DE2233515A1

DE2233515A1 - Mehrfach-thermoelemente und verfahren zu ihrer herstellung

Info

Publication number: DE2233515A1
Application number: DE2233515A
Authority: DE
Inventors: Alan Lawrence Bond; Richard George Borley; Frank Munro Gay
Original assignee: BEST PRODUCTS Ltd
Current assignee: BEST PRODUCTS Ltd
Priority date: 1971-07-09
Filing date: 1972-07-07
Publication date: 1973-01-25
Also published as: FR2145973A5; GB1357217A; CA965519A

Description

betreffend Mehrfach-Thermoelemente und Verfahren zu ihrer Herstellung

Die Erfindung bezieht sich auf Mehrfach-Thermoelemente und Verfahren zu ihrer Herstellung.

Thermoelektrische Vorrichtungen, die sich aus mehreren Thermoelementen zusammensetzen und im folgenden als "Mehrfach-Thermoelemente" bezeichnet werden, -bilden bekanntlich empfindliche Detektoren für kleine Temperaturunterschiede und können daher zu den verschiedensten Zwecken benutzt werden, z. B. zum Messen des Effektivstroms, der durch einen Heizdraht fließt, welcher in thermischer Berührung mit den heißen Lötstellen steht. In vielen Fällen beträgt die Anzahl der Lötstellen ein Mehrfaches der Zahl zehn, und diese Lötstellen müssen in mindestens zwei Gruppen unterteilt werden. Werden Mehrfach-Thermoelemente aus Metallfolien hergestellt, ist es bis jetzt erforderlich, besondere Maßnahmen zu treffen, um die beiden Gruppen von Lötstellen voneinander zu trennen, und diese Maßnahmen führen zu einer Erhöhung der Herstellungskosten. In diesem Zusammenhang sei z. B. auf die britische Patentschrift 1 210 144 verwiesen. Die Aufgabe der .Erfindung besteht darin, Mehrfach-Thermoelemente

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zu schaffen, bei denen sich, die Gruppen von Lötstellen auf bequeme Weise voneinander getrennt halten lassen, ohne'daß es erforderlich ist, besondere Anordnungen zum Trennen dieser Gruppen vorzusehen; ferner ist gemäß der Erfindung ein Verfahren zum Herstellen erfindungsgemäßer Mehrfach-Thermoelemente geschaffen worden.

Genauer gesagt, ist gemäß der Erfindung ein Mehrfach-Thermo element geschaffen worden, das einen Metallstreifen aufweist, dessen Dicke im Vergleich zu seiner Breite klein ist? dieser Streifen liegt in einer geometrischen Fläche, und seine Dickenabmessung erstreckt sich im rechten Winkel zu dieser Fläche; hierbei verläuft der Streifen längs einer allgemein sinusförmigen Linie, und er setzt sich aus mehreren Abschnitten zusammen, von denen jeder mit Ausnahme der an den Enden der Anordnung liegenden Abschnitte zwischen zwei benachbarten Abschnitten liegt, die sich allgemein längs des jeweils betrachteten Abschnitts erstrecken; innerhalb des Satzes von Abschnitten wechseln Abschnitte mit relativ hoher Leitfähigkeit mit Abschnitten mit relativ geringer Leitfähigkeit miteinander ab, und an den Enden der Abschnitte sind thermoelektrische Lot- bzw» Übergangsstellen ausgebildet, zu denen erste Übergänge an ersten Enden der Abschnitte gehören, zwischen denen zweite Übergänge an den anderen Enden der Abschnitte liegen.

Ein zweckmäßiges Verfahren zum Anordnen der einander abwechselnden Abschnitte oder Flächen, die sich bezüglich ihrer Leitfähigkeit unterscheiden, besteht darin, ein sich aus parallelen Streifen zusammensetzendes Muster herzustellen. Der allgemein sinusförmig verlaufende Streifen kann sich dann längs einer Linie erstrecken, die längs jedes Streifes verläuft und sich nahe den Enden der Streifen in der Querrichtung zum nächsten Streifen erstreckt, so daß an einem Ende der Streifen eine Gruppe von ersten Übergängen und an den ari-

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deren Enden der Streifen eine Gruppe von zweiten Übergängen entsteht. Es ist jedoch auch möglich, miteinander abwechselnde Flächen vorzusehen, die andere Muster bilden, und in manchen Anwendungsfällen kann es z. B. zweckmäßig sein, ein Muster aus radialen Streifen oder Segmenten zu "bilden, so daß die eine Gruppe von Übergängen nahe dem Mittelpunkt eines Kreis'es konzentriert ist, während die Übergänge de.r anderen Gruppe über den Umfang eines größeren Kreises verteilt sind.

Ein bevorzugtes Verfahren zum Herstellen eines Musters aus mit einander abwechselnden Abschnitten, die sich bezüglich ihrer Leitfähigkeit unterscheiden, besteht daidn, daß ein Flachmaterial in Form einer Folie hergestellt wird, bei der eine Schicht aus einem die höhere Leitfähigkeit aufweisenden Metall mit einer Schicht aus einem die geringere Leitfähigkeit aufweisenden Metall verbunden ist, und daß dieses Flachmaterial bzw. die Folie zwei Arbeitsschritten unterzogen wird, von denen der eine dazu dient, die aus dem einen Metall bestehende Schicht nach Bedarf von Flächen zu entfernen, die später keinen Überzug aufweisende» Abschnitte bilden, während der andere dazu dient, die Folie in ihrer gesamten Dicke von vorbestimmten Flächen zu entfernen, so daß ein aus dem Folienmaterial bestehender Streifen zurückbleibt. Hierbei wird vorzugsweise das Metall mit der höheren Leitfähigkeit nach Bedarf■entfernt, um die keinen Überzug aufweisenden Abschnitte auszubilden. Um das genannte Flachmaterial herzustellen, wird vorzugsweise eine aus einem Metall bestehende leitfähige Folie mit einem anderen Metall plattiert, das eine höhere oder niedrigere Leitfälligkeit besitzt als das zuerst genannte Metall. Wenn sich die beiden Metalle· bezüglich ihrer Leitfähigkeit in einem hinreichenden Ausmaß unterscheiden, verhält sich bekanntlich das plattierte Flachmaterial thermoelektrisch so, als ob es innerhalb der plattierten Flächen nur aus dem aufpalttierten Metall bestände.

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Das gesamte Metall, das sicli außerhalb des "benötigten, allgemein sinusförmigen Streifens befindet, wird auf beliebige Weise entfernt, z. B, mit Hilfe von Verfahren, wie sie beim Herstellen gedruckter Schaltungen angewendet werden; beispielsweise wird das Material durch eine Maske, die aus einem lichtempfindlichen Abdeckmittel besteht, auf chemischem Y/ege geätzt* Alternativ ist es möglich, das tinerwünschte Metall mit Hilfe eines Laserstrahls wegzuschneiden, oder der Streifen kann sogar alisgestanzt werden, wenn seine Abmessungen nicht zu klein sind. Das Metall mit der höheren leitfähigkeit wird nur von denjenigen Abschnitten entfernt, die später ^:die geringere leitfähigkeit aufweisen sollen. Wird ein laserstrahl benutzt, kann man die beiden erwähnten Ar-"beitsschritte auf eine noch zu beschreibende Weise zeitlich miteinander verflechten.

Alternativ kann man dafür sorgen, daß die Abschnitte, die die geringere leitfähigkeit erhalten sollen, überhaupt nicht mit dem die höhere leitfähigkeit aufweisenden Metall plattiert werden, so daß es nur erforderlich ist, den allgemein sinusförmigen Streifen aus der Folie herauszuätsen oder ihn auf andere V/eise auszuschneiden.

Ein weiteres anwendbares Herstellungsverfahren besteht darin, daß man die Abschnitte durch entsprechend geformte · Masken auf bekannte Weise im Vakuum aufdampft.

Die Übergänge der, einen Gruppe können mit e j nein draht oder einem anderen wärmeleitenden Element verbunden werden, damit alle Übergänge dieser Gruppe auf einer gemeinsamen Temperatur gehalten werden, und man kann die Übergänge der anderen Gruppe mit einem anderen derartigen Element verbinden, natürlich dürfen keine elektrischen Kur ζ s el Uü 3 se · dien wärmeleitenden elementen und den tfe v^:rhBM#en< sedlji> Alternativ kann man· ΜΦ

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drähte in zwei Hälften unterteilen. Die erste Hälfte des . Heizdrahtes auf der einen Seite kann mit der zweiten Hälfte des Heiadrahtes auf der anderen Seite im Reihe geschaltet sein, und die zweite Hälfte des Heizdrahtes auf der einen Seite wird mit der ersten Hälfte des Heizdrahtes auf der anderen Seite in Reihe geschaltet. Diese Anordnung ermöglicht es, das weiter unten beschriebene Differential verfahren z. B. bei einem nicht abgeglichenen geätzten Thermoelement anzuwenden.

Die Erfindung und vorteilhafte Einzelheiten der Er- *findung werden im folgenden anhand schematischer Zeichnungen an Ausführungsbeispielen näher erläutert. Es zeigt:

Fig. 1 ein Verfahren zum Herstellen -eines Mehrfach-Thermoelements;

Fig. 2 ein gemäß Fig. 1 hergestelltes Mehrfach-Thermoelement mit den daran angebrachten Heizdrähten;

Fig. 3 in einer Stirnansicht ein Thermoelement, das in einer eine Wärmesenke bildenden Konstruktion angeordnet

Fig. 4- eine Meßschaltung mit einem Mehrfach—Thermoelement;

Fig. 5 eine abgeänderte Anordnung eines allgemein sinusförmigen Streifens;

Fig. 6 einen Teil eines zu einem Thermoelement zu verarbeitenden Folienstreifens kurz vor der Fertigstellung des allgemein sinusförmigen Streifens; ..

Fig. 7 bis 11 mehrere aufeinanderfolgende Arbeits— schritte des Verfahrens zum Herstellen des Streifens nach Fig. 6; und

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Pig. 12 bis 14 die aufeinanderfolgenden Arbeitsschritte eines anderen Verfahrens zum Herstellen des Streifens nach Fig. 6.

Gemäß Fig. 1 wird ein Stück einer Folie 1 aus Konstantan mit einer Stärke von etwa 0,0125 mm mit relativ spannungsfreiem Kupfer so plattiert, daß das Kupfer Streifen mit einer Breite von etwa 0,2 mm bildet, die durch Abstände von etwa 0,2 mm getrennt sind, wobei die Kupferstreifen eine Dicke von etwa 0,0075 mm erhalten. Das Folienstück kann z. B. Abmessungen von etwa 30 χ 24 mm haben. Um eine solche Plattierung zu ermöglichen, werden die Lücken zwischen den Streifen mit Hilfe eines photographischen Maskierungsverfahrens abgedeckt. Um die Handhabung der Folie während der nachfolgenden Arbeitsschritte zu erleichtern, wird die nicht plattierte Seite der Folie mit einer nicht dargestellten, etwa 0,25 mm dicken Schicht aus einem Epoxyharz oder einem anderen Stützmaterial überzogen. Nach dem Aushärten des Harzes wird die plattierte Seite der Folie mit einem lichtempfindlichen Abdeckmaterial überzogen, das durch ein Negativ hindurch belichtet und dann in der üblichen Weise entwickelt wird, so daß nur noch der allgemein sinusförmige Streifen 3 von dem Abdeckmaterial bedeckt ist. Das unerwünschte Metall wird dann mit Hilfe eines Ätzmittels oder auf andere Weise entfernt. Das Ätzmittel oder dergleichen kann auch dazu dienen, die Stützschicht aus dem Epoxyharz zu beiseitigenj geschieht dies nicht, kann man die Stützschicht in einem späteren Zeitpunkt mit Hilfe eines anderen Verfahrens beseitigen.

Die Folie wird so geätzt, daß der allgemein sinusförmige Streifen 3 entsteht, der sich aus miteinander abdecken— den Abschnitten zusammensetzt, und zwar nur aus Konstantan bestehenden Abschnitten 3A von geringerer leitfähigkeit und aus mit Kupfer plattiertem Konstantan bestehenden Abschnit-

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-ten 3B von höherer leitfähigkeit. Daher ist an einem Ende der Abschnitte eine Gruppe von ersten Übergängen 4 vorhanden, während am anderen Ende eine Gruppe von zweiten Übergängen 5 vorhanden ist. Dann werden gemäß Pig. 2 Heizdrähte 6 und 7 thermisch mit den Übergängen 4 und 5 verbunden. Diese Heizdrähte tonnen monofilar oder bifilar ausgebildet sein und z. B. aus einer legierung aus 80 $ Nickel und 2C $ Chrom oder aus Manganin bestehen. Man kann nicht isolierte Heizdrähte oder z. B. durch einen Überzug aus Glas isolierte Heizdrähte verwenden und sie mit den Übergängen mit Hilfe einer Glasfritte oder dergleichen verbinden. Der Einfachheit halber ist der. Streifen 3 in Pig. 2 und den weiteren !Figuren mir als einfache linie dargestellt, d. h., die Breite des Streifens ist aus diesen Figuren nicht ersichtlich. ' "^:

Das Thermoelement wird dann im Inneren einer Wärmesenke eingespannt, die zwei Klötze 6 und 9 aus Kupfer oder einem anderen leitfähigen V/erkstoff. aufweist, die auf beliebige Weise, z. B. gemäß Pig. 3 durch Schrauben zusammen- . gehalten werden. Jeder dieser Klötze weist einen Kanal 10 auf, in dem das Thermoelement so aufgehängt wird, daß es die Klötze nur an den mittleren Teilen der Abschnitte 3A und 3B berührt, wo sieh längs der Kanäle Rippen 11 erstrecken, die mit dem Thermoelement verspannt werden. Zwischen den Rippen 11 einerseits und dem Thermoelement andererseits werden dünne isolierende Schichten 12, z. B, dünne Streifen aus Glimmer,angeordnet.

An jedem Ende des Klotzes 9 erstrecken sich Zuleitungen 13, 14 und 15 für- das Thermoelement und die beiden Heizdrähte durch einen isßüiiereaacten; Stopf era 3l6,_; d^r* in; eine 0ff '~~ nung dtes ELoiäzes 9) eämgß%mxft· ilsii* Mess fordiea'liicäa.emf.äillls! aaaC «gmiear ikii^tJSsiilMsiiaa^ mmsm ddLefetfc TfleESÄlös&ägaajKffii <swäfeam,eiri3.e3a3

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v/erden, wobei sicii die Zuleitungen durch die Unterstützung ei's trecken.

Pig. 4 zeigt eine Schaltung, hei der ein erfiiidungsgemäßes Mehrfaeh-Thermoelement dazu dient, den effektiven Wert eines fluktuierenden Stroms zu messen» Die Zuleitungen 14 für den Heizdraht 6 werden mit den Eingangsklemmen 17 für den zu messenden Strom verbunden. Die Zuleitungen 15 des Heizdrahtes 7 sind an eine Bezugsstromquelle mit einer bestimmten Spannung, z. B. eine Batterie 18, angeschlossen, die mit einem verstellbaren Widerstand 19 und einem Präzisionswiderstand 20 in Reihe geschaltet ist. Die Eingangsklemmen 21 eines Digitalvoltmeters 22 sind mit den "beiden Enden des Präzisionswiderstandes 20 verbunden. Da der Widerstandswert des Widerstandes 20 genau bekannt ist, läßt sich der durch diesen Widerstand fließende Strom mit Hilfe des Digit al voltmeters 22 genau messen.

Die in den Übergängen 4 thermisch erzeugten elektromotorischen Kräfte addieren sich und können hei der maximalen Stromstärke, die mit Hilfe der Schaltung gemessen werden soll, z. B. insgesamt 100 mY betragen. Die an den Übergängen 5 erzeugten elektromotorischen Kräfte addieren sich ebenfalls, doch wirken sie den durch die Übergänge 4 erzeugten elektromotorischen Kräften entgegen. Wird dann der Widerstand 19 verstellt, his kein resultierender Thermostrom mehr vorhanden ist, ist der Effektivwert des-zu messenden Stroms gleich dem durch den Heizdraht 7 fließenden Gleichstrom, der durch das Digitalvoltmeter 22 angezeigt wird.

Damit das Erreichen des abgeglichenen Sustandes festgestellt werden kann, sind die Zuleitungen 13 des Thermoelements an ein empfindliches Galvanometer 23 angeschlossen, bei dem der Nullpunkt in der Mitte der Skala liegt.

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• Versuche haben gezeigt, daß sich genaue Messungen durchführen lassen, wenn es sich "bei dem zu messenden Strom entweder um einen Gleichstrom handelt, oder wenn ein Wechselstrom zu messen ist, dessen Frequenz "bis zu 100 kHz "betragen kann, und vermutlich können solche Messungen auch noch "bei erheblich höheren Frequenzen durchgeführt werden. Zu diesem Zweck kann man dafür sorgen, daß die Kombination, die durch den Heizdraht 6 und den Kanal 10 der Wärmesenke gebildet wird, durch den sich dieser Heizdraht erstreckt, als Übertragungsleitung arbeitet, z. B. als koaxiale Leitung mit einem Luftspalt oder als Wellenleiter, längs dessen sich ein Signal mit der erforderlichen Frequenz fortpflanzen kann.

Fig. 5 zeigt eine andere Ausführungsform eines Musters, das durch den allgemein sinusförmigen Streifen gebildet wird, wobei sich die Abschnitte 3A und 3-B von einem gedachten Mittelpunkt aus radial nach außen erstrecken. Die Übergänge und auch die Heizleitungen 6 und 7 liegen auf zwei konzentrischen Kreisen. Die Abschnitte 3A und 3B verlaufen zwar nicht mehr parallel, doch sind sie einander immer noch benachbart.

Wie erwähnt, liegt der Streifen 3 in. einer ebenen geometrischen Fläche, doch kann er erforderlichenfalls auch so gebogen werden, daß er auf einer gekrümmten Fläche liegt.

Der das Thermoelement nach Fig. 6 bildende Folienstreifen 3 wird mit Hilfe eines weiter unten beschriebenen Verfahrens hergestellt.

Gemäß Fig. 6 erstreckt sich der Folienstreifen 3 längs einer allgemein sinusförmigen Linie, und er setzt sich aus Abschnitten 3A und 3B zusammen, die durch gekrümmte Abschnitte 32 verbunden sind. Der Streifen kann eine Breite von.etwa 0,1 mm haben, und zwischen benachbarten Abschnitten können Abstände von etwa 0,1 mm vorhanden sein. An jedem der gekrümmten Abschnitte 32 verbindet ein Brüekenabsehnitt 30

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den Streifen mit einem den Streifen umschließenden Rahmen 34, äex die Handhabung des sehr empfindlichen Streifens" erleichtert. Bei einem nachfolgenden Herstellungsstadium, mit dem sich die Erfindung jedoch nicht befaßt, werden die Brückenabschnitte 30 und der Rahmen 34 entfernt.

Die Folie besteht aus einer Schicht aus Konstanten (55 $ Kupfer und 45 i» Nickel), die eine Dicke von etwa 0,0125 im hat und mit reinem Kupfer bis zu einer lücke von z. B> etwa 0,075 mm plattiert ist. Innerhalb der getüpfelten Flächen bleibt die Plattierung erhalten, während sie innerhalb der nicht getüpfelten Flächen entfernt worden ist. Hierbei ist es ohne Bedeutung, ob 'die Plattierung von irgendwelchen Teilen der Brückenabschnitte 33 und des Rahmens 34 entfernt wird.

Gemäß Fig. 6 wechseln Abschnitte miteinander ab, bei denen die Plattierung noch vorhanden ist, bzw. bei denen die Plattierung entfernt worden ist, so daß an den gekrümmten Abschnitten 32 Sätze von thermoelektrischen Übergängen 4 und 5 vorhanden sind.

In den weiteren Figuren 7 bis 14 ist der in Fig. 6 durch einen gestrichelten Kreis 36 abgegrenzte Bereich in einem größeren Maßstab dargestellt, um die aufeinanderfolgenden Herstellungsschritte deutlicher erkennbar zu machen.

Fig. 7 zeigt die sich aus zwei Schichten zusammensetzende Folie, bei der die Kupferschicht die Oberseite bildet, wobei das zu erzeugende Muster mit gestrichelten Omrißlinien angedeutet ist. Fig. 8 zeigt, daß über der schraffierten Fläche 37 mit Hilfe bekannter photographischer Verfahren eine Maske erzeugt worden ist. Nachdem dies geschehen ist, wird die nicht maskierte oder abgedeckte Fläche durch Ätzen nur von dem Kupfer befreit, so daß sich nach dem Entfernen der Maske der in Fig. 9 gezeigte Zustand ergibt. Man

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kann den selektiven Ätzvorgang durchführen, indem man ein Ätzmittel verwendet, das Kupfer leicht angreift, jedoch Konstanten erheblieh weniger leicht angreift. Alternativ kann man die Dauer des Ätzvorgangs so regeln, daß das Ätzmittel nur das Kupfer "beseitigen, jedoch das darunter liegende Konstantan nicht mehr angreifen kann. Bei einem alternativ anwendbaren Verfahren benötigt man keine Maske, sondern das Kupfer wird mit Hilfe eines !Laserstrahls zum Verdampfen gebracht, dessen Energie so geregelt wird, daß keine Verdampfung des darunterliegenden Konstantans bewirkt wird· Der Laserstrahl wird veranlaßt, alle !Flächen zu überstreichen, von denen das Kupfer entfernt werden soll; zu diesem Zweck wird der laserstrahl mit Hilfe einer digital arbeitenden Zeichenvorrichtung gesteuert.

Bei dem Ätzverfahren "wird die in S¹Xg. 9 dargestellte Folie erneut abgedeckt, wie es in 5¹Ig. 10 durch die schraffierte !"lache 38 angedeutet ist, und dann werden die nicht abgedeckten Flächen vollständig weggeätzt. Nach dem Entfernen der Maske hat das gewünschte Muster die in Fig. 11 dargestellte Form. Auch bei diesem Arbeitssehritt könnte man das unerwünschte Metall mit Hilfe eines programmierten laserstrahls entfernen.

Wird mit einem laserstrahl -gearbeitet, kann man den laserstrahl systematisch über die ganze Folie hinwegführen, wobei die digitale Zeichenvorrichtung nur die Steuerung längs der Z—Achse bewirkt, um die Intensität des Laserstrahls zu regeln. Dort, wo kein Metall zu entfernen ist, wird der laserstrahl abgeschaltet; wo das gesamte Material entfernt werden soll, wird der Strahl unter Berücksichtigung der Abtastgeschwindigkeit auf eine genügend hohe Intensität gebracht, und dort, wo nur das Kupfer entfernt werden soll, wird ein Strahl mit einer mittleren Intensität erneugt. Somit sind die Arbeitsschritte zum Entfernen des Metalls von

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höherer Leitfähigkeit mit den Arbeitsschritten zum Entfernen des gesamten Folienmaterials zeitlieh miteinander verflochten.

Gemäß Fig. 7 "bis 11 wird zuerst das Kupfer selektiv entfernt, Bei dem in Fig« 12 Ms 14 dargestellten Verfahren werden die Arbeitsschritte in der umgekehrten Reihenfolge durchgeführt. Geht man erneut von Fig. 7 aus, besteht der erste Arbeitsschritt darin, daß die in Fig. 12 dargestellte Maske 39 aufgebracht wird, woraufhin gemäß Fig. 13 das Material innerhalb der nicht abgedeckten Flächen vollständig weggeätzt wird. Dann wird die Folie in der aus Fig. 14 ersichtlichen Weise erneut mit einer Maske 40 abgedeckt, woruafhin nur das Kupfer von den nicht abgedeckten Flächen durch Ätzen entfernt wird. Nach dem Entfernen der Maske 40 ist das in Fig. 11 gezeigte Muster vorhanden.

Um die Handhabung zu erleichtern, kann man die Folie auf ihrer Rückseite mit einer Schicht aus einem Kunststoff versehen,die nach der Fertigstellung des Mehrfach-Thermoelements durch Auflösen entfernt wird. In diesem Fall ii?t es möglicherweise nicht erforderlich, die beschriebenen Brückenabschnitte 33 und den Rahmen 34 vorzusehen.

Alle in den Unterlagen offenbarten Angaben und Merkmale, insbesondere die offenbarte räumliche Ausgestaltung, werden, soweit sie einzeln oder in Kombination gegenüber dem Stand der Technik neu sind, als e-rfindungs we senil ich beansprucht.

Ansprüche:

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Claims

ANSPRÜCHE

Mehrfach-Thermoelement, dadurch gekennzeichnet, daß ein Metallstreifen (3) vorhanden ist, dessen Dicke im Verhältnis zu seiner Breite klein ist, daß der Streifen in einer geometrischen Flachen liegt, wobei sich seine Dickenabmessung im rechten Winkel zu dei* Fläche erstreckt, daß sich der Streifen längs einer allgemein sinusförmigen Linie erstreckt und einen Satz von Abschnitten (3A, 3B-) bildet, daß mit Ausnahme der an den Enden des Satzes liegenden Abschnitte jeder Abschnitt zwischen zwei ihm benachbarten Abschnitten liegt, die sich allgemein längs des betreffenden Abschnitts erstrecken, daß'innerhalb des Satzes Abschnitte mit einer relativ hohen leitfähigkeit und Abschnitte mit einer- relativ geringen Leitfähigkeit miteinander abwechseln, und daß an den Enden der Abschnitte thermoelektrische Übergänge ausgebildet sind, die an den ersten Enden der Abschnitte angeordnete erste Übergänge (4) bzw. an den anderen Enden der Abschnitte angeordnete zweite Übergänge (5) bilden, so daß sich längs des Streifens die ersten und die zweiten Übergänge miteinander abwechseln.

2. Mehrfach-Thermoelement nach Anspruch 1, dadurch g e k e η η-ζ e i c h η e t , daß alle Abschnitte (3A, 3B) parallel zueinander verlaufen, und: daß die ersten Übergänge (4) und die zweiten Übergänge (5) jeweils längs einer ersten bzw. einer zweiten geraden Linie angeordnet sind»

3. Mehrfach-Thermoelement nach Anspruch l_t dadurch g e kennzeichnet, daß sich alle Abschnitte (3A, 3B) von einem gedachten Mittelpunkt aus radial nach außen zwischen einem ersten inneren Kreis und einem damit konzentrischen zweiten äußeren Kreis erstrecken.

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4. Mehrfach-Thermoelement nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet , daß die geometrische Fläche eine Ebene ist.

5. Mehrfach-Thermoelement nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet , daß ein erster Heizdraht (6) und ein zweiter Heizdraht (7) vorhanden sind, die gegenüber allen ersten Übergängen (4) und allen zweiten Übergängen (5) elektrisch isoliert sind, jedoch in thermischer Berührung mit den zugehörigen Übergängen stehen.

6. Mehrfach-Thermoelement nach Anspruch 5, gekennzeichnet durch eine gegenüber allen Abschnitten (3A, 3B) elektrisch isolierte, jedoch in thermischer Berührung mit den mittleren Teilen aller Abschnitte stehende Wärmesenke (8, 9, 11).

7. Mehrfach-Thermoelement nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet , daß die Wärmesenke (8, 9, 11) mindestens einen der Heizdrähte (6, 7) umgibt und zusammen mit ihm eine Übertragungsleitung bildet,.

8. Mehrfach-Thermoelement nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet , daß der allgemein sinusförmige Streifen (3) aus einem endlosen Streifen aus einem ersten Metall besteht, der nur längs der die höhere Leitfähige-keit aufweisenden Abschnitte (3B) mit einer Schicht aus einem Metall von höherer leitfähigkeit versehen ist.

9· Verfahren zum Herstellen eines Mehrfach^Thermoelements nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß ein Flachmaterial in Form einer Folie hergestellt wird, zu der eine Schicht aus eineia Metall mit einer höheren Leitfähigkeit gehört, die mit einer Schicht aus einem Metall mit einer geringeren leitfähigkeit verbunden ist, und daß diese Folie zwei Arbeitsschritten unterzogen wird,

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von denen der eine dazu dient, die aus dem einen Metall bestehende Schicht selektiwon denjenigen Flächen zu entfernen, die "bei dem fertigen Thermoelement keinen Überzug aufweisende Abschnitte bilden, während der zweite Arbeitsschritt dazu dient, das gesamte Folienmaterial innerhalb bestimmter Flächen zu entfernen, so daß nur ein Folienstreifen verbleibt.

10. Verfahren nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet , daß die Schicht aus dem einen Metall selektiv längs Streifen entfernt wird, so daß Streifen in Form nicht mit einem Überzug versehener Flächen verbleiben, die mit Streifen alternieren, welche einen Überzug aufweisen, und daß dann Metall von dem keinen Überzug aufweisenden Flächen sowie von mit einem Überzug versehenen Flächen selektiv und vollständig entfernt wird, so daß ein Folienstreifen zurückbleibt.

11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch g e k e η η -

ζ ei c h η e t , daß die mit dem Überzug versehenen streifenförmigen Flächen dadurch erzetigt werden, daß diese Flächen maskiert oder abgedeckt werden, daß dann die nicht abgedeckten, einen Überzug tragenden Flächen geätzt werden, um das den Überzug bildende Metall von diesen nicht abgedeckten Flächen zu entfernen, und daß dann die einen Überzug aufweisenden und die nicht mit einem Überzug versehenen Flächen mittels einer Maske abgedeckt werden, die sich längs der gewünschten, allgemein sinusförmigen linie erstreckt, woraufhin das Metall innerhalb der nicht abgedeckten, einen Überzug aufweisenden bzw. nicht mit einem Überzug versehenen Flächen durch Ätzen vollständig entfernt wird.

12. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß das Metall mit Hilfe eines Laserstrahls entfernt wird.

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13. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet , daß dem Laserstrahl die höchste Intensität dann verliehen wird, wenn sämtliches Metall entfernt werden soll, daß die Intensität des Laserstrahls verringert wird, wenn nur das den Überzug bildende Metall entfernt werden soll, und daß die Intensität des Laserstrahls auf den Wert Null gebracht wird, wenn das den Überzug bildende Metall auf der Unterlage verbleiben soll.

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