DE2247988A1

DE2247988A1 - Messzelle fuer waermeleitungsvakuummeter

Info

Publication number: DE2247988A1
Application number: DE19722247988
Authority: DE
Inventors: Guenter Dr Reich
Original assignee: Leybold Heraeus GmbH
Current assignee: Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
Priority date: 1972-09-29
Filing date: 1972-09-29
Publication date: 1974-04-04

Description

Meßzelle für Warmeleitungsvakuummeter Die Erfindung betrifft eine Meßzelle für Wärmeleitungsvakuummeter mit einem Meßfaden, einem Schutzrohr und einem Anschlußflansch.
lArärmeleitunlgsvakuummeter haben eine große Verbreitung auf dem Gebiet der Messung von Unterdrücken gefunden.
Ihre Funktion beruht darauf, daß sich die Temperatur und damit der elektrische Widerstand eines stromdurchflossenen Meßfadens oder Meßdrahtes andert. Der Meßfaden sollte deshalb aus einem Material mit großem Temperaturkoeffizienten des elektrischen Widerstandes bestehen.
Außerdem ist es erstrebenswert, als Meßfaden einen Draht mit möglichst kleinem Durchmesser und einer nicht zu geringen Länge zu verwenden. Rekannt ist z.B. die Verwendung. von Wolfram-Drähte,n mit einem Durchmesser von kleiner als 10.71 und einer Länge von etwa 60 mm.
Bekannte Meßzellen bestehen aus einem Rohr, das auf der einen Seite eine vakuumdichte Abschlußplatte mit Stromdurchfithrungen aufweist. Das andere Ende des Rohres weist einen Flansch für den Anschluß an einen Behälter auf, in dem der unterdruck gemessen werden soll. Auf der Abschlußplatte sind außerdem sich in das Innere des Rohres erstreckende Haltedrähte für den Meßfaden befestigt.
Durch das Rohr ist der Meßfaden weitgehend gegen Beschädigung geschützt.
Nachteilig an den in dieser Weise aufgebauten Meßzellen ist, daß der Meßfaden nach einer eventuellen Beschädigung oder nach einem Durchbrennen nur mit großem Aufwand ersetzt werden kann, da die in dem engen Schutzrohr angeordneten Haltedrähte nur sehr'schlecht zugänglich sind, Der Erfindung liegt deshalh die Aufgabe zugrunde, diese Nachteile zu beseitigen.
Gemäß der Erfindung wird eine Meßzelle für 11ärmeleitungsvakuummeter mit einem Meßfaden, einem Schutzrohr und einem Anschlußflansch vorgeschlagen, bei der zur Lösung der gestellten Aufgabe der Anschlußflansch selbst die Mittel zur Halterung des Meßfadens trägt und bei der das den Meßfaden umgebende Schutzrohr mit dem AnschluQ,flansch lösbar verbunden ist. Bei einem in dieser Weise ausgebildeten Vakkummeter kann ein defekter Meßfaden in einfacher Weise ersetzt werden. Es ist lediglich das Lösen des AnschluR-flansches vom Behälter und das Lösen des Schutzrohres vom Flansch erforderlich, Danach sind die Halterungen für den Meßfaden frei zugänglich. Das Schutzrohr kann entaXeder mit IIilfe eines Gewindes am Anschlußflansch gehaltert sein. Es kann aber auch über einen flanschartigen Ansatz mit hilfe von Schrauben befestigt sein.
Weitere Vorteile und Einzelheiten sollen anhand der Figuren 1 und 2 erläutert werden.
Die in der Figur 1 dargestellte Meßzelle besteht aus dem Flansch 1 mit den Stromdurchführungen 2 und 3, Der Meßfaden 4 ist mit seinen Ender an den Haltedrähten 5 und 6 befestigt.
Die Haltedrähte 5 und 6 sind ihrerseits ieweils mit den StromdurchfUhrungen 2 und 3 verbunden. 7;ur Verhütung von Beschädigungen des Meßfadens 4 ist das Schutzrohr 7 vorgesehen, das an seiner einen Seite einen flanschartigen Ansatz 8 aufweist, ilber den es mit Hilfe der Schraube 9 am Flansch 1 befestigt ist, Für den mechanischen und elektrischen Schutz der Stromzuführungen 2 und 3 ist noch der Rohrstutzen 10 vorgesehen, der ehenfalls am Flansch 1 (z.B. durch die Schraube 11) lösbar gehaltert ist, Mit Hilfe des Flansches 1 ist die Meßzelle an den Anschlußstutzen 12 des Behälters 13, in dem der Unterdruck gemessen werden soll, anschließbar.
Bei der Meßzelle nach Figur 2 ist am Flansch 1 ein vakuumdichter Ansatz 14 gehaltert, dessen Abschlußplatte 15 mit den Stromdurchführungen 2 und 3 versehen ist. Ein solcher Ansatz 14 kann in einfacher Weise als Steckerteil für den Anschluß der Versorgungsspannung dienen, Durch eine im Flansch vorgesehene Öffnung 16 ragen die Haltedrähte 5 und 6 für den Meßfaden 4 in das Schutzrohr 7. Das Schutzrohr 7 ist an seinem dem Flansch 1 zugewandten Ende mit einem Gewinde 17 versehen, dem ein entsprechendes Gegengewinde im Flansch 1 zugeordnet ist.

Claims

SCHUTZANSPRÜCHE

1. Meßzelle fUr Wärmeleitungsvakuummeter mit einem Meßfaden, einem Schutzrohr und einem Anschlußflansch, dadurch gekennzeichnet, daß der Anschlußflansch (1) selbst die Mittel (5,6) zur Halterung des Meßfadens (4) trägt und daß das den Meßfaden (4) umgebende Schutzrohr (7) mit dem Anschlußflansch (1) lösbar verhunden ist.

2, Meßzelle nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Verbindung desSchutzrohres (7) mit dem Flansch (1) mittels Schrauben (9) erfolgt.

3. Meßzelle nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daE am Schutzrohr (7) ein Gewinde (17) vorgesehen ist, dem ein entsprechendes Gegengewinde im Flansch (1) zugeordnet ist.

4. Meßzelle nach Anspruch 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß zum Schutz der Stromzufilhrungen (2,3) ein lösbar mit dem Flansch (1) verbundener Rohrstutzen (10) vorgesehen ist.

5. Meßzelle nach einem der Ansprüche 1, 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß am Flansch (l) ein vakuumdichter Ansatz (1'i) gehaltert ist, dessen Abschlußplatte (15) mit den Stromdurchführungen (2,3) versehen ist,