i g. 4 (A) zeigen die Kurven α und b die Charakteristiken V₁ und a der Stellen, an denen kontinuierlich eine Entladung brennt, während die Kurven a' und b' die Charakteristiken V₁ und α der Stellen, an denen keine Entladung auftritt, darstellen. Aus den F i g. 4 (A) und 4 (B) ist zu entnehmen, daß sich bei den bekannten Gasentladungs-Entladungsfeldern die Werte für V, und für ^₀ für die Arbeitspunkte nach etwa 50 Stunden zu ändern beginnen. Diese Änderung bewirkt eine Verkürzung der Lebensdauer des Anzeigefeldes.

Der Grund dafür, daß die Lebensdauer des beschriebenen Entladungsfeldes so kurz ist, wie dies in F i g. 4 (A) und 4 (B) gezeigt ist, liegt in der Tatsache, daß sich die Qualität des dielektrischen Materials auf der Oberfläche der dielektrischen Schichten, die mit dem Entladungsgas in Berührung stehen, verändert, wie dies zuvor erklärt wurde.

Im allgemeinen werden folgende Bedingungen für das Material der dielektrischen Schichten, die mit dem Entladungsgas eines Gasentladungs-Anzeigefeldes in Berührung stehen, gefordert:

(a) Der Koeffizient γ für die Sekundärelektronenmission sollte im Hinblick auf eine niedrigere Zündspannung V, groß sein.

(b) Der Oberflächenwiderstand und der Raumwiderstand sollten groß genug sein, um eine Wandladung über einen genügend langen Zeitraum aufrechtzuerhalten.

(c) Die äquivalente Kapazität der dielektrischen Schichten sollte klein genug sein, um den Entladungsstrom in seinem Wert zu beschränken, mit anderen Worten, die dielektrischen Schichten sollten eine Eigenschaft aufweisen, daß es möglich ist, dicke Schichten herzustellen, um kleine Kapazitäten zu erhalten.

(d) Das Material sollte eine genügend große Durchschlagsfestigkeit aufweisen.

(e) Das Material sollte eine genügend große Festigkeit gegen Ionen-Bombardement haben.

(f) Die Benetzbarkeit und der Unterschied zwischen dem Ausdehnungskoeffizienten zwischen den Träeerschichten und den dielektrischen Schichten sollten vernünftige Werte haben, ferner sollten die chemischen Eigenschaften, die Erweichungstemperatur und die Durchsichtigkeit ir einem vernünftigen Rahmen liegen.
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Von den genannten Bedingungen betreffen (a) und (e) nur die Eigenschaft der Oberfläche der dielektrischen Schichten, und diese zwei Bedingungen haben einen großen Einfluß auf die Lebensdauer des Gasentladungs-Anzeigefeldes. Bezüglich der Bedingungen (b), (c), (d) und (f) kann dielektrisches Material, das schon lange Zeit vorher erfolgreich angewendet wurde, vorzugsweise benutzt werden.
Das Anzeigefeld ist derart aufgebaut, daß wenigstens eine Oberfläche der dielektrischen Schichten, die mit dem Entladungsgas in Verbindung stehen, mit einem dünnen, die Oberfläche verstärkenden Film bedeckt ist, der Eigenschaften aufweist, die die genannten Bedingungen (a) und (e) erfüllen.

Die gewünschten Eigenschaften eines die Oberfläche verstärkenden Filmes sind: eine starke Verbindung mit Sauerstoff, ein kleiner Zerstäubungs-Koeffizient, eine gute Isolierung und Lichtdurchlässigkeit und einfache Herstellbarkeit. Ein für den die Oberfläche verstärkenden Film geeignetes Material, das die gewünschten Eigenschaften erfüllt, ist Cer-Oxid (CeO₂), das eine starke Verbindung zu Sauerstoff hat, starke Oxidationseigenschaften aufweist und einen kleinen Zerstäubungskoeffizienten besitzt. Cer-Oxid ist daher ein gutes dielektrisches Material und ist chemisch stabil.

Auf die Oberfläche der dielektrischen Schichten von etwa 10 bis 20 μ Dicke wird durch ein Aufdampfverfahren eine durch Widerstandsbeheizung aufge-

heizte Schicht Cer-Oxid mit einer Dicke von 1000 bis 5000 A aufgebracht.

F i g. 5 zeigt eine Ausführungsform mit einer vergrößerten Querschnittsdarstellung eines Gasentladungs-Anzeigefeldes, das einen die Oberfläche verstärkenden Film gemäß der vorliegenden Erfindung aufweist. Gemäß F i g. 5 ist auf einer ersten Trägerschicht 9 eine Anzahl paralleler und voneinander räumlich getrennter Leiter als eine erste Elektrodengruppe 10 angeordnet. Diese Elektrodengruppe 10 ist

mit einer ersten dielektrischen Schicht 11 bedeckt, deren Oberfläche dem Gasraum 13 der Entladung zugewandt ist und die weiterhin mit einem ersten, die Oberfläche verstärkenden Film 12 bedeckt ist. Auf einer zweiten Trägerschicht 17 ist eine Anzahl paralleler und räumlich voneinander getrennter Leiter als zweite Elektrodengruppe 16 angeordnet. Diese zweite Elektrodengruppe 16 ist mit einer zweiten dielektrischen Schicht 15 bedeckt, deren Oberfläche dem Gasraum 13 der Entladung zugewandt ist und die weiterhin mit einem zweiten, die Oberfläche verstärkenden Film 14 bedeckt ist. Die beiden Trägerschichten 9 und 17 sind in bezug auf den Entladungs-Gasraum 13 so einander gegenüber angeordnet, daß die zwei Elektrodengruppen 10 und 16 senkrecht zueinander stehen.

Die Fig. 6(A) und 6(B) zeigen die Kennlinien der Zündspannung V_h des Speicherkoeffizienten a und des Wertes a₀ in Abhängigkeit von der Betriebsdauer des in F i g. 5 dargestellten Anzeigefeldes. In den

«5 F i g. 6 (A) und 6 (B) ist die Zeitachse (die waagrechte Achse) im logarithmischen Maßstab dargestellt. In Fig- 6(A) stellen die Kurven α und b die Kennlinien V₁ und λ der Stellen dar. an denen fortlaufend

eine Entladung auftritt, während die Kurven a' und b' die Kennlinien V, und α für die Stellen veranschaulichen, an denen keine Entladung stattfindet.

Aus den F i g. 6 (A) und 6 (B) ist zu ersehen, daß der Wert von V_h <x und a₀ sich bei dem Entladungs- S feld über eine lange Zeit hinweg sowohl für die Stellen, an denen eine Entladung stattfindet als auch für die Stellen, an denen keine Entladung stattfindet, kaum ändert. Daher wird die Lebensdauer des Anzeigefeldes durch die vorliegende Erfindung wesentlieh erhöht. Sie beträgt mehr als einige tausend Stunden.

Zusätzlich zu der langen Lebensdauer weist das Gasentladungs-Anzeigefeld mit einem die Oberfläche verstärkenden Film aus Cer-Oxid weitere Vorteile auf, nämlich einfache Aufdampfeigenschaften, ferner eine Zündspannung V_h einen Speicherkoeffizienten « und Eigenschaften der Stellen, an denen Entladung auftritt, die etwa denen der bereits vorgeschlagenen Anzeigefelder entsprechen, schließlich eine genügend große Durchsichtigkeit und eine einfache Behandlung. Neben Cer-Oxid kann der die Oberfläche verstärkende Film auch aus einigen anderen Oxiden der seltenen Erden hergestellt sein, wie aus Yttrium (Y), Europium (Eu), Gadolinium (Gd), Terbium (Tb) oder Dysprosium (Dy); Holmium (Ho), Erbium (Er), Thulium (Tm), Ytterbium (Yb) oder Lanthan (La); Scandium (Sc) oder Thorium (Th). Um den genannten, die Oberfläche verstärkenden Film auf die Oberfläche der dielektrischen Schichten aufzubringen, können Aufdampfverfahren angewandt werden, wie Aufdampfung durch Widerstandsbeheizung, durch Elektronenstrahlaufheizung, durch Hochfrequenz-Aufdampfung, durch Schmelz- und Aufsprühverfahren, durch Sedimentation-Methoden oder Aufspritzverfahren. Bei den genannten Verfahren zum Aufbringen des Films auf die Oberfläche der dielektrischen Schichten ist es weiterhin möglich, durch ein Anoden-Oxidierungsverfahren ein Oxid zu erhalten, nachdem das metallische Element auf die genannte Oberfläche aufgebracht wurde, oder den Oxidfilm durch Ladungszerstäubung des Metalls in einer Atmosphäre mit einem Gas der seltenen Erde, wobei auch Sauerstoff anwesend ist, zu erzeugen. Weiterhin sind das Aufdampfen von Gemischen, wie Y_nO₃ — TiO₂ und eines dünnen Filmes, der aus einem Gemisch aus Dy₂O₃ — B₀O₃ — SiO., mit dem Gewichtsverhältnis 80? 10 : 10 "hergestellt" ist, möglich. Wenn Lanthan-Oxid (La₂O₃) für den die Oberfläche verstärkenden Film benutzt wird, sollte die Behandlung in trockener Umgebung, also bei Anwesenheit eines hygroskopischen Materials vorgenommen werden.

F i g. 7 zeigt eine weitere Ausführungsform in einer vergrößerten Querschnittsansicht eines Gasentladungs-Anzeigefeldes. F i g. 7 unterscheidet sich von F i g. 5 darin, daß der zweite, die Oberfläche verstärkende Film 14 weggelassen ist und nur der erste, die Oberfläche verstärkende Film 12 vorhanden ist. Obwohl das Anzeigefeld von F i g. 7 den die Oberfläche verstärkenden Film nur auf einer dielektrischen Schicht aufweist, sind die Lebensdauer-Eigenschaften dieses Anzeigefeldes etwa die gleichen wie die von Fig. 5.

Der Grund, warum das Anzeigefeld gemäß Fig. 7, das den die Oberfläche bedeckenden Film auf nur einer der dielektrischen Schichten hat, etwa die gleiche lange Lebensdauer wie das Anzeigefeld gemäß F i g. 5 aufweist, das den die Oberfläche verstärkenden Film auf beiden dielektrischen Schichten besitzt, ist folgender;:

Der auf eine dielektrische Schicht aufgebrachte, die Oberfläche verstärkende Film schützt nicht nur die Schicht, die den verstärkenden Film trägt, sondern auch die Schicht, die diesen verstärkenden Film nicht trägt, weil der verstärkende Film durch Elektronen und/oder Ionen während der Entladung zerstäubt wird. Folglich wird das verstärkte Material allmählich die dielektrische Schicht bedecken und schützen, die keinen die Oberfläche verstärkenden Film aufweist, und auf diese Weise erhält auch diese dielektrische Schicht einen aufgestäubten Schutzfilm. Dieser aufgestäubte Schutzfilm kann aus einer Mischung des Materials des Schutzfilms und der bereits bekannten dielektrischen Schicht zusammengesetzt sein, da die bereits bekannte dielektrische Schicht auch zerstäuben kann. Darüber hinaus kann der zerstäubte Schutzfilm auch die geschützte Oberfläche bedecken.

Ein weiterer Vorteil der Ausführungsform von Fig. 7 liegt darin, daß ein lichtundurchlässiger Film auf der einen dielektrischen Schicht als verstärkender Film benutzt werden kann. Zusätzlich können die Herstellungskosten des Anzeigefeldes gemäß F i g. 7 gegenüber dem Anzeigefeld von F i g. 5 niedriger gehalten werden, da nur ein die Oberfläche verstärkender Film benötigt wird.

Weiterhin kann ein Getter, das das Sauerstoffgas festhält, in dem Falle zu einer etwas längeren Lebensdauer des Anzeigefeldes führen, wenn eine Änderung der Qualität des Entladungsgases die Charakteristiken des Entladungsfeldes verschlechtert, infolge der Umsetzung des Oxids auf dem die Oberfläche verstärkenden Film und/oder der dielektrischen Schicht gemäß F i g. 5 oder 7 in Sauerstoffgas durch Zerstäubung und/oder Ionen-Aufschlag.

Die zuvor gemachten Ausführungen zeigen, daß ein verbessertes Gasentladungs-Anzeigefeld mit langer Lebensdauer hergestellt werden kann. Die ganze dielektrische Schicht kann aber auch aus dem gleichen Material hergestellt werden wie der die Oberfläche verstärkende Film, anstatt daß die genannte Schicht mit dem verstärkenden Film bedeckt ist. Weiterhin ist die Anwendung des die Oberfläche bedeckenden Filmes nicht nur auf Gasentladungs-Anzeigefelder vom Kreuzungspunkt-Typus oder Vertikalentladungs-Typus beschränkt, sondern sie ist bei allen Arten von Gasentladungs-Anzeigefeldern einschließlich des Einflächen-Entladungstyps oder des Lateral-Entladungstyps und einschließlich des Anzeigefeldes gemäß Fi g. 3 möglich.

Hierzu 4 Blatt Zeichnungen

Claims (1)

1. Patentanspruch:

   Gasentladungs-Anzeigefeld mit zwei Trägerplatten, von denen wenigstens eine lichtdurchlässig ist, und mit einer Anzahl von auf der Innenfläche der beiden Trägerplatten angeordneten Elektrodenpaaren, die auf der dem Gasentladungsraum zugewandten Seite mit einer dielektrischen Schicht bedeckt sind, ferner mit einer Schutzschicht aus einem Metalloxid auf der Innenfläche wenigstens einer der dielektrischen Schichten, dadurch gekennzeichnet, daß die Schutzschicht (12, 14) als Hauptkomponente CeO₂ und/oder La₂O₃ enthält.

   Der Nachteil bekannter Gasentladungs-Anzeigefel der liegt in der kurzen Lebensdauer.

   Zwei der Punkte, die die Lebensdauer des Gas entladuags-Anzeigefcldes beeinflussen, sind: