JP2015141074A - 微粒子検出装置 - Google Patents

Abstract

【課題】電気的特性の変化に基づいて気体中の微粒子の状態を安価で正確に検出することができる微粒子検出装置を提供する。
【解決手段】測定対象となる気体空間２内に設置された対向する２つの電極４ａ，４ｂ間の電気的特性の変化を入力する入力部４１と、入力された電気的特性の変化に基づいて、気体空間２内に浮遊する微粒子３の大きさや個数、密度を特定する特定部４２とを備える。
【選択図】図４

Description

本発明は、空間内に存在する微粒子の状態を電気的な特性に基づいて検出する微粒子検出装置に関する。

近年、微小粒子状物質による健康被害、花粉等によるアレルギー問題、煙草の副流煙による二次被害等により、身体に害を及ぼすことが問題となっており、安価で正確に空気中の微粒子を測定する装置の開発が望まれている。

このような問題に関して、例えば、特許文献１、２に示す技術が開示されている。特許文献１に示す技術は、検査対象となる気体中に含まれる微粒子を捕捉するディスクと、前記ディスクを回転させる回転手段と、前記ディスクに光を照射する光照射手段と、前記ディスクから反射された光を検出する検出手段と備え、前記検出手段で検出される信号の時間的長さと前記ディスクの回転速度から算出される大きさから前記光照射手段から照射される光のスポット径を差し引くことによって、前記微粒子の大きさを算出するものである。

特許文献２に示す技術は、微生物測定装置は、基板３１，３２間に電極３３，３４を設け、一方の電極３４上に電界歪を作るための構造体３５を設けてチャンバ１を構成し、また、チャンバ１の一方の端に試料導入口３７を設け、他方の端に流出口３８を設け、そして、チャンバ１内を懸濁液で満たし、電極３３，３４を泳動電源部４に接続して電界を印加するものである。

特開２０１３−１０８７５２号公報 特開２００９−１９２４７９号公報

特許文献１に示す技術は、光の照射により微粒子を測定できるものの、装置構成が複雑で大型化すると共に、高価なものとなってしまうという課題を有する。また、特許文献２に示す技術は、液体中の微生物を測定するものであり、気体中の微粒子を電気的な特性により測定できるものではない。

本発明は、電気的特性の変化に基づいて気体中の微粒子の状態を安価で正確に検出することができる微粒子検出装置を提供する。

本発明に係る微粒子検出装置は、測定対象となる気体空間内に設置された対向する２つの電極間の電気的特性の変化を入力する入力手段と、入力された前記電気的特性の変化に基づいて、前記気体空間内に浮遊する微粒子の状態を特定する特定手段とを備えるものである。

このように、本発明に係る微粒子検出装置においては、測定対象となる気体空間内に設置された対向する２つの電極間の電気的特性の変化を入力し、入力された情報に基づいて、前記気体空間内に浮遊する微粒子の状態を特定するため、非常に安価で正確な微粒子の検出が可能になるという効果を奏する。

本発明に係る微粒子検出装置は、前記電気的特性の変化が前記電極間の静電容量の変化であり、前記特定手段が、前記静電容量の変化量に応じて前記微粒子の大きさを特定するものである。

このように、本発明に係る微粒子検出装置においては、電気的特性の変化が前記電極間の静電容量の変化であり、前記静電容量の変化量に応じて前記微粒子の大きさを特定するため、対象の気体空間に浮遊している微粒子の大きさを特定することができ、特定された情報を空気等の清浄に効果的に利用することができるという効果を奏する。

本発明に係る微粒子検出装置は、前記電気的特性の変化が前記電極間の静電容量の変化であり、前記特定手段が、前記静電容量の変化のタイミングに応じて前記気体空間内に存在する前記微粒子の個数を特定するものである。

このように、本発明に係る微粒子検出装置においては、電気的特性の変化が前記電極間の静電容量の変化であり、前記静電容量の変化のタイミングに応じて前記気体空間内に存在する前記微粒子の個数を特定するため、対象の気体空間に浮遊している微粒子の数を特定することができ、特定された情報を空気の清浄等に効果的に利用することができるという効果を奏する。

本発明に係る微粒子検出装置は、前記電極のうち一方の電極である第１の電極における先端が球状に突出する形状を有し、当該第１の電極の周囲であって、前記第１の電極に対向して設置される第２の電極から当該第１の電極における前記球状部分よりも離隔する位置に配設される補助電極とを備えるものである。

このように、本発明に係る微粒子検出装置においては、一方の電極である第１の電極における先端が球状に突出する形状を有し、当該第１の電極の周囲であって、前記第１の電極に対向して設置される第２の電極から当該第１の電極における前記球状部分よりも離隔する位置に配設される補助電極とを備えるため、電極間の距離よりも大きい径を有する微粒子が電極間の一部の電界に影響を及ぼす状態で捕捉されたとしても、補助電極による測定情報により、その捕捉状態を判別して認識することが可能になるという効果を奏する。

本発明に係る微粒子検出装置は、対向する２つの前記電極が平板電極であり、
前記微粒子の大きさに応じて前記平板電極の対向面積を異ならせているものである。

このように、本発明に係る微粒子検出装置においては、対向する２つの前記電極が平板電極であり、前記微粒子の大きさに応じて前記平板電極の対向面積を異ならせているため、各平板電極ごとに対象となる気体空間に浮遊している微粒子の大きさとその数を特定することができるという効果を奏する。

本発明に係る微粒子検出装置は、前記特定手段が特定した情報に応じて、前記電極間に捕捉された前記微粒子を解放する解放手段を備えるものである。

このように、本発明に係る微粒子検出装置においては、特定手段が特定した情報に応じて、前記電極間に捕捉された前記微粒子を解放するため、電極間に微粒子が堆積して測定を阻害する要因となるような場合に、堆積している微粒子を解放して再測定を行うことが可能になるという効果を奏する。

第１の実施形態に係る微粒子検出装置における測定部の一部を示すイメージ図である。 第１の実施形態に係る微粒子検出装置における測定回路の構成を示す図である。 第１の実施形態に係る微粒子検出装置における演算部のハードウェア構成図である。 第１の実施形態に係る微粒子検出装置における演算部の機能ブロック図である。 第１の実施形態における測定部において微粒子が捕捉された様子を示す第１の図である。 第１の実施形態における測定部において微粒子の径に応じた電極のサイズを示すイメージ図である。 第１の実施形態における測定部において微粒子が捕捉された様子を示す第２の図である。 第１の実施形態における測定部において微粒子が捕捉された様子を示す第３の図である。 第１の実施形態に係る微粒子検出装置における補助電極の構造を示す図である。 第１の実施形態に係る微粒子検出装置の動作を示すフローチャートである。

以下、本発明の実施の形態を説明する。また、本実施形態の全体を通して同じ要素には同じ符号を付けている。

（本発明の第１の実施形態）
本実施形態に係る微粒子検出装置について、図１ないし図１０を用いて説明する。図１は、本実施形態に係る微粒子検出装置における測定部の一部を示すイメージ図である。図１において、本実施形態に係る微粒子検出装置１で用いる測定部１１は、測定対象となる気体空間２（例えば、室内の空気中等）に浮遊している微粒子３を電気的なエネルギーで捕捉すると共に、電気的特性の変化を測定するものである。測定された情報は、微粒子検出装置の演算部に入力されて微粒子３の大きさや数が特定される。図１に示すように、測定部１１は、少なくとも対向する一対の電極４ａ，４ｂを備え、電極４ａ，４ｂ間に微粒子３が捕捉された場合の電極４ａ，４ｂ間の静電容量の変化を測定する。

すなわち、電極４ａ，４ｂ間に不均一な電場を発生し、誘電泳動により微粒子３を引きつけて捕捉する。それと同時に、微粒子３を捕捉した際の静電容量の変化を測定する。演算部では、測定したデータに基づいて、微粒子３のサイズごとの統計分布を求めることで、微粒子３のサイズごとの個数を算出する。気体中を浮遊する微粒子はランダムな運動を行いながら電極４ａ，４ｂに捕捉されるため、測定開始から微粒子３が捕捉されるまでの時間はポアソン分布にしたがい、微粒子３の気体空間中の密度を算出することが可能となる。

図１に示すように、電極４ａ，４ｂ間に不均一な電場があると誘電体としての微粒子３は誘電泳動により電界密度が高い電極４ａの先端に集まる。詳細な構成は図２を用いて後述するが、測定部１１における測定回路（図１においては図示しない）においては、発振器の周波数で断続的に電界を発生し、その向きは同一方向である。また、電界強度の変化も同一方向である。つまり、微粒子３は最終的に電極４ａの先端部に捕捉される方向に力が働き、発振器による発振周波数は十分に高いものであるため、安定したエネルギーで電極に吸い寄せられるように見える。

ここで、電極４ａ，４ｂ間の距離よりも大きい径を有する微粒子３は、電極４ａ，４ｂ間に進入することができず、電極４ａ，４ｂ間の距離よりも小さい径を有する微粒子３のみが全体を電極４ａ，４ｂ間に捕捉されることとなる。電極４ａ，４ｂ間に誘電体としての微粒子３が捕捉された場合、測定している静電容量が大きく変化し、その変化度合いによる微粒子３の大きさ、又は誘電率の推定が可能となる。

図２は、本実施形態に係る微粒子検出装置における測定回路の構成を示す図である。測定回路２０は、電極４ａ，４ｂで構成されるコンデンサ２１に電流を供給する定電流源２２を備える。この定電流源２２は、例えば１００μＡの高精度な素子を用いる。定期的にコンデンサ２１に蓄えられた電荷はダイオードスイッチ２３の切り替えに応じて放電される。このダイオードスイッチ２３の一端は発振器２４に接続しており、例えば５０％のデューティ比で発振を行う。すなわち、発振器２４の発振信号がＨｉの電圧の場合には、ダイオードスイッチ２３のカソード電圧が逆バイアスになり、すべての定電流がコンデンサ２１に流れ込む。一方、発振器２４の発振信号がＬｏの電圧の場合には、コンデンサ２１に蓄積された電荷が瞬時にダイオードスイッチ２３の順方向の向きに放電される。

この変動する充放電の電圧変化は積分回路２５により平滑化されて、一定の直流電圧値として電圧測定部２６により測定される。積分回路２５は、例えばＣＲ積分回路であり、時定数を入力される周波数より十分大きい値で設定することでリップルのない安定した直流電圧が得られる。また、ＣＲ積分回路における直列の抵抗を定電流源２２からの電流が積分回路２５に流れ込まない程度の大きな抵抗値に設定することで、測定に影響を与えることはない。電圧測定部２６による測定結果は、演算部２７に入力され、演算部２７のＣＰＵにより統計処理等の演算処理が行われて、気体空間中の微粒子の状態が特定される。

図３は、本実施形態に係る微粒子検出装置における演算部のハードウェア構成図である。演算部２７は、ＣＰＵ３１、ＲＡＭ３２、ＲＯＭ３３、ハードディスク（ＨＤとする）３４、通信Ｉ／Ｆ３５、及び入出力Ｉ／Ｆ３６を備える。ＲＯＭ３３やＨＤ３４には、オペレーティングシステムや各種プログラムが格納されており、必要に応じてＲＡＭ３２に読み出され、ＣＰＵ３１により各プログラムが実行される。

通信Ｉ／Ｆ３５は、装置間の通信を行うためのインタフェースである。入出力Ｉ／Ｆ３６は、タッチパネル、キーボード、マウス等の入力機器からの入力を受け付けたり、プリンタや画面等にデータを出力するためのインタフェースである。この入出力Ｉ／Ｆ３６は、必要に応じてＣＤ−Ｒ、ＤＶＤ−Ｒ等のリムーバブルディスク等に対応したドライブを接続することができる。各処理部はバスを介して接続され、情報のやり取りを行う。なお、上記ハードウェアの構成はあくまで一例であり、必要に応じて変更可能である。

図４は、本実施形態に係る微粒子検出装置における演算部の機能ブロック図である。演算部２７は、測定部１１の電圧測定部２６で測定された電圧情報を入力する入力部４１と、基本情報記憶部４３に予め記憶されている基本情報（例えば、閾値情報や統計処理に必要なパラメータ等の情報）、及び、入力された電圧情報を用いて、気体空間中の微粒子３の状態を特定する特定部４２と、特定された状態をディスプレイ４５や帳票に印刷して出力する出力制御部４４とを備える。

基本情報記憶部４３には、静電容量の変化と微粒子３の大きさとの関係を示すデータや、微粒子３の捕捉を認識するための閾値情報や、微粒子３の密度を演算するのに必要なパラメータ等が記憶され、測定された情報を用いて微粒子３の状態を特定することができる。以下、微粒子３の捕捉及び状態を特定する処理について詳細に説明する。

図５は、本実施形態における測定部において微粒子が捕捉された様子を示す第１の図である。図１のイメージ図で示したように、微粒子３の大きさは各種あり、微粒子３の飛散状況を解析するためには、微粒子３の大きさごとに飛散数量密度等を特定する必要がある。微粒子３を電極４ａ，４ｂ間に捕捉する際には、捕捉するための不均一な電場の広がり幅が微粒子３の径と同程度であることが好ましい。すなわち、図５（Ａ）に示すように、破線で示した電場の広がり幅と微粒子３の径が同程度となることが好ましい。なぜなら、図５に示すような電場の広がりの中で捕捉すれば微粒子３をほとんど包み込み、電場が微粒子３を貫く形で形成され、微粒子３の大きさが対応する静電容量の変化となって現れる。ほとんど全ての電場が微粒子３を貫くとすれば、微粒子３が捕捉されない場合と捕捉された場合とでは、比誘電率の分、静電容量が変化する。つまり、図５（Ｂ）に示すように、微粒子３が捕捉された瞬間に静電容量が大きく変化する。この変化の大きさが所定の値より大きい場合（静電容量の所定の閾値を下回った場合）、にある程度の大きさ以上（例えば、電極４ａ，４ｂ間の距離の半分以上）の微粒子３が捕捉されたと判断することができる。

なお、本実施形態においては、図６に示すように、微粒子３の大きさに応じて複数の電極４ａ，４ｂを用意するようにしてもよい。すなわち、上述したように、電場の広がり幅が微粒子３の径と同程度であることが好ましいことから、ターゲットとなる微粒子３のサイズに応じた電極４ａ，４ｂを用意する。例えば、図６に示すように、電極４ａの径の大きさと電極４ａ，４ｂ間の距離とがそれぞれ２^ｎ（ｎ＝０〜９）となるような１０種類の電極４ａ，４ｂを用意しておくことで、１〜１０２４倍程度のサイズの微粒子３を各種電極４ａ，４ｂで捕捉して区別することが可能となる。

また、この場合、電極４ａ，４ｂのサイズに応じて微粒子３を捕捉するための電界強度を設定する必要がある。この設定値は、予め演算により求めることができる。具体的には、設定値の演算方法とし、ターゲットとなる微粒子の粒子径がＮ倍に増えた場合に、電極間に印加する電圧をＮ倍に増やす必要があり、このとき静電容量もＮ倍になるため、印加電流×周期の値はＮ^２倍に増やす必要がある。実際の設定は、図２における定電流源２２の電流値及び／又は発振器２４の発振周波数を調整することで簡単に行うことが可能となる。

このように、電場の広がり幅≒電極４ａの径＝電極４ａ，４ｂ間の距離という関係に応じてターゲットとする微粒子３が対応付けられるが、ここで問題となるのが、捕捉のターゲットとしている微粒子３の径よりも小さい径の微粒子や大きい径の微粒子の存在である。図７は、本実施形態における測定部において微粒子が捕捉された様子を示す第２の図である。図７（Ａ）は、ターゲットとする微粒子３の径よりも小さい径の微粒子３が捕捉された場合の様子を示している。図７（Ａ）に示すように、径が小さい微粒子３が団子状に連なって堆積するように捕捉される。このような場合、ターゲットとしている微粒子３が団子状の微粒子群に阻まれて電極４ａ，４ｂ間に進入できず捕捉されなくなってしまう場合がある。

ターゲットとしている微粒子３に比べて径が小さい微粒子３が捕捉された場合、微粒子３が複数連なったとしても電極４ａ，４ｂ間を密に埋めることはできないため、測定される静電容量の変化は、ターゲットとする微粒子３が捕捉された場合に比べて小さいものとなる。また、径が小さい微粒子３が図７（Ａ）のような状態になるには、一度に状態が遷移するのではなく、小さい変化を繰り返して次第に状態が遷移する。すなわち、図７（Ｂ）に示すような変化が測定される。図５（Ｂ）と図７（Ｂ）のグラフを比較してわかるように、いずれも閾値Ｔｈを下回る状態になったとしても、その状態に至る過程が全く異なるため、ターゲットとしている微粒子３と径が小さい微粒子３とを区別して特定することができる。

図８は、本実施形態における測定部において微粒子が捕捉された様子を示す第３の図である。図８（Ａ）は、ターゲットとする微粒子３の径よりも大きい径の微粒子３が捕捉された場合の様子を示している。図８（Ａ）に示すように、電極４ａ，４ｂ間の距離よりも大きい径を有する微粒子３は、電極４ａ，４ｂ間に進入することができず、図８（Ａ）に示すような状態で捕捉される。このような場合も同様に、ターゲットとしている微粒子３が電極４ａ，４ｂ間に進入するのを阻害され、捕捉されなくなってしまう場合がある。

ターゲットとしている微粒子３に比べて径が大きい微粒子３が捕捉された場合、電極４ａ，４ｂ間の静電容量に影響を与えるものの、不均一に広がった電場の端部のみへの影響であり、図８（Ｂ）に示すように小さい変化が測定されるだけである。すなわち、図８（Ｂ）に示すように、静電容量の変化が測定されるものの、その変化は小さく、閾値Ｔｈを下回る可能性は低い。したがって、静電容量の変化が測定されたとしても、その変化量が非常に小さいものであるため、ターゲットとしている微粒子３と径が大きい微粒子３とを区別して特定することができる。

以上のように、複数のサイズの電極４ａ，４ｂを用意し、各電極のサイズに応じて適正な微粒子３の捕捉を検出することができる。また、上述したように、ターゲットとする微粒子３の径と大きく異なる径の微粒子３が捕捉された場合には、本来のターゲットとする微粒子３の捕捉を阻害する可能性があることから、捕捉されている微粒子３を解放する解放手段を備えるようにしてもよい。具体的には、電極４ａ，４ｂ間の測定を停止して電場を一旦解消してしまう機能を付加することで、微粒子３を解放することができる。つまり、気体中の微粒子３は、気体中の分子や他の微粒子との衝突によりランダムな運動をしているため、電極４ａ，４ｂ間のエネルギーを解放することで、捕捉された微粒子３の拡散を促すことが可能となる。このとき、外部から空気の流れを投入することで微粒子３の拡散を促進させてもよい。

なお、図５、７及び８のグラフに示すように、静電容量の変化量と捕捉される微粒子３の大きさには相関関係があることから、静電容量の変化量から微粒子３のサイズを求めることも可能である。ただし、図７の場合のように、ターゲットとなる微粒子の径よりも小さい径の微粒子３が１個捕捉された場合と、ターゲットとなる微粒子の径よりも大きい径の微粒子３が電極の外側部分に捕捉された場合とでは、いずれも静電容量の変化が似ており、それぞれを区別するのが難しい。

そこで、そのような場合には、例えば、図９（Ａ）に示すように電極４ａの周囲に大きい径の微粒子３の有無を判別するための補助電極９０を備えるようにしてもよい。電極４ａと補助電極９０とは絶縁されており、それぞれが独立して測定を行う。図８に示すように、ターゲットとなる微粒子の径よりも大きい径の微粒子３が捕捉された場合は、電極４ａ，４ｂ間で静電容量に変化があると共に、補助電極９０の測定による静電容量も変化し、その状態が維持される。一方、図７に図示しているような、ターゲットとなる微粒子の径よりも小さい径の微粒子３が捕捉された場合は、電極４ａ，４ｂ間で静電容量に変化があると共に、補助電極９０の測定による静電容量も微粒子３の通過時に一瞬変化し、その後定常状態に戻る。このように、補助電極９０を有することでターゲットとなる微粒子３よりも大きい径を有する微粒子３と小さい径を有する微粒子３とをそれぞれ区別して測定することが可能となる。

なお、補助電極９０は、図９（Ａ）に示すように円筒状にしてもよいし、図９（Ｂ）に示すように、通常の探針のような補助電極９０を電極４ａの周囲に絶縁状態で複数配置するようにしてもよい。また、この補助電極９０は、図６における各種サイズの電極に配設し、ターゲットとなる微粒子の径よりも大きい径の微粒子が捕捉されたと判断された時点で直ちに解放手段により解放する処理を行うようにしてもよい。

さらに、上記においては、電極４ａの先端を球状にしているが、平板電極であってもよい。平板電極の場合は、電極同士が対向している面内の空間と面外の空間とで電場の不均一（面内は電場が生じ、面外は電場が生じない）が発生するため、誘電泳動により微粒子３を吸い寄せて捕捉することが可能となる。

さらにまた、電極４ａ又は４ｂを可動にすることで、電極間の距離を調整することができ、例えば、図６に示すように１０個もの電極を用意しなくても、少数の電極で電極間の距離を調整することで複数サイズの微粒子３を捕捉できるようにしてもよい。

次に、本実施形態に係る微粒子検出装置の動作について説明する。図１０は、本実施形態に係る微粒子検出装置の動作を示すフローチャートである。まず、測定部１１により電気的特性の変化が測定される（Ｓ１）。入力部４１が、測定部１１の電圧測定部２６で測定された電極４ａ，４ｂ間の電圧値の測定情報を入力する（Ｓ２）。特定部４２は、入力部４１が測定情報を入力したことを受けて基本情報記憶部４３に記憶されている情報を読み出す（Ｓ３）。測定情報と読み出した基本情報とを用いて、対象となる気体空間における微粒子３の状態を特定する（Ｓ４）。出力制御部４４は、微粒子３の状態が特定された結果をディスプレイ４５や紙に印刷して出力して（Ｓ５）、処理を終了する。

なお、本実施形態においては統計的に微粒子３の密度を求める必要があるため、電極４ａ，４ｂ間に微粒子３が捕捉された時点で、捕捉されるまでの時間や微粒子３のサイズ等を記憶し、捕捉された微粒子３を解放した後に再度測定を開始する。解放手段としては、上述したように、測定を停止する、外部から空気の流れを投入する、振動を加えるといった手法が考えられる。このような測定と解放を繰り返し行い、ある程度（何回繰り返すといった情報は基本情報記憶部４３に記憶されている）のデータが蓄積されると、特定部４２による統計処理が行われ、微粒子３の状態が特定される。

１ 微粒子検出装置
２ 気体空間
３ 微粒子
４ａ，４ｂ 電極
１１ 測定部
２０ 測定回路
２１ コンデンサ
２２ 定電流源
２３ ダイオードスイッチ
２４ 発振器
２５ 積分回路
２６ 電圧測定部
２７ 演算部
３１ ＣＰＵ
３２ ＲＡＭ
３３ ＲＯＭ
３４ ＨＤ
３５ 通信Ｉ／Ｆ
３６ 入出力Ｉ／Ｆ
４１ 入力部
４２ 特定部
４３ 基本情報記憶部
４４ 出力制御部
９０ 補助電極

Claims (6)

1. 測定対象となる気体空間内に設置された対向する２つの電極間の電気的特性の変化を入力する入力手段と、
   入力された前記電気的特性の変化に基づいて、前記気体空間内に浮遊する微粒子の状態を特定する特定手段とを備えることを特徴とする微粒子検出装置。
2. 請求項１に記載の微粒子検出装置において、
   前記電気的特性の変化が前記電極間の静電容量の変化であり、
   前記特定手段が、前記静電容量の変化量に応じて前記微粒子の大きさを特定することを特徴とする微粒子検出装置。
3. 請求項１又は２に記載の微粒子検出装置において、
   前記電気的特性の変化が前記電極間の静電容量の変化であり、
   前記特定手段が、前記静電容量の変化のタイミングに応じて前記気体空間内に存在する前記微粒子の個数を特定することを特徴とする微粒子検出装置。
4. 請求項１ないし３のいずれかに記載の微粒子検出装置において、
   前記電極のうち一方の電極である第１の電極における先端が球状に突出する形状を有し、
   当該第１の電極の周囲であって、前記第１の電極に対向して設置される第２の電極から当該第１の電極における前記球状部分よりも離隔する位置に配設される補助電極とを備えることを特徴とする微粒子検出装置。
5. 請求項１ないし３のいずれかに記載の微粒子検出装置において、
   対向する２つの前記電極が平板電極であり、
   前記微粒子の大きさに応じて前記平板電極の対向面積を異ならせていることを特徴とする微粒子検出装置。
6. 請求項１ないし５のいずれかに記載の微粒子検出装置において、
   前記特定手段が特定した情報に応じて、前記電極間に捕捉された前記微粒子を解放する解放手段を備えることを特徴とする微粒子検出装置。

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