DE2254477C2 - Verfahren zum Aufbringen und Haftverbinden von elektrischem Leitermaterial auf ein Substrat und Druckmasse zur Durchführung des Verfahrens - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Aufbringen und Haftverbinden eines ausgewählten elektrischen Leitermaterials auf ein ausgewähltes Substrat, bei dem man eine zum Bedrucken des Substrats dienende Masse durch Vermischen von fein zerkleinerten Teilen des Leitermaterials, einer Glasfritte und einem in einem Lösungsmittel gelöstes Polymermaterial aufweisenden Trägermaterial herstellt, mit dieser Masse das Substrat bedruckt und danach das mit der aufgedruckten Masse versehene Substrat auf eine erste Temperatur erhitzt, die zur Verdampfung des Lösungsmittels ausreichend hoch ist, und anschließend auf eine höhere zweite Temperatur, die das Schmelzen der Glasfritte und die Haftbindung des Leitermaterials am Substrat bewirkt.

Ein Verfahren der vorstehend beschriebenen Art ist aus der DE-OS 16 46 606 bekannt. Bei diesem bekannten Verfahren besteht das Trägermaterial aus einer verdampfbaren Festsubstanz, einem harzartigen Bindemittel und einem Lösungsmittel für die verdampfbare Festsubstanz und das Bindemittel. Die verdampfbare Festsubstanz hat die Aufgabe, die Maßbeständigkeit der gedruckten Linie aufrechtzuerhalten, während das Lösungsmittel entfernt wird. Das Bindemittel wird zum Halten der Pulver und der Fritte auf der Unterlage verwendet, wenn das Lösungsmittel und die verdampfbare Festsubstanz entfernt sind. Somit werden nach der Lehre der DE-OS 16 46 606 zum Aufrechterhalten der Dimensionsbeständigkeit der Masse während des Verdampfens des Lösungsmittel und zum Halten der Masse auf der Unterlage nach dem Verdampfen des Lösungsmittels zwei verschiedene Substanzen eingesetzt.

Ein Verfahren der eingangs beschriebenen Gattung ist auch aus der DE-AS 14 71 713 bekannt. Auch nach der in dieser Veröffentlichung offenbarten Lehre muß das Trägermaterial eine sublimierbare Festsubstanz, ein Bindemittel und ein Lösungsmittel für die Fistsubstanz und das Bindemittel enthalten. Diese Bestandteile sollen die vorstehend wiedergegebenen Aufgaben erfüllen.

Die bekannten Verfahren haben den Nachteil, daß sich die im Trägermaterial vorhandenen Festsubstanzen bei Ablauf des Verfahrens zu Verbindungen zersetzen können, die einen Rückstand hinterlassen können, der in der trockenen Masse verbleibt. Bei diesen Rückständen handelt es sich in erster Linie um kohlenstoffhaltige Produkte.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren der angegebenen Art zu schaffen, mittels dem die Bildung von unerwünschten Rückständen im aufgebrachten Überzug weitgehend vermieden werden kann.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß bei einem Verfahren der eingangs wiedergegebenen Art dadurch gelöst, daß man ein Trägermaterial verwendet, daß aus einem in inerter Atmosphäre pyroiysierbaren Polymermaterial besteht, welches in einem eine unterhalb der Pyrolysetemperatur des Polymermaterials gelegene

Siedetemperatur aufweisenden Lösungsmittel gelöst ist, und daß man das mit der aufgedruckten Masse versehene Substrat in inerter Atmosphäre auf die zweite höhere Temperatur erhitzt

Im Gegensatz zu dem vorstehend wiedergegebenen Stand der Technik wird somit bei dem erfindungsgemäßen Verfahren ein Trägermaterial eingesetzt, das aus einer einzigen, in einem Lösungsmittel gelösten Substanz besteht. Diese Substanz übernimmt sowohl die Aufgabe der Aufrechterhaltung der Dimensionsstabilitat der Masse während des Verdampfens des Lösungsmittels (das erfindungsgemäß eingesetzte Polymermaterial ist im allgemeinen fest) als auch die Aufgabe eines Bindemittels währen des Intervalls zwischen dem Verdampfen des Lösungsmittels und der Entfernung des Polymermaterials durch Pyrolyse.

Das erfindungsgemäße Verfahren läuft zweistufig ab. Hierdurch werden die bei einem einstufigen Erhitzungsverfahren möglichen Viskositätsänderungen im System und die damit verbundenen unerwünschten Effekte (Strukturveränderungen) vermieden. Ein derartiges einstufiges Verfahren, gemäß dem eine aus Leitermaterial, Glasfritte und Trägermaterial, das aus einem in einem Lösungsmittel gelösten Polymermaterial gebildet ist, hergestellte Masse auf ein Substrat aufgebracht und danach auf eine das Schmelzen der Glasfritte und die Haftbindung des Leitermaterials am Substrat bewirkende Temperatur in inerter Atmosphäre erhitzt wird, ist aus der DE-OS 20 14 881 bekannt. Da der Erhitzungsvorgang einstufig abläuft, bringt dies die vorstehend angegebenen Nachteile mit sich. Schließlich sei noch die DE-OS 16 46 860 erwähnt, in der ebenfalls eine einstufige Hitzebehandlung vorgeschlagen wird, wobei jedoch von einer inerten Atmosphäre nichts erwähnt ist. Als Beispiel für ein Bindemittel ist in dieser Veröffentlichung u. a. Polyisobutylen aufgeführt.

Vorteilhafte Weiterbildungen des erfindungsgemäßen Verfahrens gehen aus den Unteransprüchen hervor.

Der erfindungsgemäße Gedanke, ein aus einer einzigen Substanz bestehendes Trägermaterial zu verwenden, das sowohl Dimensionsstabilität beim Verdampfen des Lösungsmittels gewährt als auch Haftwirkung nach dem Verdampfen des Lösungsmittels entfaltet und darüber hinaus zu keinen schädlichen Rückständen in der trockenen Masse führt, führt daher zu beträchtlichen Vorteilen gegenüber den bekannten Verfahren, seien dies nun einstufige oder zweitstufige Verfahren.

Die Erfindung bezieht sich ebenfalls auf eine Diuckmasse zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 10, die aus einem Gemisch aus fein zerkleinertem Leitermaterial, einer reduktionsresistenlen Glasfritte und einem Trägermaterial, das in einem Lösungsmittel gelöstes Polymermaterial aufweist, besteht. Eine derartige Masse ist aus der eingangs genannten DE-OS 16 46 606 bekannt.

Die Druckmasse ist erfindungsgemäß dadurch gekennzeichnet, daß das Trägermaterial aus einem in inerter Atmosphäre pyrolysierbaren Polymermaterial besteht, das in einem eine unterhalb der Pyrolysetempe- go ratur des Polymermaterials gelegene Siedetemperatur aufweisenden Lösungsmittel gelöst ist.

Der in den Patentansprüchen sowie in der Beschreibung verwendete Begriff »elektrisches Leitermaterial« soll elektrisch leitfähiges Material, Elektronenhalbleiter-Material und Ionenhalbleiter-Material, wie beispielsweise Metall-Elemente und/oder Metallverbindungen umfassen. Als Leitermaterialien können beliebige Metalle Verwendung finden. Der Begriff »Metall« soll im vorliegenden Zusammenhang auch die sogenannten Metalloide abdecken.

Besonders empfiehlt sich der Einsatz von Metallen wie Silber, Gold, Kupfer, Platin, Palladium, Nickel, Zink, Cadmium, Aluminium, Chrom und Eisen.

Es können auch zahlreiche andere Metalle Verwendung finden, wie beispielsweise Magnesium, Quecksilber, Gallium, Indium, Thallium, Germanium, Antimon, Blei, Titan, Zirkonium, Hafnium, Zinn, Silizium, Wolfram, Vanadium, Niob, Tantal, Ruthenium, Kobalt, Rhodium, Scandium, Yttrium und die Seltenerdmetalle (Lanthanide und Aktinide), speziell Thorium und Cer. In gleicher Weise sind Gemische aus Metallen verwendbar.

Metall- und Metalloid-Verbindungen sind auch brauchbar, speziell Halbleiterverbindungen, wie beispielsweise Siliziumcarbid, Metalloxide, -telluride, -vanadate, -stannate, -titanate, -antimonate, -molybdate, -arsenate, -manganate und dergleichen.

Eine Reihe von Metallen kann bereits in sich Anteile an Metalloxider. aufweisen; so hat beispielsweise häufig jedes metallische Kupferteilchen eine Oberzugsschicht aus Kupferoxid. Wenn dies unerwünscht ist, können solche Metalloxide, beispielsweise das Kupferoxid, durch den bei der Pyrolyse des Polymermaterials entstehenden Wasserstoff in das reine Metall umgewandelt werden.

Wie erwähnt, werden das Substrat und die darauf aufgedruckte Masse einem solchen Erhitzungsvorgang unterworfen, daß in einem ersten Schritt das Lösungsmittel verdampft und dann in einem nachfolgenden zweiten Schritt auf eine zweite, höher gelegene Temperatur, bei der die Pyrolyse des Polymermaterials durchgeführt wird, die Glasfritte zum Schmelzen gebracht und die feste Verbindung des Leitermaterials an das Substrat bewirkt wird.

Der erste Erhitzungsschritt (zum Verdampfen des Lösungsmittels) kann in beliebiger Atmosphäre vorgenommen werden. Der zweite Erhitzungsschritl muß jedoch in inerter Atmosphäre, beispielsweise in Anwesenheit von gasförmigem Stickstoff, durchgeführt werden. Man kann beide Erhitzungsschritte zu einem einzigen Schritt kombinieren, der dann allerdings in inerter Atmosphäre durchgeführt werden muß.

Neben Stickstoff kann man sonstige Inertgase, beispielsweise Argon, Neon, Helium, oder andere einsetzen.

Als Polymermaterial wird ein Material eingesetzt, das pyrolysiert, im Unterschied zu einer Verdampfung, wenn die erforderliche Energie auf einem bestimmten Energieniveau zugeführt wird.

Der Ausdruck »Pyrolysieren« wird im vorliegenden Zusammenhang für die Zersetzung des Polymermaterials zu gasförmigen Produkten, ohne daß das Material einen breiten flüssigen Bereich durchläuft und ohne daß nennenswerte kohlenstoffhaltige oder sonstige Rückstände verbleiben, die die vorgesehene Funktion des Systems beeinträchtigen würden, verwendet.

Der Ausdruck »Energieniveau« wird im vorliegender. Zusammenhang zur Bezeichnung eines beliebigen vernünftigen meßbaren molekularen Energiezustandes benutzt, der in Relation zu der Pyrolyse des Polymers und/oder der Entfernung des Lösungsmittels steht. Das gebräuchlichste Energieniveau ist das Temperaturniveau, definiert als durchschnittliche molekulare kinetische Energie. In der nachfolgenden Beschreibung wird der Begriff Temperaturniveau als synonyn mit Energien!-

veau verwendet Es sei jedoch vermerkt, daß sich die Erfindung nicht nur auf das Temperaturniveau bezieht, sondern ein beliebiges molekulares Energieniveau bzw. einen beliebigen Energiezustand einschließt, der erreicht werden kann durch sonstige geeignete Energiezufuhr aus beliebigen anderen Quellen oder mit anderen Mitteln, wie beispielsweise durch chemische Energie, elektrische Energie, thermale Energie, mechanische Energie, Schallwellen-Energie und dergleichen. Lie Energie kann in irgendeiner geeigneten Form übertragen werden, beispielsweise durch elektromagnetische Strahlung, sichtbare oder unsichtbare Lichtstrahlen, wie Infrarot-, Ultraviolett-Strahlen, durch Röntgen-Strahlen, Gamma-Strahlen und Beta-Strahlen.

Das Polymermaterial ist, solange es lösungsmittelfrei vorliegt, unter den Arbeitsbedingungen, beispielsweise den typischen Zimmer- oder Raum-Temperaturen in Fabrikationsräumen, die zwischen etwa 4 und 50⁰C liegen, fest. Es körnen jedoch auch extremere Temperaturen Verwendung finden, we-n die Verarbeitungsbedingungen dies zweckmäßig erscheinen lassen.

Der Einsatz eines festen Polymermaterials ist vorteilhaft, weil dieses Material während des Intervalls zwischen dem Verdampfen des Lösungsmittels und der Entfernung des Polymermaterials durch Pyrolyse das Verhalten eines Bindemitlels zeigt. Dies kann besonders dann vorteilhaft sein, wenn in dem verflüchtigbaren Bindemittelsystem sonstige Materialien, beispielsweise solche zum Überziehen eines Substrates, enthalten sind.

Als Polymermaterial wird zweckmäßig ein solches eingesetzt, das aus einem oder mehreren festen pyrolysierbaren Polymerisaten oder Copolymerisaten besteht, wie beispielweise Polyäther, wie Poly(tetrahydrofuran), Poly(1,3dioxolan). oder Poly(alkylenoxide). insbesondere Poly(äthylenoxid) oder Poly(propylenoxid); Poly(alkylmelhacrylate), wie solche, deren Alkylrest 1—6 C-Atome enthält, vorzugsweise Poly(tnethylmethycrylal), Poly(äthylmelhacrylat), und Poly(n-butylmethacrylat); Methacrylat-Copolymers, wie Methylmethacrylat, n-Butylmethacrylat-Copolymers, Methylmethacrylat-alpha-Methylstyrol-Copolymers. n-Butylmethacrylat-alpha-Methylstyrol-Copolymers. Methylmethacrylal-Styrol-Copolymers, Methylmethacrylat-Dimethylitaconat-Copolymers; und andere ausgewählte Polymers und Copolymers einschließlich Polyisobutylen; Poly(trimethylencarbonat); Poly(beta-propiolacton); Poly(deltavalerolacton); Poly(äthylencarbonat); Poly(propylencarbonat); Poly(äthylenoxaiat); Vinyltoluol-alpha-Met-hylstyrol-Copolymers; Styrol-alpha-Methylstyrol-Copolymers; und Olefin-Schwefeldioxid-Copolymers.

Bei einer speziellen Ausführungsform der Erfindung wird ein Polymermaterial eingesetzt, dem in die Molekularkette selektiv Sauerstoffatome eingearbeitet worden sind, beispielsweise Peroxy-Bindungen. Ein solches pyrolysierbares Polymer ist in der US-PS 36 32 365 beschrieben. Es wird dort beispielsweise ein Copolymer. Terpolymer oder Quadpolymer von Sauerstoff und wenigstens einem Monomer von Alkylmethacrylat, worin der Alkylrest 1 bis 6 C-Atome enthalt, beispielsweise ein Methyl- bis Hexyl-Rest, vorzugsweise ein Butylrest ist, beschrieben. Auch Copolymers aus Sauerstoff mit anderen Vinyimonomeren können verwendet werden.

Die allgemeine Charakteristik der verwendbaren Polymermaterialien läßt sich dahin zusammenfassen, daß sie bei Normallempratur fest und bei erhöhter Temperatur, beispielsweise 600 bis 750⁰C pyrolysierbar sein müssen.

Der Vorgang der Entfernung durch Pyrolyse, wie er beim erfindungsgemäßen Verfahren benutzt wird, ist besonders vorteilhaft in sauerstofffreien Atmosphären; jedoch können die Massen auch in Sauerstoff enthaltender Atmosphäre benutzt werden. Diese Charakteristik ei möglicht die Verwendung eines (Continuums von atmosphärischen Drücken abwärts von etwa 1 bar absolut bis zu einem Vakuum, das annähernd im

ίο Mikronbereich gelegen ist. Als inerte Atmosphären können beispielsweise Stickstoff, Argon oder dergleichen benutzt werden.

Die in dem System vorhandene organische Lösungsmittel-Komponente besteht zweckmäßig aus einem oder mehreren organischen Lösungsmitteln, deren Siedetemperatur unterhalb der Pyrolysetemperatur des Polymers liegt, beispielsweise innerhalb eines Bereiches von 100 bis 400° C, vorzugsweise bei 200 bis 350⁰C. Die Verwendung von Lösungsmittel mit relativ hohem Siedepunkt ergibt ein vedampfbares System, das jedoch bei Zimmertemperatur nicht austrocknet

Beispiele für geeignete Lösungsmittel sind; Polychlorierte Polyphenyle; Dialkylpthalate, wie Dimethyl-. Diäthyl- oder Di-n-butylphthalat; Di-n-butylsuccinat; Dimethylsebacat; Dibenzyläther; Butylbenzoat: Acetyltriäthylcitrat, Glyceryltriacetat; beta-Äthoxyäthylbenzoat; Isoamylbenzoat; Benzylbenzoat; Isobutylsalicylat; Isoamylsalicylat; Benzylsalicylat; Äthyllaurat; Butyloleat; Äthylmyristat; Butylbenzylphthalat; Dimethylsube·

jo rat; Diäthylsebacat; Diäthylazelat; Di-n-bulyladipat; Diisobutyladipat; Dibutylsebacat; Dibutyltartrat; Glyceryltributyrat; Diäthylsiophthalat; Butylpalmitat; Dodecylbenzol; Tetradecylbenzol; Pentaäthylbenzol; Diphenylmethan; 1,1-Diphenyläthan; 1-Chlornaphthalin; 1-Bromnaphthalin; Dimethylnaphthalin (verschiedene Isomere und Gemische daraus); 1-Methoxynaphthalin; n-Alkane, die 14 bis 20 C-Atome enthalten und deren Gemische; Diphenyläther, Bis(alpha-methylbenzyl)-äther; tetra-Äthylenglykoldimethyläther; 2-Benzyloxyäthanol; Phenyl-n-hexyl-carbinol; Triäthylenglykol; 1,5-Pentandiol; Hexanophenon; 1-Naphthyl-methylketon; p-n-Pentylphenol; N-cyclohexyl-2-pyrrolidon; GIutaronitril; uns p-Methoxyphenylacetonitril. Das gewählte Lösungsmittel kann auch zu flüchtigen Produkten thermisch zerselzbar sein, z. B. innerhalb der oben angegebenen Siedebereich-Temperaturen.

Man kann unter den organischen Lösungsmitteln auch solche auswählen, die als Weichmacher für das Polymer wirken, und dabei einen sehr guten Lösungseffekt erreichen.

Die relativen anteiligen Mengen an Lösungsmittel (oder Weichmacher) und Polymermaterial ergeben sich aus der jeweiligen Art des Materials. Im allgemeinen liegt das Gewichtsverhältnis von Lösungsmittel zu Polymermaterial innerhalb eines Bereiches von 100 :1 zu 1 : 100, vorzugsweise von 10 :1 bis 1 :10.

Die relativen anteiligen Mengen an Leitermaterial-Teilchen in der erfindungsgemäßen Druckmasse richten sich nach den gewünschten mechanischen und elektrisehen Eigenschaften, beispielsweise der Leitfähigkeit und sonstigen Eigenschaften für das resultierende festhaftende Material. Solche anteiligen Mengen hängen ab von der geforderten Dicke, der Bestimmung und der Musteranordnung des haftend aufgebrachten Materials. Auch die Beladeeigenschaft des ausgewählten Polymermaterials ist ein zu berücksichtigender Faktor. Im allgemeinen setzt man die Leitermaterial-Teilchen zu wenigstens 50 Gew.-%, häufig zu wenig-

stens 75 Gew.-% der Masse insgesamt ein.

Die relative Größe der Leitermaterial-Teilchen kann in weiten Bereichen variieren. Gewöhnlich werden die Teilchen mit einem durchschnittlichen Durchmesser von weniger als 15 μίτι, vorzugsweise 1 bis 5 μηι benutzt.

Als Glasfritte wählt man ein reduktionswiderstandsfähiges Glas aus, wie es beispielsweise in der US-PS 29 93 815 beschrieben ist.

Bei einer bevorzugten Ausführungsform konnten hervorragende Resultate durch Verwendung einer reduktionsresistenten Glasfritte erhalten werden, die von einer metallorganisch abgeleiteten Glaszusammensetzung (MOD) abstammte; diese Zusammensetzung und deren Herstellung ist in der US-PS 36 40 093 beschrieben.

Die relative Teilchengröße der Giasfritle liegt im allgemeinen bei einem Durchmesser von 8 bis 12 μιη für nicht metallorganisch abgeleitete Zusammensetzungen und bei weniger als 1 μΐη für metallorganisch abgeleitete Zusammensetzungen.

Als Substrat bzw. Leiterplatte kann irgendein beliebiges Material einer geeigneten geometrischen Abmessung oder Konfiguration eingesetzt werden, dessen Oberfläche geeignet ist, die Druckmasse aufzunehmen. Im allgemeinen werden als Materialien keramisches Material, Glas und/oder Glaskeramiken, wie beispielsweise Natron-Kalk-Gläser, Aluminiumoxid oder Silizium eingesetzt.

Die Druckmasse wird in irgend einer beliebigen Form, Gestaltung oder Musterung durch beliebige geeignete Mittel, einschließlich Siebdruck, Sprühauftrag, Aufbürsten, Tauchen oder Auftragen in fester Form mit einem Stift auf das Substrat aufgedruckt oder aufgetragen.

Die praktische Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens bringt zahlreiche Vorteile gegenüber den bisher bekannten Verfahren für diesen Zweck. Es läßt sich beim erfindungsgemäßen Verfahren eine dicke Filmaufträge ergebende Mischung zubereiten, die in nicht-oxydierenden Atmosphären verarbeitet werden kann. Es lassen sich auch mehrere Schichten übereinander aufdrucken. Das Bindemittelsyslem verwandelt sich während des Erhitzens in einen festen Film, dessen Grundmaterial ein polymeres Bindemittel ist, das nachfolgend durch Pyrolyse entfernt werden kann. Die unüblichen niedrigen Dampfdrücke des Lösungsmittels und der Polymer-Komponente halten die Viskositätsänderung gering und ermöglichen die Druckfähigkeit bei Zimmertemperatur. Durch Einstellung der anteiligen Mengen der Komponenten oder Auswahl geeigneter Molekulargewichte lassen sich ausgewählte Viskositätsbereiche erreichen. Da eine ausgezeichnete Benetzung des Substrats vorliegt, kann eine hohe Feststoff-Beladung erzielt werden.

Man bringt die erfindungsgemäße Druckmasse beispielsweise dadurch auf das Substrat auf, daß man sie mittels Siebdruck daran anhaltend macht. Danach wird das Substrat auf eine Temperatur von 260 bis 400° C erhitzt, wobei die Lösungsmittel-Komponente verdampft wird. Die harzartige Komponente, die in dem Gemisch aus Glas und Metall noch vorhanden ist, wird schließlich durch Erhitzen auf 600 bis 75O°C und Pyrolyse des Harzes entfernt, und es verbleiben festhaftend die leitfähigen oder resistiven Bestandteile an den aufgebrachten Stellen zurück.

Das erfindungsgemäße Verfahren eignet sich besonders gut zur Fertigung von Mikroschaltungen und Bauteilen und Komponenten dafür.

Bei einer speziellen Ausführungsform wurde das erfindungsgemäße Verfahren zum Aufbringen einer Reihe von Elektroden auf ein Glassubstrat verwendet. Dann wurde ein Paar der Glassubstrate in geeigneter Weise fest miteinander verbunden, so daß Elektrodenreihe zu Elektrodenreihe zu liegen kam, und es ließ sich so ein Mehrfachgasentladungsgerät fertigen.

Bei einer weiteren Ausführungsform wurde ein dielektrischer Ladungsspeicher über die Elektrodenreihen aufgebracht (bevor die Substrate miteinander verbunden wurden). Damit konnte eine Gasentladungsröhre mit Ladungsspeicher in der in der US-PS 34 99 167 beschriebenen Art geschaffen werden.

Claims (11)

Patentansprüche:

1. Verfahren zum Aufbringen und Haftverbinden eines ausgewählten elektrischen Leitermaterials auf ein ausgewähltes Substrat, bei dem man eine zum Bedrucken des Substrats dienende Masse durch Vermischen von fein zerkleinerten Teilen des Leitermaterials, einer Glasfritte und einem in einem Lösungsmittel gelöstes Polymermaterial aufweisenden Trägermaterial herstellt, mit dieser Masse das Substrat bedruckt und danach das mit der aufgedruckten Masse versehene Substrat auf eine erste Temperatur erhitzt, die zur Verdampfung des Lösungsmittels ausreichend hoch ist, und anschließend auf eine höhere zweite Temperatur, die das Schmelzen der Glasfritte und die Haftbindung des Leitermaterials am Substrat bewirkt, dadurch gekennzeichnet, daß man ein Trägermaterial verwendet, das aus einem in inerter Atmosphäre pyroiysierbaren Polymermaterial besteht, welches in einem eine unterhalb der Pyrolysetemperatur des Polymermaterials gelegene Siedetemperatur aufweisenden Lösungsmittel gelöst ist, und daß man das mit der aufgedruckten Masse versehene Substrat in inerter Atmosphäre auf die zweite höhere Temperatur erhitzt.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß man ein Polymermaterial einsetzt, das bei einer Temperatur von 600⁰C bis 750° C pyrolysierbar ist.

3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß man ein Lösungsmittel einsetzt, das eine Siedetemperatur von 100° C bis 400° C hat.

4. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß man das Lösungsmittel und das Polymermaterial in einem Gewichtsverhältnis von 100 :1 bis 1 :100 einsetzt.

5. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß man das Leitermaterial in einer wenigstens 50Gew.-% der Gesamtzusammensetzung ausmachenden Menge einsetzt.

6. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß man fein zerkleinerte Leitermaterialteile mit einem durchschnittlichen Durchmesser von weniger als 15 μηι einsetzt.

7. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß man als Giasfritte ein reduktionsresistentes Glas einsetzt.

8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß man als Glasfritte ein metallorganisch abgeleitetes Glas einsetzt.

9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß man eine Glasfritte mit einem durchschnittlichen Teilchendurchmesser von weniger als 1 μηι verwendet.

10. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß man das mit der aufgedruckten Masse versehene Substrat zuerst auf eine erste Temperatur von 260⁰C bis 400⁰C und danach auf eine zweite Temperatur von 600°Cbis750°C erhitzt.

11. Druckmasse zur Durchführung des Verfahrens nach einem der vorangehenden Ansprüche, bestehend aus einem Gemisch aus fein zerkleinertem Leitermaterial, einer reduktionsresistenten Glasfritte und einem Trägermaterial, das in einem Lösungsmittel gelöstes Polymermaterial aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß das Trägermaterial aus einem in inerter Atmosphäre pyroiysierbaren Polymermaterial besteht, das in einem eine unterhalb der Pyrolysetemperatur des Polymermaterials gelegene Siedetemperatur aufweisenden Lösungsmittel gelöst ist.