DE2138238A1 - Verfahren und einrichtung zum pruefen von objekten bestimmter flaechenhafter oder raeumlicher konfiguration bei vorzugsweise gedruckten schaltungstraegern, elektrischen baugruppen oder dergleichen - Google Patents

Verfahren und einrichtung zum pruefen von objekten bestimmter flaechenhafter oder raeumlicher konfiguration bei vorzugsweise gedruckten schaltungstraegern, elektrischen baugruppen oder dergleichen

Info

Publication number
DE2138238A1
DE2138238A1 DE19712138238 DE2138238A DE2138238A1 DE 2138238 A1 DE2138238 A1 DE 2138238A1 DE 19712138238 DE19712138238 DE 19712138238 DE 2138238 A DE2138238 A DE 2138238A DE 2138238 A1 DE2138238 A1 DE 2138238A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
images
template
electrical
image
screen
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
DE19712138238
Other languages
English (en)
Inventor
Bernhard Kobsa
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Siemens AG
Original Assignee
Siemens AG
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Siemens AG filed Critical Siemens AG
Priority to DE19712138238 priority Critical patent/DE2138238A1/de
Publication of DE2138238A1 publication Critical patent/DE2138238A1/de
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/302Contactless testing
    • G01R31/308Contactless testing using non-ionising electromagnetic radiation, e.g. optical radiation
    • G01R31/309Contactless testing using non-ionising electromagnetic radiation, e.g. optical radiation of printed or hybrid circuits or circuit substrates
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/2801Testing of printed circuits, backplanes, motherboards, hybrid circuits or carriers for multichip packages [MCP]
    • G01R31/2806Apparatus therefor, e.g. test stations, drivers, analysers, conveyors

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Description

  • Verfahren und Einrichtung zum Prüfen von Objekten bestimmter flächenhaft er oder räumlicher Konfiguration bei vorzugsweise gedruckten Schaltungsträgern, elektrischen Baugruppen oder dergleichen.
  • oder dergleichen.
  • Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren und auf eine Sinrichtung zur Durchführung des Verfahrens zum Prüfen von.
  • Objekten bestimmter flächenhafter oder räumlicher Konfiguration durch Vergleich mit einer, die gewünschte Konfiguration aufweisenden Vorlage, bei vorzugsweise gedruckten Schaltungsträgern, elektrischen Baugruppen oder dergleichen.
  • Derartige Prüfverfahren, bei welchen ein in bestimmter Weise bearbeitetes Objekt mit einer einwandfreien Vorlage derselben Konfiguration verglichen wird und dabei die Unterschiede zwischen dem Objekt und der Vorlage ermittelt werden, sind insbesondere in der Technik der sogenannten gedruckten Schaltungen gebräuchlich. Diese gedruckten Schaltungsträger werden erstellt, indem auf einen mit einer elektrisch leitenden Schicht versehenen Isolierstoffkörper eine die späteren Beitungszüge bildende Musterung durch ein foto-mechanisches Übertragungsverfahren aufgebracht wird und indem durch ein Ätzverfahren die nicht zu dieser teitungskonfiguration gehörenden Teile der elektrisch leitenden Schicht entfernt werden. Die Beitungen dieser so erstellten Schaltungskonfiguration werden nun beispielsweise in einem Tauchlötverfahren verzinnt. Die Praxis zeigt, dass sowohl bei dem Ätzverfahren als auch bei dem anschliessenden Lötverfahren häufig Fehler auftreten, die eine spätere Benützung dieser gedruckten Schaltung in einer elektrischen Anlage unmöglich machen. Beispielsweise kommt es vor, dass beim Atzvorgang auch Teile der späteren Beitungszüge der gedruckten Schaltung weggeätzt werden. Weiterhin ist die grösste Fehlerursache bei solchen teiterplatten oder bei fertigen Flachbaugruppen das Vorhandensein von Zinnbrücken und Lötspritzern, die bei dem Lötverfahren innerhalb der Schaltungskonfiguration haften geblieben sind. Solche Zinnbrücken oder Lötspritzer rufen in der elektrischen Schaltung Kurzschlüsse und Fehlverbindungen hervor. Um diese Fehler zu erkennen, legt man üblicherweise das bearbeitete Objekt und die einwandfreie Vorlage unmittelbar nebeneinander und vergleicht visuell die beiden Konfigurationen zonenweise miteinander, indem man Stelle für Stelle mit dem Auge abtastet und dabei die Übereinstimmung bzw. die Nichtübereinstimmung der beiden Konfigurationen erkennt. Es ist verständlich, dass hierbei infolge der Trägheit des menschlichen Auges und infolge eines nicht zu verhindernden Nachlassens der Konzentration des Prüfenden häufig Fehler bei der Vergleichstätigkeit auftreten.
  • Man hat nun versucht ein vergleichendes Prüfverfahren dadurch zu verbessern, indem man durch eine optische Einrichtung ein Abbild von dem zu prüfenden Objekt und ein Abbild von der einwandfreien Vorlage erstellt und diese Abbilder schrittweise und abwechselnd nacheinander auf einem einzigen Aufzeichnungsträger sichtbar macht. Es erscheint also zunächst allein das Abbild des zu prüfenden Objektes, kurz darauf das Abbild der Vorlage und so weiter, wobei die, die Prüfung durchführende Person die Aufgabe hat, aufgrund der nacheinander auf dem Aufzeichnungsträger erscheinenden Abbilder die Ubereinstimmung und die Abweichungen zwischen den zu vergleichenden Abbildern zu erkennen, um danach eventuelle Korrekturen durchführen zu können. Auch hier wird infolge der Trägheit des menschlichen Auges und infolge Ermüdung der mit der Prüfung befassten Person ein einwandfreier, objektiver Vergleich der miteinander zu vergleichenden- Konfigurationen sowie eine visuelle und gedankliche Trennung der beiden Abbilder voneinander nur während einer sehr kurzen Prüfdauer gewährleistet sein.
  • Der vorliegenden Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zum Prüfen von Objekten bestimmter flächenhaft er oder räumlicher Konfiguration durch Vergleich mit einer Vorlage derart zu gestalten, dass- die Trägheit des menschlichen Auges einerseits und die nicht zu verhindernden Ermüdungserscheinungen der mit der Prüfung befassten Person weitgehend keinen Einfluss mehr auf die Korrektheit und Objektivität des Prüfvorganges besitzen.
  • Diese Aufgabe wird erfindungsgemäss dadurch gelöst, dass sowohl von dem zu prüfenden Objekt als auch von der Vorlage ein Abbild erstellt wird, dass die beiden Abbilder überlagert werden und dass durch Differenzbildung der Bildinhalte der beiden Abbilder der gegebenenfalls vorhandene Differenzinhalt optisch und/oder elektrisch angezeigt wird.
  • Die beiden miteinander zu vergleichenden Abbilder werden auf einem Aufzeichnungsträger (Mattscheibe, Beinwand) überlagert, das heisst in Deckung miteinsndor gebracht, wobei auf optischem oder elektrischem Wege der gegebenenfalls vorhandene Differenzinhalt, also der objektive Fehler an dem zu prüfenden Objekt angezeigt wird. In besonders vprteilhafter Weise muss hierbei im Gegensatz zu den bekannten Prüfmethoden das menschliche Auge keine aufeinanderfolgenden Bilder oder Abbilder mehr erfassen. Demzufolge werden auch an die mit der Prüfung befasste Person keinerlei Anforderungen hinsichtlich seines gedanklichen Speicherungsvernögens sowie hinsichtlich seines Untcrscheidungswermögens zwischen aufeinandefolgenden visuellen Eindrücken gestellt. Auf diese Weise kann mit grosser Sicherheit beispielsweise die Leitungskonfiguration von gedruckten Schaltungsträgern durch Vergleich mit einer einwandfreien Vorlage geprüft werden. Mit derselben Sicherheit kann dieses Prüfverfahren auch bei räumlichen Konfigurationen beispielsweise bei mit elektrischen Bauelementen und dergleichen bestückten Schaltungsplatten, sogenannten elektrischen Baugruppen angewandt werden, indem von dieser räumlichen Konfiguration eine Projektion seiner räumlichen Gestaltung in eine Ebene geschaffen wird und dieses die Projektionsebene darstellendes Abbild mit einer Vorlage, beispielsweise einem Schalt-und Bestückungsplan verglichen wird, auf welchem ebenfalls die teitungszüge und die elektrischen Bauelemente in einer Ebene dargestellt sind.
  • Eine weitere Ausgestaltung des erfindungsgemässen Verfahrens ist dadurch gegeben, dass die beiden Abbilder auf optischem Wege erstellt und im Sinne einer Kompensation in einer optischen oder elektrischen Vergleichseinrichtung überlagert werden, derart, dass die übereinstimmenden Teile der Abbilder ganz oder teilweise neutralisiert werden und nur der Differenzinhalt auf einer Mattscheibe, einer Leitwand oder dergleichen sichtbar wird. Eine derartige Kompensation kann dadurch erfolgen, dass durch Vorschaltung von entsprechenden Schaltfiltern die beiden Abbilder in komplementären Farben angezeigt werden, wobei bei den übereinstimmenden Teilen der Konfiguration eine Neutralisation der Komplementärfarben stattfindet und der Differenzinhalt in der jeweiligen farbliche Tönung sichtbar wird. Eine solche Kompensation kann ebenso auf elektrischem Wege durchgeführt werden, indem, beispielsweise unter Ausnützung der in der Fernsehtechnik üblichen Mittel, die beiden Abbilder elektrisch entgegengesetzt gepolt werden, wobei auf dem Aufzeichnungsträger die Differenz der beiden Bildinhalte durch entsprechend unterschiedlichen Hell- oder iunkelwert klar sichtbar wird. Durch eine derartige Kompensation kann durch die unterschiedlichen Farbtönungen oder durch die unterschiedlichen Hell- und Dunkvelwerte leicht erkannt werden, ob beispielsweise auf dem zu prüfenden Objekt ein Teil der Konfiguration fehlt oder ob auf diesem Objekt ein nicht zur gewünschten Konfiguration gehörender Teil zusätzlich vorhanden ist.
  • Gemäss einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung werden die Abbilder durch örtliche getrennte optische Einrichtungen mit foto-elektrischen Wandlern erzeugt und gemeinsam auf der Mattscheibe einer Bildröhre auf elektrischem Wege wiedergegeben, wobei durch entgegengesetzte elektrische Polung deren Differenzinhalt sichtbar gemacht wird.
  • Gemäss einer Weiterbildung der Erfindung werden das zu prüfende Objekt sowl-eidie Vorlage zonenweise hinsichtlich der Bildinhalte abgetastet. Dabei befinden sich sowohl die beiden miteinander zu vergleichenden Objekte sowie die beiden beispielsweise foto-elektrischen Wandler in einer solchen Stellung, dass jeweils dieselben Zonen erfasst werden. Auf diese Weise sind derGenaugkeit des Prüfvorganges keine Grenzen gesetzt. So können grossflächige Schaltungsbaugruppen wie auch kleinste Schaltungseinheiten, wie beispielsweise integrierte Schaltkreise durch Unterteilung in einzelne Abtastzonen, gegebenenfalls unter Benützung von Mikroskopen oder dergleichen, mit grosser Zuverlässigkeit überprüft werden.
  • Gemäss einer Weiterbildung der Erfindung bewirkt ein gegebenenfalls vorhandener Differenzinhalt ein elektrisches und/oder optisches Signal. Ein elektrisches Signal kann bei Ausnützung der in der Fernsehtechnik üblichen Mittel ausgelöst werden beispielsweise bei einem bestimmten Hell- oder Dunkelwert des wiedergegebenen Bildinhaltes, im vorliegenden Falle also des Differenzinhaltes. In ähnlicher Weise kann bei Vorhandensein eines visuellen Bildes des Differenzinhaltes ein optisches Signal bewirkt werden, wenn beispielsweise entsprechende Fotozellen benützt werden, die bei entsprechenden Tönungen oder Helligkeitsgraden ansprechen und beispielsweise eine Kontrolllampe zum Leuchten bringen.
  • In vorteilhafter Weise kann bei Vorhandensein eines Differenzinhaltes, also eines Fehlers auf dem zu prüfenden Objekt die erforderliche Korrekturarbeit oder die ausgeführte Korrektur verfolgt bzw überprüft werden, dadurch, dass nach der Anzeige des Differenzinhaltes lediglich das Abbild des zu prüfenden und zur Korrektur der vorhandenen Fehler zu bearbeitenden Obåektes auf der Mattscheibe, der Leinwand oder dergleichen sichtbar gemacht wird.
  • Weitere vorteilhafte Einzelheiten des erfindungegemässen Verfahrens sowie der Einrichtung zur Durchführung dieses Verfahrens ergeben sich anhand des in der Zeichnung dargestellten und nachstehend beschriebenen Ausführungsbeispieles.
  • In Fig. 1 ist mit 1 ein Fernsehmonitor mit einer an sich bekannten Bildröhre bezeichnet, welcher an gut überschaubarer Stelle. eine Mattscheibe 2 enthält. Dieser Monitor 1 beruht auf einem kastenartigen Untersatz 3, welcher beispielsweie eine Steuereinrichtung zur Vorschubsteuerung eines nachbeschriebenen Koordinatentisches enthält. Auf dem Untersatz 3 ruht weiterhin eine Tischplatte 4, welche ausserdem noch durch Füsse 5 auf dem Boden des Betriebsraumes abgestützt ist.
  • Mit 6 ist ein Kordinatentisch bezeichnet, welcher, wie die Pfeile zeigen, in einer Ebene koordinatenmässig und gegebenenfalls auch senkrecht zu dieser Ebene manuell oder über eine Vorschubsteuerung motorisch bewegt werden kann. Über dem Koordinatentisch 6. sind an Trägern 7 und 8 örtlich getrennt zwei optische Einrichtungen sowie foto-elektrische Wandler binhatende Fernsehkameras 9 und 10 befestigt.
  • Auf dem Koordinatentisch 6 sind lösbar befestigt ein Objekt 11 bestimmter flächenhafter Konfiguration, dessen Korrektheit durch das nachbeschriebene Verfahren geprüft werden soll, sowie eine Vorlage 12, welche die gewünschte Konfiguration einwandfrei enthält. Das zu prüfende Objekt 11 ist vergrössert und nur teilweise in Fig. 3 dargestellt. Dabei handelt es sich um einen sogenannten gedruckten Schaltungsträger mit Leitungszügen 13 sowie mit kreisförmigen Lötstellen 14.
  • Die die Konfiguration darstellenden Leitungszüge 13 und Lötstellen 14 wurden durch Anwendung von in dieser Technik üblichen Ätz- und Lötverfahren erstellt. Die in Fig. 2 ebenfalls vergrössert dargestellte Vorlage. 12 enthält die schaltschemagemäss erwünschte Konfiguration. Sie kann als sogenannte Druckvorlage oder als Schaltungszeichnung ausgeführt sein. Das Objekt 11 sowie die Vorlage 12 enthält Fixieröffnungen 15 bzw. 16, mittels welcher eine genaue lagemässige Fixierung auf dem beispielsweise mit Fixierstiften versehenen Koordinatentisch 6 durchgeführt werden kann.
  • Ein Vergleich der Konfiguration des Objektes 11 und der Vorlage 12 ergibt, dass das Objekt 11 mit einigen Fehler behaftet ist. So fehlt an der Stelle 17 ein Teil des Leitungszuges; an den Stellen 18 und 19 sind unerwünschte Leitungszüge oder Zinnbrücken vorhanden und an der Stelle 20 des Objektes befinden sich sogenannte Lötspritzer. Man erkennt, dass schon das Erkennen dieser Fehler an der denkbar einfachen Konfiguration des Objektes im Ausfürungsbeispiel durch Vergleich mit der Vorlage 12 relativ viel Zeit und Aufmerksamkeit erfordert.
  • In Durchführung des nun beschriebenen, erfindungsgemässen Verfahrens wird mittels der Pernsehkamera 9 und 10 sowohl ein Abbild des Objektes 11, bzw. ein Abbild eines Teiles oder einer Zone dieses Objektes, als auch ein Abbild der Vorlage 12, bzw. ein Abbild der entsprechenden Zone der Vorlage erstellt.
  • Über Leitungen 21, 22 werden im Ausführungsbeispiel auf elektrischem Stege diese Abbilder im Monitor 1 durch in der Fernsehtechnik an sich bekannte und daher nicht näher erläuterte Massnahmen überlagert, das heisst miteinander zur Deckung gebracht.
  • Im Ausführungsbeispiel werden die beiden Abbilder auf optischem Wege erstellt und im Sinne einer Kompensation, also durch entgegengesetzte elektrische Polung der Abbilder beispielsweise oder durch komplementäre Farbgebung der Abbilder in-dem eine Vergleichseinrichtung darstellenden Monitor 1 überlagert, derart, dass durch Differenzbildung der Bildinhalte (Fig. 2, Fig. 3) der beiden Abbilder der gegebenfalls vorhandene Differenzinhalt optisch und/oder elektrisch angezeigt wird. Ein solcher Differenzinhalt, der auf der Mattscheibe 2 sichtbar wird, ist in Pig. 4 gezeigt, wobei vorausgesetzt ist, dass die übereinstimmenden Teile der Abbilder durch die Kompensation völlig neutralisiert sind. Durch das Auftreten dieses Differenzinhaltes (Pig. 4) kann ein elektrisches Signal bewirkt werden, welches mittels bekannter akustischer oder optischer Anzeigeelemente das Vorhandensein eines Pehlers am Objekt 11 anzeigt.
  • Das Objekt 11 und die Vorlage 12 werden zonenweise in aufeinanderfolgenden Verfahrensschritten auf ihre Bildinhalte hin durch Bewegen des Koordinatentisches 6 abgetastet. Um Leerläufe bzw. Unterbrechungen bei dieser Abtastung zu vermeiden erfolgt ihre durch schrittweises Bewegen des Koordinatentisches 6 entlang einer meanderartigen Bahn, welche in den Figuren 2 und 3 durch gestrichelte Linien züge verdeutlicht ist.
  • Eine einwandfreie Prüfung des Objektes 11 ist auch dann gewährieistet, wenn die übereinstimmenden Teile der Konfiguration in bestimmten Hell- -oder Dunkelwerten, die sich jeweils von den Hell- bzw. Dunkelwerten des Differenzinhaltes unterscheiden, auf der Mattscheibe 2 sichtbar werden. Durch die Überlagerung-der Abbilder im Sinne einer Kompensation kann genau erkannt werden, ob es sich bei dem Differenzinhalt um einen fehlenden Teil (Stelle 1)) oder um einen unerwünscht hinzugekommenen Teil der Konfiguration handelt. Bei einer Kompensation durch farblich komplementäre Abstimmung der Abbilder zum Beispiel durch die Farben Rot und Blau ist ebenfalls diese klare Unterscheidbarkeit zwischen dem Objekt 11 und der Vorlage 12 gegeben.
  • Das durch Auftreten eines Differenzinhaltes bewirkt elektrische Signal kann zur Vorschubsteuerung des Koordinatentisches 6 ausgenützt werden, in dem Sinne, dass durch das Signal die Vorschubbewegung dieses Koordinatentisches 6 gestoppt wird.
  • Es kann dann an der entsprechenden, auf dem Monitor 1 angezeigten Stelle des Objektes eine Korrektur der Konfiguration vorgenommen werden. Die erfolgte Korrektur bzw. die Durchführung der Korrektur kann angezeigt bzw. verfolgt werden, indem durch Betätigen eines Schaltmittels,zum'Beispiel 23, lediglich das Abbild des Objektes 11 am Monitor 1 sichtbar gemacht wird, indem der Vergleichsvorgang unterbrochen, bzw. die Fernsehkamera 9 abgeschaltet wird.
  • 8 Patentansprüche 4 Figuren

Claims (9)

  1. Patentansprüche 0.) Verfahren zum Prüfen von Objekten bestimmter flächenhafter oder räumlicher Konfiguration durch Vergleich mit einer, die gewünschte Konfiguration aufweisenden Vorlage, bei vorzugsweise gedruckten Schaltungsträgern, elektrischen Baugruppen oder dergleichen, dadurch gekennzeichnet, dass sowohl von dem zu prüfenden Objekt (ii) als auch von der Vorlage (12) ein Abbild erstellt wird, das die beiden :Abbilder überlagert werden und dass durch Differenzbil-- dung der Bildinhalte der beiden Abbilder der gegebenenfalls vorhandene Differenzinhalt (Fig. 4) optisch und/oder elektrisch angezeigt wird.
  2. 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die beiden Abbilder auf optischem Wege erstellt und im Sinne einer Kompensation in einer optischen oder elektrischen Vergleichseinrichtung überlagert werden, derart, dass die übereinanderstimmenden Teile der Abbilder ganz oder teilweise neutralisiert werden und nur der Differenzinhalt auf einer Mattscheibe (2) einer Leinwand oder dergleichen sichtbar wird.
  3. 3. Verfahren nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurch aekennzeichnet, dass die Abbilder durch örtlich getrennte optische Einrichtungen (9, 10) mit foto-elektrischen Wandlern erzeugt und gemeinsam auf der Mattscheibe einer Bildröhre auf elektrischem Wege wiedergegeben werden, wobei durch entgegengesetzte elektrische Polung deren Differenzinhalt (Fig. 4) sichtbar gemacht wird.
  4. 4. Verfahren nach den Ansprüchen 1 bis 3, dadurch erkennt zeichnet, dass das zu prüfende Objekt (11) sowie die Vorlage (12) zonenweise hinsichtlich der Bildinhalte abgetastet werden.
  5. 5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Abtastung durch mäanderartige Relativbewegung zwischen dem Objekt (11), der Vorlage (12) und der optischen Einrichtung (9, 10) erfolgt.
  6. 6. Verfahren nach den vorhergehenden Ansprüchen, dadurch gekennzeichnet, dass ein gegebenenfalls vorhandener Differenzinhalt ein elektrisches und/oder optisches Signal bewirkt.
  7. 7. Verfahren nach den vorhergehenden Ansprüchen, dadurch gekennzeichnet, dass nach der Anzeige des Differenzinhaltes (Pig. 4)lediglich das Abbild des zu prüfenden und zur Korrektur der vorhandenen Fehler zu bearbeitenden Objektes (11) auf der Mattscheibe, der Leinwand oder dergleichen sichtbar gemacht wird.
  8. 8. Einrichtung zur Durchführung-des Verfahrens, dadurch gekennzeichnet, dass das zu prüfende Objekt (11) sowie die entsprechende Vorlage (12) nebeneinander in vorbestimmter Stellung auf einem Koordinatentisch (6) gelagert sind, welcher Koordinatentisch (6) gegenüber zwei Pernsehkameras (9, 10), die mit einem Monitor (1) in Verbindung stehen, schrittweise verschiebbar ist.
  9. 9. Einrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, dass ein bei Vorhandensein eines auf dem Monitor angezeigten Differenzinhaltes bewirktes elektrisches Signal zur Vorschubsteuerung des Koordinatentisches (6) verwendet wird.
DE19712138238 1971-07-30 1971-07-30 Verfahren und einrichtung zum pruefen von objekten bestimmter flaechenhafter oder raeumlicher konfiguration bei vorzugsweise gedruckten schaltungstraegern, elektrischen baugruppen oder dergleichen Pending DE2138238A1 (de)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19712138238 DE2138238A1 (de) 1971-07-30 1971-07-30 Verfahren und einrichtung zum pruefen von objekten bestimmter flaechenhafter oder raeumlicher konfiguration bei vorzugsweise gedruckten schaltungstraegern, elektrischen baugruppen oder dergleichen

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19712138238 DE2138238A1 (de) 1971-07-30 1971-07-30 Verfahren und einrichtung zum pruefen von objekten bestimmter flaechenhafter oder raeumlicher konfiguration bei vorzugsweise gedruckten schaltungstraegern, elektrischen baugruppen oder dergleichen

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE2138238A1 true DE2138238A1 (de) 1973-02-08

Family

ID=5815341

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19712138238 Pending DE2138238A1 (de) 1971-07-30 1971-07-30 Verfahren und einrichtung zum pruefen von objekten bestimmter flaechenhafter oder raeumlicher konfiguration bei vorzugsweise gedruckten schaltungstraegern, elektrischen baugruppen oder dergleichen

Country Status (1)

Country Link
DE (1) DE2138238A1 (de)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3315055A1 (de) * 1983-04-26 1984-11-08 Licentia Patent-Verwaltungs-Gmbh, 6000 Frankfurt Verfahren zur pruefung von voll- oder teilbestueckten leiterplatten
DE3425568A1 (de) * 1984-07-11 1986-01-16 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Vorrichtung zum pruefen elektronischer flachbaugruppen
DE3618570A1 (de) * 1985-12-04 1987-06-11 Tdk Corp Verfahren und vorrichtung zur erfassung und korrektur von fehlern bei der montage von elektronischen bauelementen auf substraten
EP0236738A2 (de) * 1986-02-05 1987-09-16 OMRON Corporation Verfahren zur Dateneingabe einer bestückten gedruckten Referenzleiterplatte für die Bildverarbeitung eines automatischen Prüfgerätes für bestückte gedruckte Leiterplatten
EP0277502A1 (de) * 1987-01-13 1988-08-10 OMRON Corporation Apparat zum Untersuchen einer bestückten elektronischen Vorrichtung
EP0940683A2 (de) * 1998-03-02 1999-09-08 Cyberoptics Corporation Platinenprüfsystem mit Scanner

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3315055A1 (de) * 1983-04-26 1984-11-08 Licentia Patent-Verwaltungs-Gmbh, 6000 Frankfurt Verfahren zur pruefung von voll- oder teilbestueckten leiterplatten
DE3425568A1 (de) * 1984-07-11 1986-01-16 Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München Vorrichtung zum pruefen elektronischer flachbaugruppen
DE3618570A1 (de) * 1985-12-04 1987-06-11 Tdk Corp Verfahren und vorrichtung zur erfassung und korrektur von fehlern bei der montage von elektronischen bauelementen auf substraten
EP0236738A2 (de) * 1986-02-05 1987-09-16 OMRON Corporation Verfahren zur Dateneingabe einer bestückten gedruckten Referenzleiterplatte für die Bildverarbeitung eines automatischen Prüfgerätes für bestückte gedruckte Leiterplatten
EP0236738A3 (de) * 1986-02-05 1988-12-21 OMRON Corporation Verfahren zur Dateneingabe einer bestückten gedruckten Referenzleiterplatte für die Bildverarbeitung eines automatischen Prüfgerätes für bestückte gedruckte Leiterplatten
US4894790A (en) * 1986-02-05 1990-01-16 Omron Tateisi Electronics Co. Input method for reference printed circuit board assembly data to an image processing printed circuit board assembly automatic inspection apparatus
EP0277502A1 (de) * 1987-01-13 1988-08-10 OMRON Corporation Apparat zum Untersuchen einer bestückten elektronischen Vorrichtung
EP0940683A2 (de) * 1998-03-02 1999-09-08 Cyberoptics Corporation Platinenprüfsystem mit Scanner
EP0940683A3 (de) * 1998-03-02 2002-06-12 Cyberoptics Corporation Platinenprüfsystem mit Scanner

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE69011361T2 (de) Verfahren und Einrichtung zur Untersuchung von gedruckten Schaltungen.
DE3612233C2 (de)
EP0095517B1 (de) Verfahren und Einrichtung zur automatischen optischen Inspektion
DE68908752T2 (de) Ausgleichsanordnung zur Untersuchung von möglicherweise gekrümmten Leiterplatten.
DE69032724T2 (de) Apparat zur Kontrolle von gedruckten Schaltungen
DE68929481T2 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Anzeige der Ergebnisse einer Leiterplattenprüfung
DE3750285T2 (de) Gerät zur Untersuchung einer elektronischen Vorrichtung in fester Baugruppe.
DE2937929C2 (de) Verfahren zum Prüfen einer Leiterplatte mit einer gedruckten Schaltung und Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
DE2063932A1 (de) Verfahren zum Korrelieren zweier Bilder
DE3535400A1 (de) Pruefverfahren und pruefvorrichtung
DE94027T1 (de) Vorrichtung und verfahren zur registerregelung von uebereinander gedruckten bildern.
DE69105619T2 (de) Justierungsverfahren für optische Achsen von Fahrzeugscheinwerfern.
DE2508992A1 (de) Verfahren zur ueberpruefung des einwandfreien zustands von bauteilen
CH636976A5 (de) Einrichtung zur anzeige von ueberkorrekturen bei einer elektronischen farbkorrekturvorrichtung.
DE3813662C2 (de)
DE3879015T2 (de) Verfahren und vorrichtung zur ueberfruefung von lochmaskenplatten.
DE69624852T2 (de) Verfahren und Vorrichtung zur Unterstützung der Reparatur von defekten Substraten
EP4020314A1 (de) Verfahren und vorrichtung zur optischen qualitätskontrolle während der fertigung von leiterplatten
DE68927532T2 (de) Gerät zur Inspektion von gedruckten Schaltungen mit Bauteilen, die auf der Oberfläche montiert sind.
DE2138238A1 (de) Verfahren und einrichtung zum pruefen von objekten bestimmter flaechenhafter oder raeumlicher konfiguration bei vorzugsweise gedruckten schaltungstraegern, elektrischen baugruppen oder dergleichen
EP0012723B1 (de) Verfahren zur maschinellen Beurteilung der Druckqualität eines Druckerzeugnisses sowie Vorrichtung zu dessen Durchführung
DE112022004457T5 (de) Gerät zur Haarinspektion auf einem Substrat und Verfahren zur Haarinspektion auf einem Substrat
EP0992180B1 (de) Verfahren zur automatischen intensitätseinstellung einer beleuchtung für einrichtungen zur lageerkennung und/oder qualitätskontrolle
DE10230891B4 (de) Photolithographisches System und photolithographes Verfahren zur Erfassung von Verunreinigungen aufder Oberfläche von Wafern
DE3540100A1 (de) Verfahren zur optischen pruefung von leiterplatten

Legal Events

Date Code Title Description
OHN Withdrawal