DE2149914B2 - Verfahren zur Herstellung von Wolframcarbid und/oder Molybdäncarbid - Google Patents
Verfahren zur Herstellung von Wolframcarbid und/oder MolybdäncarbidInfo
- Publication number
- DE2149914B2 DE2149914B2 DE2149914A DE2149914A DE2149914B2 DE 2149914 B2 DE2149914 B2 DE 2149914B2 DE 2149914 A DE2149914 A DE 2149914A DE 2149914 A DE2149914 A DE 2149914A DE 2149914 B2 DE2149914 B2 DE 2149914B2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- carbide
- tungsten
- carbon
- molybdenum
- reaction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 18
- UONOETXJSWQNOL-UHFFFAOYSA-N tungsten carbide Chemical compound [W+]#[C-] UONOETXJSWQNOL-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 14
- QIJNJJZPYXGIQM-UHFFFAOYSA-N 1lambda4,2lambda4-dimolybdacyclopropa-1,2,3-triene Chemical compound [Mo]=C=[Mo] QIJNJJZPYXGIQM-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 9
- 229910039444 MoC Inorganic materials 0.000 title claims description 9
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 8
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 26
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N monobenzene Natural products C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 26
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 25
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 25
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 24
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims description 24
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 claims description 24
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 23
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims description 22
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims description 22
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 19
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 13
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 11
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 10
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 9
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 239000010959 steel Substances 0.000 claims description 8
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims description 7
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 230000003993 interaction Effects 0.000 claims description 5
- 239000011541 reaction mixture Substances 0.000 claims description 5
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 4
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 claims description 4
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 4
- WSWMGHRLUYADNA-UHFFFAOYSA-N 7-nitro-1,2,3,4-tetrahydroquinoline Chemical compound C1CCNC2=CC([N+](=O)[O-])=CC=C21 WSWMGHRLUYADNA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000000835 fiber Substances 0.000 claims description 3
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims description 3
- 239000008096 xylene Substances 0.000 claims description 3
- 239000003085 diluting agent Substances 0.000 claims description 2
- 239000001307 helium Substances 0.000 claims description 2
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 claims description 2
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 claims 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 claims 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 11
- NXHILIPIEUBEPD-UHFFFAOYSA-H tungsten hexafluoride Chemical compound F[W](F)(F)(F)(F)F NXHILIPIEUBEPD-UHFFFAOYSA-H 0.000 description 11
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 10
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 10
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 8
- 150000001247 metal acetylides Chemical class 0.000 description 7
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 6
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 5
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 5
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 4
- 229910000040 hydrogen fluoride Inorganic materials 0.000 description 4
- -1 molybdenum halides Chemical class 0.000 description 4
- UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N Carbon monoxide Chemical compound [O+]#[C-] UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910002091 carbon monoxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000003575 carbonaceous material Substances 0.000 description 3
- 239000008246 gaseous mixture Substances 0.000 description 3
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 3
- 229920000049 Carbon (fiber) Polymers 0.000 description 2
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 239000004917 carbon fiber Substances 0.000 description 2
- FQNHWXHRAUXLFU-UHFFFAOYSA-N carbon monoxide;tungsten Chemical group [W].[O+]#[C-].[O+]#[C-].[O+]#[C-].[O+]#[C-].[O+]#[C-].[O+]#[C-] FQNHWXHRAUXLFU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 2
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 2
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007542 hardness measurement Methods 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 2
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 2
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M Chloride anion Chemical compound [Cl-] VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229910001209 Low-carbon steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001721 carbon Chemical group 0.000 description 1
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 description 1
- 125000002915 carbonyl group Chemical group [*:2]C([*:1])=O 0.000 description 1
- 238000005234 chemical deposition Methods 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 230000001427 coherent effect Effects 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 125000001153 fluoro group Chemical group F* 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LNDHQUDDOUZKQV-UHFFFAOYSA-J molybdenum tetrafluoride Chemical class F[Mo](F)(F)F LNDHQUDDOUZKQV-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 1
- 229910052756 noble gas Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002835 noble gases Chemical class 0.000 description 1
- 239000000376 reactant Substances 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- D—TEXTILES; PAPER
- D01—NATURAL OR MAN-MADE THREADS OR FIBRES; SPINNING
- D01F—CHEMICAL FEATURES IN THE MANUFACTURE OF ARTIFICIAL FILAMENTS, THREADS, FIBRES, BRISTLES OR RIBBONS; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OF CARBON FILAMENTS
- D01F11/00—Chemical after-treatment of artificial filaments or the like during manufacture
- D01F11/10—Chemical after-treatment of artificial filaments or the like during manufacture of carbon
- D01F11/12—Chemical after-treatment of artificial filaments or the like during manufacture of carbon with inorganic substances ; Intercalation
- D01F11/126—Carbides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B32/00—Carbon; Compounds thereof
- C01B32/90—Carbides
- C01B32/914—Carbides of single elements
- C01B32/949—Tungsten or molybdenum carbides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
- C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
- C23C16/301—AIII BV compounds, where A is Al, Ga, In or Tl and B is N, P, As, Sb or Bi
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
- C23C16/22—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes characterised by the deposition of inorganic material, other than metallic material
- C23C16/30—Deposition of compounds, mixtures or solid solutions, e.g. borides, carbides, nitrides
- C23C16/32—Carbides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C24/00—Coating starting from inorganic powder
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
- C01P2004/00—Particle morphology
- C01P2004/80—Particles consisting of a mixture of two or more inorganic phases
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01P—INDEXING SCHEME RELATING TO STRUCTURAL AND PHYSICAL ASPECTS OF SOLID INORGANIC COMPOUNDS
- C01P2006/00—Physical properties of inorganic compounds
- C01P2006/90—Other properties not specified above
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/29—Coated or structually defined flake, particle, cell, strand, strand portion, rod, filament, macroscopic fiber or mass thereof
- Y10T428/2913—Rod, strand, filament or fiber
- Y10T428/2916—Rod, strand, filament or fiber including boron or compound thereof [not as steel]
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/29—Coated or structually defined flake, particle, cell, strand, strand portion, rod, filament, macroscopic fiber or mass thereof
- Y10T428/2913—Rod, strand, filament or fiber
- Y10T428/2918—Rod, strand, filament or fiber including free carbon or carbide or therewith [not as steel]
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/29—Coated or structually defined flake, particle, cell, strand, strand portion, rod, filament, macroscopic fiber or mass thereof
- Y10T428/2913—Rod, strand, filament or fiber
- Y10T428/2933—Coated or with bond, impregnation or core
- Y10T428/294—Coated or with bond, impregnation or core including metal or compound thereof [excluding glass, ceramic and asbestos]
- Y10T428/2958—Metal or metal compound in coating
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Textile Engineering (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von Wolframcarbid und/oder Molybdäncarbid und
diese Verbindungen enthaltende harte Überzüge auf der Oberfläche eines Substrats durch chemische Wechselwirkung
in der Gasphase zwischen (1) Wolfram- und/oder Molybdänhexafluorid, (2) einer Kohlenstoffquelle
und (3) Wasserstoff.
Aus der US-PS 33 68 914 ist ein Verfahren zur haftschlüssigen Abscheidung eines Metallcarbide, z. B.
Wolfram- oder Molybdäncarbid, auf einem Metallsubstrat bekannt Nach einem besonderen Verfahren wird
ein Überzug aus Wolframcarbid auf einer Wolframoberfläche durch chemische Gasphasenwechselwirkung
in einem aus Wolframhexafluorid, Wasserstoff und Kohlenmonoxyd bestehenden Gasgemisch bei Zersetzungstemperaturen
von mehr als 400° C, insbesondere zwischen etwa 600 und 1000° C, hergestellt Das nach
der US-Patentschrift verwendete kohlenstoffhaltige Material besteht aus Kohlenmonoxyd oder Wolframcarbonyl;
andere kohlenstoffhaltige Materialien sind in der Patentschrift nicht offenbart.
Es sind auch bereits Verfahren bekannt geworden, die die Reaktion von Wolfram- und Molybdänhalogeniden,
insbesondere mit Wasserstoff und dampfförmigen Kohlenwasserstoffen unter Bildung der entsprechenden
Carbide, betreffen. Beispielsweise ist in dem Buch von
C F. Powell et aL (Hrsg.), »Vapor Deposition«, Seite 373,
Wiley, New York, 1966, ausgeführt, daß ebenso wie bei
den Carbiden des Tantals und Molybdäns die Abscheidung des Wolframcarbids aus einer Mischung von
Wasserstoff, dampfförmigem Kohlenwasserstoff und Wolfnunchlorid durch die Leichtigkeit verhindert
werde, mit der sich das freie Metall bei niedriger
ίο Temperatur, die bei Wolfram sogar niedriger liegt als
bei Tantal, abscheidet Es muß davon ausgegangen werden, daß derartige Ausführungen in gleichem oder
noch stärkerem Maße auf die Verwendung der entsprechenden Wolfram- und Molybdänfluoride zu-
is treffen. In Anbetracht des Erfahrungsschatzes, wie er in
der vorstehenden Literaturstelle zum Ausdruck kommt, ist es verständlich, daß die eingangs erwähnte
US-Patentschrift lediglich Kohlenmonoxyd oder WoIframcarbonyl,
jedoch kerne weiteren kohlenstoffhaltigen Materialien betrifft Es ist möglich, daß dabei von der
Annahme ausgegangen wurde, die Bildung eines Carbonyls sei eine notwendige Zwischenstufe.
Überraschenderweise zeigte es sich jedoch, daß Wolfram- und Molybdäncarbide, falls erwünscht, auch in
Form von diese Verbindungen enthaltenden sehr harten kohärenten Überzügen in einer chemischen Reaktion in
der Gasphase gebildet werden können, wobei der für die Bildung des Carbide benötigte Kohlenstoff von einem
Kohlenwasserstoff stammt
Das Verfahren nach der Erfindung der eingangs näher beschriebenen Art ist dadurch gekennzeichnet,
daß die Wechselwirkung auf der Oberfläche des Substrats bei einer Reaktionstemperatur im Bereich von
400—10000C erfolgt und daß die Kohlenstoffquelle
Benzol, Toluol oder Xylol oder Gemische daraus ist Vorzugsweise beträgt die Reaktionstemperatur
400-6800C
Bei der Durchführung der Reaktion zwischen den erwähnten Komponenten ist es erwünscht, daß das
Wolfram/Kohlenstoff-Verhältnis in der Reaktionsmischung
zwischen 1 —2 Wolframatome pro Kohlenstoffatom beträgt Weiterhin ist es erwünscht, daß genügend
Wasserstoff in der Reaktionsmischung zugegen ist der theoretisch die vollständige Umwandlung aller Fluoratome
des Wolframhexafluorids zu Fluorwasserstoff
gewährleistet, unabhängig von der Tatsache, daß in der Praxis zum Erzielen einer gleichförmigen Schichtdicke
auf der gesamten Oberfläche des zu beschichtenden Gegenstandes es erforderlich ist die Vollständigkeit der
Umwandlung des Wolframhexafluorids in Fluorwasserstoff einzuschränken. Weiterhin ist es erwünscht, daß
bei der Herstellung von äußerst reinen Carbiden die Gesamtmenge des in der Reaktionsmischung zugegebenen
freien und gebundenen Wasserstoffs nicht wesent-Hch größer ist als die theoretische Menge, die zur
vollständigen Umwandlung von Wolframhexafluorid zu Fluorwasserstoff erforderlich ist Andernfalls besteht
nämlich die Wahrscheinlichkeit, daß eine Mischung des Metalls und des Metallcarbide gebildet wird.
Die Erfindung ist außerdem auf die Herstellung durch chemische Abscheidung in der Dampfphase von harten
Überzügen gerichtet, die aus einer Mischung von Wolfram (oder Molybdän) und Wolframcarbid (oder
Molybdäncarbid) bestehen, welche aus einer Wolframhe:xafluorid (oder Molybdänhexafluorid), Benzol, Toluol,
Xylol oder Gemischen daraus und molekularem Wasserstoff abgeschieden worden ist. Obwohl derartige
Überzüge weniger hart als die aus im wesentlichen dem
reinen Carbid bestehenden sind, ist ihre Härte jedoch
groß genug, daß sie als gegen Verschleiß widerstandsfähige Oberzüge kommerziell sehr erfolgreich sein
können. Bei der Herstellung derartiger ÜLerzüge kann
die Zusammensetzung des Gases innerhalb größerer Bereiche variiert werden, als es bei der Herstellung von
im wesentlichen reinen Carbidflberzügen möglich ist Das Wolfram/Kohlenstoff-Verhältnis der Gasmischung
kann gleich oder größer sein als das Verhältnis von 1—2:1 der Wolfram- zu den Kohlenstoffatomen und
die Gesamtmenge des vorhandenen freien und gebundenen Wasserstoffs kann 50% weniger als die
theoretisch benötigte Menge zur vollständigen Umwandlung
des Wclframhexafluorids zu Fluorwasserstoff betragen. Die Wasserstoffmenge kann auch der
theoretischen Menge entsprechen oder größer als diese sein.
Erfindungsgemäß wird das Verfahren nach der Erfindung so durchgeführt, daß das KoLJen/Wasserstoff-Verhältnis
in der Mischung ausreichend klein zur weitgehenden Verhinderung der Abscheidung von
Kohlenstoff während der Carbidbildung eingestellt wird. Dieses Erfordernis wird am besten durch die
Verwendung von Wasserstoff erfüllt, der in einer für diesen Zweck ausreichenden Menge zugegen ist
Es ist zu beachten, daß es sich bei der chemischen Abscheidung von Wolframcarbid oder Molybdäncarbid
aus der Gasphase um die Reaktion eines Metallcarbide von relativ geringer chemischer Stabilität handelt wenn
man diese mit der Stabilität des freien Metalls und des Kohlenstoffs vergleicht Es besteht daher eine ausgeprägte
Neigung zur Bildung von metallischem Wolfram und Kohlenstoff anstelle von Wolframcarbid. In einer
Mischung von Wolframhexafluorid, Wasserstoff und Benzol sind die folgenden Reaktionen möglich:
WF6+ 3H2 = W+ 6HF (1)
WF6+ C6H6 = W+ 6HF+ 6C (2)
WF6+ C6H6 = WC+ 6HF+ 5C (3)
WF6 + JrC6H6 + 2»/2H2 — WC + 6HF (4)
6
6
2WF6+ ^C6H6
>W2C + 12HF (5)
Zur Optimierung der Bildung des Wolframcarbids sollte daher eine kohlenstoffhaltige Komponente, d. h.
der reaktionsfähige Kohlenwasserstoff mit einer geeigneten Stabilität ausgewählt werden. Die kohlenstoffhaltige
Komponente soll sich dabei in Kombination mit Wolframhexafluorid und Wasserstoff genügend leicht
zersetzen, um Wolframcarbid zu ergeben, soll jedoch andererseits nicht so leicht zersetzt werden, daß fester
Kohlenstoff abgeschieden wird. Sie soll aber auch nicht so stabil sein, daß sie nicht mehr in der Lage ist, die
Kohlenstoffquelle für die Bildung des Metallcarbide darzustellen. Wie sich außerdem aus den obigen
Reaktionsgleichungen und auch aus der Tatsache, daß in Kohlenwasserstoffen das Wasserstoff/Kohlenstoff-Atomverhältnis
nicht größer als 4 :1 sein kann, ergibt, erfolgt die Verunreinigung des Carbids mit freiem
Kohlenstoff leichter in Abwesenheit von Wasserstoff. Weiterhin ist die Existenz von mindestens zwei
Carbiden des Wolframs bekannt, d. h. WC und W2C. Im Verfahren der Erfindung können beide Carbide, jedes
für sich oder in Mischung, gebildet werden. Aufgrund stöchiometrischer Überlegungen ergibt sich zwangsläufig,
daß zur Bildung des zweiten Carbids mehr Wasserstoffanteile erforderlich sind. Das Verfahren
wird daher, z. B. bei der Verwendung von Benzol, durch
s die Reaktionsgleichungen 4 und 5 in ihren einfachsten Formen wiedergegeben. Im zweiten Fall wird mehr als
die doppelte Wasserstoffmenge in bezug auf Wolframhexafluorid benötigt
Die Reaktion nach der Erfindung wird bei Temperatüren ausgeführt die oberhalb der Raumtemperatur, insbesondere zwischen 400 und 10000C, vorzugsweise zwischen 400 und 680° C liegen. Es ist allgemein vorteilhaft, die Reaktion zwischen Komponenten herbeizuführen, die bei Temperaturen zwischen 500 und 900° C reagieren. Die Reaktionsgeschwindigkeit der Bildang der gewünschten Wolfram- und/oder Molybdäncarbide kann unter 500° C klein sein.
Die Reaktion nach der Erfindung wird bei Temperatüren ausgeführt die oberhalb der Raumtemperatur, insbesondere zwischen 400 und 10000C, vorzugsweise zwischen 400 und 680° C liegen. Es ist allgemein vorteilhaft, die Reaktion zwischen Komponenten herbeizuführen, die bei Temperaturen zwischen 500 und 900° C reagieren. Die Reaktionsgeschwindigkeit der Bildang der gewünschten Wolfram- und/oder Molybdäncarbide kann unter 500° C klein sein.
Die Reaktion nach der Erfindung gestattet allgemein die Ausbildung von Wolfram- und/oder Molybdäncarbiden
als Oberzug auf einem geeigneten Substrat Es zeigt sich, daß derartige Oberzüge allgemein kohäsive
Eigenschaften aufweisen und auf dem Substrat bei der Reaktionstemperatur zwischen 400 und 1000° C haften.
Bei Verwendung höherer Temperaturen, beispielsweise
2f 1300° C, werden Überzüge erhalten, die weniger
befriedigende Eigenschaften aufweisen.
Bei einigen Substraten, z. B. bei Flußeisen, Flußstahl,
Schweißstahl, Weicheisen, Weichstahl und anderen Stahlsorten, erwies sich die vorherige Abscheidung,
beispielsweise auf chemischem oder elektrolytischem Wege, einer Nickel- oder Kobaltschicht als vorteilhaft.
Es wurde eine bessere Adhäsion erreicht insbesondere bei Verwendung von Reaktionstemperaturen an den
oberen und unteren Grenzen des angegebenen Bereichs.
Gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung wird ein Carbidüberzug, insbesondere Wolframcarbid,
auf der Arbeitsoberfläche eines Werkzeugs oder eines Lauflagers angebracht Der Überzug kann
beispielsweise nach dem Verfahren der Erfindung auf einem Werkzeug aufgebracht werden, das eine gesinterte
Wolframcarbid/Wolfram-Spitze aufweist. Besonders vorteilhaft ist weiterhin die Abscheidung von Wolfram-
und/oder Molybdäncarbid auf Kohlenstoff- oder Borfasern unter Bildung eines kontinuierlichen Überzugs. Das
Substrat, auf dem das nach der Umsetzung nach der Erfindung hergestellte Carbid gebildet wird, kann
pulverförmig sein. Die Abscheidung des Carbids kann dann so durchgeführt werden, daß die Pulverteilchen in
einem Fließbett suspendiert werden, durch welches die drei erfindungsgemäß verwendeten Komponenten
hindurchgeleitet werden und die Pulverteilchen den erforderlichen Carbidüberzug erhalten. Carbidüberzüge
können nach dem Verfahren der Erfindung auf Rollen, Schneidbacken, Gleitführungen und dergl. aufgebracht
werden, die aus anderen Materialien als Stahl hergestellt sein können.
Obwohl es in dem Verfahren nach der Erfindung möglich ist auf die Anwesenheit von freiem molekularem
Wasserstoff zu verzichten, ist dessen Anwesenheit gemäß den vorstehenden Ausführungen jedoch erwünscht,
um die Bildung von freiem Kohlenstoff, z. B. dui"h Reaktion(2)und(3)zu vermeiden.
Bei Verwendung von Benzol als kohlenstoffhaltiger Verbindung bei der Bildung von Wolframcarbid ist ein molares Verhältnis der Reaktanten von Wolframhexafluorid : Benzol: Wasserstoff=6 :1 :15 besonders geeignet.
Bei Verwendung von Benzol als kohlenstoffhaltiger Verbindung bei der Bildung von Wolframcarbid ist ein molares Verhältnis der Reaktanten von Wolframhexafluorid : Benzol: Wasserstoff=6 :1 :15 besonders geeignet.
Geeignete inerte Gase als Verdünnungsmittel für die gasförmigen Mischungen nach der Erfindung schließen
Stickstoff und Edelgase, beispielsweise Argon und Helium, ein.
Bei großen Mengenanteilen von freiem Wasserstoff in der erfindungsgemäß verwendeten Reaktionsmischung
werden Anteile von freiem metallischem Wolfram und/oder Molybdän zusammen mit ihren
Carbiden abgeschieden. Derartige gemischte Überzüge sind zäher als diejenigen, die nur aus Carbiden bestehen,
behalten jedoch gleichzeitig viel von deren charakteristischen Härteeigenschaften. Die Herstellung derartiger
gemischter Überzüge fällt ebenfalls in den Bereich der vorliegenden Erfindung. Im allgemeinen kann ein
gemischter Überzug mit günstigen Eigenschaften, beispielsweise 50 Gew.-% und mehr Wolfram enthalten.
Andererseits können Überzüge jedoch auch einen Gehtli von 10 Gew.-% oder weniger an elementarem
Wolfram aufweisen.
Die Erfindung wird nachfolgend anhand von Beispielen
erläutert.
Eine gasförmige Mischung von Wolframhexafluorid, Benzol, Wasserstoff und Argon in molaren Verhältnissen
von 6:1 :15 :10 wurde bei einem Gesamtdruck von einer Atmosphäre und bei einer gesamten Volumenströmungsgeschwindigkeit
von 31/Std. unter Normalbedingungen
in eine Kammer geleitet, die ein Molybdänstück enthielt, dessen Durchmesser 1 cm und dessen Höhe
3 cm betrug und das auf eine Temperatur von 9000C erhitzt worden war. Nach zwei Stunden wurde das
Molybdän abgekühlt und aus der Kammer herausgenommen. Ein adhäsiver und kohäsiver Überzug von
Wolframcarbid mit einer Dicke von etwa 0,0305 mm hatte sich auf dem Molybdänsubstrat abgeschieden.
Härtemessungen an diesem Überzug zeigten, daß er äußerst hart war. Es wurden Werte von bis zu
2100 V.P.N. erhalten.
Eine gasförmige Mischung von Wolframhexafluorid, Benzol und Wasserstoff in molaren Verhältnissen von
6:1 :15 wurde in eine Abscheidekammer geleitet, die
ein Stück Nickel enthielt und 30 Minuten lang auf 680° C erhitzt wurde. Härtemessungen über die Querschnitte
der Überzüge ergaben extrem hohe Werte, die im Bereich von HOO V.P.N. bis mehr als 2000 V.P.N. lagen.
In vergleichbaren Versuchen, bei denen Kohlenstoffasern
mit einem Überzug aus einer ähnlichen Gasmischung bei Temperaturen von 4000C und 500° C
versehen wurden, wurden in höchstem MaSe abschleifend
wirkende Überzüge erhalten, die auf eine äußerst große Härte hinwiesen.
Weiterhin wird die Erfindung im folgenden noch anhand der Zeichnungen erläutert Es zeigen in
schematischer Darstellung:
F i g. 1 einen Längsschnitt senkrecht zur Ebene der Schneide durch einen Stahlmeißel mit einem nach dem
Verfahren der Erfindung aufgebrachten Carbidüberzug und
F i g. 2 einen Querschnitt durch eine erfindungsgemäß beschichtete Kohlenstoffaser.
Der in F i g. 1 gezeigt Stahlmeißel besteht im wesentlichen aus einem Stahlkern 1 mit einer Schneide
2. Im Bereich der Schneide ist der Meißel mit einer auf elektrolytischem Wege aufgebrachten Primärbeschichtung
3 aus Nickel oder Kobalt versehen, auf welcher erfindungsgemäß eine Schicht 4 aus Wolfram- und/oder
Molybdäncarbid aufgebracht ist Die in F i g. 2 gezeigte beschichtete Faser weist einen Kern 5 aus Kohlenstoff
oder Bor sowie die Wolfram- und/oder Molybdäncarbidschicht 4 auf.
Claims (6)
1. Verfahren zur Herstellung von Wolframcarbid und/oder Molybdäncarbid und diese Verbindungen
enthaltende harte Überzüge auf der Oberfläche
eines Substrats durch chemische Wechselwirkung in der Gasphase zwischen (1) Wolfram- und/oder
Moiybdinhexafiuorid, (2) einer Kohlenstoffquelle
und(3) Wasserstoff, dadurch gekennzeichnet,
daß die Wechselwirkung auf der Oberfläche des Substrats bei einer Reaktionstemperatur im
Bereich von 400-10000C erfolgt und daß die Kohlenstoffquelle Benzol, Toluol oder Xylol oder
Gemische daraus ist, wobei das Kohlenstoff/Wasserstoff-Verhältnis
im Reaktionsgemisch ausreichend klein zur weitgehenden Verhinderung der Abscheidung
von Kohlenstoff während der Carbidbildung eingestellt wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die Reaktionstemperatur im Bereich von 400-680°C liegt
3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Reaktion in Gegenwart
eines inerten Gases als Verdünnungsmittel durchgeführt wird.
4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß als inertes Gas Stickstoff, Argon oder
Helium verwendet wird.
5. Verfahren nach Anspruch 1—4, dadurch gekennzeichnet, daß das bei der chemischen
Reaktion entstehende Carbid auf der Arbeitsoberfläche eines Stahlwerkzeuges oder Lauflagers
gebildet wird.
6. Verfahren nach Anspruch 1—4, dadurch gekennzeichnet, daß das bei der chemischen
Reaktion gebildete Carbid auf Kohlenstoff- oder Borfasern abgeschieden wird.
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| GB4798170 | 1970-10-08 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE2149914A1 DE2149914A1 (de) | 1972-05-25 |
| DE2149914B2 true DE2149914B2 (de) | 1980-11-13 |
| DE2149914C3 DE2149914C3 (de) | 1981-10-01 |
Family
ID=10446943
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE2149914A Expired DE2149914C3 (de) | 1970-10-08 | 1971-10-06 | Verfahren zur Herstellung von Wolframcarbid und/oder Molydäncarbid |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US3814625A (de) |
| BE (1) | BE823743Q (de) |
| DE (1) | DE2149914C3 (de) |
| GB (1) | GB1326769A (de) |
| SE (2) | SE384383B (de) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3907693A1 (de) * | 1988-03-10 | 1989-09-21 | Central Glass Co Ltd | Verfahren zur herstellung von wolframcarbid durch chemische dampfabscheidung |
Families Citing this family (25)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4005698A (en) * | 1974-10-18 | 1977-02-01 | International Business Machines Corporation | Photon energy converter |
| US4049380A (en) * | 1975-05-29 | 1977-09-20 | Teledyne Industries, Inc. | Cemented carbides containing hexagonal molybdenum |
| IT1123082B (it) * | 1975-11-14 | 1986-04-30 | Fulmer Res Inst Ltd | Matrice migliorata per dare forma a metallo,costituita da un substrato d'acciaio rivestito di uno strato contenente fosfuro di nichel,metodo per la sua preparazione e suo impiego per l'estrusione di alluminio |
| US4066451A (en) * | 1976-02-17 | 1978-01-03 | Erwin Rudy | Carbide compositions for wear-resistant facings and method of fabrication |
| US4137519A (en) | 1977-10-25 | 1979-01-30 | Trw, Inc. | Resistor material, resistor made therefrom and method of making the same |
| CH639598A5 (de) * | 1979-05-04 | 1983-11-30 | Sulzer Ag | Mit einer verschleiss- und korrosionsfesten wolframkarbid-schutzschicht versehener metallteil. |
| US4427445A (en) * | 1981-08-03 | 1984-01-24 | Dart Industries, Inc. | Tungsten alloys containing A15 structure and method for making same |
| DE3141567C2 (de) * | 1981-10-20 | 1986-02-06 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Verfahren zum Herstellen von aus Tantal, Wolfram oder Molybdän bestehenden Schichten bei niedrigen Temperaturen und Verwendung dieser Schichten |
| EP0305790B1 (de) * | 1985-03-20 | 1993-01-13 | Sharp Kabushiki Kaisha | Herstellung von Graphiteinlagerungsverbindung und gedopte Carbonfilme |
| US5273778A (en) * | 1985-03-20 | 1993-12-28 | Sharp Kabushiki Kaisha | Method for producing graphite intercalation compound |
| US4945640A (en) * | 1987-09-03 | 1990-08-07 | Diwakar Garg | Wear resistant coating for sharp-edged tools and the like |
| US5064728A (en) * | 1987-09-03 | 1991-11-12 | Air Products And Chemicals, Inc. | Article with internal wear resistant surfaces |
| US4910091A (en) * | 1987-09-03 | 1990-03-20 | Air Products And Chemicals, Inc. | High hardness fine grained tungsten-carbon alloys |
| US4874642A (en) * | 1987-09-03 | 1989-10-17 | Air Products And Chemicals, Inc. | Method for depositing a hard, fine-grained, non-columnar alloy of tungsten and carbon on a substrate |
| US4990372A (en) * | 1987-09-03 | 1991-02-05 | Air Products And Chemicals, Inc. | Method for producing wear resistant internal surfaces of structures |
| US5024901A (en) * | 1988-02-08 | 1991-06-18 | Air Products And Chemicals, Inc. | Method for depositing highly erosive and abrasive wear resistant composite coating system on a substrate |
| US5006371A (en) * | 1988-02-08 | 1991-04-09 | Air Products And Chemicals, Inc. | Low temperature chemical vapor deposition method for forming tungsten and tungsten carbide |
| US5262202A (en) * | 1988-02-17 | 1993-11-16 | Air Products And Chemicals, Inc. | Heat treated chemically vapor deposited products and treatment method |
| US5277987A (en) * | 1991-02-01 | 1994-01-11 | Air Products And Chemicals, Inc. | High hardness fine grained beta tungsten carbide |
| US5300322A (en) * | 1992-03-10 | 1994-04-05 | Martin Marietta Energy Systems, Inc. | Molybdenum enhanced low-temperature deposition of crystalline silicon nitride |
| WO2000047796A1 (fr) * | 1999-02-11 | 2000-08-17 | Hardide Limited | Revetements de carbure de tungstene et procede de production |
| US9314985B2 (en) | 2011-09-27 | 2016-04-19 | Kennametal Inc. | Coated pelletizing extrusion dies and method for making the same |
| RU2752624C1 (ru) * | 2020-11-05 | 2021-07-29 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Кабардино-Балкарский государственный университет им. Х.М. Бербекова" (КБГУ) | Электрохимический способ получения карбида молибдена |
| CN113929099A (zh) * | 2021-10-27 | 2022-01-14 | 赣州海盛钨钼集团有限公司 | 一种超细碳化钨粉末的制备方法 |
| CN114713819B (zh) * | 2022-04-07 | 2023-09-08 | 河南颍川新材料股份有限公司 | 一种超细碳化钨包覆高速钢复合粉体及其制备方法 |
-
1971
- 1971-09-29 GB GB4798170A patent/GB1326769A/en not_active Expired
- 1971-10-06 DE DE2149914A patent/DE2149914C3/de not_active Expired
- 1971-10-06 US US00187194A patent/US3814625A/en not_active Expired - Lifetime
- 1971-10-07 SE SE7112703A patent/SE384383B/xx unknown
-
1974
- 1974-12-23 BE BE2054048A patent/BE823743Q/xx not_active IP Right Cessation
-
1975
- 1975-01-09 SE SE7500227A patent/SE405592B/xx not_active IP Right Cessation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3907693A1 (de) * | 1988-03-10 | 1989-09-21 | Central Glass Co Ltd | Verfahren zur herstellung von wolframcarbid durch chemische dampfabscheidung |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US3814625A (en) | 1974-06-04 |
| GB1326769A (en) | 1973-08-15 |
| BE823743Q (fr) | 1975-04-16 |
| SE405592B (sv) | 1978-12-18 |
| DE2149914A1 (de) | 1972-05-25 |
| SE7500227L (de) | 1975-01-09 |
| SE384383B (sv) | 1976-05-03 |
| DE2149914C3 (de) | 1981-10-01 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE2149914C3 (de) | Verfahren zur Herstellung von Wolframcarbid und/oder Molydäncarbid | |
| EP0083043B1 (de) | Verschleissteil | |
| DE69410441T2 (de) | Langbohrer mit titancarbonitriden schneideinsätzen | |
| DE68919509T2 (de) | Oberflächenbeschichtetes, zementiertes Carbid. | |
| DE69132337T2 (de) | Beschichtete Cermetklinge | |
| DE69025582T3 (de) | Beschichteter Hartmetallkörper und Verfahren zu seiner Herstellung | |
| DE2727250C2 (de) | Oberflächenbeschichteter Sintercarbidgegenstand und Verfahren zu dessen Herstellung | |
| DE602005005577T2 (de) | Beschichtetes Cermet-Schneidwerkzeug mit harter Überzugsschicht, welche eine hervorragende Schlagbeständigkeit bei taktweiser Hochgeschwindigkeitsschneidarbeit aufweist | |
| DE68910081T2 (de) | Schneidkörperblatt und Verfahren zu dessen Herstellung. | |
| DE2718647A1 (de) | Mischueberzug aus aluminiumoxid und titanoxid sowie verfahren zur herstellung desselben | |
| DE2149294C3 (de) | Verfahren zur Härtung und zum Korrosionsschutz der Oberfläche eines Stahlstücks sowie Anwendung des bei Durchführung des Verfahrens erhaltenen Stahlstücks | |
| DE69117385T2 (de) | Verfahren zur Herstellung eines Überzugs aus Nitrid oder Karbonitrid | |
| EP0330913B1 (de) | Verfahren zur Herstellung eines gesinterten Hartmetallkörpers und gesinterter Hartmetallkörper | |
| DE2263210B2 (de) | Verschleissteil aus hartmetall, insbesondere fuer werkzeuge | |
| DE1938595A1 (de) | UEberzug fuer zusammengesetzte Gegenstaende sowie Verfahren zu seiner Herstellung | |
| DE1959690A1 (de) | UEberzugsschicht auf Hartmetallteilen fuer die spanende und spanlose Formgebung und Verfahren zu ihrer Herstellung | |
| DE2306504B2 (de) | Beschichteter Sinterhartmetallkörper | |
| DE3544975C1 (de) | Verfahren zur Herstellung eines beschichteten Formkoerpers | |
| DE2007427A1 (de) | Verfahren zum überziehen gesinterter Hartmetallkörper und Hartmetallkörper, die gemäß dem Verfahren überzogen worden sind | |
| DE3907693C2 (de) | ||
| DE2317447C2 (de) | Schneideinsätze | |
| DE3100926A1 (de) | "sintermetallhartlegierungen und verfahren zu deren herstellung" | |
| DE1942292B2 (de) | Verfahren zur abscheidung eines ueberzuges | |
| DE3434616C2 (de) | Verfahren zur Herstellung von Titan-Bor-Oxinitridschichten auf Sinterhartmetallkörpern | |
| DE3532733A1 (de) | Verschleissfester ueberzug aus einem metallcarbid, -nitrid oder -carbonitrid |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| OD | Request for examination | ||
| C3 | Grant after two publication steps (3rd publication) |