DE2157085B2 - Belichtungsautomat für Elektronenmikroskope - Google Patents

Belichtungsautomat für Elektronenmikroskope

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DE19712157085
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Jaromir Dipl.-Ing. Bruenn Uhde (Tschechoslowakei)
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Tesla AS
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    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/02—Details
    • H01J37/22—Optical, image processing or photographic arrangements associated with the tube
    • H01J37/224—Luminescent screens or photographic plates for imaging; Apparatus specially adapted therefor, e. g. cameras, TV-cameras, photographic equipment or exposure control; Optical subsystems specially adapted therefor, e. g. microscopes for observing image on luminescent screen

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
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