DE2244696C2 - Schwebekammer zum Suspendieren geladener Teilchen - Google Patents
Schwebekammer zum Suspendieren geladener TeilchenInfo
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- 239000002245 particle Substances 0.000 title claims description 89
- 238000005339 levitation Methods 0.000 title claims description 5
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims description 24
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 3
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 29
- 239000011859 microparticle Substances 0.000 description 22
- 239000006199 nebulizer Substances 0.000 description 11
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 10
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 9
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 6
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 5
- 238000001370 static light scattering Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 2
- 238000010926 purge Methods 0.000 description 2
- 238000012935 Averaging Methods 0.000 description 1
- 240000005561 Musa balbisiana Species 0.000 description 1
- 235000018290 Musa x paradisiaca Nutrition 0.000 description 1
- 239000000443 aerosol Substances 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 230000000994 depressogenic effect Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000005188 flotation Methods 0.000 description 1
- 238000011010 flushing procedure Methods 0.000 description 1
- 238000009432 framing Methods 0.000 description 1
- 238000011835 investigation Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 1
- 238000012552 review Methods 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N15/00—Investigating characteristics of particles; Investigating permeability, pore-volume or surface-area of porous materials
- G01N15/02—Investigating particle size or size distribution
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- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/47—Scattering, i.e. diffuse reflection
- G01N21/49—Scattering, i.e. diffuse reflection within a body or fluid
- G01N21/53—Scattering, i.e. diffuse reflection within a body or fluid within a flowing fluid, e.g. smoke
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
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Description
Die Erfindung betrifft eine Schwebekammer zum Suspendieren geladener Teilchen mit einem Paar
paralleler Plattenelektroden, wobei eine der Plattenelektroden in eine zweite und eine diese konzentrisch
Umgebende von der zweiten isoliert angeordnete drille Elektrode unterteilt ist und durch Anlegen von
elektrischen Potentialen an die Elektroden elektrische Felder zwischen den Plattenelektroden einerseits und
der zweiten und dritten Elektrode, um die Teilchen an einer zu der zweiten Elektrode zentrierten Stellung zu
halten, andererseits erzeugbar ist, wobei an die dritte Elektrode und die andere Plattenelektrode unterschieds
liehe Potentiale zur Erzeugung eines ersten elektrischen Feldes in einer ersten Richtung anlegbar sind.
Es ist bereits bekannt, ein Paar paralleler Plattenelektroden zum Suspendieren eines Teilchens zwischen den
Elektroden zu benutzen. So hat beispielsweise iJillikan
ίο bereits im ersten Teil dieses Jahrhunderts parallele
Platienelektroden benutzt, um kleine öltropfen zwischen
diesen Platten zu suspendieren. Bei dieser bekannten Anordnung wurden die Platten aufgeladen,
um ein elektrisches Fe.d zu erzeugen, das mit der '.adung der Teilchen zusammenwirkt, um die Schwerkraft
auszugleichen und das Teilchen zwischen den Platten zu hallen. Eine Schwierigkeit bei <Jer bekannten
Anordnung ist es, daß das Teilchen nicht notwendigerweise sich in der Mitte befindet und dazu neigt, sich aus
dem Zwischenraum zwischen den Platten zu bewegen. Außerdem muß das elektrische Feld sehr genau
aufrechterhalten und parallel zum Schwerkraftsfeld gehalten werden, was eine sehr genaue Ausrichtung der
Platten senkrecht zum örtlichen Schwerkraftsfeld erfordert, da sonst das Teilchen zu einer Bewegung
innerhalb des Zwischenraumes der beiden Platten neigt. Diese Schwierigkei<
;n machen eine Benutzung der Millikan·Anordnung außer für Demonstrationszwecke
unpraktisch.
ίο Um einige dieser Schwierigkeiten der Millikan-Anordnung
zu beseitigen, unterteilte Fletcher 1914 (Physical Review, Bd. 4. Nr. 5. Nov 1914, Seiten
440—453) die obere der beiden Plattenelektroden in eine innere kreisförmige Elektrode und eine diese
J5 konzentrisch umgebende Ringelektrode, die beide in
derselben Ebene liegen. Normalerweise arbeitet die Anordnung von Fletcher in derselben Art wie nach
Millikan indem an beiden Elektroden der oberen Plattenelektroden dasselbe Potentia1 und an die untere
gegenüberliegende Elektrode ein anderes Potential angelegt wird, mit dem versucht wird, ein Teilchen in der
Schwebe zu halten. Nur wenn das Teilchen aufgrund der Brown'schen Bewegung aus dem Gesichtsfeld zu
wandern droht, wird kurzzeitig die Kreiselektrode der oberen Plattenelektrode und die untere Plattenelektrode
auf ein Potential und die Ringelektrode der oberen Plattenelektrode auf ein zweites Potential gelegt,
wodurch zwischen den beiden Elektroden der oberen Plattenelektrode km zzeitig ein radial wirkendes elektnsches
Feld erzeugt wird, das das Teilchen in den zentnschen Beobachtungsbereich zurückführt. Mit
dieser Anordnung ist keine genaue Zentrierung und schon gar nicht eine genaue Positionierung und /um
Halten eines Teilchens an einer bestimmten Stelle möglich. Eine weitere Schwierigkeit der Fletcher-Anordnung
liegt dann. daC die Große des von der kleinen
Kreiselektrode in der oberen Plattenelektrode erzeug ten Radialfeldes, das für die Zentrierung benutzt wird,
dadurch begrenzt ist. daß zusätzlich zu dem Radialfeld ein Vertikalfeld erzeugt wird. Das Vertikalfeld wird auf
eine solche Größe begrenzt, daß die Schwerkraft ausgeglichen wird, was wiederum die Größe des
Radialfeldes begrenzt. Es wird deshalb nur ein sehr schwaches Radialfeld erzeugt, das oft nicht wirksam ist.
Der vorliegenden Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ausgehend von einer Schwebekammer der
vorbekannten Art diese derart weiterzubilden, daß Untersuchungen an einem schwebenden, ortsfest
gehaltenden Teilchen durchgeführt werden können.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die zweite Elektrode als eine Stiftelektrode (14)
ausgebildet ist, die sich durch die dritte Elektrode (10) hindurch über diese hinaus erstreckt, und daß an die
Stiftelektrode (14) ein drittes Potential zur Erzeugung eines zweiten elektrischen Feldes (18) zwischen der
Stiftelektrode (14) und der anderen Plattenelektrode (12) in einer zweiten zu der ersten Richtung des ersten
elektrischen Feldes (22) entgegengesetzten Richtung, um die Teilchen in der Schwebe zu halten, und zur
Erzeugung eines dritten radialen elektrischen Feldes (20) zwischen der Stiftelektrode (14) und der dritten
Elektrode (10), anlegbar is:.
Durch die besondere Ausbildung und Anordnung der zweiten Elektrode in Verbindung mit der Erzeugung
eines zusätzlichen elektrischen Feldes zwischen der Stiftelekii-ode und der unteren Plattenelektrode sowie
unter Beibehaltung eines unabhängig einstellbarer, elektrischen Radialfeldes wird es nunmehr möglich, zu
beobachtende und zu untersuchende Teilchen an einer genau vorbestimmten Stelle über längere Z.'it gci.au
positioniert zu halten. Erst hierdurch wird eine solche Schwebekammer auch für den Einsatz bei Streuversuchen
geeignet, in denen Streuungen an Teilchen beobachtet werden, die von einem Laserstrahl mit
extrem geringem Durchmesser bestrahl! werden.
Gemäß einer vorzugsweisen Auführungsform ist die Schwebekammer weiter gekennzeichnet durch eine
Einrichtung zur Erfassung der Lage eines geladenen Teilchens, das sich zwischen den Elektroden befindet,
mit der ein Fehlsignal erzeugbar ist, das die Differenz zwischen der tatsächlichen Lage des geladenen
Teilchens und einer gewünschten Lage darstellt, und mit der das an die Elektroden gegebene Potential
verstellbar ist, um auch die Lage des Teilchens zu ändern.
Durch eine solche Einrichtung wird es, falls ein Teilchen tatsächlich während der Beobachtung geringfügig
von se:ner Lage abweichen sollte, möglich, das
Teilchen auf einfache Weise und genau wieder in seine Ursprungslage zurückzuführen.
Eine solche Rückführung kann auch durch eine automatische Regelung erfolgen, wenn die Schwebekammer
nach einer weiteren zweckmäßigen Ausgestaltung deran ausgebildet wird, daß ά.ζ Einrichtung zur
Erfassung der Lage eines geladenen Teilchens eine Lichtquelle zur Erzeugung eines auf das zu erfassende
Teilchen gerichteten gebündelten Lichtstrahls, eine im Winkel zu diesem Licht Mrahl angeordnete Beobachtungskarnmer
mit einem ersten elektrooptischen Wandler zur Aufrahme von von dem Tröpfchen reflektiertem
Licht, urd einem mit seiner Kante in den Lichtweg des
reflektierten Lichts vorstehenden Spiegel, durch den reflektiertes Licht zu einem zweiten elektrooptischen
Wandler umlenkbar ist und mit einem mit dem ersten Und zweiten elektrooptischen Wandler verbundenen
Vergleicher zur Bildung eines als Fehlsignal dienendes Differenzsignals, umfaßt.
Diese Anordnung aus zwei parallelen Platten, die ein
Elektrodenpaar bilden, zusammen mit einer Stiftelektrode, die sich durch eine der Plattenelektroden isoliert
von dieser hindurcherstreckt, um damit ein starkes radiales Feld zu erzeugen, während das Teilchen in der
Schwebe gehalten wird, kann auf Verschiedene Weise gespeist werden. So können z.B. die Elektroden
abwechselnd gespeist we-'len, so daß das nach oben und
unten innen gerichtete Feld abwechselnd mit dem nach unten gerichteten Feld erzeugt wird, um so ein starkes
ausnutzbares Radial-Feld zu erzeugen. Dieser Feldwechsel
n.uß schnell gegenüber der BewegungsgröEe des Teilchens vorgenommen werden. Zusätzlich können
ί beide Felder gleichzeitig erzeugt werden, um ebenfalls
ein starkes ausnutzbares Radial-Feld zu erzeugen, während das Teilchen immer noch in der Schwebe
gehalten wird. Die Erfindung wird anhand einer Anordnung beschrieben, bei der die Felder gleichzeitig
ίο erzeugt werden, es ist jedoch klar, daß selbstverständlich
auch die Felder abwechselnd aufgebaut werden können, wie dieses soeben beschrieben wurde.
Im folgenden wird die Erfindung anhand von in der Zeichnung dargestellter Ausführungsbeispiele näher
erläutert. Im einzelnen zeigen
Fig. 1 a,b und c schematisch die Arbeitsweise der mit
drei Elektroden ausgerüsteten erfindungsgemäßen Schwebekammer,
Fig. 2 eine bestimmte Ausführungsform einer Zerstreuungskarnmer,
die die Schwebekammer zum Zuführen und Suspendieren der MikroteiL-nen enthält, in den
Einzelheiten,
F i g. 3 eine Gesamtanordnung der in F i g. 2 gezeigten Zerstreuungskammer in Verbindung mit verschiedenen
pneumatischen Steuereinrichtungen zum Einbringen dei rvlikroteilchen in die Kammer,
Fig.4 eine Ansicht des Steuerpults, das für die
elektrische und pneumatische Steuerung der Mikroteilchen innerhalb der in F i g. 2 gezeigten Zerstreuungs-
jo kammer benutzt wird,
Fig. 5 die Anordnung des optischen Detektors und anderer Optiken, die in Verbindung mit der in F i g. 2
gezeigten Zerstreuungskammer benutzt werden, und
Fig.6 ein Blockschaltbild eines Servo-Kreises zur Steuerung der Lage der Mikroteilchen innerhalb der Zerstreuungskammer.
Fig.6 ein Blockschaltbild eines Servo-Kreises zur Steuerung der Lage der Mikroteilchen innerhalb der Zerstreuungskammer.
Anhand der Fig. la, b und c wird eine schematische
Darstellung der Schwebekammer erläutert. Im einzelnen weist die Schwebekammer ein Paar paralleler
■to Plattenelektroden 10 und 12 und eine dritte Stiftelektrode
14 auf, die sich durch die Elektrode 10 hindurch aber
von dieser isoliert erstreckt. Wie in Fig. !c gezeigt, können den einzelnen Elektroden Potentiale zugeführt
werden, deren in Fig. Ic angegebenen Wert·1; lediglich
beispielhaft sind. Für ein gegebenes Te;!chen kiinn die
Elektrode 10 Bezugs- oder Erdpotential, die Elektrode 12 ein Potential in der Größenordnung von +50 V und
die Elektrode 14 ein Potential in der Größenordnung von + 100 V aufweisen. Die positiven Potentiale der an
die Elektroden 12 und 14 gegebenen elektrischen Energie sind unter lier Voraussetzung gewählt, daß das
zu suspendierende Mikroteilchen eine negative Ladung
aufweist, wie dieses für das Teilchen 16 dargestellt ist. Hat uas Teilchen dagegen eine positive Ladung, dann
werden die entsprechenden Spannungen der Elektroden 10,12 und 14 umgekehrt
Aus Fig. la ist zu ersehen, daß die Potentialdifferenz
zwischen den Elektroden 12 und 14 ein starkes elektrisches Feld fzeugt, das eine, wie durch die Pfeile
18 gezeigt, nach oben und innen gerichtete Kraft erzeugt Die Potentiäldjfferenz zwischen den Elektroden
10 und 14 erzeugt ein starkes elektrisches Feld, das seinerseits, wie durch die Pfeile 20 gezeigt, eine radial
und nach innen gerichtete Kraft erzeugt Hat die Elektrode 12 kein Potential wird ein negativ geladenes
Teilchen zur Stiftelektrode 14 hin gezogen.
Wie in Fi g. Ib gezeigt erzeugt die Potentialdifferenz
zwischen den Elektroden 10 und 12 ein schwaches
elektrisches Feld, das seinerseits, wie durch die Pfeile 22 gezeigt, eine nach unten gerichtete Kraft erzeugt, so
daß. wenn kein Potential an die Elektrode 14 gegeben wird, ein negativ geladenes Teilchen nach unten zur
Elektrode 12 gezogen wird. Da das Teilchen außerdem von der Schwerkraft nach unten gezogen wird,
vergrößert das durch die Pfeile 22 gezeigte elektrische Feld die nach unten gerichtete Bewegung.
In Fig. Ic ist die Kombination dieser elektrischen Felder dargestellt. Besonders das starke radiale
elektrische Feld 20 wird aufrechterhalten, um das Teilchen 16 in seiner Mittenlage zu halten. Ein
zusammengesetztes vertikales Feld 24 wird aus den Feldern 18 und 22 der Fig. la und Ib zusammengesetzt
und ist schwächer als das durch die Pfeile 20 gezeigte Feld. Dieses schwache vertikale Feld wird benutzt, um
die Schwerkraftwirkung auf das geladene Teilchen 16 auszugleichen. Daraus ist zu erkennen, daß durch die
Verwendung dieser Drei-Elektroden-Anordnung und hauptsächlich durch tlie besondere Weise, mit der diese
Drei-Elektroden-Anordnung gespeist wird, die auf die geladenen Teilchen wirkenden Kräfte der Schwerkraft
durch ein schwaches vertikales Feld ausgeglichen werden können, während gleichzeitig ein starkes
radiales Feld benutzt wird, um das geladene Teilchen in eine zentrale Stellung zu ziehen.
Die Stiftelektrode 14 kann sich auch durch die untere Elektrode anstelle der oberen Elektrode erstrecken,
wobei die elektrischen Felder wieder so angeordnet werden, daß das geladene Teilchen an einer geeigneten
Stelle zwischen den Elektroden gehalten wird. Außerdem braucht die Ebene der Plattenelektroden nicht
senkrecht zur Schwerkraftsrichtung angeordnet sein und die Plattenelektrode kann in jeder Winkelstellung
zur Schwerkraftsrichtung angeordnet werden, wobei das geladene Teilchen immer noch zwischen den
Plattenelektroden gehalten wird.
F ι g. 2 zeigt eine auseinandergezogene Ansicht einer Zerstreuungskammer, die eine Schwebekammer umfaßt,
der die Mikroteilchen zugeführt werden, um die differenziellen Licht-Zerstreuungseigenschaften dieser
Teilchen zu erfassen. Da Luftströmungen eine erhebliche Kraft auf das suspendierte Teilchen ausüben
können, sind vorzugsweise alle Teile der Zerstreuungskammer gegenseitig luftdicht abgeschlossen, wie z. B.
durch O-Ringe. wobei der Einlaß und Auslaß ebenfalls Einrichtungen umfaßt, die diese luftdicht gegenüber
äußeren Druckschwankungen abdichten können. Die Zerstreuungskammer umfaßt eine Abdeckung 100, die
einen Einlaßstutzen 102 und einen Spülstutzen 104 aufweist. Die Abdeckung sitzt auf einer Kammer 106, in
die die Mikroteilchen eingeführt werden. Die Abdekkung und die Kammer werden durch einen O-Ring 107
abgedichtet. Die Grundfläche 10 der Kammer 106 bildet die in F i g. 1 gezeigte erste obere Elektrode 10. Die
Stiftelektrode 14 erstreckt sich durch einen Isolierstopfen 108. der in eine Öffnung 110 der Grundfläche to
eingebracht isL
Eine elektrische Verbindung 112 ist an der Außenseite
der Kammer 106 befestigt, so daß über einen Draht 114
elektrisches Potential an die Stiftelektrode 14 gegeben werden kann. Die Plattenelektrode 10 und die Kammer
106 sind über die elektrische Verbindung geerdet Ein Druckdosenanschluß 116 erstreckt sich durch die
Seitenwand der Kammer 106. Eine Öffnung 118 in dem isoiiersiopfer. 108 erlaubt das Hindurchtreten von
Mikroteilchen aus der Kammer 106 in den Licht-Zerstreuungsbereich der Zerstreuungskammer der F i g. 2.
Der Licht-Zerstreuungsbereich wird von einem transparenten Kammerteil 120 gebildet, der einen
Maskenteil 122 aufweist. Lichtenergie, wie z. B. von einem Laserstrahl, gelangt in die transparente Kammer
s 120 über eine Eintrittsmaske 124. Eine Lichtfalle 126
empfängt die Lichtenergie, nachdem diese durch die transparente Kammer hindurchgegangen ist. Ein Lichtauslaß
123 kann innerhalb des Maskenteiles 122 vorgesehen sein, so daß das Innnere der Kammer mit
einem Mikroskop in einer Weise beobachtet werden kann, die später noch beschrieben wird. Dieser
abgedichtete Lichtaustritt ist mit einem leichten Winkel gegenüber der Achse bei einem bevorzugten Ausfühfungsbeispiel
geneigt, um das Zurückreflektieren von Licht innerhalb der horizontalen Ebene zu vermeiden, in
der das zerstreute Licht beobachtet wird. Die Kammer 106 und die transparente Kammer 120 sind mit einem
oberen O-Ring 1JO abgedichtet.
Die l.ichtenergie schneidet sich mit jedem an einer
geeigneten Stelle in der transparenten Kammer angeordneten Mikroteilchen. wenn diese in geeigneter
Weise von der Eintriltsöffnung 124 her durch die transparente Kammer 120 gerichtet wird, und erzeugt
eine differenzielle Lichtzerstreuung gemäß den differenziellen Licht-Zerstreuungseigenschaften des Mikroteilchens.
Diese differenzielle Lichtzerstreuung kann erfaßt werden, indem das differenziell zerstreute Licht
an verschiedenen Winkelpositionen durch den transparenten Teil der transparenten Kammer 120 hindurch
beobachtet wird.
Die Grundfläche 132 trägt die untere Plattenelektrode
12. Die Grundfläche 132 und die transparente Kammer 120 sind mit einem unteren O-Ring 134
abgedichtet. Eine Öffnung 136 erstreckt sich durch die untere Plattenelektrode hindurch und ist mit einem
Absauganschluß 138 verbunden, um die Mikroteilchen aus der Transparentkammer 120 heraussaugen zu
können. Schließlich ist ein elektrischer Anschluß zur Zuführung von Potential an die untere Plattenelektrode
•to 12 durch den elektrischen Anschluß 140 gegeben, der als
öffnung ausgebildet sein kann, um einen Stecker, wie
z. B. einen Bananenstecker, aufzunehmen.
F i g. 3 zeigt eine typische Art. in der die in F i g. 2 gezeigte Zerstreuungskammer mit anderen Bauelementen
verbunden werden kann, um Mikroteilchen in die transparente Kammer einzuführen. So kann ein
Zerstäuber 200 benutzt werden, um einzelne Mikroteilchen durch eine Verbindungsleitung 202 hindurch an die
Zerstreuungskammer zu geben, die mit dem Einlaßstutzen 102 verbunden ist. Der Zerstäuber 200 arbeitet in
bekannter Weise und benutzt einen Vorra» von gefiltertem Gas, wie z. B. Luft, um Teile einer flüssigen
Suspension von Mikroteilchen zu zerstäuben und erzeugt einen Gasstrom, der einzelne Mikroteilchen
enthält Bei einem anderen Beispiel können Mikroteilchen durch hineinziehen eines Aerosols von Mikroteilchen
in eine Spritze eingeführt werden, indem der Auslaß der Spritze mit der Leitung 202 verbunden wird
und durch Zusammenrücken der Spritze selektiv die eingeschlossenen Mikroteilchen injiziert werdea
Wird ein Zerstäuber benutzt, so wird ein Luftvorrat über eine Leitung 204 mit einem Steuerventil 206
verbunden. Das Steuerventil 206 hat zwei Ausgänge, von denen einer über eine Leitung 204 mit einem
Steuerventil 206 verbunden. Das Steuerventil 206 hat zwei Ausgänge, von denen einer über die Leitung 208
unmittelbar mit dem Spülanschluß 104 verbunden ist Ein die Luftzufuhr steuernder Schalter 210 steuert diese
von der Leitung 204 über die Leitung 208 zum Spülausgang der Zerstreuungskammer. Ein zweiter
Ausgang des Steuerventils 206 ist über eine Leitung 210 mit einem Steuerventil 212 für den Zerstäuber
verbunden. Der Ausgang des Zerstäuber-Steuerventils ist über eine Leitung 214 mit dem Zerstäuber 200
verbunden. Eine Druckknopfsteuerung 216 für den Zerst,>*-bef wird zur Steuerung der Luftzufuhr an den
Zerstäuber 200 benutzt. Ist der Druckknopf 216 gedrückt, so wird Luft an den Zerstäuber 200 gegeben,
um damit in dem Luftstrom enthaltene Mikroleilchen über die Leitung 202 an den Einlaßstutzen 102 zu geben.
Eine Druckdose 218 wird benutzt, um eine geeignete
Luftmenge über die Leitung 220 an den Druckdosenanschluß 116 zu geben. Schließlich ist eine Absaugleitung
222 mit dem Absaugstutzen 138 verbunden, damit alle in der Zerstreuungskammer befindlichen Mikroteilchen
abgelaugt werden können. Das Innere der Zerstreu-■inoclfammpr ic« liiftHirht vnn ipolirhen äußeren
Druckschwankungen abgeschlossen und der Durchfluß durch die Zerstreuungskammer wird durch die Druckdosenanordnung
219 und den Zerstäuber 200 gesteuert.
Fig.4 zeigt das Steuerpult der erfindungsgemäßen
Schwebekammer. Wie in Fig. 3 gezeigt, umfaßt das Steuerpult einen Schalter 210 für die Luftsteuerung und
einen Druckknopfschalter 216 für den Zerstäuber. Zusätzlich weist das in F i g. 4 gezeigte Steuerpult einen
die Polarität steuernden Knopf 224. einen die Spannung steuernden Knopf 226. einen den Schwebezustand
steuernden Knopf 228, einen Knopf 230 für automatischer oder Handbetrieb, einen die Druckdose steuernden
Knopf 232 und einen die Fokussierung steuernden Knopf 234 auf. Außerdem ist auf dem Steuerpult ein
Okkular 236 eines Mikroskops angebracht.
Die verschiedenen Steuerknöpfe des in F i g. 4 gezeigten Steuerpults werden in der folgenden Weise
benutzt:
Der die Luftzufuhr steuernde Schalter 210 bewirkt in seiner vorderen Stellung die Spülung der Zerstreuungskammer mit einem Reinigungsgas, wie z. B. gefilterter
Luft. In der rückwärtigen Stellung des Schalters 210 ist das in F i g. 3 gezeigte Steuerventil 206 so verbunden,
daß dem Steuerventil 212 für den Zerstäuber Luft zugeführt wird. Der den Zerstäuber steuernde Knopf
216 bewirkt im gedrückten Zustand Luftzufuhr an den Zerstäuber, um Teilchen vom Zerstäuber her in die
Zerstreuungskammer zu sprühen. Der die Polarität steuernde Knopf 224 bestimmt, ob die Elektrodenspannung
positiv oder negativ ist. so daß Teilchen jeder Ladungspolarität innerhalb der Zerstreuungskammer
zum Schweben gebracht werden können.
Der Knopf 226 für die Spannung bestimmt die maximale Spannung, die an die Elektroden der
Zerstreuungskammer gegeben wird. Der den Schwebezustand steuernde Knopf 228 legt das Eingangssignal an
das Servosystem für die gewünschte Stelle des Teilchens fest Der Wahlschalter 230 kann sich jeweils in einer von
zwei möglichen Stellungen befinden, je nachdem, ob der Knopf gezogen oder aber gedrückt ist Ist der Knopf
230 herausgezogen, so arbeitet die Schwebekammer im Handbetrieb. En Drehen des Knopfes 230 stellt die
Spannungen für die Elektroden ein, so daß das Teilchen innerhalb der Zerstreuungskammer bewegt wird. Ist der
Knopf hineingedrückt so arbeitet die Schwebekammer im automatischen Betrieb und das Servosystem der
Schwebekanimcr steuert die Elektrodenspannungen,
um das Teilchen innerhalb der Zerstreuungskammer in einer geeigneten Stellung zu halten.
Der die Druckdose steuernde Knopf 232 wird zum Biegen einer kleinen Druckdose benutzt, um Luft und
Teilchen langsam durch die Zerstreuungskammer zu bewegen. Schließlich wird der die Fokussierung
steuernde Knopf 234 zur Fokussierung des Mikroskops benutzt, so daß der Mittelpunkt der Zerstreuungskammer
beobachtet werden kann.
F i g. 5 zeigt die optische Anordnung zum Beobachten des Mittelpunktes der Zerstreuungskammer und zur
ίο optischen Erfassung der Stelle des sich in der
Zerstreuungskammer befindenden Teilchens. Die von dem Teilchen nahe des Mittelpunktes der Zerstreuungskammer zerstreute Lichtenergie, die durch Pfeile 300
dargestellt ist, verläßt die Zerstreuungskammer durch den Auslaß 128 und wird von einer Linse 302 auf einen
Strahlungsteiler 304 fokussiert. Ein Teil der Lichtenergie gelangt über den Strahlungsteiler 304 auf einen
Diagonalspiegel 306. Ein zweiter Teil der Lichtenergie wird von dem Strahlenteiler 304 auf einen Beobachtungsspiegel
310 reflektiert und kann durch ein Mikroskop 308 beobachtet werden. Ist das Okkular 236
des Mikroskops 308 geeignet eingestellt, kann der Mittelteil der Zerstreuungskammer beobachtet werden.
Die auf dem Diagonalspiegel 306 auftreffende Lichtenergie wird nach oben auf einen zweiten
Diagonalspiegel 312 gerichtet. Ein Teil der Lichtenergie wird von dem zweiten Diagonalspiegel 312 auf einen
ersten Photovervielfacher 314 gegeben. Zusätzlich wird
ein Teil der Lichtenergie vom Diagonalspiegel 306 über den zweiten Diagonalspiegel 312 zum Auftreffen auf
einen zweiten Photovervielfacher 316 gebracht. Die Kombination der zwei Photovervielfacher 314 und 316
mit dem zweiten Diagonalspiegel 312 kann zur optischen Erfassung der vertikalen Lage des Teilchens
innerhalb der Zerstreuungskammer benutzt werden.
Befinden sich z. B. in der Zerstreuungskammer keine Teilchen im Weg des Laserstrahls, so wird keine
Lichtenergie aus dem Auslaß 128 zerstreut und es gelangt auch keine Lichtenergie auf den Diagonalspiegel
306. Befindet sich ein Teilchen im Weg des Laserstrahls innerhalb der Zerstreuungskammer, dann
bestimmt die Stelle dieses Teilchens die Intensitätsverteilung des zerstreuten Lichts, das durch den Auslaß
hinausgelangt, welches seinerseits die Menge der Lichtenergie bestimmt, die von jedem der beiden
Photovervielfacher 314 und 316 empfangen wird. In dieser Weise bestimmt die vertikale Stelle des Teichens
das relative Ausgangssignal der Photovervielfacher 314 und 316.
Fig.6 zeigt die Arbeitsweise des automatischen Servosystems der Schwebekammer, mit der das
Mikroteilchen innerhalb der Zerstreuungskammer in einer geeigneten Stellung gehalten wird. In F i g. 6 ist die
die drei Elektroden umfassende erfindungsgemäße Schwebekammer, die die parallelen Plattenelektroden
10 und 12 und die Stiftelektrode 14 aufweist, mit geerdeter Plattenelektrode 10 und mit an Spannung
liegenden Elektroden 12 und 14 dargestellt Ein Laserstrahl gibt Lichtenergie an die Zerstreuungskammer
und ein zerstreuter Teil der Lichtenergie wird gegen den Spiegel 312 gerichtet Das zerstreute Licht
trifft auf die Kante des Spiegels 312. der dieses zerstreute Licht auf die beiden Photovervielfacherröhren
314 und 3t6 aufteilt Die Intensität des von den beiden Photovervielfacherröhren 314 und 316 aufgenommenen
Lichts ist gleich, wenn sich das Teilchen innerhalb der Zerstreuungskammer an der geeigneten
Stelle befindet
Das Ausgangssignal der Photovervielfacher 314 und 316 wird an ein Paar abgeglichener logarithmischer
Verstärker 350 und 352 gegeben, die den Ausgangsstrom der Photovervielfacher auf eine Spannung
umformen, die dem Logarithmus des Ausgangsstromes der Photovervielfacher proportional ist.
Die Benutzung logarithmischer Verstärker hält eine konstante Servoverstärkung aufrecht und ermöglicht
eine stabile Regelung über einen großen Bereich von Teilchen, Die Schwebesteuerung 228 wird eingestellt,
um gleiche Verstärkung für gleiche Signale in den Verstärkern 350 und 352 zu bewirken. Die Ausgangssignale
der Verstärker 350 und 352 werden an eine Differenzschaltung 354 gegeben und die Differenz
zwischen den beiden Spannungen wird von einem Trennverstärker 356 verstärkt und an einen Abtast- und
Haltekreis 358 gegeben, dessen Ausgangssignal wird von einem One-shot-Multivibrator 360 gesteuert, der
seinerseits einen Schalter 362 steuert. Da ein pulsierenuCr ΐ-,α3€Γ ΐΐΐ CinCiM i/CVGmjgtCn muSiüiirUiigSuCfSpiCi
benutzt wird, steuern die Ausgangssignale der Verstärker 350 und 352 den Multivibrator 360. Wird ein
kontinuierlich strahlender Laser benutzt, so kann der Abtast- und Haltekreis fortgelassen werden oder durch
einen den Mittelwert bildenden Schaltkreis ersetzt werden.
Der Wahlschalter 230(a) der ein einen Widerstand
steuernden Teil des in Fig.4 gezeigten Wahlschalters
230 ist, wird zur Steuerung eines Eingangssignals an den Trennverstärker 364 benutzt. Zusätzlich kann der
Wählschalter 230 in einer Handbetrieb oder automatischen Betrieb angebenden Stellung sein, was durch den
Schalterteil 23Q(b) des Wahlschalters bestimmt wird. Handbetrieb liegt vor, wenn der Schalter 2306
geschlossen ist, wodurch der Multivibrator 360 den Schalter 362 in der geöffneten Stellung hält. Zu dieser
Zeit bestimmt allein der Schaltertei! 230^ die an die
Elektroden der Schwebekammer gegebenen Spannungen. Befindet sich der Schalterteil 2306 in der geöffneten
Stellung, so arbeitet das Servosystem automatisch. Bei dieser Stellung werden von der Differenzschaltung 354
an den Abtast- und Haltekreis 358 Signale gegeben, so daß dessen Ausgangssig.ial das auf die jeweilige Stelle
des Teilchens bezogene Fehlersignal ist.
Wie vorstehend erläutert, wird das Ausgangssignal des Abtast- und Haltekreises 358 an den Trennverstärker
364 gegeben und von diesem an ein Paar von Gleichspannungsumformern 366 und 368. Das maximale
Ausgangssignal der Gleichspannungsumformer 366 und 368 wird von der Spannungssteuerung 226 her
eingestellt, jedoch stellen die unter dem maximalen Wert liegenden Ausgangssignale der Gleichspannungsumformer
Steuersignale dar, die über den Polaritätsschalter 224 an die Elektroden 12 und 14 gegeben
werden, um das Teilchen an der geeigneten Stelle innerhalb der Zerstreuungskammer zu halten.
Die Arbeitsweise der Schwebekammer zum Isolieren und Einstellen eines einzelnen Teilchens innerhalb des
Laserstrahls mit den in den Fig.2 bis 5 gezeigten
Anordnungen ist die folgende:
Zuerst wird der Zerstäuber 200 mit einer Suspension von zu untersuchenden Mikroteilchen gefüllt und die
Verbindungsleitungen werden in der in F i g. 3 gezeigten Weise mit der Zerstreuungskammer verbunden. Die
verschiedenen elektrischen Speisequellen werden mit der Gesamtanordnung verbunden, so daß ein Laser oder
eine andere Lichtquelle und auch die Elektroden der Schwebekammer gespeist werden. Anfangs kann der
Polaritätsschalter 224 in die positive Stellung gestellt werden. Die Soannungssteuerung 226 wird auf 0 V
eingestellt, was gewöhnlich die voll gegen den Uhrzeigersinn gedrehte Stellung ist. Der Wahlschalter
ι 230 befindet sich in der Handbetriebsstellung und ist ebenfalls gegen den Uhrzeigersinn gedreht, was
gewöhnlich bedeutet, daß das Teilchen nach unten gezogen wird. Um die Zerstreuungskammer zu reinigen,
wird der die Luftzufuhr steuernde Schalter 210 nach
ίο vorn geschaltet, um die Zerstreuungskammer mit reiner
Luft zu spülen. Dieses kann über das Okular 236 des Mikroskops 308 beobachtet werden und wird solange
durchgeführt, bis keine durch den Laserstrahl hindurchgehenden Teilchen mehr beobachtet werden können.
Danach wird der Schalter 210 in seine rückwärtige Stellung zurückgeschaltet, um damit den Zerstäuber 200
anzuschließen. Der Knopf 216 für den Zerstäuber ka-n
dann einige Male kurz gedrückt werden, bis beobachtet werden kann, daß bei jedem Drücken des Knopfes 216
Nun kann der Knopf 232 für die Druckdose zurück- und vorbewegt werden, um die Teilchen langsam durch den
Laserstrahl zu bewegen. Die größeren Teilchen können leicht gesehen werden und für die kleineren Teilchen
erscheinen Brechungsbilder der Teilchen als scharf definierte konzentrische Ringe in dem Mikroskop. Der
Fokussierungsknopf 234 wird zur Einstellung der maximalen Schärfe benutzt.
Befindet sich im Beobachtungsfeld des Mikroskopes ein helles Bild, das ein Teilchen darstellt, so kann die
Spannungssteuerung 226 in Abhängigkeit von der Spannungssteuerung 226 bewegt. Die Bewegung des
Teilchens sollte nach unten gerichtet sein. Ist die Bewegung nicht nach unten gerichtet, so bedeutet
dieses, daß die Polarität des Teilchens umgekehrt ist und die Polaritätssteuerung 224 muß in ihre negative
Stellung umgeschaltet werden. Der Wahlschalter 230 kann bewegt werden, um die Abwärtsbewegung des
Teilchens zu beenden und das Teilchen zurück in den
■to Mittelpunkt des Gesichtsfeldes des Mikroskopes zu
bringen. Sowohl die Spannungssteuerung als auch die Positionssteuerung des Wahlschalters ^50 können
gleichzeitig betätigt werden, um die Bewegung des Teilchens zu beeenden. bevor es das Gesichtsfeld
■45 verläßt.
Wurde das Teilchen aus dem Gesichtsfeld verloren, dann wird die Spannungs- und Positionssteuerung in
ihre 0-Stellungen zurückgestellt und der Knopf für den Zerstäuber erneut betätigt, um neue Teilchen in das
so Gesichtsfeld zu bringen. Da die Teilchen unterschiedliche Polaritäten haben können, ist es wichtig, daß die
Polaritätssteuerung wieder zurückgeschaltet wird, damit das Teilchen eine Abwärtsbewegung ausführen
kann. Die Positionierung des Teilchens kann dann durch gleichzeitige Betätigung der Polaritäts- und Posttionssteuerung
anstelle der Spannungs- und Positionssteuening durchgeführt werden.
Wurde ein Teilchen im Zentrum des Gesichtsfeldes positoniert, und bleibt dort nahezu unbeweglich, dann
wird der Wählschalter 230 umgeschaltet, so daß die
Schwebekammer auf automatischen Betrieb geschaltet ist Dieses bewirkt, daß die in Fig.6 gezeigte
automatische Servosteuerung das Teilchen fest innerhalb des Lichtstrahles hält Die Spannungssteuerung 226
kann voll aufgedreht werden, um eine m-iximale
automatische Servosteuerung für die Lage des Teilchens in der Schwebekammer zu erreichen.
Die Schwebekammer stellt eine einfache Anordnung
dar, mit der ein Mikroteilchen innerhalb eines
Lichtstrahls, wie z. B. eines Lasei Strahls positioniert und automatisch in dieser Stellung gehalten werden kann.
Die Schweoekammer weist ein Paar paralleler Plattenelektroden und eine dritte Elektrode auf, die sich durch
eine dieser Plattenelektroden isoliert von dieser hindurch erstreckt. Die parallelen Plattenelektroden
erzeugen ein elektrisches Feld, das das Teilchen nach unten zieht und damit die Schwerkraft unterstützt,
während die Stiftelektrode ein elektrisches Feld erzeugt, das das Teilchen nach oben zieht und d'=
abwärtsgerichteten Kräfte ausgleicht und außerdem das Teilchen in die Mittellage zieht. Diese Anordnung
ermöglicht es, daß ein relativ starkes elektrisches Feld benutzt werden kann, um das Teilchen in die Mittellage
zu ziehen. Die Beibehaltung der Lage des Teilchens kann automatisch gesteuert werden, wobei ein optischer
Detektor in Verbindung mit einem Servosystem benutzt wird.
Hierzu 5 Blatt Zeichnungen
--iÄ-*Al~--«*A*.;«^-i-i-i3-i'·
Claims (3)
1. Schwebekammer zum Suspendieren geladener Teilchen mit einem Paar paralleler Plattenelektroden,
wobei eine der Plattenelektroden in eine zweite und eine diese konzentrisch umgebende, von der
zweiten isoliert angeordnete dritte Elektrode unterteilt ist und durch Anlegen von elektrischen
Potentialen an die Elektroden elektrische Felder zwischen den Plattenelektroden einerseits und der
zweiten und dritten Elektrode, um die Teilchen in einer zu der zweiten Elektrode zentrierten Stellung
zu halten, andererseits erzeugbar sind, wobei an die dritte Elektrode und die andere Plattenelektrode
unterschiedliche Potentiale zur Erzeugung eines ersten elektrischen Feldes in einer ersten Richtung
anlegbar sind, dadurch gekennzeichnet, daß die zweite Elektrode als eine Stiftelektrode (14)
ausgebildet ist, die sich durch die dritte Elektrode (10) hindurc' über diese hinaus erstreckt, und daß an
die Stiftelek erode (14) ein drittes Potential zur Erzeugung eines zweiten elektrischen Feldes (18)
zwischen der Stiftelektrode (14) und der anderen Plattenelektrode (12) in einer zweiten zu der ersten
Richtung des ersten elektrischen Feldes (22) entgegengesetzten Richtung, um die Teilchen in der
Schwebe zu halten, und zur Erzeugung eines dritten radialen elektrischen Feldes (20) zwischen der
Stiftelektrode (14) und der dritten Elektrode (10), anlegbar ist.
2. Schweb^kimmer nach Anspruch 1. gekennzeichnet
durch eine Einrichtung (314, 316, 350, 352, 354) zur Erfassung oer Laoe eines geladenen
Teilchens, das sich zwischen den Elektroden (10, 12) befindet, mit der ein Fehlersignt erzeugbar ist, das
die Differenz zwischen der tatsächlichen Lage des geladenen Teilchens und einer gewünschten Lage
darstellt, und mit der das an die Elektroden (10, 12, 14) gegebene Potential verstellbar ist, um auch die
Lage des Teilchens zu ändern.
3. Schwebekammer nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung zur Erfassung
der Lage eines geladenen Teilchens eine Lichtquelle zur Erzeugung eines auf das /u erfassende Teilchen
gerichteten gebündelten Lichtstrahls, eine im Winkel zu diesem Lichtstrahl angeordnete Beobachtungskammer mit einem ersten elektrooptischen Wandler
zur Aufnahme von von dem Tröpfchen reflektiertem Licht, und einem mit seiner Kante in den Lichtweg
des reflektierten Lichts vorstehenden Spiegel (312), durch den reflektiertes Licht zu einem zweiten
elektrooptischen Wandler (314) umlenkbar ist und mit einem mit dem ersten und zweiten elektrooptischen
Wandler verbundenen Vergleicher (354) zur Bildung eines als Fehlersignal dienendes Differenz-
s. umfaßt.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US19137371A | 1971-10-21 | 1971-10-21 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2244696A1 DE2244696A1 (de) | 1973-04-26 |
DE2244696C2 true DE2244696C2 (de) | 1982-06-24 |
Family
ID=22705225
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2244696A Expired DE2244696C2 (de) | 1971-10-21 | 1972-09-12 | Schwebekammer zum Suspendieren geladener Teilchen |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US3754830A (de) |
JP (1) | JPS5514376B2 (de) |
CA (1) | CA977990A (de) |
DE (1) | DE2244696C2 (de) |
GB (1) | GB1410999A (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3914711C1 (de) * | 1989-05-04 | 1990-10-31 | Deutsche Forschungsanstalt Fuer Luft- Und Raumfahrt Ev, 5300 Bonn, De |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4490042A (en) * | 1981-06-04 | 1984-12-25 | Wyatt Philip J | Method for determining the properties of wine |
EP0124350A3 (de) * | 1983-04-29 | 1986-01-08 | Ecc International Limited | Verfahren zur Kontrolle der Auseinanderballung von Teilchen in einer Suspension |
JPH0325171Y2 (de) * | 1984-12-08 | 1991-05-31 | ||
US4949950A (en) * | 1989-02-14 | 1990-08-21 | Xerox Corporation | Electrostatic sheet transport |
DE3933681A1 (de) * | 1989-10-09 | 1991-04-18 | Battelle Institut E V | Geraet zur messung des anteils an asbeststaub in luft |
US5701176A (en) * | 1995-07-28 | 1997-12-23 | Precision Detectors, Inc. | High temperature light scattering measurement device comprising a rigid extension tube |
JP4516176B2 (ja) * | 1999-04-20 | 2010-08-04 | 関東化学株式会社 | 電子材料用基板洗浄液 |
CN1944048A (zh) * | 2005-09-21 | 2007-04-11 | 海德堡印刷机械股份公司 | 用于输送页张的方法和用于执行该方法的装置 |
JP2015141074A (ja) * | 2014-01-28 | 2015-08-03 | 九州エレクトロン株式会社 | 微粒子検出装置 |
KR102652507B1 (ko) * | 2015-02-09 | 2024-03-28 | 세키스이가가쿠 고교가부시키가이샤 | 반도체 칩의 제조 방법 |
WO2017188205A1 (ja) * | 2016-04-28 | 2017-11-02 | リンテック株式会社 | 保護膜形成用フィルム及び保護膜形成用複合シート |
CN110603433A (zh) * | 2017-05-05 | 2019-12-20 | 3M创新有限公司 | 散射测量系统及其使用方法 |
-
1971
- 1971-10-21 US US00191373A patent/US3754830A/en not_active Expired - Lifetime
-
1972
- 1972-09-12 DE DE2244696A patent/DE2244696C2/de not_active Expired
- 1972-10-12 GB GB4721172A patent/GB1410999A/en not_active Expired
- 1972-10-20 CA CA154,374A patent/CA977990A/en not_active Expired
- 1972-10-20 JP JP10517472A patent/JPS5514376B2/ja not_active Expired
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3914711C1 (de) * | 1989-05-04 | 1990-10-31 | Deutsche Forschungsanstalt Fuer Luft- Und Raumfahrt Ev, 5300 Bonn, De |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
GB1410999A (en) | 1975-10-22 |
JPS4851691A (de) | 1973-07-20 |
CA977990A (en) | 1975-11-18 |
DE2244696A1 (de) | 1973-04-26 |
JPS5514376B2 (de) | 1980-04-16 |
US3754830A (en) | 1973-08-28 |
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