DE2156699C3 - Verfahren und Vorrichtung zum automatischen Regenerieren von KupferchloridÄtzmittellösungen - Google Patents

Verfahren und Vorrichtung zum automatischen Regenerieren von KupferchloridÄtzmittellösungen

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DE2156699C3 DE19712156699 DE2156699A DE2156699C3 DE 2156699 C3 DE2156699 C3 DE 2156699C3 DE 19712156699 DE19712156699 DE 19712156699 DE 2156699 A DE2156699 A DE 2156699A DE 2156699 C3 DE2156699 C3 DE 2156699C3
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etching chamber
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Guenter Dipl.-Ing. Decker
Lothar Schwung
Joachim Seiffarth
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23FNON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
    • C23F1/00Etching metallic material by chemical means
    • C23F1/46Regeneration of etching compositions

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