DE2124967A1 - Meßkopf für elektronische Bauteile - Google Patents

Description

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COMPAGlOT BrJDUSl'RIELLS DES IEDEOOMMUHIOAOiIOHS CIT-ALOAl¹BL, Paria,

Meßkopf für elektronische Bauteile

Die Erfindung betrifft die Messung elektrischer Charakteristiken elektronischer Bauteile· , insbesondere der sogenannten schnellen Bauteile, das sind Bauteile, deren Reaktionszeit in der Größenordnung von Nanosekunden liegt, Sie richtet sich insbesondere auf den Fall, wo diese Bauteile kompliziert aufgebaut sind, d.h. mehrere Funktionen, die im allgemeinen von logischer Natur sind, erfüllen und auf Kille, wo zahlreiche Bauteile durchgemessen werden müssen.

Solche Bauteile v/erden oft in form von integrierten Schaltungen •hergestellt. Diese integrierten Schaltungen, deren Abmessungen sehr gering tmicl, aind in einer Kapsel enthalten, aua der Leiter in gev/isser Anaahl austreten, welche die äußeren Anschlüsse sicherstellen*. Wenn die Ansä&hl von durch die Schaltung sicher-

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gestellten Funktionen gitfoß ist, muß die Anzahl ihrer Yerbindungg.loitei? im Prinaip groß sein; sie liegt beispielsweise bei H für den Pail der Schaltkreise, deren Gehäuse von der unter dem Hamen ^fll^?lat Pack" bekannten Art lot. Die äußeren Leiter einer solchen Schaltung liegen in Porm metallischer nachgiebiger Bänder, die manchmal "!Fahnen" genannt· werden (pattes) vor»

Will man die O'a&mteteristilren einer solchen integrierten Schaltung messen., so ist es notwendig, die Klemmen der Meßgeräte an diese Fahnen anzuschließen* Dies kann, durch Schweißung erfolgen, was den liaclrbeil mit ?;ioh bringt, daß man Gefahr läuft,

ρ die Fahnen durch Fie.irioa oder durch Erwärmung, u,ü. sogar den Schaltkreis selbst six seratoren. Ein® solche Mos sung ist bei« spielß-weise als FabriJteationsKOntrolle notwendig.Offensichtlich ist ©s nicht wünschenswert, daß aufgrund dieser Aufgäbe die gesteuerten Bauteile Gefahr laufen beschädigt zu werden. Auch wurde bereits vorgeschlagen, die Verbindungen zwischen den Fahnen und den entsprechenden Klemmen der Meßgeräte durch einfachen Druck zweckmäßiger Leiter gegen diese Fahnen sicher au stellen. Aus diesem und.aus anderen Gründen, die sich auf die Gefahr der Beschädigung der Fahnen bei den verschiedenen Transporten, die die integrierte Schaltung erleiden feann, beziehen., ist es üblich, diese integrierten Schaltungen bei Fabrikationsende in einem Gehäuse aus steifem Kunststoffmaterial,

" dem sogenannten Träger (carrier) anzuordnen. Sin solcher Träger weist auf einer seiner Oberflächen ein oder mehrere öffnungen auf, über die es möglich ist, die Verbindungsfahnen der integrierten Schaltung su erreichen. Ea ist wichtig, daß dieser Träger von der integrierten Schaltung nur dann getrennt -wird, wenn lstatere endgültig an ihren Ort gebracht wird. Hieraus folgt, daß die Messungen von Charakteristiken der integrierten Schaltung vorsugeweiee nur dann vorgekommen werden Bollen, wenn die integrierte Schaltung in ihrem '.Präger belassen wird.

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.In elektrischer Hinsicht muß man die Beeinträchtigung berücksichtigen, die an den Signalen durch das während der Messung benutzte Gerät auftreten kann. Insbesondere, wenn es sich um schnelle elektronische Schaltkreise handelt, ist es extrem wichtig, daß einerseits die Anstiegsflanken oder Abfallflanken der Signale nicht verlängert werden, andererseits, wenn diese Signale nicht verzögert werden sollen? sie wenigstens nur um vorbeetimmte Zeitdauern verzögert werden, derart, daß man die temporären reellen Charakteristiken der gemessenen Schaltkreise ausgehend von Anaeigen der Meßgeräte definieren kann. In der Praxis stellt sich dies durch die !Tatsache dar, daß die Signale zwischen den Meßgeräten und den durch die Koaxialleitunken gemessenen Kreis sirkulieren. Solche Leitungen besitzen eine wohl konstante Impedane, im allgemeinen 50 Ohm, und verformen die Signale nicht. Es ist jedoch notwendig, wenn man dies ausnutzen will, daß der koaxiale Aufbau der Leitungen bis au einer Entfernung, die so gering wie möglich i8t_t vom gemessenen Kreis ist, d.h. daß die Terbindungeleiter zwischen der eigentlichen Koaxialleitung und den Fahnen der integrierten Schaltung eo kurs wie möglich sincL Am anderen Ende dieser 3toax5.alen Übergangsleitungen stellt sich das Problem nicht in dex- gleichen Art, da es einfach ist, en den Meßgeräten Klemmen vorzusehen, die elektrisch den koaxialen Aufbau verlängern. Auf der Seite der integrierten Schaltung dagegen ist es äußerst schwierig, wenn man die Schaltung in ihrem Träger lassen will, die Fahne und den Yerbiodungsleiter wenigstens in seinem Teil zu integrieren, der unmittelbar demjenigen benachbart ist, der den Kontakt mit der Fahne bei einer koaxialen Konstruktion sicherstellt. Untex* diesen Bedingungen wird der Kontakt durch die Seele der Koaxialleitung sichergestellt, die ihrer Abschirmung über eine gewisse Länge beraubt ist« Diese Anordnung v/eist offensichtlich den Nachteil auf, daß die Impedanz in dem !eil der tibergangsleitung sieht beibehalten wird, der eich arischen dem Bauteil und dem Bcjginn &Qj? koaxialen Konstruktion "befindet. Man verseucht, die Liü'ge dieses Teils möglichst klein

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. zu machen, indem man maximal die koaxiale Konstruktion an das Bauteil annähert. Man ist in dieser Richtung jedoch durch den eigenen Platzbedarf der Koaxialkabel beschränkt, der es verhindert, daß sie in der Mhe des elektronischen Bauteiles verspannt werden. Die Fahnen dee letzteren sind dann sehr nahe aneinander angeordnet, derart, daß die zu dicken Kabel nicht um so viel verspannt oder nahe aneinander angeordnet werden können.

Was die genaue Definition der Portpflansüungszeiten betrifft, so besteht eine einfache lösung für die den Übergang der aus dem integrierten Sehaltkreis sicherstellenden Signale, die gegen das Meßgerät gerichtet sind, darin, sämtlichen Leitungen die gleiche Länge zu verleihen. Was die durch die Meßgeräte gegen die integrierte Schaltung gesandten Signale betrifft, so besteht eine bekannte Lösung darin, sie über eine Koaxialleitung an eine Kontaktklsuraie zu legen, die so nahe wie möglich der Fahne angeordnet ist, auf dis die Signale gegeben werden sollen und dann diese Signale an eben dieser Klemme durch eine andere Koaxialleitung wieder aufzunehmen, die sie gegen eine geeignete Klemme des Meßgerätes führt und welche die gleiche Länge wie die Koaacialleitungen aufweist, welche für die Transmission der aus äem Schaltkreis stammenden Signale sorgen. Auf diese Weise verfügt man am Meßgerät über eine Zeitbezugsgröße, die es ermöglicht, die an der integrierten Schaltung angebrachten Verzögerungen zu definieren.

Ein Meßkopf (fixture board) ist eine Konstruktion, die die Verbindung zwischen der integrierten Sohaltung in ihrem Träger und dem Meßgerät sicherstellt. Eine solche Konstruktion hat zwei Rollen: die eine besteht darin, die das Meßgerät mit der integrierten Schaltung verbindenden Übergangsleitungen au tragen, die andere, di© Verbindungen sicherzustellen. Wie bereits gesagt, diese Anschlüsse oder Verbindungen stellen keine Probleme auf der Seite des Meßgerätes dar, stellen aber sehr schwierige Probleme auf der Seite der integrierten Schaltung dar.

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Mn Meßkopf umfaßt in üblicher ¥eise eine steife oder starre Platte, an der mehr oder weniger befestigt die Koaxialkabel sind, welche die in Präge kommenden Transmissionen sicherstellen. Diese Platte trägt elastische Kontaktorgane, welche es ermöglichen, die Verbindung zwischen den Seelen der Koaxialkabel und den Palinen des gemessenen Kreises sicherzustellen. Diese lontaktorgane können beispielsweise aus einen elastischen Dj?aht gebildet sein, der sieh durchbiegt, wenn sein Ende in Soxrbakt mit den Fahnen kommt. Damit seine Elastizität ausreichend ist, ist ©ω notwendig, dem elastischen ΐβϋ des Drahtes eine ausreichende länge zu geben. Diese Länge stellt aber an der Übertragungsleitung eine Unterbrechung ä&B koaxialen Aufbaues dar, was zn einem Bruch der Impedanz und einar Verformung der Signale führt. Man muß also entweder die Elastizität In gewissem Maße aufgeben, d.h. Gefahr laufen, mechanisch die Fahnen des Schaltkreises eu beschädigen (au starker Druck) oder einen elektrischen Zufallskontaktwiderstand sinführsn (su geringer Druck) oder eine gewisse Beeinträchtigung der Signale durch Impedanabruch in Kauf nehmen.

soll nun ein MeSkopf für elektronische Bauteile so auegebildet werden, daß die Kontakte mit den Pannen dee gemessenen Kreises in sicherer Weise gewährleistet sind, ohne Gefahr der Beschädigung der Fahnen und unter Kleinsthaltung der Länge der Übergangsleitung, die frei von jeder koaxialen Konstruktion ist»

Die Erfindung geht nun aus von einem Meßkopf für elektronische Bauteile, der mit mehreren Anschlußklemmen, hier "Fahnen" genannt, und die auf einer im wesentlichen planen am Bauteil festen fläche gehalten sind, ausgestattet ist, wobei der Meflkopf eine steife oder starre Verbindungsplatte umfaßt, die hier als horizontal sur Erleichterung der Beschreibung angesehen wird und an der wenigstens teilweise die Verbindung«« leitungen befastigt siM, virobei öin erstes Ende jeder dieser Leitungen so ausgebildet ist, daß es in Kontakt mit einer

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dieser Jahnen kommt» wenn das zu messende Bauteil gegen eine Fläche dieser Platte gedrückt wird, wobei diese Fläche hier aus EinfaoheitsgrUnden als obere Fläche bezeichnet wird und wobei das zweite Ende dieser Leitung mit einer Verbindungkupplung versehen ist, die für die Verbindung zwischen dieser Leitung und einer Klemme dar Heilvorrichtung sorgt. Per MeS-kopf zeichnet eich dadurch aus, daß diese Verbindungeplatte isolierend ist und von Löchern durchbohrt 1st» in denen me» tallIsche Buchsen sitzen, wobei metallische Spitzen, Stifte oder Stacheln, im folgenden "Spitzen" genannt, unter weicher Reibung vertikal in diesen Buchsen, über die sie gleichzeitig von oben und von unten hinausgehen, verschiebbar sind; daß elastische Einrichtungen unter dieser Platte derart befestigt sind, daß sie versuchen, elastisch nach oben das untere Ende dieser Spitzen zu drücken, wobei das erste Ende jeder dieser leitungen.mit einer der Buchsen verbunden ist, wobei die geometrische Verteilung dieser Löcher über diese Platte der;

dieser Fahnen auf der im wesentlichen planen Oberfläche entspricht, derart, daß durch Aufbringung des Bauteils auf diese Platte in einer zweckmäßigen Lage diese Fahnen sich gegen das obere Ende dieser SpItaen abstützen«

Anhand der beiliegenden Figuren 1-5 soll nun eine beispielsweise Ausftihrungsform der Erfindung näher erläutert werden. Pie auf den verschiedenen Figuren sich entsprechenden Elemente tragen jeweils die gleichen Bessugszeiohen.

Figur 1 zeigt in perspektivischer auseinandergebogener Darstellung eine integrierte Schaltung alt ihrem Träger;

Figur 2 zeigt in allgemeiner Perspektive einen MeSkopf nach der Erfindung;

Figur 3 ist eine perspektivische auseinandergeaogane TeIldaretellung des Meökopfes nach Figur 2;

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Die Figuren 4 und 5 eind Teilschnitte durch den Meflkopf längs der ebenen IV-IV und V-V der Figur 3.

In Figur 1 erkennt man eine integrierte Schaltung in Form eines parallelepipedfönnigen Blocks 2. aus Kunststoff. Im Inneren dieses Blocks ist das den aktiven Teil des Schaltkreises bildende Siliciumplättchen angeordnet. Dieser Block trägt einerseits einen eine seiner Verbindungeklemmen bildenden Massestab 4 (Maasasäule). Andererseits erkennt man vierzehn metallische aus diesem Blook austretende Bänder 6. Diese Bänder, die nachgiebig'aind und die die Verbindungeklemmen der integrierten Schaltung bilden, werden im allgemeinen "Fahnen" (pattes) genannt. Es ist jedoch klar, daß die Erfindung sich genau so gut auf einen Meßkopf für Bauteile anwenden läßt, dessen Verbindungeklemmen eine unterschiedliche Form aufweisen können. Die Fahnen, wie z.B. 6 sind in ein und der gleichen Ebene angeordnet.

Man erkennt auch den Körper 8 und den Deckel 10 eines Trägers, in dessen Innerem die integrierte Schaltung während der gesamten Zeitdauer angeordnet ist, die das Ende Ihrer Herstellung von dem endgültigen Einsetzen sum Zwecke ihrer Benutzung trennt. Der Körper 8 trägt auf eeiner Oberfläohe eine rechteckförmige Ausnehmung, die dazu bestimmt 1st, den Block 2 aufzunehmen. Der Boden dieser Ausnehmung ist von einer öffnung 11 durchsetzt, die, wenn der Träger geschlossen ist, es ermöglicht, die Innenfläche des Blockes 2 zu beobachten. Der Block 8 trägt 2 Reihen von Erhebungen, wie z.B. 12, die geeignet sind, die Fahnen wie z.B. 6 zu halten. Schließlich trägt der Block 8 ein Randteil, in welches elastisch der Deckel 10 mittels vorstehender Bereiche wie z.B. 16 einrastet, die durch diesen Randteil getragen sind und mit vom Deckel 10 getragenen Ausnehmungen wie z.B. 18 zusammenwirken. Dieser Deckel ist von zwei rechteckförmigen öffnungen, wie z.B. 20 durchsetzt bzw. durchbohrt, die es ermöglichen, su den Fahnen des Bauteils «u gelangen, wenn dieses im Träger eingeschlossen ist. Eine zentrale Perforation 22 ist vorgesehen und dazu beotimmt. die Durch-

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führung des Maseestabs 4 jsu ermöglichen. Zwei Mihrungsöffnungen ungleichen .Durchmessers 24 und 26 sind sowohl in den Deckel 10 wie in den Körper S zu beiden Seiten des Blockes 2 gebohrt. Si© ermöglichen in Zusammenwirken® mit zwei zweckmäßigen. Ftthrtmgssäulen oder «»st&ben öle Positionierung des är&gers si chefzustellen. .Is muß verständlich werden, daß die gerade beschriebene Anordnung nicht etwa die Irfiadmig bildet; diese l&ßt sioh genau so gut auf anders Ir ten von Trägern und Bauteilen anwenden, vorausgesetzt, daß äiese Klemmen aufweisen, di© auf einer im wesentlichen planen FL&ohß befestigt sind und gegen die eia elastischer Eontakt möglich ist. Die Anordnung der gerade beschriebenen Elemente, d.h. eier Träger der integrierten Schaltung, soll künftig mit dem Bagugezeiehen 30 beaeiohnefc werden»

In Figur 2 erkennt man die Anordnung d©s Meßkopfes nach der Erfindung. Dieser Kopf umfaßt eine isolierende steife Platte, die vorher unter der Bezeichnung "Verbindungsplatte" erwähnt wurde_r und die das Bezugsiseichen 32 trägt. Diese Platte ist aus einem isolierendön Hare gebildet und ist steif. Sie ist auf einsr Platte aus lltiminium 54· befestigt, welche selbst an ihren beiden Enden auf 2 Balken 56 und 38 befestigt ist, welche zwei vertikale lafeln 40 und 41 vereinigen» Die Verbindungeplatte 32 trägt eine große Anzahl von Koaxialkabeln, beispielweise achtsehn, wie 2.B₄ 44, 46 und 43, welche in Pigur 2 nicht dargestellte Elemente zur Kontaktherateilung mit koaxialen an der Tafel 40 festen Kupplungen verbinden, die z.B. mit 50, 52 und 54 bezeichnet sind. Man erkennt auch eine Speiseleitung 56_? die die Verbindungeplatte 32 mit einer euf der gleichen Tafel angeordneten Kupplung 58 verbindet. Die Rolle der durch die Kabel wie a.B_ä 44, 46 und 48 gebildeten Übergangsleitungen besteht darin, die Eignale der Meßgeräte zn übertragen, die mit den Klemmen wie z.B. 50, 52 und 54 mit den integrierten Schaltungen und umgekehrt verbunden sind. Die Längen sämtlicher dieser leitungen werden also aus den oben angegebenen Gründen gleich groß gemacht. Die Leitung 56 dient der G-leichstromspeisung. Da eine integrierte Schaltung oft die Verwendung mehrerer kontinuierlicher Polarisationsspannungen erfordert, werden

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mehrere Leitungen wie a.B. 56 noi'iaalerweise verwendet; um die Zeichmmg au vereinfachen, ist nur eine einsige dargestellt. iH.e^e opeifiöleituvsgea sind η loht notwendigerweise YOß :ΐΐο.--!.:;Ί."ΐ1·5β ϋ;/θί ihres Länge !»-.ana ε·. priori beliebig sein.

/feeh ΓΙ;·; η: Ί ure &cr; Uhiägor 50 als au,:;:¹ die Vorbindungsplatte :52 gesοι;.·ΐ^Λ aargerrfeollt. Kx" e^aoheißt in Porm oineß pamllel- >~;£ii-pe5füvt '.Vg-r?. lö.ocLrefi, dca· ä'aroh sswo:«. Jiuhruu^saäulen 60 lind 6i? iUi'«.^:-?l.i ;<^::--5t iot; tüd fieBs;.» allein clie oberen Enden sicht- "lj&v βXHiI. 3;L·?· ßii-i-tlGren ieile dieeei- Mliviingsaäulen greifen ...im in dl.'-.· "t'ri'iiv.tigön 24 i**i<?. 26 dea fyä^erf.; '50 und ihr θ unteren .üu>l3B c.lnä an ή©:? Platte 3*2 "befestigt. Biiise Säulen sorgen für ö'üvi;· ko'rx'elste Poisifeioniercung des i'rägirra 30 bes&glich dieser Platte unahMfigig damn, vde groß die Sorgfalt "beim Inbringen τΙΑίϊΟΘΒ T'i'ägafe· ißt.

Aus .Figur 2 erkennt man ebenfalls ©ine Preß-* oder Druckanordnung;» die dfijgu be^tiraBii; ist, den Träger 30 gegen die Oberseite des.' Ve^biuduvjgfäpl&tt© 32 mit einem elastischen Dtrack au ilrftofren. l'i©.?i« Pv·«:"?· · oder !DimolranoroLmmg setst sieh ausamraen a«rj einer 3)rucL:>- odsr Preßplatte, die von swei vertikalen öffütri.'ohbohi't iiit» dio dassu beötimnrb sind, die Iuhsnings-60 uM 62 aufanneliaen, wobei die Platte mit zwei Stangen 56 imß 68, die siö mit einem Träger 70 verbinden, ausgeötattet ist. Diööö boidsn Stangen sind In Ihrem ssv/lschen der Preß- oder Druckplatte 64 und dem Träger 70 vorhandenen Seil durch sswei Foiilern 67 "bzw. 69 umgeben. Sie durchsetzen Löcher, tue in diesen Träger gebohrt sind, derart, daß sie in diesen Löchern vergphiebbar sind und sie sind mit Stiften derart ausges".;attöt, daß si© eich ύοά diesem Träger nicht trennen lassen. Die bo liörgeatellte Anordnung bildet ein Mittel der elastischen Yerbiadting swiochen dem !Träger 70 und der Druckplatte 64. Der Träger 70 kann um eine horizontale von sinem Hebel 72 mit Griff 74 getragene Aehoe versehwönlten, die ermöglicht, daS er um eine horiaontale von. einem Gelenkblook 76 getragene AohWi o««illie!2?e.n odöx- achtiingen kstna. Befindet sich der Hebel 72 Ui :-iei.£iöi- v.ntOA'G» Stellung, d.h. im wesentlichen horizon-

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tal, sot preßt die Druckplatte .64 den Iräger 50 gegen die Yer~ bindungsplatta 32; die Lage dieser Druckplatte ist dann wie strichpunktiert dargestellt«. Wena. dagegen der Hebel 72 in seiner öfteren Stellung sieh befi-Met_f so wird se inögllch, entweder den Träger 30 sm entfsriisa oder den träger 30 in die in c¹ er Figur dar gestallte Lage zn bringen, wenn dies nicht sehon vorher geschehen war. Der (s-elöBkblöclt 75 ist mit einer S'eder 78 ausgestattet, cli© versuelitj den Hebel 72 gleiülisäurichteny d.h. ihn in die obers Stelluag Su bringen.

Aus der figur erkennt- raaa auoli einen Verriegeluüg'sl3loclt 80, der eine aorJ.aonte,le Stange 82 teägt, die durch eine nicht dargestellte l?eder in die in der Pigur" gezeigte Iiagö gsdrüclct wird. Biese Stange te&iw. ττοη Hand gebogen werden, um sie aus dieser Lage nach liaks und nach unten in äe:e H?i(gav zu entfernen. Bas-Ende dieser Stange 82 ist an eeinera nach o"ben imd reehte in der Figur gelegenen Ende abgeschrägt_s derart, daS "bei Zuhilfenahme dee Griffs 74 man den Hebel 72 absenkt-, wobei der Hebel sich mit die abgeschrägte Fläche der Stange 82 abstützt und sie neoh unten und links in der Figur driiö&tj derart, daß ßie unter diese Staage greifen kann. Wenn sie von unten in Singriff gebracht ist, kehrt diese Stenge unter der Wirfcung der bereits erwähnten Peäer in die in der Figur dargestellt© Lege zurück und verriegelt den Hebel 72 in seiner unteren Stellung,

Eine soloHö Einrichtung ermöglicht es, auf sehr einfache Weise einen Iräger wie z.B» 30 ansuöringan, bzw. einzusetzen. Wäh« rend der Hebel .72 in seiner oberen Stellung durch die Feder 78 geha3.ten wird_f gentigt es, dissen IDräger auf die Pilhrungssäulen 60 und 62 zu führen und dann mit einer einzigen Bewegung den Hebel 72 bis in seine untere Lage abzusenken, in der er sich automatisch verriegelt. Wenn man dagegen den TrSger 30 abnehmen will, so genügt es, &n der Stange 82 nach unten und links »u Biehsn, wodurch der Hebel 72 entriegelt wird und er unter der Wirkung der Feder 78 ganz allein in seine obere Lage zurück hochgehen kann; es ist dann leicht, den !Präger 30 au entfernen.

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Bin wichtiger Punkt ist darin zu sehen, daß der !Präger 30 einen elastischen Druck erleidet, der durch Federn 67 und 69 sichergestellt ist, die von ausreichender Länge sind, damit die auf den !Präger 30 ausgeübt© Kraft in aweclonäßigen Grenzen verbleibt, d.h. ausreichend geringen Grensen, damit keine Ge~ fahr der Beschädigung des Trägers 30 oder der Fahnen wie z.B. 6 verbleibt, wobei er aber ausreichend stark ist, damit die elektrischen Kontakte zweckmäßig sichergestellt sind.

Figur 3 läßt in detaillierterer Weise die Elemente, die aich auf der Yerbindungaplatte 52 befinden, erkennen. Man erkennt hier außer den bereite erwähnten iiihrungesäulen 60 und 62 eine gewisse Anzahl von Spitzen, wie e.B. die Spitze 90« In dieser Figur ist die Bildung dieser Spitzen la Detail nicht sichtbar. Ee iat jedoch klar, daß sie sich vertikal elastisch verschieben können, derart, daß wenn der Träger 30 gegen die Platte 32 gedrückt wird, diese Spitzen in Kontakt tait den Ver~ bindungafahnen kommen und unter fiem durch diese Fahnen ausgeübten Brück sich einschieben oder eindringen. Dies trägt mir Vermeidung einer Beschädigung dieser Fahnen bei, wobei eic guter elektrischer Kontakt sichergestellt ist. Selbstverständlich entspricht die Anordnung dieser Spitssen derjenigen der Pannen, derart, daß $ ede dieser !ahnen einer Spltsse entspricht. Diese Spitzen gleiten in Büchsen, die in der Platte 32 eich befinden, die in der Figur 3 jedoch kaum sichtbar sind. Diese Buchsen sind von einem SchweiSmetallflansch umgeben, der es ermöglicht, sie an daß Ende dee Axialloiters von ein oder mehreren Leitungen wie js.B, 44» 46 oder 48 anzuschließen. Man stellt diese Leitungen in Form von Kabeln der sogenannten "Hikro-Koaxial"-Kabeln her₅ deren Außendurchmesser 0,9 QQ beträgt. Dieser gering® Durchmesserwert ermöglicht eine besonders starke Annäherung awischen den Spitzen z.B. 90 und dem Seil der Leitungen, die eine koaxiale Konstruktion betreffen« Tatsächlich sind diese Spitßen unter sehr geringer Entfernung voneinander aufgrund der geringen Entfernung der Fahnen ange- . ordnet. TJm ein einfschereres Einpflangen der Spitzen und deren

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Verbindung mit den Leitungen wie z.B. 44» 46 und 48 zu ermöglichen., fjind die Spitzen nicht in Reihe, Bonde.rn schachbrettartig angeordnet, d.h. gewisse dieser Spitzen befinden sich näher am Block 2 als andere. Wie bereits .vorher erwähnt, veröden alle· der äußeren Verbindungen des gemessenen Halbleiter-■bauteile nicht durch Leitungen wie 44? 46 und 48 hergestellt. Beispielsweise werden gewisse"; Spitzen "wie; z»-B. Spitze 92 allein verwendet, um dem Bauteil..ein© "lcontinuierllche Polarisations» gpannung suauführsn« In gleicher Weise wird- die Massesäule 4 des Bauteiles auf ©in Irontiniaierlicb.es Potential ilber ©ine Buehee 94 gebracht, fier-en Durchmesset bei 80 größer als der dex' Buchson ist* die die -Spitzen s«B. 90 p.rageb.en. Diese Buohse 94 nimmt hierbei eine zentrale Lage ein«.Um die Buchse 94 o&elyasiä Spitaea wie z.B. 92 entsprechenden Büchsen zu verbinden, wäre es sicherlich möglich, Leitungen der gleichen Bau» art» wie die Leitungen 44, 46 und 48 au verwenden. Es scheint jedoch einfacher, Gleichströme Üoer durch die Terbinflungsplätts 32 getragene Metallisierungen su liberträgeno Dies© Platte let nämlich vom 'iiblichety Weis© zuv"Hersteilung* τοη gedruckten

Q T' © i

Schaltungen verv/enaöten iyp. Sarum sieht m^tn la. Pigur 3/Me·» tallisieruagen ^sw. Metallühersüge, die mehr oder weniger konsentrisch ausgebildet sind und die' Bessugszeichen 96, 98 und 100 tragen. Die Metall is ieimng 96 er-taöglicht den Anschluß der Buchse 94·» Sie s©tst sich tatsächlich bis gu dieser Buchs© fosrt. Sie. MetallIeievung 98 ermöglicht die Speistmg der Spitze 92. Die Metallisierung 100 schließlich uueyniamt die Rolle einer allgemeinen Masse.

Die Abstände der «wischen diesen Metallisierungen verbleiben« den Bänder sind ausreichend gering gewählt,, damit die Impedanz der Leitungen, die sie bilden, ausreichend gering "bleibt. Diese Metallisierungen sind andererseits en Hochfrequens über· Kapazitäten,die symbolisch mit 102, von eiinem Wert von 10 000 Pikofarad beispielsweise bezeichnet-:sind, angeschlossen _t da man ja die sehr hohen verwendeten Frequenaen berückeiohtigen mvM* Die Mstalliai©Zungen 96 "u.nd 98 sind über Speiseleitungen wie 56 mit Kupplungenwie 58, die durch die.Tafel 40 getragen

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Die figuren 4 uM 5 lassen besser die Ausbildung der Stifte wie 90 oder 92 -erkennen. Aue 'Figur 4 stellt öqü, daß der Stift 90 aus einem »ylin&rischeft länglichen 5!eil besteht, der am oberen Ende abgerundet und am unteren Ende mit einem Fuß wie 110 Tersehen ist. Diesel·⁵ Fuß- stiitst sieh gegen eine Gutaiaipl&tte 112 ab, die von synthetischer Art mit kleinen geschlossenen Hohlräumen Toll tee (Luft) seinkann» Dies© Platte 112 ■wird selbst gegen die Yerbinöungspl&t-te ■ 3-2 durch eine Stütztplatte 114, beisplelswöiee aus Aluminium* gehalten* die an der Platte 34 befestigt ist. Ia oben dieser Siütssplatte 114 sind die Ftthrungssäulsn 60 und 62 befestigt« Di® Gummiplatte ■112. .verisTiclitj- di© Spitze (wie 90) nacli oben säurlicksustoßen. ■ Beim bese&giebenen -Beis.jtiel 1st deren !Dicke 1ib weeentlicaen glöieh Ü.&T der Platte 34 und es ist klar, daß verschiedene Dicken gewählt werden können. Es ist ebenfalls klsr» daß ander© BinsJicntöÄgea aiim elastischen Ziirilokschieben der Spitzen 30 naeh oben ir®3rvf©ndet werden können» Bei spiels weise Federn» dl® sich g®gen die Platte 114 abstütsen. Jede Spitae wie e.B. 90 gleitet bei welcher Reibung in eines? Buchse wie 116, die in einer in die Terbinduagsplatte 32 gebohrten Bohrung befestigt ist. Dieee Buchse sichert den elektrischen Kontakt zwischen der Spitae 90 und einem Schweißiaet&llspritse!? b2w» Flansch, um diese Buchse auf der Oberseite der Yerbindungsplatte 32. Wie bereits mit Bezug auf Pigur 3 angegeben» werden auf einen soleh©& Flansch oder Spritzer die Seelen dar koaxialen Leiter wie 44} 46 und 48 geschweißt. Auf dem linken Teil der figur 4 ist der !rager 30 in einer I&ge dargestellt, wo er einfach auf die Mihrungssäulen 60 und 62 greift. Dagegen ist auf dem rechten Seil der gleichen Figur der träger 30 angepreßt gegen die Verbindungsplatte 32 durch die Druckplatte 64 dargestellt. Auf dieser rechten. Hälfte der Figur 4 erkennt man Fahnen wie z.B. 6, die sich gegen das obere abgerundete Ende der Spitzen wie e»B« 90 und 92 absttltsen und wc man auch den FuS wie a.B, 110 dieser Spitaen sieht, der in die Gumxaiplatte 112 eingetrieben ist*

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Figur 5 zeigt j&GCk die Lage der Massesäul© 4 in der Buchse 94»

Der gerade "beschriebene MeSkopf ist "besonders einfach hinsichtlich seines Aufbaus und besonders wirksam hinsichtlich der Möglichkeit seiner Ausführung. Bs sind nämlich die Längen der iransmissionsleitungeny die nicht von einer koaxialen Eonetruktion sind, auf das Minimum einerseits dank der Verwendung von Koaxialkabeln kleinen Dorclmiessers vermindert; andererseite kennen die für die Verbindung sorgenden Spitzen sehr nahe an der Stelle angeordnet sein, wo die Pannen wie z.B« 6 aus desa Block 2 austreten, wes auch noch die Länge des nicht angepasten Seils der Üteertragungsleittmg vermindert. Es ist im übrigen klar, daß die Herstellung der Spitzen (wie 90), die durch Buchsen wie 116 gleiten, welche in in eine isolierende Platte wie 32-- gebohrten Löchern gleiter, keinerlei Schwierigkeiten bietet.■■ Man kennt tatsächlich solche Buchsen und solche Spitzen, die im allgsrasiiien äaau ■bestimmt sind» nicht für Kontakte mit elastischen Druck au sorgen, vielmehr aufnehmende und einführbare trennbare Verbindungsstücke bilden. BrfindungsgernäS sind diese beiden Elemente nicht- trennbar aber verschiebbar gelagert. Ee ist offensichtlich hinsichtlich des Herstellungspreises des MeSkopfes günstig, daß er als elastisches Eoatakteleaent Elemente aufweist, die in groBer Serie hergestellt werden, wie beispielsweise lösbare Verbindungselemente. Andererseit« bietet das elastische durch die ßummiplatte 112 gebildete Rückstsllelesent, wobei die Gummiplatte sich gegen die Stütaplatte 114 abstützt, einen sehrgelingen Herstellungspreis und ist sehr leicht zn verwirklichen. Schließlich, ob-·· wohl eine Boppelelastiaität nicht unbedingt not\^endig ist, ist es günstig, daß nicht nur die Spitzen-wie 90 sich elastisch gegen die Fahnen wie 6 abstützen, sondern ö.aS die Anordnung des Trägers 30 salbst elastisch gegen die .VerMndungeplatte 32 abgestützt wird. Die Verwendung des Meßkopfe β nach der Erfindung ist extrem einfach und wenn auch nur die Arbeitsweise des Meßgerätes etwas selbsttätig auegebildet ist, können sie auch wenig fachmännischem Personal anvertraut werden. Die Träger sind tatsächlich mir geringfügig brüohig und es 1st äußerst einfach» sie auf Mlhrungssäulen wie 60 und 62 auf-

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aufädeln, wobei jede FehlerisBglichkeit durch die unterschiedliche λ Durchmesser dieser Säulen und der ihnen im !!!rager 30 entsprechenden öffnungen 24 und 26 vermieden wird. Solch wenig fachmännisches Personal kann andererseits ohne Schwierigkeit den Hebel 72 betätigen, der mit einem Anschlag nach unten, bestehend aus dsni Verriegelungsblock 80 „ versehen isti Aufgrund des Vorhandenseins der Federn 67 und 69 und der Länge dieser Federn und der Stangen 66 und 68 läuft maxi bei einem plötzlichen Absenken des Hebele 72 nicht die Gefahr irgend eines? Beschädigung, sei es des Meßkopfes, sei es des !Prägers· 'Schließ« lieh ist ös gane,klar, daß dieser Meßkopf ohne irgend eine Veränderung für Sie"hinsichtlich ihres äußeren Aussehens äquivalenten integrierten Schaltungen verwendet werden kann. Allein in diesem Fall variiert die Aufeinanderfolge der vom Meßgerät diirchgeflihrten Operationen. Für den FeII," wo man den Meßkopf integrierten Schaltungen anpassen will, die sieh äußerlich anders präsentieren, vorauegeeetst, daß den vorher genannten Bedingungen genügt iet, d.h., daß die äußeren Klemmen der inte- ■ grierten Schaltkreise in einer Weise analog der oben genannten sich darbieten, ist es einfach, die Verbindungsplatte wie a.B, 32 durch eine andere mit Spitzen und' Buchsen versehene Platte 8u erseteen, wobei Buchsen und Stifte in einer neuartigen Anordnung entsprechend der Anordnung der Verbindungsklemoen des neuen integrierten Schaltkreises angeordnet sind.

Änderungen und Abänderungen liegen im Rahmen der Erfindung; die Beechreibung erfolgte anhand einer besonders bevorzugten Ausführungsform; im Rahmen der Erfindung können die Elemente durch andere mit der gleichen technischen Wirkung ersetzt werden.

Patentansprüche

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Claims (1)

1) Heßfcopf für elektronische Berateile alt mehreren äußeren, "Mimen⁵⁵ gensa-mieti AaschluSkleiBnien, die auf einer im wesentliehen planen -ara Bauteil festen Oberfläche gehalten gMj wobei fter Meßliopf «ine steife_s 'hier als hori&ont&l iängesehene Anschlußpl&tte utafaSt, an der wenigstens teilweise Ysi'bisdtm^fülöi'hmgßn mit konstantem Irapedans befestigt sind_? viobei ein erstes Ende jeder dieser Leitungen bo ausgelegt ist,, daß es in Kontakt mit einer dieser 3?&b-.neu kosrat s wenn cl.ae su meeßende Bauteil gegen ei^e P3Jiohe ■ dies®!- Platte gediüo'kt wird₅ woftei dies© Fläche g«r· einfaohuag der Besclii?ei"bung als O"beiaeite angeeehen den soll, viobsi das sweite Snde dieser Leitung mit ©iaer Ansclilußk'applung -derartige.¹!? AusI)UdULIg versehan ist, daß die Yerfeinduiig diesel? üahne mit einer Kletnrae eines Meßgerätes siolier-^ßstsllt ist, dadurch 'gekennzeichnet, daß die VerbindujQgspl-att® (32) isolierend und von Botoungea durchsetzt ist, in deasn metallische Buchsen (116) ordnet sind? daß metallische Stifte (90, 92) vertikal soliiöFbar "bei wsloher Reibung in äierien Buchsen (116) vor«» gesehen t?lnd uiid gleichseitig oben und unten über diese hinausgehen? äaß elastische Einrichtungen (113) unter dieser Platte (32) derart befestigt sind, daß sie versuchen, elastisch nach oben das untere Ende dieser Spitzen (9O₅ 92) zn drücken, wobei das erste Ende -,-jedej? dieser Leitungen (44f 46$ 48) an eine dieser Buchsen (116) angeschlossen ist, wobei die geometrisohs Yerteiluag dieser Löcher auf dieser iLosohlußplatts derjenigen dieser bahnen (6) auf der im wesentlichen planen Oberfläche entspricht, derart_$ daß durch. Aufbringen des Bauteils gegen diese Platte in. aweckmäSiger Lags diese Fahnen (6) sich g<Bg®& die oberen dieser Spitsen (90,92) abstützen.

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""■■ gAD OFUGlNAL

2) ÄfeiTsopf BPicfe Ii3.ßpx-woli 1, fiaatarea gekeiiaseiclmet, dsi dies© idssstiöolim} Xiiai'icfet^jmgen &%rüh eine SoUieht aus. elastomerem M^i£s: !>:·.! (112) gebildet und uates* Sie Unter® ei te diesel? Aiisüfelußplatt* (32) durch eine steife Stätspiette (114) ge-

-: BiL&t He tiBteä^iallj dieses? Msclalix&platte ßexnzb iesvigt ist j daß die unteren Eaden diesem B^itseß (90, "'9S) sich gögsjri {Χ1Θ00 Sphleftt' (112) a^st

} Meikopf rnxoh. lasprueh 2 ₅ d-aSur<jh $©&©j&nseic"hüet·* tei das . unter© lüäe dieser Spitssda (90, .92) mit ©ine» ffuß. (110)

Is«öi-f5s:?.' &1b ö£r Kopf Siöser Spitsea (9O₅ 92) Te:??ae"hsn ist* oöl öiasei:· laiB ('11O) sich gegen dies© Sphiolit (112) als«

4} leßkopf xiach Äaspruofe 1_$. üadurcfc. gs&siansaiebaöit, daß eiae HfiiiTie dieser iftscliluB^latte (32) teilweise mit -sietallisclMs-SoMehtöÄ (96» 98, 10O)₅ in.- Koatekt mit gewiesen

C-IySSiA- Buöl3.säii (11β) ste!i©a_s abgeöeclrfe iat₉ wo'bei.,diese vwru£\llifiCih.'ni Sohiclitan iant©2?öinande» ü'hai* Kondens (102) ve*c?l)'2aa-3a imrl &n Quellen rftix⁵ elektrisolien Glsioli alad.,

5) leSkopf .aaca Lnspritob. 1._; daätircli gekeimseiohaet,. daß die Yar-blMusgaplatte (32) Maruagen (60_ä $2) trägt, die auf des? Ot)Srö©ito vorigtehsra. tmcl dazu diea©a_P das sn Bauteil "bis in ^,-/eckmäßige Lage su fütesn*

6} leßlcopi naaa Avisprucli 1, daduroa gokeaassioaaet, daß o"ber-« Tialli cli&aer MoobltiBplatte eiae SrueluToiiSicMimf (64» ?0_f 7£) "befiistigi- ifciti die so g,uggöMldet ist, daß &1& »wöi ptGbila.-Stöllf'ttageja, eine o"bes?© unö. eine imtere . Stellung οUmimm-'", wobst di-aas BruokfOZ^iofetUBg, wömi si® öißli. i/i ■aai'jt/j'iv¹ Bi'olltiae? 'bsflaööt, ©lastisöh Cas gömaaesn© Bauteil origan, ö.issö .^ngoaliiSplatts (32) ia die iwsokifläßige Lßgs

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BAD ORlGiNAi

Meßköpf nach Anspruch S₉ ü&äxiSQh. gekennzeichnet, daß die Preßvorrichtung durch ©iiasn Hebel (72) gebildet ist, der zwischen einer oberen und einer unteren Stellung um ein© im wesentlichen horizontale Achse schwingt, die fest sit dieser■ YerMnduagspl&tte (32) ist, xfoftei dieser Hebel rait Sinz-iehtuagen (78)₃ die versuchen9 ihn" in seine obere Stellung au führen uaß mit Yerriegeltrngseinriefetungen (SO.) Tor sehen ist* öl© ."so äusgabildet siaä, daß si© ihn in seiner unteren Stsllusg versdSgSIa₅ wena er ia diese von. Hsind geführt tf/ird, .Wofeei dsr Hebel im übrigen eine soatale Aehs© trägt, up tie sin Trägsr (70) schwingt} eins BnißlEplatte (64) an diesen. Irägsr Hber awet Stangen (66j 68), die versohiebbar- BiM₅ aufgehängt ist und mit Federn (S3) "ausgestattst" ist, derart, daS di© Eatfernuag jsitfisehen dieser xteiiekplattö (64) unä dam Träger- (70) zwi— ßs©nsen va£>ii©?@n kaah Linß daß üiase Peäern (69) .dies© Druckplatte (64) von diesem Träger (70) au entfernen.

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